《半導體單晶硅生長用石英坩堝》團體標準

（征求意見稿）

編制說明

2020年12月13日

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一、工作簡況

1、任務來源

為了進一步規(guī)范半導體用石英坩堝產品的技術要求，推進半導體硅晶片產業(yè)鏈的不

斷完善和發(fā)展。中國電子材料行業(yè)協(xié)會石英材料分會于2020年決定起草編制《半導體

單晶硅生長用石英坩堝》團體標準。

本標準由內蒙古歐晶科技股份有限公司，錦州佑鑫石英科技有限公司，江西中昱新

材料科技有限公司起草。

2、主要起草編制過程

2020年7月成立標準編制組，調研了國內外的半導體石英坩堝的使用標準和生產

廠家的現(xiàn)狀，進一步比較充分地對比和評價國內外相關產品指標和性能，并明確了編制

組的工作職責和任務；

2020年9月在內蒙古呼和浩特召開了《半導體單晶硅生長用石英坩堝》的團體標準

及生產標準的立項評審會；同月在標準計劃得到立項批復后，編制標準的草案并對草案

進行研討；

2020年11月標準的計劃得到立項批復后，完成了《半導體單晶硅生長用石英坩堝》

團體標準的草案討論稿，并在浙江余姚召開團體標準研討會，邀請國內科研院所，大學

的專家，國內有代表性的坩堝生產企業(yè)共同討論，對討論稿中的標準范圍、相關技術參

數(shù)和要求進行分析和討論。

2020年12月完成《半導體單晶硅生長用石英坩堝》團體標準的征求意見稿。

二、編制原則和主要內容的依據(jù)

1、編制原則

本文件按照GB/T1.1-2020《標注化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草

規(guī)則》的要求進行編制。制定的原則是保持標準的科學性和適用性，各項技術指標均能

達到國內先進標準水平。

2、主要內容依據(jù)

本文件的編制主要參考《光伏單晶硅生長用石英坩堝》T/CEMIA004-2018，《光伏

單晶硅生長用石英坩堝》JC/T1048-2018。

3、標準主要制定內容說明

本標準界定了半導體單晶硅生長用石英坩堝的術語和定義，規(guī)定了尺寸偏差、技術

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要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、儲存等。確保石英坩堝品質的統(tǒng)一性

和穩(wěn)定性。本標準與《光伏單晶硅生長用石英坩堝》T/CEMIA004-2018，《光伏單晶硅

生長用石英坩堝》JC/T1048-2018的技術的主要技術標準，主要對以下內容進行增加或

調整：

3.1本標準術語中新增了3.14崩邊，明確了石英坩堝切割面、端面、邊部的要求；

3.2本標準調整了微氣泡、圓度偏差、壁內、附著物、沾污、劃傷、雜質點、晶紋、氣

泡群等做了英文翻譯和定義說明，使其更能準確針對石英坩堝的術語進行表述；

3.3本標準中4.1外本標準形及表示中新增了Ci內倒角、Co外倒角位置；

3.4調整了5.1尺寸偏差中縮小了大于22英寸坩堝的高度偏差縮小1個單位、厚度偏

差縮小0.5個單位；r弧度間隙縮小2個單位，加嚴了石英坩堝的尺寸偏差要求；

3.5調整了5.2.1外觀缺陷中調整了雜質點、氣泡個數(shù)、氣泡群個數(shù)標準，如原有大于

22英寸坩堝雜質點0.5mm＜Φ≤1.5mm的≤4個，現(xiàn)調整為0.mm5＜Φ≤1.5mm的調

整為≤3個；

3.6調整了5.2.2透明層內單位體積的微氣泡密度個數(shù)，如下所示：

變更前變更后

位置D≤22英寸D＞22英寸D≤22英寸D＞22英寸

透明層≤15≤10≤10≤8

3.7新增了5.3.1內層高純和內層合成石雜質元素含量的上限要求；

3.8調整了7.3.1總則c），由原來的停產4個月修改到2個月以上。

四、標準中如有涉及專利，應有明確的知識產權說明。

本標準的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。

五、產業(yè)化、推廣應用論證和預期達到的經濟效果等情況。

隨著我國半導體單晶生產產業(yè)的不斷發(fā)展，對石英坩堝的品質要求越來越高。半導

體單晶用石英坩堝的標準制定有利于促進石英坩堝的品質提升，優(yōu)化產品各項性能。為

了增強國內各個石英坩堝生產單位和使用單位對石英坩堝性能數(shù)據(jù)的對比，提升我國石

英坩堝產業(yè)化水平，急需規(guī)范評價標準，建立評價體系。因此，需盡快研討確定執(zhí)行標

準，提高行業(yè)的競爭力。

六、采用國際標準和國外先進標準情況（采用國際標準或國外先進標準的目的、意義和

一致性程度，我國標準與被采用標準的主要差異及其原因；以及與國際、國外同類標準

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水平的對比情況）

石英坩堝無國際標準，國外主要參考邁圖企業(yè)標準，國內主要參考《光伏單晶硅生

長用石英坩堝》T/CEMIA004-2018，《光伏單晶硅生長用石英坩堝》JC/T1048-2018。

七、重大分歧意見的處理經過和依據(jù)

無。

八、標準性質的建議說明

建議本標準性質為團體標準。

九、貫徹標準的要求和措施建議

本標準確定的指標符合大多數(shù)石英坩堝研制和使用企業(yè)的實際情況。該標準可直接

在行業(yè)內大多數(shù)企業(yè)貫徹實施。本標準有助于提高相關行業(yè)的技術水平，建議盡早實施。

十、廢止現(xiàn)行相關標準的建議

無。

十一、致謝