SEMIS2半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則2003年9月29日Content:1.目的；2.范圍；3.注意事項(xiàng)；4.參考標(biāo)準(zhǔn)；5.術(shù)語；6.安全理念；7.一般準(zhǔn)則；8.評(píng)估過程；9.提供給使用者的文件；10.危險(xiǎn)性警告標(biāo)志；11.安全連鎖裝置；12.緊急停機(jī)；13.電氣安全；14.消防安全；15.化學(xué)物質(zhì)加熱槽；16.人體工學(xué)；17.危險(xiǎn)能量隔離；18.機(jī)械設(shè)計(jì)安全；19.地震保護(hù)；20.自動(dòng)機(jī)械設(shè)備；21.環(huán)境因素；22.排氣；23.化學(xué)品安全；24.游離輻射安全；25.非游離輻射安全；26.激光安全；27.噪音為半導(dǎo)體制程設(shè)備提供一套實(shí)用的環(huán)保、安全和衛(wèi)生準(zhǔn)則。適用于所有用于芯片制造、量測(cè)、組裝和測(cè)試的設(shè)備。3.1不可作為檢驗(yàn)是否符合本地法規(guī)要求的依據(jù)；3.2沒有提供非常詳細(xì)的半導(dǎo)體制程設(shè)備ESH準(zhǔn)則；3.3參考了眾多的國際性法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)等。但只是被引用的條文適用于此標(biāo)準(zhǔn)，并不是被引用的標(biāo)準(zhǔn)或法規(guī)等所有條文都適用。4.3CEN/CENELEC4.5ISOStandards(Robotm4.6NFPAStandards4.7ACGIH(IndustrialVentilation5.1不可燃物質(zhì)(Non-combustiblematerial):在一般條件(anticipatedconditions)下，受熱或在火焰中不可燃燒，也不支持燃燒或遇熱不可釋放出易燃蒸汽之物質(zhì)。典型不可燃物質(zhì)有金屬、陶瓷、石英等。5.2可燃物質(zhì)(Combustiblematerial):具有火焰?zhèn)鞑ツ芰虿粷M足上述“不可燃物質(zhì)”定義之物質(zhì)。5.3易燃?xì)怏w(Flammablegas):在101.3KPa和20℃下，可以和空氣形成可被點(diǎn)燃的混5.4自燃物質(zhì)(Pyrophoricmaterial):54.4℃以下在空氣中可以自燃的化學(xué)品。5.5易燃液體(Flammableliquid):閃點(diǎn)小于37.8℃(100F)之液體。5.7非游離輻射(Non-ionizingradiation):電磁波長在100nm以上者，包括普通電頻、微5.8質(zhì)量平衡(Massbalance):輸入與輸出的質(zhì)量流率定性(或定量)平衡。5.9災(zāi)禍(Mishap):對(duì)人體造成死亡、傷害、職業(yè)病或?qū)υO(shè)備、財(cái)產(chǎn)、環(huán)境造成損失的未預(yù)5.10職業(yè)曝露濃度極限(Occupationalexposurelimits,OELs):以一天工作8小時(shí)為計(jì)5.11生殖毒害品(Reproductivetoxicant):已證實(shí)或懷疑對(duì)胚胎產(chǎn)生畸形危險(xiǎn)，或?qū)ε?.12風(fēng)險(xiǎn)(Risk):以危害嚴(yán)重性5.13速度壓力(Velocitypressure,VP):使空氣速度從零到要求的速度所需要的壓力值。5.14失效也是安全的(FailSafe):一種設(shè)計(jì)，當(dāng)系統(tǒng)中任何組件失效時(shí)，不可造5.15危害性制程物料(HazardousProductionMaterial,HPM):一種固體、流體或氣體危險(xiǎn)程度依NFPA704標(biāo)準(zhǔn)之等級(jí)歸類在健康危害、易燃性或反應(yīng)性為3或4,直接用于研5.16無線電頻率(RadioFrequency,RF):頻率范圍由3KHz到300GHz的電磁波。微波是頻5.17連鎖(Interlocks):硬件連鎖一一種由電氣機(jī)械組件、電纜線或光連結(jié)，已經(jīng)程序設(shè)定好的機(jī)械控制電路。當(dāng)電路被切斷時(shí)，最終的控制部份無法操作。軟件連鎖一計(jì)算5.18物質(zhì)安全資料表(MaterialSafetyDataSheets,MSDS):書面或印制的危害物質(zhì)之資6.1在設(shè)備生命周期(安裝、操作、保養(yǎng)及廢棄處置)中，對(duì)其可能發(fā)生的潛在安全及衛(wèi)生6.4設(shè)備設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)該符合規(guī)范要求、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、本標(biāo)準(zhǔn)以危害，以及導(dǎo)致死亡、重大傷害或重大設(shè)備損失的現(xiàn)象都是絕6.7設(shè)備組件及配件都應(yīng)該符合設(shè)備制造商提供的等級(jí)級(jí)別或標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。6.8設(shè)備設(shè)計(jì)初期，為鑒別和評(píng)估潛在危害，應(yīng)該進(jìn)行危害分析。當(dāng)設(shè)計(jì)成熟后，危害分6.9危害分析應(yīng)該考量：設(shè)備制程或應(yīng)用、各個(gè)制程的危害、可能的失效模式、災(zāi)害發(fā)生的提供安全警告設(shè)施-工程控制提供危害警告標(biāo)簽-管理控制7.1設(shè)備應(yīng)符合一般安全規(guī)范，此準(zhǔn)則只是設(shè)備之采購標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。次標(biāo)準(zhǔn)只是提供給用戶采購符合SEMIS2的設(shè)備規(guī)范。若需要超出此準(zhǔn)則，則由使用者與廠商另行書面訂定之。7.3設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)該提供給用戶指定的代表來及時(shí)更新有關(guān)設(shè)備最新發(fā)現(xiàn)之危害因子或安7.4設(shè)備操作、維護(hù)使用的工具及附件必須由設(shè)備供應(yīng)商提供給用戶或者明確其規(guī)格。8.1評(píng)估方應(yīng)該按照此標(biāo)準(zhǔn)對(duì)設(shè)備進(jìn)行評(píng)估并寫出書面報(bào)告。內(nèi)容包括手冊(cè)(9.6部分)和具體設(shè)計(jì)部分(本標(biāo)準(zhǔn)第10至第27部分)。只有當(dāng)使用到附錄時(shí)，附錄才算作報(bào)告的一8.2對(duì)于每個(gè)部分，評(píng)估報(bào)告皆應(yīng)敘述下列項(xiàng)目并提供原理：8.3證明無重大安全危險(xiǎn)的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估結(jié)果可以作為設(shè)備滿足標(biāo)準(zhǔn)的一種證據(jù)。工業(yè)衛(wèi)生信息：排氣、化學(xué)品目錄及危害分析、游離輻射、非游離輻環(huán)境信息：能源節(jié)約(能量、水、DIwater、壓縮氣體、化學(xué)品及包裝)、設(shè)備及組(1)符合本標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)估報(bào)告(2)不符合本準(zhǔn)則之所有事項(xiàng)，但需要說明改善計(jì)劃或不符合事項(xiàng)之正當(dāng)理由(3)地震保護(hù)信息(4)環(huán)境有關(guān)信息：包括能耗、質(zhì)量平衡、廢水廢氣處理等(5)工業(yè)衛(wèi)生信息(6)手冊(cè)。內(nèi)容應(yīng)該符合SEMIS13標(biāo)準(zhǔn)，另外還應(yīng)包括：設(shè)備維護(hù)使用的危險(xiǎn)物質(zhì)(潤滑油、清洗劑、冷凍液)維持安全設(shè)施(工程控制設(shè)施)正常運(yùn)行的維護(hù)程序推薦使用的防污染和機(jī)臺(tái)退役廢棄處理方法應(yīng)該按照SEMIS12的標(biāo)準(zhǔn)提供，內(nèi)容包括：組件和材質(zhì)識(shí)別，如果組件可以回收或重新(7)消防文件：10.1在危害沒有通過原始設(shè)計(jì)或安全保護(hù)裝置完全消除的地方，所有危害皆應(yīng)貼上警示標(biāo)簽，如高壓電、化學(xué)品、高溫、低溫、輻射以及可能產(chǎn)生機(jī)械傷害處皆應(yīng)明10.2危害標(biāo)示設(shè)計(jì)規(guī)范應(yīng)按照SEMIS1標(biāo)準(zhǔn)，并在所處環(huán)境下保持持久耐用。但有些國家對(duì)輻射以及化學(xué)品危害警示標(biāo)簽有法規(guī)規(guī)定，這時(shí)必須采用本國法規(guī)規(guī)定。11.6將安全連鎖恢復(fù)啟動(dòng)時(shí)，不應(yīng)該會(huì)同時(shí)將設(shè)備起動(dòng)或?qū)⑷魏慰梢苿?dòng)的設(shè)施動(dòng)作。11.7計(jì)算機(jī)硬件若失效應(yīng)自動(dòng)將設(shè)備置于安全備用方式。任何狀況下時(shí)軟體的安全連鎖作11.8安全連鎖裝置最好采用電機(jī)械式(Electomechanical)設(shè)施。但是也可采用固態(tài)設(shè)施(Solid-statedevice)或組件，只要考量了過電壓、低電壓、電力中斷等情形。12.1設(shè)備之EMO,其作動(dòng)時(shí)可使設(shè)備置于安全的關(guān)機(jī)狀態(tài)，不使系統(tǒng)上的危害增加。12.4EMO之作用及其硬件形狀應(yīng)清楚的記TYPE2—設(shè)備在供電中，活線加蓋或rms,42.2Voltspeak,60Voltsdc,240Volt-amps,或有RF出現(xiàn)暴露下工作。供貨商盡可能將第4類之活線作業(yè)工作改為第1、2或3類之活線作業(yè)工作。第4類之工作應(yīng)特別寫在保養(yǎng)手冊(cè)中。供貨商必須在設(shè)備操作及保養(yǎng)手冊(cè)中列出第3類及以上的電氣危害。13.3在暴露高于30Vrms或42.2Vpeak之區(qū)域，設(shè)備制造商應(yīng)提供不導(dǎo)電及/或接地觸電標(biāo)示出，危害標(biāo)示如SEMIS1-90,ANSIZ535,或同等的規(guī)定.13.4設(shè)備設(shè)計(jì)應(yīng)使在保養(yǎng)修理，修改，校正或調(diào)整時(shí)達(dá)最少觸電的可能性.設(shè)備表面漏電電流由設(shè)備保護(hù)蓋表面任何一點(diǎn)到接地端子間量測(cè)電流均不得超過3.5mA.在機(jī)械內(nèi)之設(shè)備13.6電氣保護(hù)箱應(yīng)依國際電氣制造協(xié)會(huì)(NEMA)之標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)造或同等標(biāo)準(zhǔn)值.及110-10),使用者至少要求下列事項(xiàng)：所有208/120V之主電路保護(hù)裝置，其208/120V的進(jìn)入端子上應(yīng)至少能承受10,000rms安培對(duì)稱短路電流；對(duì)于所有480/277V電路保護(hù)裝置應(yīng)至少能承受14,000RMS安培對(duì)稱短路電流。13.8所有設(shè)備應(yīng)提供銘牌，至少標(biāo)明鄰近電力來源的連接器，容器，制造商名，型號(hào)，設(shè)備號(hào)碼及電氣資料(電流，電壓，頻率，相系，相號(hào)及線號(hào)，詳細(xì)資料，參考NEC670-3及電斷路器應(yīng)為硬件基礎(chǔ)”失效也安全"線路.U14.3由制程化學(xué)品或材質(zhì)產(chǎn)生的火災(zāi)危險(xiǎn)性可以使用工程控制(EngineeringControl)的方14.4可能導(dǎo)致高火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備電源或化學(xué)品必須與火警探測(cè)器和滅火系統(tǒng)連鎖，以免火14.5滅火系統(tǒng)：安裝應(yīng)該按照NFPA12,13,2001標(biāo)準(zhǔn)。如果滅火劑對(duì)人體有害，噴放時(shí)間應(yīng)該delay使人員有足夠時(shí)間撤離現(xiàn)場(chǎng)。機(jī)臺(tái)處于任何情況14.6滅火系統(tǒng)管路安裝要求：防腐蝕、系統(tǒng)組件不應(yīng)聚集水分、維修容易及承受要求工作14.7警告及安全工作行為：供應(yīng)商應(yīng)該14.8滅火系統(tǒng)維護(hù)及測(cè)試：設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供詳細(xì)的維護(hù)及測(cè)試程序，測(cè)試包括每個(gè)部件14.9環(huán)境：供應(yīng)商應(yīng)提供滅火劑對(duì)環(huán)境或機(jī)臺(tái)方面影響的指導(dǎo)或資料。過溫失效也安全設(shè)計(jì)過流保護(hù)人體工學(xué)設(shè)計(jì)應(yīng)該考量設(shè)備升級(jí)等情況下，如何識(shí)別、消除及轉(zhuǎn)移人體工學(xué)有關(guān)之危害因素。人體工學(xué)驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)：SEMIS8。應(yīng)該使用SupplierErgonomicSuccessCriteria(SESC)來記錄人體工學(xué)評(píng)估結(jié)果。17.1危險(xiǎn)能量隔離包括：危險(xiǎn)電壓切斷、HPM供應(yīng)切斷、圍堵HPM、危險(xiǎn)輻射切斷或圍堵、電容剩余電量釋放、停止危險(xiǎn)移動(dòng)零件、加熱器的切斷以及氣動(dòng)管路的泄壓。17.2為防止與危險(xiǎn)能量源接觸，能量隔離應(yīng)該是可以被鎖定的。17.3執(zhí)行能量隔離或監(jiān)視的人員不應(yīng)該曝露在移動(dòng)的機(jī)臺(tái)、高溫界面、電氣零件下，以免造成意外傷害。17.4對(duì)于具有多種供應(yīng)源之設(shè)備，建議所有能量隔離設(shè)施在安放在同一個(gè)地方。17.5機(jī)臺(tái)維護(hù)前，危險(xiǎn)能量源，如高壓系統(tǒng)、儲(chǔ)存的能量，可以被隔離或降低止零的水平。18.1機(jī)械穩(wěn)定性：所有設(shè)備、組件及零件等必須有耐運(yùn)輸、安裝、操作條件等穩(wěn)定性能。18.2運(yùn)行穩(wěn)定性：機(jī)臺(tái)不同部件應(yīng)該具備抵制設(shè)計(jì)壓力的能力，對(duì)物體墜落等危險(xiǎn)應(yīng)該有相應(yīng)防護(hù)措施。18.3機(jī)械危險(xiǎn)評(píng)估：應(yīng)該考慮疲勞、老化、腐蝕及磨損等對(duì)機(jī)械領(lǐng)部件的影響。輸送液體或氣體化學(xué)品的軟硬管階應(yīng)可承受可預(yù)見的內(nèi)外壓力。18.4運(yùn)動(dòng)部件：運(yùn)動(dòng)部件應(yīng)該設(shè)計(jì)成不可以造成任何危險(xiǎn)行為，如果危險(xiǎn)設(shè)計(jì)不可避免，則一定需要相應(yīng)的保護(hù)設(shè)施。18.5運(yùn)動(dòng)部件危險(xiǎn)性保護(hù)措施選擇：應(yīng)該考量以下因素，危險(xiǎn)被防護(hù)、危險(xiǎn)導(dǎo)致傷害的發(fā)生可能性及嚴(yán)重性、保護(hù)設(shè)施被移動(dòng)的頻率。18.6保護(hù)設(shè)施：應(yīng)該能減少危險(xiǎn)使人員接觸機(jī)械危險(xiǎn)至一個(gè)可以接受的水平，同時(shí)不會(huì)帶來其他的危險(xiǎn)。18.7溫度保護(hù)：過溫設(shè)備表面需有保護(hù)設(shè)施。19.地震保護(hù)(SEISMICPROTECTION)19.1地震保護(hù)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則目的：使設(shè)備制造商正確設(shè)計(jì)設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)及組件以抗地震，以及讓設(shè)備供應(yīng)商提供給用戶有關(guān)設(shè)備安全保護(hù)的資料信息。19.2設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考量零部件當(dāng)?shù)卣饡r(shí)失效，從而可能導(dǎo)致危險(xiǎn)性升級(jí)，所以應(yīng)該具有相應(yīng)的防護(hù)措施。19.3設(shè)計(jì)負(fù)荷：設(shè)備、附屬設(shè)備以及所有用于固定設(shè)備的設(shè)施在設(shè)計(jì)時(shí)階應(yīng)考量：使用HPM的設(shè)備應(yīng)該能承受94%設(shè)備重量的水平壓力，不使用HPM的設(shè)備至少在63%(壓力通過設(shè)備重心，水平壓力應(yīng)該在X軸和Y軸上單獨(dú)計(jì)算)。計(jì)算設(shè)備翻轉(zhuǎn)力的時(shí)候，應(yīng)該最大考量19.4設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)該提供如下資料：設(shè)備圖、支持設(shè)施、接頭及固定的位置，腳的類型及承受重力分布，物理尺寸，每部分的重心。19.5固定的尺寸、固定用的零部件及防地震固定點(diǎn)階應(yīng)明確標(biāo)出。20.自動(dòng)運(yùn)動(dòng)機(jī)械(AUTOMATEDMATERIALHANDLERS)19.3工業(yè)機(jī)器人：應(yīng)滿足ANSI/RIAR15.06,ISO10218,EN775標(biāo)準(zhǔn)。如果有偏差，此偏19.4無人運(yùn)輸車(UTVs):有地板運(yùn)輸車及空間運(yùn)輸車兩種。應(yīng)該安裝有防接觸感應(yīng)裝置，以免和人員或其他物體不經(jīng)意接觸。應(yīng)該與制程設(shè)備21.1本標(biāo)準(zhǔn)建議：環(huán)境影響應(yīng)該與安全、衛(wèi)生、法規(guī)要求等平衡考慮，用戶有關(guān)環(huán)境給設(shè)備供應(yīng)商。設(shè)備生命周期(從設(shè)計(jì)到退役或廢棄處理)階應(yīng)考量以下因素：21.2能源節(jié)約：水循環(huán)再利用，化學(xué)品、能量及水的盡量少(如清洗液),化學(xué)品的循環(huán)再利用，包裝材料體積減少或使用可多次使用的包裝。21.3化學(xué)品選擇：化學(xué)品選擇應(yīng)考慮效果、環(huán)境影響、體積、毒性、副產(chǎn)品、處理以及循環(huán)使用等。設(shè)備維護(hù)、制程應(yīng)該考量不使用臭氧消耗物質(zhì)(ODS),如CFC,HCFC或?qū)е聹厥倚?yīng)的PFC等如CF4,C2F6,NF3,C3F8,SF6,CHF3。21.4泄露預(yù)防：化學(xué)品供應(yīng)，儲(chǔ)存，以及廢棄物處理應(yīng)具有以下最低考量：二次承漏應(yīng)該至少裝載110%的可能泄漏的化學(xué)品。承漏設(shè)備中適當(dāng)位置點(diǎn)應(yīng)該具有Leaksensor并有泄部應(yīng)具有液位Hi警報(bào)裝置。設(shè)備部件應(yīng)該與輸送之化學(xué)品兼容。設(shè)備應(yīng)該接受來自監(jiān)視儀21.5污水排放、廢棄處理及氣體散發(fā)：建議設(shè)備與中央廢水收集系統(tǒng)連接。設(shè)備應(yīng)使用Partition等來隔離不兼容之化學(xué)品。超過制程或安全要求的為降低廢水濃度的稀釋是不允22.1排氣設(shè)備目的是防止人體對(duì)化學(xué)品的曝露。應(yīng)用于：作為最初控制方式：意即控制的第一選擇(如不考慮使用個(gè)人防護(hù)具PPE等),用于在正常操作條件下，由化學(xué)等),如機(jī)臺(tái)間歇的維護(hù)行為等。22.2設(shè)備排氣參數(shù)以及相關(guān)測(cè)試：輸送管速率、體積流率Q、捕捉速率(當(dāng)enclosure外空氣中存在小顆粒)、正面速率(有必要)、Hood空氣進(jìn)入損失因子Fh或K,空氣進(jìn)入相關(guān)系數(shù)Ce,Hood之靜壓SPh,連接處輸送管的直徑以及Hood或輸送管的測(cè)量位置。22.3連鎖設(shè)計(jì)：所有使用HPM機(jī)臺(tái)的排氣設(shè)備階應(yīng)該使用排氣連鎖，最好使用流量或靜壓22.4設(shè)備及設(shè)備組件應(yīng)該使用優(yōu)良的排氣設(shè)施，以保證捕捉盡量多的化學(xué)品和優(yōu)化排氣效異味化學(xué)品(Odorthreshold<1ppm)或刺激性化學(xué)品的應(yīng)該識(shí)別出來。23.2危害分析：作為化學(xué)品危害性最起碼的認(rèn)識(shí)以及對(duì)化學(xué)品23.3化學(xué)品危害控制措施優(yōu)先順序：代替或消除、工程控制(Enclosure,Ventilation,Interlock),管理控制(制訂標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序，貼警示標(biāo)簽),個(gè)23.5正常操作時(shí)：工作環(huán)境中應(yīng)該沒有揮發(fā)的化學(xué)品。標(biāo)準(zhǔn)為在最差的情況下，小于1%的23.6設(shè)備失效時(shí)：工作環(huán)境中化學(xué)品的揮發(fā)應(yīng)該降低最小，標(biāo)準(zhǔn)為在最差的情況下，小于25%的OEL值。23.7最嚴(yán)重之設(shè)備真實(shí)失效情況：工作環(huán)境中化學(xué)品的揮發(fā)應(yīng)該降低最小，標(biāo)準(zhǔn)為在最差的情況下，小于25%的OEL值或25%的LEL值。23.8使用危險(xiǎn)氣體的設(shè)備應(yīng)該具有持續(xù)的氣體泄漏采樣點(diǎn)(安裝說明書中認(rèn)可)和探測(cè)器。并且設(shè)備應(yīng)該可以接受外部監(jiān)視儀器的信號(hào)并關(guān)閉氣體供應(yīng)。23.9所有化學(xué)品罩的適當(dāng)位置階應(yīng)有危險(xiǎn)警告標(biāo)簽。24.1正常操作時(shí)：人員接受游離輻射強(qiáng)度為每小時(shí)小于0.2毫雷姆。24.2設(shè)備維護(hù)時(shí)：人員接受游離輻射強(qiáng)度為每小時(shí)小于1毫雷姆。24.3接觸放射性污染(包括吸入或食入放射性物質(zhì)):其危害及控制應(yīng)該在設(shè)備維護(hù)手冊(cè)中明確。全世界對(duì)放射性物質(zhì)控制嚴(yán)格，處理、使用、運(yùn)輸都需要有許可證。輻射危害性機(jī)臺(tái)也嚴(yán)格受控制，進(jìn)口、出口、安裝、維護(hù)都有嚴(yán)格規(guī)定以及要求有許可證。設(shè)備制造商應(yīng)該在用戶文件中提可以供用戶輻射方面幫助的安全人員聯(lián)絡(luò)電話。24.4輻射工程控制方法：如屏蔽、連鎖等應(yīng)該為防護(hù)輻射最起碼的措施。設(shè)備氣體供應(yīng)管或排氣管應(yīng)該設(shè)計(jì)有屏蔽，以減少設(shè)備安裝時(shí)屏蔽的移除或替換頻率。輻射障礙前應(yīng)該有“不可動(dòng)搖的”安全連鎖，以使人員維護(hù)設(shè)備時(shí)輻射強(qiáng)度不可超過每小時(shí)小于0.2毫雷姆。24.5管理控制：如距離、時(shí)間、標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序、警告提示等，設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)該提供管理控制的詳盡資料。24.6設(shè)備制造商應(yīng)該對(duì)機(jī)臺(tái)正常運(yùn)行或維護(hù)時(shí)進(jìn)行輻射危險(xiǎn)評(píng)估，以證明機(jī)臺(tái)符合本標(biāo)準(zhǔn)。機(jī)臺(tái)安裝運(yùn)行正常后，應(yīng)該使用認(rèn)可的方法執(zhí)行輻射實(shí)地測(cè)量，包括測(cè)量方法、機(jī)臺(tái)運(yùn)行參數(shù)、使用儀器、校正數(shù)據(jù)、輻射源、測(cè)量結(jié)果及討論等內(nèi)容。根據(jù)測(cè)量結(jié)果，若需要補(bǔ)充管理控制，則需提供輻射源、輻射強(qiáng)度以及建議使用的控制手段等信息。25.1.非游離輻射包括：靜電磁場(chǎng)(OHz)、次無線電靜電磁場(chǎng)(<3Hz)、無線電(3kHz~300GHz)、紅外線(波長700nm~1mm)、可見光(400nm~700nm)、紫外線(180nm~400nm).25.2所有潛在的非游離輻射對(duì)人員造成的傷害要近可能的控制在最低水平。機(jī)臺(tái)正常運(yùn)行時(shí)，人員受非游離輻射強(qiáng)度應(yīng)低于“操作員可接受極限”(OperatorAccessibleLimit)。機(jī)臺(tái)操作及維護(hù)手冊(cè)中應(yīng)該說明潛在的非游離輻射源，并列舉適當(dāng)參數(shù)，包括頻率、波長、電量、持續(xù)發(fā)生的波長以及脈沖波長。脈沖參數(shù)還應(yīng)包括脈沖重復(fù)率、脈沖持續(xù)時(shí)間以及脈沖波形式描述。建議將作測(cè)試用途的UV/IR等也考慮為對(duì)人員可能會(huì)造成傷害的一種非游離輻射源。25.3機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)該考量在正常運(yùn)行、維護(hù)時(shí)如何將非游離輻射控制在最低水平。工程控制：加罩、屏蔽、接地、連鎖。管理控制：警示標(biāo)志、標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序、標(biāo)簽。個(gè)人防護(hù)具：PPE25.4使用或產(chǎn)生非游離輻射的機(jī)臺(tái)應(yīng)該貼上標(biāo)簽。25.5機(jī)臺(tái)生產(chǎn)商應(yīng)該對(duì)機(jī)臺(tái)的非游離輻射危害是否符合標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)估并記錄，工程計(jì)算應(yīng)該作為評(píng)估的一部分，并且采用的應(yīng)該是有具體精確度和準(zhǔn)確度的公認(rèn)方法。另外，應(yīng)該提供一份包括測(cè)量方法、設(shè)備操作參數(shù)、儀器手段、校正數(shù)據(jù)、危害源以及討論的報(bào)告。26.激光安全(LASER)26.1根據(jù)機(jī)臺(tái)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)對(duì)員工實(shí)際上作成的激光危害，對(duì)機(jī)臺(tái)應(yīng)該進(jìn)行激光產(chǎn)品分類。26.2激光能(強(qiáng)度)、波長、波形式(持續(xù)波或脈沖)應(yīng)該在給用戶的相關(guān)文獻(xiàn)中描述。如果是脈沖波，波的重復(fù)率、脈沖持續(xù)時(shí)間、脈沖波