1建設(shè)項(xiàng)目名稱(chēng)光通訊和激光雷達(dá)激光芯片F(xiàn)AB量產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目項(xiàng)目代碼建設(shè)單位聯(lián)系人李培清建設(shè)地點(diǎn)無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠房(東經(jīng)120度26分32.68秒，北緯31度34分8.38秒)國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類(lèi)別建設(shè)項(xiàng)目行業(yè)類(lèi)別和試驗(yàn)發(fā)展四十五、研究和試驗(yàn)發(fā)展建設(shè)性質(zhì)□新建(遷建)□改建□技術(shù)改造建設(shè)項(xiàng)目申報(bào)情形?首次申報(bào)項(xiàng)目口超五年重新審核項(xiàng)目□重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目項(xiàng)目審批(核準(zhǔn)/備案)部門(mén)(選無(wú)錫高新區(qū)(新吳區(qū))數(shù)據(jù)局項(xiàng)目審批(核準(zhǔn)/備案)文號(hào)(選填)錫新數(shù)投備〔2024〕454號(hào)總投資(萬(wàn)環(huán)保投資(萬(wàn)元)環(huán)保投資占施工工期是否開(kāi)工建設(shè)用地(用海)面積(m2)10810.2(全廠)5420.98(本項(xiàng)目新增)專(zhuān)項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置情況設(shè)置原則大氣排放廢氣含有毒有害污染物物、氯氣且廠界外500米范圍設(shè)項(xiàng)目涉及氯氣，廠界外500無(wú)需專(zhuān)項(xiàng)地表水新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目(槽罐車(chē)外送污水處理廠的除外);新增廢水直排的污水集中處理廠本項(xiàng)目不涉及工業(yè)廢水直接排放無(wú)需專(zhuān)項(xiàng)環(huán)境風(fēng)有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)有毒有害和易燃易爆危設(shè)置環(huán)境2險(xiǎn)存儲(chǔ)量超過(guò)臨界量3的建設(shè)項(xiàng)險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過(guò)臨界量風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)專(zhuān)項(xiàng)生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場(chǎng)、索增河道取水的污染類(lèi)建設(shè)項(xiàng)目本項(xiàng)目用水依托自來(lái)水管網(wǎng)，不采用河道取水無(wú)需專(zhuān)項(xiàng)海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項(xiàng)目不屬于海洋工程建設(shè)項(xiàng)目無(wú)需專(zhuān)項(xiàng)2.環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)指自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景本項(xiàng)目有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過(guò)臨界量，設(shè)置環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)專(zhuān)項(xiàng)。規(guī)劃情況規(guī)劃文件名稱(chēng)：《市政府關(guān)于無(wú)錫新區(qū)高新區(qū)審查機(jī)關(guān)：無(wú)錫市人民政府規(guī)劃環(huán)境情況審查機(jī)關(guān)：江蘇省生態(tài)環(huán)境廳審查文號(hào)：蘇環(huán)審[2024]9號(hào)3本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠房，根據(jù)2021年8月17號(hào)發(fā)布的《無(wú)錫新區(qū)高新區(qū)C區(qū)控制性詳細(xì)規(guī)劃鴻南-創(chuàng)孵區(qū)管理單元?jiǎng)討B(tài)更新》和《無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2022-2035)環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》中《無(wú)錫高新區(qū)總體規(guī)劃圖》,項(xiàng)目所在地規(guī)劃為工業(yè)用地，本項(xiàng)目為光電子器件生產(chǎn)項(xiàng)目，因此，本項(xiàng)目符合本項(xiàng)目地理位置詳見(jiàn)附圖1,周?chē)h(huán)境詳見(jiàn)附圖2,用地規(guī)劃詳見(jiàn)附圖3。根據(jù)《無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2022-2035年)環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》,無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)重點(diǎn)打造集成電路、生物醫(yī)藥、智能裝備、汽車(chē)零部件為核心的四大先進(jìn)制造業(yè)，本項(xiàng)目屬于C3976光電子器件制造、M7320工程和技(1)規(guī)劃范圍、規(guī)劃分區(qū)東至伯瀆港、梅育路，南至鴻山路、新十西路、錦鴻路、鴻八路，規(guī)劃面積55平方公旺莊路、春豐路，東至滬寧高速公路，南至312國(guó)道，面積33平方公里。B區(qū)規(guī)劃范鴻路、鴻八路，面積9.5平方公里。本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠房，屬于高新C區(qū)。(2)用地布局規(guī)劃4相互連通?！叭取睘檫\(yùn)河創(chuàng)新活力廊道、新華路綜合服務(wù)廊道、伯瀆港風(fēng)景人文廊道。運(yùn)河創(chuàng)新活力廊道是東西向?qū)訙麑?、銜接區(qū)域的核心廊道，定位上以承繼大運(yùn)河人文歷史、塑造公共開(kāi)放空間、發(fā)展科技創(chuàng)新等功能為主。新華路綜合服務(wù)廊道是南北向銜接無(wú)錫市太湖新城與錫東新城的重點(diǎn)廊道，定位上以發(fā)展企業(yè)總部、城市中心功能為主。伯瀆港風(fēng)景人文廊道是無(wú)錫市重要的人文廊道之一，是吳文化的典型代表，未來(lái)應(yīng)成為吳文化體驗(yàn)地，以及理想人居生活的重要載體，定位上以發(fā)展居住生活、休閑體驗(yàn)、風(fēng)景旅游功能為主。“三片”為新一代信息產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)、高端裝備產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)和生命健康產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)。根據(jù)空間和功能，將高新區(qū)A、B、C三區(qū)分別分為三大產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)。A區(qū)新一代信息產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)依托新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)制造業(yè)集聚的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)，以發(fā)展集成電路、汽車(chē)零部件、生物醫(yī)藥、智能裝備為主；B區(qū)高端裝備產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)以現(xiàn)有優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)為良好基礎(chǔ)，發(fā)展智能裝備、汽車(chē)零部件產(chǎn)業(yè)，打造智能裝備產(chǎn)業(yè)支柱；C區(qū)生命健康產(chǎn)創(chuàng)活力片區(qū)以跨國(guó)醫(yī)藥企業(yè)集群為優(yōu)勢(shì)，凝聚全球智慧，發(fā)展生物醫(yī)藥、智能裝備、高端商貿(mào)為主，打造生命科學(xué)生態(tài)圈。本項(xiàng)目位于江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)高新區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)，屬于高新C區(qū)，位于薛典路東側(cè)，本項(xiàng)目生產(chǎn)的對(duì)象為光通訊和激光雷達(dá)激光芯片等智能裝備，符合高新區(qū)總體規(guī)劃的空間布局結(jié)構(gòu)。(3)高新區(qū)產(chǎn)業(yè)定位全面對(duì)標(biāo)國(guó)家產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向，充分結(jié)合新吳區(qū)規(guī)劃產(chǎn)業(yè)體系，高新區(qū)規(guī)劃形成“4+2”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系，重點(diǎn)打造集成電路、生物醫(yī)藥、智能裝備、汽車(chē)零部件為核心的四大先進(jìn)制造業(yè)，加快發(fā)展高端軟件及數(shù)字創(chuàng)意、高端商貿(mào)兩大現(xiàn)代服務(wù)業(yè)。規(guī)劃圍繞“4+2”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系，統(tǒng)籌區(qū)域產(chǎn)業(yè)要素資源，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)集群分工協(xié)同，共同構(gòu)建互動(dòng)、融合發(fā)展的產(chǎn)業(yè)布局。高新A區(qū)：依托新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)制造業(yè)集聚的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)，以發(fā)展集成電路、汽車(chē)零部件、生物醫(yī)藥、智能裝備為主，打造完善的制造業(yè)創(chuàng)新體系，推動(dòng)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)智能化發(fā)展，為產(chǎn)業(yè)升級(jí)賦能，成為支撐制造強(qiáng)國(guó)建設(shè)的高質(zhì)量載體。高新B區(qū)：以現(xiàn)有優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)為良好基礎(chǔ)，發(fā)展智能裝備、汽車(chē)零部件產(chǎn)業(yè)，打造智能裝備產(chǎn)業(yè)支柱。高新C區(qū)：以跨國(guó)醫(yī)藥企業(yè)集群為優(yōu)勢(shì)，凝聚全球智慧，發(fā)展生物醫(yī)藥、智能裝備、5現(xiàn)代服務(wù)業(yè)為主，打造生命科學(xué)生態(tài)圈。本項(xiàng)目生產(chǎn)的對(duì)象為光通訊和激光雷達(dá)激光芯片等智能裝備，符合高新C區(qū)產(chǎn)業(yè)定①供水規(guī)劃高新區(qū)規(guī)劃主要依托于錫東水廠供水，取水水源為太湖。錫東水廠規(guī)劃供水能力90萬(wàn)m3/d,現(xiàn)狀供水能力60萬(wàn)m3/d。本項(xiàng)目周?chē)┧艿酪呀?jīng)鋪設(shè)完畢，滿足供水要求。本項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期用水由城市自來(lái)水網(wǎng)接入。②排水工程高新區(qū)采用雨污分流排水體制，污水分片區(qū)集中收集處理排放。高新區(qū)設(shè)置3座污水處理廠，分別為新城水處理廠、新城水處理二廠(工業(yè)污水廠)、梅村水處理廠。新城水處理廠服務(wù)范圍：北至太湖大道，北至太湖大道，南至碩放機(jī)場(chǎng) (含華友工業(yè)園),西至京杭運(yùn)河，東至滬寧高速(除南站片區(qū)和旺莊路片區(qū)蘆村污水處理廠收水范圍),包括高新產(chǎn)業(yè)A區(qū)全部范圍，總服務(wù)面積共計(jì)65平方公里。新城水處理二廠(工業(yè)水處理廠)服務(wù)范圍：設(shè)置專(zhuān)管收集新城水處理廠服務(wù)范圍內(nèi)的海力士、華虹、華潤(rùn)等大型工業(yè)企業(yè)廢水。梅村水處理廠服務(wù)范圍：東、北至新吳區(qū)區(qū)界，西、南至滬寧高速公路；包括商業(yè)配套區(qū)滬寧高速公路以東片區(qū)、高新產(chǎn)業(yè)B區(qū)全部范圍和高新產(chǎn)業(yè)C區(qū)全部范圍，總服務(wù)面積約76.6平方公里。本項(xiàng)目位于高新C區(qū)，屬于梅村水處理廠服務(wù)范圍內(nèi)。運(yùn)營(yíng)期生活污水及生產(chǎn)廢水依托市政公用衛(wèi)生設(shè)施接入市政管網(wǎng)，最終排入梅村污水處理廠。規(guī)劃新建500kV無(wú)錫南變、2座220kV變電站和3座110kV變電站，增強(qiáng)電網(wǎng)服務(wù)保障能力，構(gòu)建結(jié)構(gòu)完善、技術(shù)領(lǐng)先、高效互動(dòng)、靈活可靠的現(xiàn)代化智能電網(wǎng)。本項(xiàng)目周?chē)娎|管道已經(jīng)鋪設(shè)完畢，滿足供電要求。④燃?xì)夤こ谈咝聟^(qū)的天然氣主要有兩大氣源：一是中石油天然氣有限公司的“西氣”,通過(guò)錫東門(mén)站從東側(cè)給無(wú)錫供應(yīng)天然氣；另一是江蘇省天然氣投資開(kāi)發(fā)有限公司的“川氣”,通過(guò)江陰青陽(yáng)門(mén)站從北側(cè)給無(wú)錫高壓管網(wǎng)，經(jīng)碩放調(diào)壓站、新區(qū)調(diào)壓站等調(diào)壓設(shè)施調(diào)壓后供應(yīng)高新區(qū)用氣。6天然氣輸配系統(tǒng)主要由門(mén)站、LNG儲(chǔ)配站、高近期規(guī)劃擬從市區(qū)西北側(cè)中石油西氣東輸線與如東LNG輸氣線交匯的芙蓉分輸站開(kāi)口接氣，建設(shè)玉祁門(mén)站，作為無(wú)錫西氣第二氣源，進(jìn)氣壓力為6.3MPa;遠(yuǎn)期規(guī)劃擬千米，上游氣源引入管1.0千米，高壓外環(huán)輸氣干線7.3千米，高壓二環(huán)5.2千米，特殊用戶(hù)專(zhuān)線15.1千米。(5)供熱工程高新區(qū)規(guī)劃實(shí)行集中供熱，規(guī)劃及現(xiàn)狀公共熱源主要為友聯(lián)熱電(高新區(qū)內(nèi))及藍(lán)天燃機(jī)(高新區(qū)外),區(qū)域內(nèi)熱網(wǎng)聯(lián)網(wǎng)聯(lián)供，提升熱網(wǎng)供應(yīng)保障能力。友聯(lián)熱電：維持2臺(tái)100t/h次高溫次高壓循環(huán)流化床鍋爐、2臺(tái)150t/h高溫次高壓循環(huán)流化床鍋爐、2臺(tái)15MW抽凝式汽輪發(fā)電機(jī)組、1臺(tái)24MW背壓式汽輪發(fā)電機(jī)組及1臺(tái)12MW背壓式汽輪發(fā)電機(jī)組現(xiàn)狀不變，額定供熱能力400t/h,最大供熱能力藍(lán)天燃機(jī)：現(xiàn)狀擁有2臺(tái)200MW級(jí)燃?xì)?蒸汽聯(lián)合循環(huán)熱電聯(lián)產(chǎn)機(jī)組，規(guī)劃1臺(tái)燃?xì)?蒸汽聯(lián)合循環(huán)機(jī)組進(jìn)行抽改背，2套機(jī)組額定供熱能力提高至290t/h,機(jī)組最大供熱能力提高至340t/h,配套建設(shè)1臺(tái)75t/h燃?xì)鈶?yīng)急鍋爐，全廠最大供熱415t/h。(1)規(guī)劃環(huán)評(píng)及審查意見(jiàn)的相符性分析本項(xiàng)目與規(guī)劃環(huán)評(píng)《無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2022-2035年)環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》的審查意見(jiàn)(蘇環(huán)審[2024]9號(hào))相符性見(jiàn)表1-2。吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠7治、生態(tài)修復(fù)。嚴(yán)格落實(shí)企業(yè)衛(wèi)生防護(hù)距離要求，企業(yè)衛(wèi)生防護(hù)距離內(nèi)不得規(guī)劃布局敏感目標(biāo)。加強(qiáng)工業(yè)區(qū)與居住區(qū)生活空間的防護(hù)，推進(jìn)區(qū)內(nèi)空間隔離帶建設(shè)，確保高新生防護(hù)距離內(nèi)不得新建學(xué)2嚴(yán)守環(huán)境質(zhì)量底線，實(shí)施污染物排放限值限量管理。落實(shí)國(guó)家和江蘇省關(guān)于大氣、水、土壤、噪聲污染防治、限值限量管理相關(guān)要求，建立以環(huán)境質(zhì)量為核心的污染物到IV類(lèi)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，京杭運(yùn)河(江南運(yùn)河)穩(wěn)定達(dá)到Ⅲ類(lèi)水本項(xiàng)目位于高新區(qū)C區(qū)，各后，對(duì)周?chē)绊戄^小。3境準(zhǔn)入清單，落實(shí)《報(bào)告書(shū)》提出的生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入要物排放控制、高效治理設(shè)施建設(shè)，落實(shí)精細(xì)化管控要求，有效防治集成電路、智能裝備等產(chǎn)業(yè)的酸霧、異味污引進(jìn)項(xiàng)目的生產(chǎn)工藝、設(shè)備，以及單位產(chǎn)品水耗、能耗、企業(yè)清潔生產(chǎn)和污染治理水平。根據(jù)國(guó)家和地方碳減排、本項(xiàng)目采取有效的污染防氣和工藝尾氣分別經(jīng)配套純廢水和初期雨水一并通過(guò)WS-01排放口接入梅村污污水處理站處理過(guò)后通過(guò)4放。加強(qiáng)高新區(qū)固體廢物資源化、減量化、無(wú)害化處理，本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)用現(xiàn)有廠房現(xiàn)有雨污水管水經(jīng)污水處理站處理過(guò)后通過(guò)WS-02排放口接入梅村含砷廢水處理系統(tǒng)處理后5表水、地下水、土壤、底泥等環(huán)境要素的長(zhǎng)期跟蹤監(jiān)測(cè)與管理。結(jié)合區(qū)域跟蹤監(jiān)測(cè)情況，動(dòng)態(tài)調(diào)整高新區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)點(diǎn)水污染物(COD、氨氮、總氮、總磷、氟化物)在線8依法公開(kāi)新污染物信息。指導(dǎo)區(qū)內(nèi)企業(yè)規(guī)范安裝在線監(jiān)測(cè)設(shè)備并聯(lián)網(wǎng)，推進(jìn)區(qū)內(nèi)排污許可重點(diǎn)管理單位自動(dòng)監(jiān)測(cè)全托監(jiān)測(cè)工作。積極推進(jìn)氯化物污染物排放及水環(huán)境質(zhì)量的化物自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)并聯(lián)網(wǎng)。6完善高新區(qū)突發(fā)水污染事件風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)，確?！靶∈鹿什怀鰪S區(qū)、大事故不出園區(qū)”。加強(qiáng)環(huán)境應(yīng)急基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，配備充足的應(yīng)急裝備物資，提高環(huán)境應(yīng)急救援能力。建立健全環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估和應(yīng)急預(yù)案制度，定期開(kāi)展環(huán)境應(yīng)急演練，完善環(huán)境應(yīng)急響應(yīng)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，提升應(yīng)急實(shí)戰(zhàn)水平。建立突發(fā)環(huán)境事件隱患排查長(zhǎng)效機(jī)制，定期排查突發(fā)環(huán)境事件隱患，建立隱患清單并督促整改到位，保障區(qū)域環(huán)境安全。重點(diǎn)關(guān)注并督促指導(dǎo)涉重金屬企業(yè)構(gòu)筑“風(fēng)險(xiǎn)單元一管網(wǎng)、應(yīng)急池一廠界”環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控體系，嚴(yán)防本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)已建立環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估和應(yīng)急預(yù)案制度。2.1產(chǎn)業(yè)政策的相符性分析對(duì)照《國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類(lèi)》(GB/T十八信息產(chǎn)業(yè)”中“第22條半導(dǎo)體、光電子器件、新型電子元器件(片式元器件、電高速通信電路板、柔性電路板、高性能覆銅板等)等電子產(chǎn)品用材料”;不屬于《江蘇省產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制、淘汰和禁止目錄(2018年本)》中的限制、淘汰和禁止類(lèi)；不屬于《無(wú)錫市轉(zhuǎn)型發(fā)展投資指導(dǎo)目錄》(錫發(fā)改資〔2013)5號(hào)〕、《無(wú)錫新區(qū)轉(zhuǎn)型發(fā)展投資指導(dǎo)目錄》(錫新管經(jīng)發(fā)[2013]56號(hào))、《江蘇省太湖流域禁止和限制的產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品目錄(2024年本)》中的限制類(lèi)和淘汰類(lèi)，故本項(xiàng)目建設(shè)與產(chǎn)業(yè)政策相符。本項(xiàng)目不屬于《環(huán)境保護(hù)綜合名錄》(2021年版)中“高污染、高環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)產(chǎn)品名錄”,亦不屬于高耗能行業(yè)；符合《關(guān)于加強(qiáng)高耗能、高排(1)生態(tài)紅線9本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠房，綜合《江蘇省國(guó)家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》(蘇政發(fā)[2018]74號(hào))或《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃(蘇政發(fā)[2020]1號(hào))》,本項(xiàng)目不涉及無(wú)錫市范圍內(nèi)的國(guó)家級(jí)或省級(jí)陸域生態(tài)保護(hù)紅線區(qū)域。具體情況如下表。生態(tài)紅線名紅線區(qū)域范圍生態(tài)太湖(無(wú)錫市區(qū))重要濕地西南生態(tài)空間管控區(qū)域面積429.47km2系統(tǒng)保護(hù)無(wú)錫梁鴻國(guó)家濕地公園東南國(guó)家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線：無(wú)錫梁鴻國(guó)家濕地公園總體規(guī)劃中確定的范圍(包括濕地保育區(qū)和恢復(fù)重建區(qū)等),0.47平方公里；生態(tài)空間管控區(qū)域：梁鴻濕地、湖蕩所在系統(tǒng)保護(hù)由上表可知，本項(xiàng)目所在地不涉及國(guó)家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線區(qū)域、生態(tài)空間管控區(qū)域，建設(shè)項(xiàng)目租用現(xiàn)有廠房、生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)也不涉及上述生態(tài)紅線區(qū)域，故本項(xiàng)目建設(shè)符合《江蘇省國(guó)家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線規(guī)劃》(蘇政發(fā)[2018]74號(hào))以及《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃(蘇政發(fā)[2020]1號(hào))》中的相關(guān)要求。根據(jù)《無(wú)錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案》,結(jié)合區(qū)域發(fā)展格局、生態(tài)環(huán)境問(wèn)題及生態(tài)環(huán)境目標(biāo)要求，劃定三類(lèi)環(huán)境管控單元，分為優(yōu)先保護(hù)單元、重點(diǎn)管控單元和一般管控單元三類(lèi)，實(shí)施分類(lèi)管控。優(yōu)先保護(hù)單元，指以生態(tài)環(huán)境保護(hù)為主的區(qū)域，包括生態(tài)保護(hù)紅線和生態(tài)空間管控區(qū)域。重點(diǎn)管控單元，指涉及水、大氣、土壤、自然資源等資源環(huán)境要素重點(diǎn)管控的區(qū)域，主要包括人口密集的中心城區(qū)和各級(jí)各類(lèi)產(chǎn)業(yè)集聚的工業(yè)園區(qū)(工業(yè)集中區(qū))。一般管控單元，指除優(yōu)先保護(hù)單元、重點(diǎn)管控單元以外的其他區(qū)域，銜接街道(鄉(xiāng)鎮(zhèn))邊界形成管控單元。以環(huán)境管控單元為基礎(chǔ)，從空間布局約束、污染物排放管控、環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控和資源利用效率等方面明確準(zhǔn)入、限制和禁止的要求，建立無(wú)錫市市域生態(tài)環(huán)境管控要求和194個(gè)環(huán)境管控單元的生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單。本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)，位于高新C區(qū)規(guī)劃范圍內(nèi)，為重點(diǎn)管控單元，但項(xiàng)目不占用劃定的生態(tài)紅線區(qū)域，根據(jù)《無(wú)錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案》附件5,本項(xiàng)目與所在環(huán)境管控單元生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單相符性見(jiàn)表1-4。無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)區(qū)園區(qū)空間布局約束(1)高新區(qū)A區(qū)禁止新建排放硫酸(2)禁止新建、改建、擴(kuò)建化學(xué)制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、形除外。(3)禁止引進(jìn)高污染、高能耗、資(4)禁止引進(jìn)純電鍍加工類(lèi)項(xiàng)目；禁止建設(shè)新增鉛、汞、鉻、砷、鎘、鎳、銅重金屬污染排放總量的項(xiàng)目。(5)禁止新增化工項(xiàng)目。(6)限制高毒農(nóng)藥項(xiàng)目。(7)禁止引進(jìn)不符合所在工業(yè)園區(qū)(8)禁止建設(shè)環(huán)境污染嚴(yán)重、污染(1)本項(xiàng)目位于高新C區(qū)；(2)本項(xiàng)目屬于戰(zhàn)略性新興產(chǎn)含氮、磷的生產(chǎn)廢水按《江蘇省(3)本項(xiàng)目不屬于高污染、高能耗、資源性(“兩高一資”)項(xiàng)(4)本項(xiàng)目無(wú)鉛、汞、鉻、鎘、鎳、銅重金屬污染排放，不新增區(qū)域內(nèi)污染物排放總量；本項(xiàng)目涉及砷重金屬，根據(jù)《無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)(2022-2035年)環(huán)境影響報(bào)告技型、主導(dǎo)型等產(chǎn)業(yè)確需增加最低排放強(qiáng)度和排放濃度)”,長(zhǎng)產(chǎn)生的含砷廢氣經(jīng)設(shè)備配套POU凈化裝置(二級(jí)干式吸附)處理后通過(guò)25米排氣筒排放，含砷廢水經(jīng)MVR濃縮處理后(達(dá)到未檢出)回用于工藝?yán)鋮s水；(5)本項(xiàng)目不屬于化工項(xiàng)目；(6)本項(xiàng)目不屬于高毒農(nóng)藥項(xiàng)(7)高新區(qū)規(guī)劃主導(dǎo)功能為電目為光通訊和激光雷達(dá)激光芯片生產(chǎn)項(xiàng)目，符合開(kāi)發(fā)區(qū)產(chǎn)業(yè)定(8)本項(xiàng)目產(chǎn)生的各類(lèi)污染物經(jīng)處理后達(dá)標(biāo)排放，在新吳區(qū)內(nèi)污染物本項(xiàng)目水污染物總量指標(biāo)已納控效措施減少主要污染物排放總量，確保區(qū)域環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善。(2)園區(qū)污染物排放總量不得突破入梅村水處理廠的指標(biāo)計(jì)劃內(nèi)；險(xiǎn)防控建立健全高新區(qū)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控體系，建設(shè)單位擬制定詳細(xì)的環(huán)境管理及環(huán)境檢測(cè)計(jì)劃。資源開(kāi)發(fā)效率工業(yè)用水量不高于3322萬(wàn)噸/年。(2)土地資源總量不高于55.0平方公里。(3)單位工業(yè)增加值綜合能耗0.376噸標(biāo)煤/萬(wàn)元。煤炭及其制品。2、石油焦、油頁(yè)巖、原油、重油、渣油、煤焦油。使用，本項(xiàng)目不新增用地，本項(xiàng)目用水量74399噸/年，工業(yè)增加值綜合能耗0.11噸標(biāo)煤/萬(wàn)元。因此符合江蘇省省域生態(tài)環(huán)境管?chē)?guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境管控單元的生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單要求。(2)環(huán)境質(zhì)量底線游500m、下游1000m處兩個(gè)斷面COD、氨氮、總磷、總氮等監(jiān)測(cè)值能滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)Ⅲ類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)要求。項(xiàng)目所在地聲環(huán)境質(zhì)量滿足《聲環(huán)境質(zhì)量(3)資源利用上線本項(xiàng)目屬于非資源消耗型項(xiàng)目，本項(xiàng)目主要從事高端光芯片晶圓/光器件和模塊的制造、研發(fā)，位于無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)，區(qū)域內(nèi)土地、能源、水等資源的承載力相容性較好。項(xiàng)目增建設(shè)用地不在省、市禁止、限制用地項(xiàng)目目錄的范圍內(nèi)。本項(xiàng)目所使用的能源主要為水、電能，物耗以及能耗水平較低，不會(huì)超過(guò)資源利用上線。本項(xiàng)目用水水源來(lái)自市政管網(wǎng)；用電由市政供電系統(tǒng)供電，能滿足本項(xiàng)目的供電需求。(4)環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單本項(xiàng)目位于無(wú)錫市新吳區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)，根據(jù)《無(wú)錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案》,位于無(wú)錫市新吳區(qū)高新區(qū)環(huán)境管控單元內(nèi)，屬重點(diǎn)管控單元。結(jié)合方案中表7中無(wú)錫市新吳區(qū)“三線一單”環(huán)境準(zhǔn)入清單——無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)的內(nèi)容以及《無(wú)錫國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2022-2035年)環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》中高新區(qū)環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單的要求，本項(xiàng)目相符性分析詳見(jiàn)下表：內(nèi)容境境量總體保持穩(wěn)定制,廢氣排放總量削減18%、廢水排放總量削減15%、危廢產(chǎn)生量削減18%《無(wú)錫國(guó)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2022-20影響報(bào)告區(qū)生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單的要求(試行，2022年版)及江蘇省實(shí)施細(xì)則、《太突的項(xiàng)目本項(xiàng)目符合國(guó)家和地方產(chǎn)業(yè)政策；的工業(yè)氣體生產(chǎn)項(xiàng)目除外)本項(xiàng)目不屬于化工生產(chǎn)項(xiàng)目禁止建設(shè)生產(chǎn)和使用高VOCs含量的涂料、油代的項(xiàng)目需提供不可替代的論證說(shuō)明)本項(xiàng)目不涉及使用涂劑聚氨酯類(lèi)中其他類(lèi)限13難。本項(xiàng)目做為清洗劑、物含量限值》(GB38508-2020)表1中有機(jī)溶劑清洗劑含量限值。禁止引入單純電鍍加工項(xiàng)目本項(xiàng)目不涉及電鍍加工；放濃度)鎳、銅重金屬污染排放，高新A區(qū)嚴(yán)格涉酸霧排放項(xiàng)目準(zhǔn)入遏制建材、鋼鐵等“兩高”項(xiàng)目盲目發(fā)展。等“兩高”項(xiàng)目空間布局約束(1)嚴(yán)格落實(shí)《江蘇省禁止用地項(xiàng)目目錄(2013年本)》、《江蘇省限制用地項(xiàng)目目或要求；本項(xiàng)目為工業(yè)用地，不屬于禁止及限制用地，本項(xiàng)發(fā)車(chē)間周邊50米范圍形成的包絡(luò)線，衛(wèi)生防護(hù)距離范圍內(nèi)無(wú)環(huán)境敏感目標(biāo)區(qū)、學(xué)校、醫(yī)院等敏感目標(biāo)；污染物控(1)環(huán)境質(zhì)量：2025年，PM2.5、臭氧、二氧(2)對(duì)于國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)中已規(guī)定大氣污染物(3)嚴(yán)格新建項(xiàng)目總量前置審批，新建項(xiàng)目(2)建立突發(fā)水污染事件應(yīng)急防范體系，完位擬配備必要的風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施和應(yīng)急物資，企業(yè)已按要求編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急(1)園區(qū)單位工業(yè)增加值新鮮水耗≤6立方(2)單位工業(yè)增加值綜合能耗≤0.15噸標(biāo)煤小時(shí)鍋爐以外燃用的煤炭及其制品；(2)石油(4)禁止開(kāi)采地下水。污染嚴(yán)重項(xiàng)目，同時(shí)已按要求落實(shí)污染物排放總境分區(qū)管(1)高新區(qū)A區(qū)禁止新建排放硫酸霧、鹽酸(2)禁止新建、改建、擴(kuò)建化學(xué)制漿造紙、(3)禁止引進(jìn)高污染、高能耗、資源性(“兩(4)禁止引進(jìn)純電鍍加工類(lèi)項(xiàng)目；禁止建設(shè)(1)本項(xiàng)目位于高新C區(qū)；(2)本項(xiàng)目不屬于化學(xué)制放含氮、磷的廢水；(3)本項(xiàng)目不屬于高污鎘、鎳、銅重金屬排放，國(guó)家高新開(kāi)發(fā)區(qū)(5)禁止新增化工項(xiàng)目。(6)限制高毒農(nóng)藥項(xiàng)目。(7)禁止引進(jìn)不符合所在工業(yè)園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位(8)禁止建設(shè)環(huán)境污染嚴(yán)重、污染物排放總器件制造，符合電子信息化裝置(二級(jí)干式吸附)處理后通過(guò)25米排氣筒排處理后(達(dá)到未檢出)回用于工藝?yán)鋮s水；(5)本項(xiàng)目不屬于化工、農(nóng)藥類(lèi)項(xiàng)目；控(1)嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)(2)園區(qū)污染物排放總量不得突破環(huán)評(píng)報(bào)告位已采取必要的風(fēng)險(xiǎn)防范(1)用水總量不高于5144萬(wàn)噸/年。工業(yè)用(2)土地資源總量不高于55.0平方公里。建總量不高于26.57平方公里。(3)單位工業(yè)增加值綜合能耗0.376噸標(biāo)煤/能耗等遠(yuǎn)小于前述限值；用清潔能源電能，不使用(1)本項(xiàng)目與太湖流域保護(hù)區(qū)的區(qū)位關(guān)系根據(jù)《江蘇省政府辦公廳關(guān)于公布江蘇省太湖流域三級(jí)保護(hù)區(qū)范圍的通知》(蘇政辦發(fā)〔2012〕221號(hào)),本項(xiàng)目位于太湖流域三級(jí)保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)。(2)《太湖流域管理?xiàng)l例》相關(guān)要求《太湖流域管理?xiàng)l例》(中華人民共和國(guó)國(guó)務(wù)院令第604號(hào)，2011年11月1日起施行)中與本項(xiàng)目有關(guān)的條例如下。督檢查。第二十九條新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河口1萬(wàn)米上溯至5萬(wàn)米河道岸線內(nèi)及其岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，禁止下列行為：(一)新建、擴(kuò)建化工、醫(yī)藥生產(chǎn)項(xiàng)目；(二)新建、擴(kuò)建污水集中處理設(shè)施排污口以外的排污口；(三)擴(kuò)大水產(chǎn)養(yǎng)殖規(guī)模。第三十條太湖岸線內(nèi)和岸線周邊5000米范圍內(nèi)，淀山湖岸線內(nèi)和岸線周邊2000米范圍內(nèi)，太浦河、新孟河、望虞河岸線內(nèi)和岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，其他主要入太湖河道自河口上溯至1萬(wàn)米河道岸線內(nèi)及其岸線兩側(cè)各1000米范圍內(nèi)，禁止下列行(一)設(shè)置劇毒物質(zhì)、危險(xiǎn)化學(xué)品的貯存、輸送設(shè)施和廢物回收?qǐng)?、垃圾?chǎng)；(二)設(shè)置水上餐飲經(jīng)營(yíng)設(shè)施；(三)新建、擴(kuò)建高爾夫球場(chǎng)；(四)新建、擴(kuò)建畜禽養(yǎng)殖場(chǎng)；(五)新建、擴(kuò)建向水體排放污染物的建設(shè)項(xiàng)目；(六)本條例第二十九條規(guī)定的行為。(3)《江蘇省太湖水污染防治條例》根據(jù)《江蘇省太湖水污染防治條例》(江蘇省第十三屆人民代表大會(huì)常務(wù)委員會(huì)第二十五次會(huì)議第四次修正),太湖流域一、二、三級(jí)保護(hù)區(qū)禁止下列行為：“新建、改“前款規(guī)定中新建、改建、擴(kuò)建以及技術(shù)改造項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告書(shū)，除由國(guó)務(wù)院(4)《江蘇省太湖流域建設(shè)項(xiàng)目重點(diǎn)水污染物排放總量指標(biāo)減量替代管理暫行辦根據(jù)《江蘇省太湖流域建設(shè)項(xiàng)目重點(diǎn)水污染物排放總量法》(蘇政辦發(fā)〔2018〕44號(hào)),太湖流域二、三級(jí)保護(hù)區(qū)內(nèi)，在工業(yè)集聚區(qū)新建、改污染物排放總量應(yīng)當(dāng)從減量替代指標(biāo)中取得，且按照不低于該項(xiàng)目新增年排放總量的1.1倍實(shí)施減量替代。戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)改建項(xiàng)目應(yīng)當(dāng)實(shí)現(xiàn)減少。處理站預(yù)處理達(dá)到接管標(biāo)準(zhǔn)后接管梅村水處理廠。根據(jù)無(wú)錫高新區(qū)(無(wú)錫市新吳區(qū))發(fā)展和改革委員會(huì)于2023年10月30日出具的《關(guān)于認(rèn)定無(wú)錫市華辰新美半導(dǎo)體有限公司光通訊和激光雷達(dá)激光芯片F(xiàn)AB量產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目屬于江蘇省太湖流域戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)類(lèi)別的復(fù)函》(錫新發(fā)改函(2023)23號(hào)),本項(xiàng)目屬于《江蘇省太湖流域戰(zhàn)略性新元器件(片式元器件、頻率元器件、混合集成電路、電力電子器件、光電子器件、儲(chǔ)能路板等)的開(kāi)發(fā)與制造?！表?xiàng)目屬于江蘇省太湖流域戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)類(lèi)別。本項(xiàng)目的氨取得，且不低于本項(xiàng)目新增年排放總量的1.1倍實(shí)施減量替代。本項(xiàng)目租用無(wú)錫星洲工業(yè)園區(qū)開(kāi)發(fā)股份有限公司在江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)高新區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠房5420.98m2,項(xiàng)目所在園區(qū)周邊均為高新區(qū)的生產(chǎn)用地。本項(xiàng)目廠房北側(cè)隔為空氣化工產(chǎn)品(無(wú)錫)有限公司，南側(cè)為奧林燃燒器(無(wú)錫)有限公司，西500米無(wú)環(huán)境敏感目標(biāo)。(1)本項(xiàng)目對(duì)外環(huán)境影響本項(xiàng)目500米范圍內(nèi)均為工業(yè)企業(yè)和城市道路，本項(xiàng)目廢氣通過(guò)治理后能實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)發(fā)/生產(chǎn)車(chē)間周邊50米范圍包絡(luò)線設(shè)置衛(wèi)生防護(hù)距離。該防護(hù)距離范圍內(nèi)無(wú)環(huán)境敏感目標(biāo)，能夠滿足要求。綜上所述，本項(xiàng)目的建(2)外環(huán)境對(duì)本項(xiàng)目影響污染類(lèi)等可能對(duì)本項(xiàng)目產(chǎn)生影響的企業(yè)及設(shè)施，2.7與《江蘇省揮發(fā)性有機(jī)物清潔原料替代工作方案》(蘇大氣辦〔2021〕2號(hào))相符性分析《江蘇省揮發(fā)性有機(jī)物清潔原料替代工作方案》(蘇大氣辦〔2021)2號(hào)〕中要求：符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)規(guī)定的水基型、本體型膠粘劑產(chǎn)品。若確實(shí)無(wú)法達(dá)到上述要求，應(yīng)提供相應(yīng)的論證說(shuō)明。使用的涂料、清洗劑、膠粘劑、油墨中VOCs含量的限值應(yīng)符合《船舶涂料中有害物質(zhì)限量》(GB38469-2019)、《木器涂料中有害物質(zhì)限量》(GB18581-2020)、《車(chē)輛9-2020)、《工業(yè)防護(hù)涂料中有害物質(zhì)限量》(GB30981-2020)、《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)、《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)、《油墨中可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量的限值》(GB38507-2020)中的限值要求?！北卷?xiàng)目清潔原料的相符性分析：本項(xiàng)目不涉及涂料，涉及清洗劑、膠粘劑的使用，具體見(jiàn)下表。項(xiàng)目丙酮丙酮99.99%丙酮?jiǎng)┗衔锵蘖俊?GB38508-2020)表1清洗發(fā)性有機(jī)物限值要求否 (未配比)符合11氯乙烯、四氯乙烯總和不含甲醛不含-苯、甲苯、乙苯和二甲苯總和不含咯烷酮咯烷酮?jiǎng)┚幪?hào)：SHC201化合物限量》(GB38508-2020)表1清洗發(fā)性有機(jī)物限值要求否 (未配比)符合氯乙烯、四氯乙烯總和不含2甲醛不含苯、甲苯、乙苯和二甲苯總和不含劑編號(hào)：SHC201化合物限量》(GB38508-2020)表1清洗發(fā)性有機(jī)物限值要求否 (未配比)符合氯乙烯、四氯乙烯總和不含3甲醛不含-苯、甲苯、乙苯和二甲苯總和不含劑化合物限量》(GB38508-2020)表1清洗發(fā)性有機(jī)物限值要求否 (未配比)符合氯乙烯、四氯乙烯總和不含4甲醛不含苯、甲苯、乙苯和二甲苯總和不含5混合環(huán)氧氟樹(shù)脂單體65-75%、乙烯基環(huán)己烷烯二本體型化合物限量》(GB33372-2020)表3是(未配比配比)符合10-20%、己烷5-15%、銻的聚他。)量限值中“其他類(lèi)”根據(jù)上表可知：本項(xiàng)目使用的UV膠符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量GB33372-2020》表3中本體型膠粘劑“其他類(lèi)”限值：50g/kg,符合文件要求。本項(xiàng)目使用的清洗劑、去蠟液和去膠液不屬于水基、半水基清洗劑產(chǎn)品，應(yīng)提供相應(yīng)的論證說(shuō)明。根據(jù)江蘇省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)《關(guān)于無(wú)錫市華辰新美半導(dǎo)體有限公司光通訊和激光雷達(dá)激光芯片F(xiàn)AB量產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目使用清洗劑、去膠液、去蠟液等材料暫不可替代情況說(shuō)明》:目前企業(yè)完全使用低VOC清洗劑確實(shí)存在困難。在華辰芯光(無(wú)錫)半導(dǎo)體有限公司光通訊和激光雷達(dá)激光芯片F(xiàn)AB量產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目中做為清洗劑、去膠液、去蠟液使用的溶劑(丙酮、異丙醇、乙醇、NMP)暫無(wú)替代方案。使用的溶劑型清洗劑均符合《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)表1中有機(jī)溶劑清洗劑含量限值。為減少對(duì)環(huán)境的污染，建設(shè)單位加強(qiáng)對(duì)清洗、去膠廢氣的末端治理工作，有機(jī)廢氣通過(guò)車(chē)間負(fù)壓進(jìn)行收集，捕集率能達(dá)到98%,采用二級(jí)活性炭吸附裝置進(jìn)行處理，確保處理效率能達(dá)到90%以上。建設(shè)單位承諾：若市場(chǎng)一旦有可替代原料，盡早在滿足工藝質(zhì)量要求的前提下，使用低VOC的清洗劑進(jìn)行替代以達(dá)到環(huán)保要求。綜上，本項(xiàng)目符合《江蘇省揮發(fā)性有機(jī)物清潔原料替代工作方案》的相關(guān)要求。1劑型涂料、油墨、膠粘劑等項(xiàng)目。企業(yè)完全使用低VOC清洗劑確實(shí)存在困難。在華辰芯光(無(wú)錫)半導(dǎo)體有限公司光通訊和為清洗劑、去膠液、去蠟液使用的溶劑(丙酮、也在不斷的對(duì)清洗工藝進(jìn)行研發(fā)及提升，盡早符合《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)表1中有機(jī)溶劑清洗2各地要組織管理、執(zhí)法及企業(yè)人員宣貫加強(qiáng)化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)、危廢倉(cāng)庫(kù)、裝卸區(qū)等區(qū)域的運(yùn)、廢液收集搬運(yùn)和暫存等過(guò)程中嚴(yán)格加蓋密閉，避免無(wú)組織擴(kuò)散。本項(xiàng)目廠區(qū)內(nèi)VOCs執(zhí)(GB37822-2019)表A.1中特別排放限值要求。3高VOCs治理效率。組織專(zhuān)家對(duì)重點(diǎn)企施工程設(shè)計(jì)不規(guī)范、設(shè)施選型不合理、治污設(shè)施簡(jiǎn)易低效(無(wú)效)導(dǎo)致排放濃度與去除效率不達(dá)標(biāo)的企業(yè)，提出升級(jí)改造要求，6月底前完成改造并通過(guò)屬停。VOCs排放量大于等于2千克/小時(shí)的企業(yè)，除確保排放濃度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)外，密閉設(shè)備及有潔凈度要求的密閉車(chē)間內(nèi)進(jìn)行)收集后，采用二級(jí)活性炭吸附處理，處理效率能達(dá)到90%以上?；钚蕴课焦に嚲鶠槌墒煊猩鷳B(tài)管控實(shí)施污染物總量控制，以環(huán)境容量定產(chǎn)業(yè)、區(qū)內(nèi)平衡；實(shí)施氮氧化物(NOx)和VOCs協(xié)同減險(xiǎn)防控強(qiáng)化環(huán)境事故應(yīng)急管理。深化跨部門(mén)、跨區(qū)域環(huán)境應(yīng)急協(xié)調(diào)聯(lián)動(dòng)，分區(qū)域建立環(huán)境應(yīng)急業(yè)的環(huán)境應(yīng)急裝備和儲(chǔ)備物資應(yīng)納入儲(chǔ)備體施和應(yīng)急物資，企業(yè)已編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案。重點(diǎn)區(qū)域 (流生態(tài)環(huán)境管控空間布局約束建、改建、擴(kuò)建化學(xué)制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等治條例》第四十六條規(guī)定的情形除外；2.在畜禽養(yǎng)殖場(chǎng)，禁止新建、擴(kuò)建高爾夫球場(chǎng)、水上游樂(lè)等開(kāi)發(fā)項(xiàng)目以及設(shè)置水上餐飲經(jīng)營(yíng)設(shè)施；3.在太湖流域二級(jí)保護(hù)區(qū)，禁止新建、本項(xiàng)目位于太湖流域三級(jí)器件制造和M7320工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展，屬于戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)(證明見(jiàn)附的生產(chǎn)廢水按《江蘇省太湖管理暫行辦法》要求，在區(qū)域內(nèi)平衡。險(xiǎn)防控液、堿液、劇毒廢渣廢液、含放射性廢渣廢液、含病原體污水、工業(yè)廢渣以及其他廢棄廢水經(jīng)污水處理站處理后通過(guò)WS-02排放口接入梅污水處理站處理后回用于2.10與《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行)》(2022年1月19日)、《<長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南>江蘇省實(shí)施細(xì)則(試行)》相符性分析對(duì)照《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南(試行)》(2022年1月19日),本項(xiàng)目不屬于長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單中的項(xiàng)目，具體見(jiàn)表1-9。表1-9建設(shè)項(xiàng)目長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單管理表1對(duì)照《<長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南>江蘇省實(shí)施細(xì)則(試行)》,本項(xiàng)目不屬于長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單中的項(xiàng)目，具體見(jiàn)表1-10。1禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家和省產(chǎn)業(yè)政策的本項(xiàng)目屬于光電子器件制造、工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展，2對(duì)環(huán)境影響大的農(nóng)藥原藥(化學(xué)合成類(lèi))項(xiàng)目，禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家和省產(chǎn)業(yè)政本項(xiàng)目屬于鼓勵(lì)類(lèi)，符合國(guó)家、3工等產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃的項(xiàng)目，禁止新建獨(dú)立焦4禁止新建、擴(kuò)建國(guó)家《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目止目錄》明確的限制類(lèi)、淘汰類(lèi)、禁止類(lèi)項(xiàng)目，法律法規(guī)和相關(guān)政策明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目，以及明令淘汰的安全生產(chǎn)落后工藝本項(xiàng)目屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2024年本)》中鼓勵(lì)5禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家產(chǎn)能置換要求的本項(xiàng)目屬于光電子器件制造、工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展，2.11與《關(guān)于在環(huán)評(píng)審批階段開(kāi)展“源頭管控行動(dòng)”的工作意見(jiàn)》(錫環(huán)辦〔2021〕142號(hào))的相符性分析內(nèi)容備、原境四替根據(jù)VOC含量檢測(cè)報(bào)告和MSDS,全使用低VOC清洗劑確實(shí)存在困難。液使用的溶劑(丙酮、異丙醇、乙醇、內(nèi)容生產(chǎn)工藝選用的各種涂料、廠房建筑用化合物含量涂料產(chǎn)品技術(shù)要求》(GBT38597-2020)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。設(shè)環(huán)境準(zhǔn)入條件本項(xiàng)目不屬于暫定的“兩高”項(xiàng)目。程中中水回用、物強(qiáng)化項(xiàng)目的節(jié)水設(shè)計(jì)，提高項(xiàng)目中水回本項(xiàng)目晶圓清潔度要求較高，考慮到產(chǎn)品質(zhì)量，本項(xiàng)目為擴(kuò)建項(xiàng)目，清洗廢水經(jīng)處理后回用價(jià)值不大，由污水處理站處理后經(jīng)WS-02接管排放；項(xiàng)目含砷替代管理暫行辦法》進(jìn)行平衡。冷卻水強(qiáng)排水、反滲透(RO)尾水等“清接入雨水口排放。村水處理廠集中處理。強(qiáng)化生產(chǎn)過(guò)程中的物料回收利用，鼓勵(lì)有條件的揮發(fā)性有機(jī)物排放企業(yè)(如印收等技術(shù)實(shí)現(xiàn)物料回用強(qiáng)化固體廢物源頭減量和綜合利用，配套的回收利用設(shè)施必須達(dá)到主生產(chǎn)裝置同樣的設(shè)計(jì)水平和環(huán)保要求，提升回收效率，需外小，回收不具備經(jīng)濟(jì)效益；本項(xiàng)目固體廢物和危險(xiǎn)廢物均委托在本市范圍內(nèi)的相關(guān)單位處置。治污設(shè)率項(xiàng)目審批階段必須征求水、氣、固體等是否已達(dá)到目前上級(jí)要求的最先進(jìn)水用可行性技術(shù)，提高治污設(shè)施的標(biāo)準(zhǔn)和要求，對(duì)于未采用污染防治可行技術(shù)的項(xiàng)目不予受理；鼓勵(lì)采用具備應(yīng)用案例術(shù)。(HJ1031-2019)附表中的可行技根據(jù)前文對(duì)照分析，本項(xiàng)目符合《重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案》的要內(nèi)容治理方案》的要求，對(duì)揮發(fā)性有機(jī)物要有效收集、提高效率，鼓勵(lì)采用吸附、吸收、生物凈化、催化燃燒、蓄熱燃燒等多種治理技術(shù)聯(lián)合應(yīng)用的工藝路線；求，本項(xiàng)目對(duì)有機(jī)廢氣采用二級(jí)活性炭吸附的方式處理，廢氣穩(wěn)定達(dá)標(biāo)并符合的相關(guān)要求。對(duì)于無(wú)組織排放點(diǎn)多、難以有效收集的性有機(jī)物的廢氣進(jìn)行全收集和治理。本項(xiàng)目芯片晶圓生產(chǎn)過(guò)程有機(jī)廢氣均為車(chē)間負(fù)壓收集。產(chǎn)廢水排放口將安裝在線監(jiān)測(cè)。本項(xiàng)目不涉及鍋爐和工業(yè)爐窯。由上表可知，本項(xiàng)目符合《關(guān)于在環(huán)評(píng)審批階段開(kāi)展“源頭管控行動(dòng)”的工作意見(jiàn)》文件要求。2.12本項(xiàng)目與《無(wú)錫市新吳區(qū)生態(tài)文明建設(shè)規(guī)劃》的相符性根據(jù)《無(wú)錫市新吳區(qū)生態(tài)文明建設(shè)規(guī)劃》:無(wú)錫新區(qū)生態(tài)工業(yè)示范區(qū)建設(shè)規(guī)劃已初步形成生態(tài)工業(yè)園區(qū)的運(yùn)行機(jī)制和框架，旨在建設(shè)電子信息、精密機(jī)械等主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)的工業(yè)生態(tài)鏈，提高資源利用效率，遏制新區(qū)能耗、水耗和污染物排放總量快速增長(zhǎng)，改善區(qū)域環(huán)境質(zhì)量，促進(jìn)人居環(huán)境和生態(tài)文化建設(shè)。本項(xiàng)目符合高新區(qū)的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)定位，項(xiàng)目資源利用效率高、能耗和水耗低、污染物排放量小，符合《無(wú)錫市新吳區(qū)生態(tài)文明建設(shè)規(guī)劃》的要求。綜上所述，建設(shè)項(xiàng)目符合國(guó)家、地方產(chǎn)業(yè)政策，項(xiàng)目選址符合區(qū)域總體規(guī)劃，并能夠滿足生態(tài)保護(hù)紅線、環(huán)境質(zhì)量底線以及資源利用上限的要求。綜上，本項(xiàng)目符合上述相關(guān)環(huán)保要求。2.13本項(xiàng)目與《關(guān)于印發(fā)<江蘇省地表水氟化物污染治理工作方案(2023-2025年)>的通知》(蘇污防攻堅(jiān)指辦〔2023)2號(hào)〕的相符性表1-12本項(xiàng)目與《關(guān)于印發(fā)<江蘇省地表水氟化物污染治理工作方案(2023-2025年)>內(nèi)容生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理與冷卻塔排水、內(nèi)容能力能夠與地表水環(huán)境質(zhì)量要求相匹配?？诮尤朊反逦鬯幚韽S；含氟廢水和有機(jī)廢水經(jīng)污水處理站處理后通過(guò)WS-02排放口接入梅村污水處理廠；含砷廢水經(jīng)污水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理后排放，在現(xiàn)有項(xiàng)目?jī)?nèi)平衡，不新增排放總量，且WS-02接管廢水中氟化物濃度達(dá)到《地表水環(huán)境質(zhì)材料等涉氟產(chǎn)業(yè)園，引導(dǎo)涉氟產(chǎn)業(yè)向重點(diǎn)園區(qū)新區(qū)光伏產(chǎn)業(yè)園等示范性園區(qū)。積極推動(dòng)和引導(dǎo)涉氟企業(yè)入園進(jìn)區(qū)，對(duì)現(xiàn)有外依法規(guī)實(shí)施環(huán)111-10-2號(hào)，且符合高新C區(qū)產(chǎn)業(yè)定位。原則上不得設(shè)置入河入海排污口，應(yīng)進(jìn)入具備削減措施，新、改、擴(kuò)建項(xiàng)目應(yīng)嚴(yán)格遵守“增氟化物排放總量控制試點(diǎn)工作。定位。本項(xiàng)目屬于擴(kuò)建項(xiàng)目，廢水中氟化水處理廠集中處理，不涉及入河入海排污口，WS-02排放口氟化物出水濃度優(yōu)于《地1000m處兩個(gè)斷面氟化物均能滿足《地表標(biāo)準(zhǔn)要求。等相關(guān)主管部門(mén)應(yīng)將氟化物削減和控制作為清潔生產(chǎn)的重要內(nèi)容，完善清潔生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)體系，替代及含氟廢酸資源化利用等有利于氟化物削廢水產(chǎn)生。企業(yè)是否存在無(wú)證排污、偷排直排、稀釋排放、含氟廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后接管梅村水處理活污水分類(lèi)收集、分質(zhì)處理。新建企業(yè)含氟廢含氟廢水與生活污水分類(lèi)分質(zhì)處理，分別(GB3838-2002)中Ⅲ類(lèi)地表水環(huán)境質(zhì)量?jī)?nèi)容管城鎮(zhèn)污水集中收集處理設(shè)施的須組織排查評(píng)的須經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后方可接入。關(guān)要求，督促企業(yè)依法申領(lǐng)排污許可證或填寫(xiě)準(zhǔn)要求及采取的污染控制措施。技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019)中10、加強(qiáng)監(jiān)測(cè)監(jiān)控。結(jié)合工業(yè)園區(qū)限值限量管極推進(jìn)涉氟污水處理廠及涉氟企業(yè)雨水污水排放口、部分重點(diǎn)國(guó)省考斷面安裝氟化物自動(dòng)監(jiān)實(shí)時(shí)監(jiān)控。強(qiáng)化對(duì)重點(diǎn)時(shí)期、重點(diǎn)區(qū)域、重點(diǎn)置。到2023年底，涉氟污水處理廠和部分重點(diǎn)國(guó)省考斷面試點(diǎn)安裝氟化物在線監(jiān)控裝置并聯(lián)網(wǎng)；到2024年底，涉氟重點(diǎn)企業(yè)全面安裝氟化物在線監(jiān)測(cè)裝置，并與環(huán)保部門(mén)聯(lián)網(wǎng)。由上表可知，本項(xiàng)目符合《關(guān)于印發(fā)<江蘇省地表水氟化物污染治理工作方案(2023-2025年)>的通知》文件要求。2.14本項(xiàng)目與《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)重金屬污染防控的意見(jiàn)》(環(huán)固體〔2022〕17號(hào))的相符性是否1鉛、汞、鎘、鉻、砷、鉈和銻，并對(duì)鉛、汞、鎘、點(diǎn)區(qū)域。本項(xiàng)目無(wú)鉛、汞、鉻、鎘、鎳、是否2可重點(diǎn)管理的企業(yè)，排污許可證應(yīng)當(dāng)明確重金屬污本項(xiàng)目為擴(kuò)建項(xiàng)目，建成后將依法申請(qǐng)排污許可證，明確重金屬度、許可排放量等。3環(huán)評(píng)、規(guī)劃環(huán)評(píng)和行業(yè)環(huán)境準(zhǔn)入管控要求。重點(diǎn)區(qū)金屬污染物排放“減量替代”原則，減量替代比例不低于1.2:1;其他區(qū)域遵循“等量替代”原則。建設(shè)單位在提交環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件時(shí)應(yīng)明確重點(diǎn)重的，各級(jí)生態(tài)環(huán)境部門(mén)不得批準(zhǔn)相關(guān)環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件?？偭縼?lái)源原則上應(yīng)是同一重點(diǎn)行業(yè)內(nèi)企業(yè)削減的重點(diǎn)重金屬污染物排放量，當(dāng)同一重點(diǎn)行業(yè)內(nèi)企業(yè)削減量無(wú)法滿足時(shí)可從其他重點(diǎn)行業(yè)調(diào)劑。嚴(yán)“三線一單”、產(chǎn)業(yè)政策、區(qū)域管控要求。涉及砷化氫廢氣排廢水經(jīng)MVR濃縮處理后回用于工藝?yán)鋮s設(shè)備。4依法推動(dòng)落后產(chǎn)能退出。根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》《限期淘汰產(chǎn)生嚴(yán)重污染環(huán)境的工業(yè)固體廢物的落后生產(chǎn)工藝設(shè)備名錄》等要求，推動(dòng)依法淘態(tài)環(huán)境保護(hù)等相關(guān)法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，推動(dòng)經(jīng)整改仍達(dá)不到要求的產(chǎn)能依法依規(guī)關(guān)閉退出。區(qū)轉(zhuǎn)移。禁止新建用汞的電石法(聚)氯乙烯生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)園區(qū)。廣東、江蘇、遼寧、山東、河北等省份加快推進(jìn)專(zhuān)業(yè)電鍍企業(yè)入園，力爭(zhēng)到2025年底本項(xiàng)目從事高端光芯片晶圓的制造，屬于光電子器件制造項(xiàng)目，不涉及電鍍、制革等，不屬5推動(dòng)重金屬污染深度治理。自2023年起，重點(diǎn)區(qū)域鉛鋅冶煉和銅冶煉行業(yè)企業(yè)，執(zhí)行顆粒物和重點(diǎn)定和重金屬污染防控需求，省級(jí)人民政府可增加執(zhí)行特別排放限值的地域范圍。蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)。2.15本項(xiàng)目與《關(guān)于印發(fā)<江蘇省工業(yè)是否理資質(zhì)且出水達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的原料藥制造企業(yè)除外)等行業(yè)，本項(xiàng)目產(chǎn)生的含砷廢水、是否不得排入城鎮(zhèn)污水集中收集處理設(shè)施。處理后回用于生產(chǎn)，含氟廢水經(jīng)WS-02接入梅村水處理廠處理。除以上兩種情形外，其它情況均需在建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)中參照評(píng)估指南評(píng)估納管的可行性。企業(yè)在向生態(tài)管部門(mén)申請(qǐng)領(lǐng)取排水許可證。見(jiàn)本報(bào)告“主要環(huán)境影響和保護(hù)允許接入：允許接入的工業(yè)企業(yè)應(yīng)依法取得并更新維護(hù)接管協(xié)議；接管企業(yè)在總排口設(shè)置檢查井、控制閥門(mén)，安裝水質(zhì)水量在線監(jiān)控系統(tǒng)，與城鎮(zhèn)排水主管部門(mén)、生重點(diǎn)管控特征污染物安裝水質(zhì)水量在線監(jiān)控系統(tǒng)的具體要求。許可證，并在總排口設(shè)置檢查井、排放工業(yè)廢水的納管企業(yè)，應(yīng)建設(shè)收集池或預(yù)處理設(shè)施，相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的第一類(lèi)污染物須在車(chē)間或車(chē)間預(yù)處理設(shè)求后方可接入。和預(yù)處理設(shè)施，納管標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB32/3747-2020)表1中間接排放限值。生產(chǎn)廢水WS-02排放口設(shè)置重點(diǎn)水污染物(COD、線監(jiān)控系統(tǒng)并聯(lián)網(wǎng)。a.接管路線可達(dá)性分析梅村水處理廠服務(wù)范圍東、北至新吳區(qū)區(qū)界，西、南至滬寧高速公路；包括商業(yè)配套區(qū)滬寧高速公路以東片區(qū)、高新產(chǎn)業(yè)B區(qū)全部范圍和高新產(chǎn)業(yè)C區(qū)全部范圍，總梅村水處理廠服務(wù)范圍內(nèi)的企事業(yè)單位廢水、居住區(qū)生活污水接管需自行處理達(dá)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后方可接入污水收集管網(wǎng)，該標(biāo)準(zhǔn)中表1中A等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，氟化物需自行處理達(dá)到本廠規(guī)定的接管標(biāo)準(zhǔn)(2.7mg/L)。間接排放限值要求：pH值6-9、COD≤300mg/L、SS≤250mg/L、氨氮≤20mg/L、總氮≤35mg/L、總磷≤3mg/L、氟化物≤1mg/L,本項(xiàng)目含砷廢水經(jīng)處理后回用于生產(chǎn)，含氟廢水排放口WS-02最終排放濃度低于1mg/L,滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)表1中Ⅲ類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。綜上，本項(xiàng)目符合上述相關(guān)環(huán)保要求。華辰芯光(無(wú)錫)半導(dǎo)體有限公司(原名無(wú)錫市華辰新美半導(dǎo)體有限公司)成立于2022年12月，為無(wú)錫市華辰芯光半導(dǎo)體科技有限公司全資子公司。主要從事集成電路無(wú)錫市華辰芯光半導(dǎo)體科技有限公司成立于2022年12月，一期項(xiàng)目租用無(wú)錫市新吳區(qū)高新區(qū)錫梅路111-10-1號(hào)廠房5389.22m2進(jìn)行試驗(yàn)，《無(wú)錫市華辰芯光半導(dǎo)體科技有限公司光通訊和激光雷達(dá)激光芯片F(xiàn)AB試驗(yàn)線建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》于2023年1月3日通過(guò)無(wú)錫市行政審批局的審批。2023年12月，因發(fā)展需要，無(wú)錫市華辰芯光片F(xiàn)AB試驗(yàn)線建設(shè)項(xiàng)目”整體轉(zhuǎn)讓給華辰芯光(無(wú)錫)半導(dǎo)體有限公司運(yùn)營(yíng)，目前已完成排污許可主體變更等相關(guān)環(huán)保手續(xù)。華辰芯光(無(wú)錫)半導(dǎo)體有限公司主要從事無(wú)接觸FAB技術(shù)4英寸InP芯片和6英寸GaAs芯片的研發(fā)試制，不量產(chǎn)。數(shù)據(jù)顯示，2015年-2019年我國(guó)光通信市場(chǎng)規(guī)模逐步增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)到2025年我國(guó)光通信市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)1750億元。技術(shù)相對(duì)比較落后，導(dǎo)致激光器的供應(yīng)不足，而國(guó)外主流是4寸磷化銦和6寸砷化鎵。目前國(guó)內(nèi)砷化鎵和磷化銦的廠家從事InP(光通信，遠(yuǎn)距離激光雷達(dá)等)產(chǎn)品的公司的晶圓生產(chǎn)線主要為2英寸生產(chǎn)線，GaAs(工業(yè)激光，中近距離激光雷達(dá)等)主要是3英寸或4英寸生產(chǎn)線；而國(guó)外頭部光電企業(yè)的InP為4寸為主，GaAs為6英寸為主，而無(wú)接觸FAB技術(shù)正是為了從根本上解決以上問(wèn)題，縮短差距。①目前公司研發(fā)技術(shù)趨于成熟，具備4、6英寸芯片的核心生產(chǎn)工藝；②大尺寸芯片耗材、單位產(chǎn)品能耗大，精密技術(shù)要求高，故建設(shè)單位決定淘汰4英寸InP芯片和6英寸GaAs芯片的研發(fā)。在此背景下，華辰芯光(無(wú)錫)半導(dǎo)體有限公司擬投資10000萬(wàn)元人民幣，租用無(wú)錫星洲工業(yè)園區(qū)開(kāi)發(fā)股份有限公司在江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)高新區(qū)錫梅路111-10-2號(hào)廠房5420.98m2進(jìn)行改擴(kuò)建，調(diào)整、驗(yàn)證現(xiàn)有研發(fā)線關(guān)鍵工藝參數(shù)，提高激光芯片的可靠FAB量產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目，專(zhuān)業(yè)從事3/4英寸InP芯片、4/6英寸GaAs芯片的量產(chǎn)活動(dòng)。項(xiàng)目建成后，年產(chǎn)3寸InP芯片6000片、4寸InP芯片1000片、4寸GaAs芯片6000片、6寸GaAs芯片1000片、模塊12萬(wàn)塊，全廠研發(fā)和生產(chǎn)能力為：年研發(fā)3英寸InP芯片1000片、4英寸GaAs芯片1000片，年生產(chǎn)3寸InP芯片6000片、4寸InP芯片1000片、4寸GaAs芯片6000片、6寸GaAs芯片1000片、模塊12萬(wàn)塊。2024年12月無(wú)錫高新區(qū)(新吳區(qū))數(shù)據(jù)局準(zhǔn)予該項(xiàng)目備案，備案號(hào)：錫新數(shù)投備〔2024〕454號(hào)。設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》,該項(xiàng)目應(yīng)開(kāi)展環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作。按照《國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分基地——其他”應(yīng)編制環(huán)境影響報(bào)告表，并報(bào)送環(huán)境保護(hù)主管部門(mén)審批。華辰芯光(無(wú)對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)踏勘，在收集工程資料后，編制完項(xiàng)目名稱(chēng)：光通訊和激光雷達(dá)激光芯片F(xiàn)AB量產(chǎn)線投資總額：10000萬(wàn)元，其中環(huán)保投資200萬(wàn)元；勞動(dòng)定員：本項(xiàng)目新增員工100人，全廠定員200人。工作制度：年生產(chǎn)天數(shù)300天，兩班制，每班12小時(shí)；本項(xiàng)目不設(shè)浴室、食堂和宿舍。職工就餐為外送。1.2主體工程及生產(chǎn)規(guī)模本項(xiàng)目主要對(duì)3/4英寸InP芯片、4/6英寸GaAs芯片進(jìn)行量產(chǎn)，產(chǎn)品規(guī)模詳見(jiàn)下表設(shè)計(jì)作業(yè)時(shí)間研發(fā)線4英寸InP芯片2500片/年06英寸GaAs芯片2500片/年03英寸InP芯片01000片/年4英寸GaAs芯片01000片/年生產(chǎn)線3英寸InP芯片/4英寸InP芯片/1000片/年4英寸GaAs芯片/6英寸GaAs芯片/1000片/年模塊生產(chǎn)線012萬(wàn)塊/年本項(xiàng)目生產(chǎn)的同時(shí)開(kāi)展3/4英寸晶圓的研發(fā)活動(dòng)，研發(fā)方向：通過(guò)調(diào)整、驗(yàn)證關(guān)鍵工藝參數(shù)(鍍層厚度、線路方向等)、化學(xué)品使用比例等，研發(fā)制備可靠性更高、功耗更低、良率更高的激光器芯片。本項(xiàng)目研發(fā)/生產(chǎn)的芯片具體參數(shù)見(jiàn)下表2-2。線寬3英寸InP4英寸GaAs6英寸GaAs1.3貯運(yùn)、公用及環(huán)保工程本項(xiàng)目工程組成情況見(jiàn)表2-3。設(shè)計(jì)能力不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間薄膜生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)室不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間熱處理工藝實(shí)驗(yàn)室不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間二層辦公區(qū)不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間模塊車(chē)間0新增，二期廠房MOCVD外延車(chē)間0光柵車(chē)間0清洗間0FAB測(cè)試?yán)匣g0配電間不變依托現(xiàn)有一期項(xiàng)目車(chē)間10KV變電所I動(dòng)力站空壓站、純水站、廢水處理站惰性氣體間不變酸堿化學(xué)品間不變主要存放酸堿化學(xué)品甲類(lèi)化學(xué)品間不變主要存放甲類(lèi)化學(xué)品甲類(lèi)氣體間毒腐氣體間不變(氣體)控制室不變來(lái)料間0公用工程自來(lái)水來(lái)自市政自來(lái)水管網(wǎng)純水不變用于其他工藝純水和超純水的制常溫冷卻水系統(tǒng)冷卻塔循環(huán)量Q=50m3/h,冷卻溫度37℃至32℃Q=75m3/h,冷卻溫度37℃至32℃/工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)循環(huán)量37.5m3/h循環(huán)量37.5m3/h不變/水等不含氮磷生產(chǎn)廢水生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后和制污水口WS-01排放口接管。氮、磷)供電600萬(wàn)kw/h///潔凈壓縮空氣1臺(tái)空壓機(jī)，總氣量1.4m3/min1臺(tái)空壓機(jī)，總氣量不變/工藝真空系統(tǒng)真空泵1臺(tái)，16m3/h新增1臺(tái)/7種(氯化氫、氨氣、四氟甲烷、六氟乙烷、砷烷、磷烷、三氯化硼)大宗氣體配送系統(tǒng)1種配送液氮?dú)饣蟮牡獨(dú)?，純?N,廢氣酸性廢氣1個(gè)廢氣排氣筒(FQ-01),廢2個(gè)；風(fēng)機(jī)2座(1用1備)排氣筒高度：25m。1個(gè)廢氣排氣筒p個(gè)；風(fēng)機(jī)2座(1用1不變依托現(xiàn)有1#二級(jí)堿液噴淋塔堿性廢氣1個(gè)廢氣排氣筒(FQ-02),廢暫停使用/取消使用酸性廢氣/1個(gè)廢氣排氣筒2個(gè)；風(fēng)機(jī)2座(1用1新增處理工藝尾氣本項(xiàng)目新增有機(jī)廢氣二級(jí)活性炭1個(gè)廢氣排氣筒(FQ-03),廢氣量：11500m3/h;處理系統(tǒng)數(shù)量：1套；排氣筒數(shù)量：1個(gè)；1個(gè)廢氣排氣筒11500m3/h;處理系統(tǒng)數(shù)不變依托現(xiàn)有工藝廢氣特殊廢氣工藝廢氣經(jīng)收集后采用“二級(jí)工藝廢氣經(jīng)收集后采用3#POU凈化裝置(二級(jí)經(jīng)25米高(FQ-02)排放，風(fēng)量為4400m3/h不變外延產(chǎn)生的工藝尾氣工藝廢氣經(jīng)收集后采用米高(FQ-01)排放，風(fēng)量為工藝廢氣經(jīng)收集后采用1#POU凈化裝置(Plasma+水洗)+1#二級(jí)堿液噴淋塔處理，尾氣經(jīng)25米高(FQ-01)不變/工藝廢氣經(jīng)收集后采用2#POU凈化裝置(Plasma+水洗)+1#二新增處理沉積掩膜的工藝尾氣接入1#級(jí)堿液噴淋塔處理，尾氣經(jīng)25米高(FQ-01)站廢氣處理后通過(guò)18米高排氣筒FQ-03排放。炭吸附處理后通過(guò)18米高排氣筒FQ-03排放。不變依托現(xiàn)有廢水、車(chē)間地面清潔廢水)處理量為1m3/h。有機(jī)廢水處理系統(tǒng)(調(diào)理量為1m3/h。不變依托現(xiàn)有處理量為1m3/h。無(wú)取消I量3m3/h無(wú)取消I(砷化鎵基底)、拋光及拋光后清洗廢水(砷化鎵基/含砷廢水處理系統(tǒng)(調(diào)設(shè)計(jì)處理量1m3/h;新增刻蝕后清洗廢水、噴淋廢薄后清洗廢水(磷化銦基(磷化銦基底)、拋光及拋光后清洗廢水(磷化銦基底)/含氟廢水處理系統(tǒng)(調(diào)節(jié)+反應(yīng)+沉淀+過(guò)濾),1套，設(shè)計(jì)處理量1m3/h新增一般衛(wèi)生廢水池/噪聲隔聲罩、消聲器等設(shè)施隔聲罩、消聲器等設(shè)施//優(yōu)化布局優(yōu)化布局1/固廢一般固廢堆場(chǎng)依托現(xiàn)有主要存放丙類(lèi)固廢危險(xiǎn)廢物倉(cāng)庫(kù)依托現(xiàn)有主要存放丙類(lèi)危廢依托現(xiàn)有主要存放甲類(lèi)危廢0新增新增1個(gè)60m2的甲類(lèi)危廢庫(kù)，主/消防續(xù)發(fā)展需要設(shè)計(jì))雨水排口已設(shè)控制閥門(mén)/消防水池依托現(xiàn)有防栓水源來(lái)自于園區(qū)自來(lái)水管網(wǎng)廠區(qū)事故池危廢倉(cāng)庫(kù)：截流溝+事故應(yīng)急池，容積約0.5m3,儲(chǔ)備空桶m3;化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)：截流溝+事故應(yīng)急池，容積約0.5m3;廠區(qū)儲(chǔ)備事故儲(chǔ)水箱，容積約65m3應(yīng)急池，容積約0.5m3,儲(chǔ)備空桶1m3;化學(xué)品池，容積約0.5m3;廠區(qū)建設(shè)事故應(yīng)急池185m3,池，容積約150m3部分依托現(xiàn)有現(xiàn)有項(xiàng)目65m3廠區(qū)儲(chǔ)備事故儲(chǔ)水箱升級(jí)，完善為185m3事故應(yīng)急池和150m3便攜式應(yīng)急儲(chǔ)污水池收集的廢水采用應(yīng)急泵抽至應(yīng)急儲(chǔ)水箱中暫存。留溝，收集的廢水采用應(yīng)急泵抽至便攜式應(yīng)急儲(chǔ)污水池中暫存。依托現(xiàn)有/1.4公用工程及配套設(shè)施A.原輔材料及產(chǎn)品的儲(chǔ)運(yùn)方式(1).原輔材料運(yùn)輸本工程全程使用的原輔材料對(duì)運(yùn)輸條件要求較高，市區(qū)內(nèi)運(yùn)輸由專(zhuān)業(yè)運(yùn)輸公司承擔(dān)，以專(zhuān)用貨車(chē)運(yùn)至廠區(qū)內(nèi)。化學(xué)品及特殊氣體，視需要送至廠內(nèi)，置于廠區(qū)現(xiàn)有工程內(nèi)已專(zhuān)設(shè)的化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)(酸堿化學(xué)品間、甲類(lèi)化學(xué)品間、甲類(lèi)氣體間、毒腐氣體間等)和惰性氣體間，并做好安全衛(wèi)生防護(hù)措施?；瘜W(xué)品倉(cāng)庫(kù)內(nèi)的氣態(tài)和液態(tài)化學(xué)品，根據(jù)需要由專(zhuān)人領(lǐng)料，用叉車(chē)運(yùn)至生產(chǎn)車(chē)間本地供應(yīng)處。(2).原輔材料儲(chǔ)存建設(shè)單位按照各種化學(xué)品的理化性質(zhì)，對(duì)各類(lèi)化學(xué)品實(shí)行分類(lèi)儲(chǔ)存和管理。本項(xiàng)目主要原輔材料分別依托現(xiàn)有項(xiàng)目廠區(qū)化學(xué)品庫(kù)存放。①化學(xué)品庫(kù)(含酸堿化學(xué)品間、甲類(lèi)化學(xué)品間、甲類(lèi)氣體間、毒腐氣體間)存放酸、堿、顯影液、光刻膠等風(fēng)險(xiǎn)較大的毒性氣體、易燃?xì)怏w、易燃液體等，主要原輔材料依托現(xiàn)有廠區(qū)化學(xué)品間可行性分析如下：品名理論存放占地面積m2是否單質(zhì)總和氣體硅烷(SiH4)1鋼瓶甲類(lèi)氣體間9是笑氣(N?O)1鋼瓶甲烷(CH?)1鋼瓶氦氣(He)1鋼瓶1鋼瓶六氟化硫(SF?)2鋼瓶1氯氣(Cl?)2鋼瓶1三氯化硼(BCl?)2鋼瓶1溴化氫(HBr)1鋼瓶化學(xué)藥品丙酮甲類(lèi)化學(xué)品庫(kù)是異丙醇(IPA)品名理論存放占地面積m2是否單質(zhì)總和乙酸溴(Br?)3甲醇顯影液正膠負(fù)膠顯影液2光刻膠555鐵氰化鉀②惰性氣體間③原輔材料存儲(chǔ)條件化學(xué)品庫(kù)的溫度控制為20±10℃,相對(duì)濕度為30%~70%,保持室內(nèi)微負(fù)壓狀態(tài)，機(jī)排至室外。平時(shí)通風(fēng)換氣次數(shù)為6次/小時(shí)，事故通風(fēng)換氣次數(shù)為12次/小時(shí)。危險(xiǎn)品庫(kù)的溫度控制為20±10℃,相對(duì)濕度為30%~70%,保持室內(nèi)微負(fù)壓狀態(tài)，機(jī)排至室外。平時(shí)通風(fēng)換氣次數(shù)為6次/小時(shí)，事故通風(fēng)換氣次數(shù)為12次/小時(shí)?；瘜W(xué)品供應(yīng)間的溫度控制為22±5℃,相對(duì)濕度為≤60%,保持室內(nèi)微負(fù)壓狀態(tài)，采排至室外。平時(shí)通風(fēng)換氣次數(shù)為6次/小時(shí)，事故通風(fēng)換氣次數(shù)為12次/小時(shí)。特氣庫(kù)的溫度控制為24±4℃,保持室內(nèi)微負(fù)壓狀態(tài)，采用部分新風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)，新次數(shù)為6次/小時(shí)，事故通風(fēng)換氣次數(shù)為12次/小時(shí)。連鎖。當(dāng)室內(nèi)可燃可燃?xì)怏w濃度達(dá)到爆炸下限的20%或有毒有害氣體濃度允許濃度的(3).原輔材料供應(yīng)①化學(xué)品儲(chǔ)存間由專(zhuān)人領(lǐng)料后用叉車(chē)分別運(yùn)至特氣供應(yīng)間(氨氣、一氧化二氮、三氟化氮等)及氣體集②化學(xué)品供應(yīng)間③特氣供應(yīng)間B.公用工程及配套設(shè)施(1).給水系統(tǒng)市政管網(wǎng)引入城市自來(lái)水，至廠區(qū)內(nèi)的消防水池、工藝用水水箱、生活水箱等。①給水系統(tǒng)包括：生活給水系統(tǒng)、生產(chǎn)配套給水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)及消防水系統(tǒng)。②循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：本項(xiàng)目依托現(xiàn)有循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，包括常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)及工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)，其中常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)由動(dòng)力站內(nèi)相應(yīng)的系統(tǒng)供給，工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)由廠房輔助區(qū)內(nèi)相應(yīng)系統(tǒng)供給。③常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：本工程建有常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，用于冷凍站冷水機(jī)組。系統(tǒng)組成：冷卻水循環(huán)泵、組合式冷卻塔、旁濾器、冷卻水水溫控制裝置、水處理裝置、閥門(mén)、管道系統(tǒng)。④工藝設(shè)備循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：本工程建有純水冷卻系統(tǒng)，供工藝設(shè)備冷卻用水，為閉路循環(huán)系統(tǒng)，為保證進(jìn)水溫度，在循環(huán)管路上加設(shè)水溫控制裝置。系統(tǒng)組成：工藝設(shè)備冷卻水循環(huán)泵、板式換熱器、水溫控制裝置、閥門(mén)、管道系統(tǒng)。⑤純水系統(tǒng)：采用市政自來(lái)水制備生產(chǎn)過(guò)程使用的超純水，超純水系統(tǒng)包括多介質(zhì)過(guò)濾器、保安過(guò)濾器、一級(jí)RO、二級(jí)RO、EDI裝置、拋光混床、熱交換等，具體制備流程如下圖。NaOHN?(2).排水系統(tǒng)本項(xiàng)目廠區(qū)工程排水采取雨污分流的形式。排水系統(tǒng)組成：生活污水系統(tǒng)，不含氮、磷生產(chǎn)廢水，含氮、磷生產(chǎn)廢水系統(tǒng)，雨水系統(tǒng)。①生活污水系統(tǒng)及冷卻廢水、制純廢水：生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后和冷卻廢水、制純廢水、工藝?yán)鋮s水一并經(jīng)廠區(qū)廢水排口WS-01排入梅村水處理廠。WS-02排入梅村水處理廠。③雨水系統(tǒng)：項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)“雨污分流”,設(shè)置初期雨水分流裝置，下雨天前15分鐘雨水接至污水管網(wǎng)，經(jīng)廠區(qū)廢水排口WS-01排入梅村水處理廠。15分鐘后雨水接市政雨(3).供電系統(tǒng)應(yīng)急電源：為對(duì)一類(lèi)負(fù)荷中的特別重要負(fù)荷供電，除設(shè)UPS供電外。(4).供氣系統(tǒng)本項(xiàng)目不涉及燃?xì)獾氖褂茫略?臺(tái)空壓機(jī)用于生產(chǎn)。(5).凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)淋室緩沖區(qū)更清凈服緩沖區(qū)圖2-2潔凈室凈化流程圖(6).工藝真空綜上，本項(xiàng)目租用無(wú)錫星洲工業(yè)園區(qū)開(kāi)發(fā)股份有限公司標(biāo)準(zhǔn)廠房，本次依托的公輔工程主要有生產(chǎn)廠房、自來(lái)水供水系統(tǒng)、雨污水管網(wǎng)、供電系統(tǒng)等，其它原輔材料儲(chǔ)存原料庫(kù)、冷卻系統(tǒng)、環(huán)保系統(tǒng)、冷凍站、純水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等和生產(chǎn)相關(guān)的公輔工程均為依托。1.5原輔材料及對(duì)應(yīng)的理化性質(zhì)情況本項(xiàng)目所用原輔材料消耗情況詳見(jiàn)表2-5。表2-5原輔材料消耗表品名用量(kg/a)存量改擴(kuò)建后試制材料晶圓片6英寸GaAs2650片050片原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)/2650片050片原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)3英寸InP07000片1000片原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)4英寸GaAs07000片1000片原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)三甲基鋁三甲基鋁1200g/瓶原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)外延片生長(zhǎng)、二次外延4原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)2原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)二乙基鋅二乙基鋅242原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)530kg/瓶原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)四溴化碳四溴化碳2原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)121100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)濺射金屬2202100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)001100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)21100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)金鍺合金(Au:Ge=8023100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)12100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)1101100g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)本項(xiàng)目不涉及品名主要組分、規(guī)格、用量(kg/a)存量改擴(kuò)建后試制021000g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)021000g/袋原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)氣體氮?dú)?N?)99.999%氮?dú)?5m3儲(chǔ)罐外購(gòu)液態(tài)刻蝕、鍍膜氫氣(H?)99.9999%氫氣外購(gòu)氯化氫5000/特氣庫(kù)外購(gòu)取消使用55030kg/瓶原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)本項(xiàng)目不涉及氨氣(NH?)99.99%氨特氣庫(kù)外購(gòu)?fù)庋印⒊练e掩膜硅烷(SiH?)430kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)笑氣(N?O)827kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)四氟化碳830kg/瓶特氣庫(kù)外購(gòu)介質(zhì)膜刻蝕、4930kg/瓶特氣庫(kù)外購(gòu)氬氣(PAR)99.999%氬氣819.2kg/瓶丙類(lèi)庫(kù)外購(gòu)氧氣(O?)99.999%氧氣19.2kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)甲烷(CH?)05甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)氦氣(He)99.999%氣體051瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)4930kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)4950kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)氯氣(Cl?)50kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)品名用量(kg/a)存量改擴(kuò)建后試制三氯化硼99.999%三氯化50kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)溴化氫(HBr)99%溴化氫41784甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)27kg/瓶特氣庫(kù)外購(gòu)?fù)庋悠L(zhǎng)、二次外延磷烷(PH?)99.999%磷烷(PH?20kg/瓶特氣庫(kù)外購(gòu)乙硅烷01特氣庫(kù)外購(gòu)化學(xué)藥品丙酮5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)去膠、表面清異丙醇(IPA)4kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)99.5%N-甲基吡咯烷酮04kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)去膠、表面清洗5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)05kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)乙酸05kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)溴(Br?)033kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)0甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)05kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)甲醇/05kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)類(lèi)別品名用量(kg/a)改擴(kuò)建后試制4kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)用，現(xiàn)有項(xiàng)目堿法刻蝕工序取消I2含量10%,KI含025kg/桶倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)0.7%HF溶液：(體積比)4kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)5kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)顯影液四甲基氫氧化銨04kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)光刻正膠負(fù)膠顯2-3%四甲基氫氧化銨，其余為05kg/桶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)光刻光刻膠丙二醇單甲醚乙51kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)刻氫氧化鈉32%氫氧化鈉517851kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)增粘劑100%六甲基二51kg/瓶甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)刻8~10%無(wú)機(jī)酸鹽，10kg/桶倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)金沉積品名主要組分、規(guī)格、用量(kg/a)存量改擴(kuò)建后試制/000/10kg/袋倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)金剛石研磨粉和純水100kg/桶倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)水、次氯酸鈉、100kg/桶倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)氫氧化鉀10甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)二次外延分析鐵氰化鉀/0甲類(lèi)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)去蠟液010kg/桶倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)本項(xiàng)目不涉及/10卷1卷10卷02卷倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)/10kg/桶倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)原輔料氬氫混合氣/00特氣庫(kù)外購(gòu)金線/00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)/00222原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)焊料片96.5%錫、3%銀、0.5%銅00111原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)殼體/00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)/00999原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)套筒/00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)改性液00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)液態(tài)/00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)氦氣/00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)尾帽/00原料倉(cāng)庫(kù)外購(gòu)固態(tài)企業(yè)一期項(xiàng)目以研發(fā)為主，研發(fā)過(guò)程中各工藝存在反正驗(yàn)證試驗(yàn)、淘汰的過(guò)程，故二期項(xiàng)目實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中原輔料用量均按照成熟的實(shí)驗(yàn)結(jié)果所需原輔料用料進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，各工序原輔料用量補(bǔ)充說(shuō)明如下：①外延片生長(zhǎng)、二次外延、濺射金屬工序所用原輔料因不同尺寸芯片表面固態(tài)薄膜生長(zhǎng)厚度不一，故對(duì)應(yīng)原輔料用料均根據(jù)實(shí)際需求量統(tǒng)計(jì)；②介質(zhì)膜刻蝕、干法刻蝕工序所用原輔料因各芯片刻蝕層厚度均勻，故對(duì)應(yīng)原輔料增減量按照1~1.25倍進(jìn)行統(tǒng)計(jì)；③丙酮、異丙醇、NMP和無(wú)水乙醇對(duì)晶圓的清潔能力不同，故有機(jī)溶劑增減量根據(jù)實(shí)際需求量統(tǒng)計(jì)，且表面清洗、去膠、去蠟均是采用槽體浸泡的方式進(jìn)行，所用原輔料用量均按照槽體最大容納量進(jìn)行統(tǒng)計(jì)；④酸法刻蝕、濕法刻蝕采用不同的酸進(jìn)行，根據(jù)研發(fā)項(xiàng)目結(jié)論，各晶圓對(duì)酸敏感度不一，故根據(jù)實(shí)際需求量統(tǒng)計(jì)，且酸法刻蝕、濕法刻蝕均是采用槽體浸泡的方式進(jìn)行，所用原輔料用量均按照槽體最大容納量進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。本項(xiàng)目涉及的原輔材料理化性質(zhì)和危險(xiǎn)性見(jiàn)表2-6。閃點(diǎn)燃點(diǎn)三甲基鋁無(wú)色透明液體，分子式：C?H?Al,熔點(diǎn)15℃,沸點(diǎn)126℃,密度0.81g/cm3,其高溫分解產(chǎn)物主要為甲烷、氫氣和鋁。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義℃,沸點(diǎn)55.8℃,液體密度(15℃,100kPa):1151kg/m,三甲基鎵在高溫分解的主要產(chǎn)物包括甲烷、氫氣和二甲基鎵。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義易燃無(wú)色透明具有特殊臭味的升華性無(wú)色結(jié)晶，熔點(diǎn)89℃,沸點(diǎn)135.8℃,遇冷水部分水解放出甲烷氣體。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義二乙基鋅無(wú)色透明液體，分子式：C4H10Zn,熔點(diǎn)-28℃,沸點(diǎn)98℃,二乙基無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義易燃無(wú)色氣體，化學(xué)式為H?Se,熔點(diǎn)-65.7℃,沸點(diǎn)-41.3℃,密度無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義易燃閃點(diǎn)燃點(diǎn)3.533kg/cm3,硒化氫在高溫下分解的產(chǎn)物主要是單質(zhì)硒和氫氣。無(wú)色透明且具有刺激性氣味，分子式：NH?H?O,熔點(diǎn)-77.73℃,沸無(wú)意義無(wú)意義一氧化二氮N?O(氧化亞氮、笑氣)無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義無(wú)色透明液體，有似乙醇和丙酮混合物的氣味。分子式：C?H?O,熔點(diǎn)-88.5℃,沸點(diǎn)80.3℃,密度0.79g/cm3,飽和蒸氣壓4.40kPa(20℃),易燃大鼠經(jīng)口：5045丙酮產(chǎn)物包括乙烯酮、異丁烯、乙酸、二氧化碳和水。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義大鼠經(jīng)口：5800無(wú)色透明液體，有微弱的特殊氣味，分子式：H?O?,熔點(diǎn)-0.41℃,沸點(diǎn)150.2℃,密度1.41g/cm3,飽和蒸氣壓0.13kPa(15.3℃),溶于水、無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義大鼠經(jīng)皮：4060大鼠吸入：2000(4小時(shí))氨氣易燃大鼠吸入：1390(4小時(shí))無(wú)色氣體，有惡臭，分子式：CF4,熔點(diǎn)185℃,沸點(diǎn)-112℃,密度0.68g/cm3(-182℃),溶于苯、四氯化碳，硅烷在高溫下分解的主要產(chǎn)物是硅和氫氣。易燃大鼠吸入：9600(4小時(shí))四氟化碳不溶于水，四氟化碳在高溫下分解的主要產(chǎn)無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義氬氣無(wú)色無(wú)臭的惰性氣體，熔點(diǎn)-189.2℃,沸點(diǎn)-185.7℃,密度1.40g/cm3(-186℃),微溶于水。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義氦氣無(wú)色無(wú)臭的惰性氣體，分子式：He,熔點(diǎn)-272.1℃,沸點(diǎn)-268.9℃,密無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義閃點(diǎn)燃點(diǎn)度0.15g/cm3(-271℃),不溶于水、乙醇。氯氣臨界溫度1140c,臨界壓力7.71×10?Pa,蒸氣壓6.40×10?Pa(20℃),蒸無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義大鼠吸入：850(1小時(shí))烷酮)無(wú)色透明液體，沸點(diǎn)203℃,閃點(diǎn)95℃,能與水混溶，溶于乙醚，產(chǎn)生多種產(chǎn)物，主要包括氮氧化物、一氧化碳和二氧化碳。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義光刻膠紅色帶甜味液體，沸點(diǎn)：120℃,微溶于水，主要成蒸汽密度比空氣重，蒸汽揮發(fā)速率比乙醚慢。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義純磷酸為無(wú)色結(jié)晶無(wú)臭，具有酸味，分子式：H?PO4,熔點(diǎn)42.4℃,沸點(diǎn)260℃,飽和蒸汽壓0.67(25℃),密度1.87g/cm3,氟化銨，在高無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義大鼠經(jīng)口：1530乙二醇無(wú)色、無(wú)臭粘稠液體，分子式：C?H?O?,熔點(diǎn)-13.2℃,沸點(diǎn)197.5℃,密度1.11g/cm3,飽和蒸氣壓6.21kPa(20℃),與水混溶，乙二醇在高溫下不會(huì)分解為水、二氧化碳和一氧化碳。密度1.246g/cm3,微溶于水，溶于乙醇、丙酮，在高溫條件下會(huì)受熱無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義乙醇數(shù)有機(jī)溶劑，乙醇在高溫下分解的主要產(chǎn)物是乙易燃兔經(jīng)口：7060(10小時(shí))無(wú)色透明液體，分子式：H?SO4,熔點(diǎn)10.5℃,沸點(diǎn)330℃,密度的分解產(chǎn)物主要包括三氧化硫和水。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義大鼠經(jīng)口：2140大鼠吸入：510(2小時(shí))閃點(diǎn)燃點(diǎn)白色不透明固體，易潮解。分子式：NaOH,氧化鈉和水。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義純硝酸為無(wú)色液體，化學(xué)式為HNO?,熔點(diǎn)-42℃,沸點(diǎn)83℃,密度1.5g/cm3,與水混溶，硝酸在高溫下分解的產(chǎn)物是二氧化氮、氧氣和水。無(wú)意義無(wú)意義無(wú)意義(4小時(shí))無(wú)色透明有刺激性臭味液體，分子式：HF,熔點(diǎn)-83.1℃,沸點(diǎn)120℃(35.3%),密度1.26g/cm3(75%),具有強(qiáng)腐蝕性，氫氟酸在高溫?zé)o意義無(wú)意義無(wú)意義1.6主要設(shè)施及數(shù)量本項(xiàng)目主要設(shè)備清單見(jiàn)表2-7。數(shù)量(臺(tái)/套)改擴(kuò)建后外延片生長(zhǎng)、外延爐14/03光刻110曝光顯影臺(tái)110顯影涂膠臺(tái)110涂膠清洗臺(tái)110清洗臺(tái)110等離子體化學(xué)氣相沉積1202電感耦合等離子刻蝕機(jī)1211011013熱處理快速退火爐110熱板/330熱處理真空回流爐110熱處理高溫烤箱03熱處理110芯片解理、劃裂0404數(shù)量(臺(tái)/套)改擴(kuò)建后/110330剝離設(shè)備/110/烘箱110/型號(hào)870s110/1#半自動(dòng)酸堿清洗臺(tái)011#手動(dòng)酸堿清洗臺(tái)/012#手動(dòng)酸堿清洗臺(tái)/012#半自動(dòng)酸堿清洗臺(tái)013#手動(dòng)酸堿清洗臺(tái)/014#手動(dòng)酸堿清洗臺(tái)/01有機(jī)清洗臺(tái)/02濕法刻蝕(有機(jī))金沉積金沉積01金沉積濺射金屬02LIV測(cè)試臺(tái)/110測(cè)試器件LIV性能近場(chǎng)測(cè)試臺(tái)/110PER測(cè)試臺(tái)/110探針測(cè)試臺(tái)/110芯片級(jí)別電學(xué)測(cè)試掃描電子顯微鏡110觀察器件的微小結(jié)構(gòu)/01/01/01共晶自動(dòng)固晶機(jī)01自動(dòng)BB/01數(shù)量(臺(tái)/套)改擴(kuò)建后耦合臺(tái)HPL1*12w、HPL1*50w、VSS98003粗撿漏/01/01真空回流爐/01/01/01/01打線、模塊貼合0101/01/011*12W模塊測(cè)試/01/010202/0102/02/02組裝測(cè)試區(qū)高功率980性能測(cè)試機(jī)/01高功率巴條或芯片測(cè)試機(jī)/01/01高功率COD測(cè)試機(jī)/01高功率近場(chǎng)測(cè)試機(jī)/01VCSEL-TO測(cè)試臺(tái)-1/01/01數(shù)量(臺(tái)/套)改擴(kuò)建后防靜電測(cè)試機(jī)/01HPL自動(dòng)測(cè)臺(tái)(瑞波)/01HPL測(cè)臺(tái)(TBD)/01芯片分選機(jī)01/01工作臺(tái)/01HPL自動(dòng)測(cè)臺(tái)(瑞波TBD)/01組裝老化/01高功率巴條或芯片測(cè)試機(jī)/01/01/01高功率