納米拉伸儀力值示值相對(duì)誤差測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定示例11校準(zhǔn)的具體條件校準(zhǔn)的具體條件見表1表1校準(zhǔn)的具體條件納米拉伸儀最大試驗(yàn)力500mN納米拉伸儀力值分辨力1×10-6mN校準(zhǔn)期間的環(huán)境條件在校準(zhǔn)開始時(shí)溫度測(cè)量為21.2℃，校準(zhǔn)過程中溫度變化不大于1.0℃；相對(duì)濕度測(cè)量為56%，校準(zhǔn)過程中相對(duì)濕度變化不大于5%試驗(yàn)載荷有校準(zhǔn)證書的F1等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)砝碼校準(zhǔn)地點(diǎn)的重力加速度g=9.7946m2測(cè)量方法依據(jù)本校準(zhǔn)規(guī)范，使用10mg的E2等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)一臺(tái)納米拉伸儀進(jìn)行力值示值相對(duì)誤差測(cè)量。3測(cè)量模型(1)式中：E——力值示值相對(duì)誤差，%；Fi——同一力值測(cè)量點(diǎn)，納米拉伸儀顯示的力值Fi三次測(cè)量的算術(shù)平均值，mNmcg——校準(zhǔn)地點(diǎn)的重力加速度，m/4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度計(jì)算公式ucE靈敏系數(shù)：，5標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量評(píng)定5.1納米拉伸儀力值示值測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(5.1.1納米拉伸儀示值分辨力測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u被校納米拉伸儀力值示值分辨力是1×10-6mN，取半寬，按均勻分布：u5.1.2重復(fù)性測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u用10mg標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)納米拉伸儀連續(xù)測(cè)量10次，測(cè)量結(jié)果見表2。表2測(cè)量結(jié)果次數(shù)12345實(shí)測(cè)值(mN)0.0985450.0988540.0989420.0987820.098627次數(shù)678910實(shí)測(cè)值(mN)0.0989660.0985580.0986190.985470.098429按貝塞爾公式計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差實(shí)際測(cè)量時(shí)，在重復(fù)性條件下連續(xù)測(cè)量3次，以算術(shù)平均值進(jìn)行計(jì)算，則引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量：u5.1.3力值示值測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度uFuFi=u5.2標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不確定度u(5.2.1標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不確定度引入的確定度分量u砝碼檢定證書中給出了10mg的E2等級(jí)砝碼的約定質(zhì)量值，以及測(cè)量結(jié)果擴(kuò)展不確定度U和包含因子k，其標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：u5.2.2標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不穩(wěn)定性引入的確定度分量u根據(jù)JJG99砝碼檢定規(guī)程，10mg的E2等級(jí)砝碼在檢定周期內(nèi)約定質(zhì)量的變化量不能超過其質(zhì)量允差絕對(duì)值的三分一，即0.002mg，按均勻分布計(jì)算：5.2.3標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不確定度u(mumc=6合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度uc校準(zhǔn)地點(diǎn)重力加速度g=9.7946m/s2，標(biāo)準(zhǔn)砝碼約定質(zhì)量值mc=10.001mg靈敏系數(shù)：10.210218mN-1-100.84645g-1uc==0.11%7擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度U為：U=k用不同規(guī)格的E2等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)某納米拉伸儀進(jìn)力值示值相對(duì)誤差和示值重復(fù)性測(cè)量，按上述不確定度評(píng)定方法，評(píng)定出示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度如下表最右一列所示。加載方向：壓向重力加速度g=9.7946m/s2標(biāo)準(zhǔn)砝碼約定質(zhì)量值標(biāo)準(zhǔn)砝碼力值mN儀器力值示值mN力值示值相對(duì)誤差%力值示值重復(fù)性%擴(kuò)展不確定度（k=2）%第1次第2次第3次平均值10.001mg0.0979410.0985450.0988540.0989420.0987800.90.40.3100.005mg0.9793620.9724570.9678450.9698650.970056-1.00.50.4200.004mg1.9586651.9327491.9402341.9358761.936286-1.10.40.3500.004mg4.8966054.8213874.8269854.8298564.826076-1.40.20.21.000006g9.7931909.6901879.6587959.6545179.667833-1.30.40.22.000006g19.58632019.31235719.30724219.34354819.321049-1.40.20.25.000005g48.96570348.26143948.27049848.22481748.252251-1.50.10.110.000017g97.93147596.50147296.49645896.55610696.518012-1.40.10.1納米拉伸儀力值示值相對(duì)誤差測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定示例21校準(zhǔn)的具體條件校準(zhǔn)的具體條件見表1表1校準(zhǔn)的具體條件納米拉伸儀最大試驗(yàn)力500mN納米拉伸儀力值分辨力1×10-6mN校準(zhǔn)期間的環(huán)境條件在校準(zhǔn)開始時(shí)溫度測(cè)量為21.6℃，校準(zhǔn)過程中溫度變化不大于1.0℃；相對(duì)濕度測(cè)量為60%，校準(zhǔn)過程中相對(duì)濕度變化不大于5%試驗(yàn)載荷有校準(zhǔn)證書的F1等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)砝碼校準(zhǔn)地點(diǎn)的重力加速度g=9.7883m2測(cè)量方法依據(jù)本校準(zhǔn)規(guī)范，使用100mg的F1等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)一臺(tái)納米拉伸儀進(jìn)行力值示值相對(duì)誤差測(cè)量。3測(cè)量模型(1)式中：E——力值示值相對(duì)誤差，%；Fi——同一力值測(cè)量點(diǎn)，納米拉伸儀顯示的力值Fi三次測(cè)量的算術(shù)平均值，mNmcg——校準(zhǔn)地點(diǎn)的重力加速度，m/4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度計(jì)算公式ucE靈敏系數(shù)：，5標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量評(píng)定5.1納米拉伸儀力值示值測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(5.1.1納米拉伸儀力值示值分辨力測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u被校納米拉伸儀示值分辨力是1×10-6mN，取半寬，按均勻分布：u5.1.2重復(fù)性測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u用100mg標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)納米拉伸儀連續(xù)測(cè)量10次，測(cè)量結(jié)果見表2。表2測(cè)量結(jié)果次數(shù)12345實(shí)測(cè)值(mN)0.9812020.9747540.9769130.9801520.976805次數(shù)678910實(shí)測(cè)值(mN)0.9729570.9839030.9727540.9759040.975152按貝塞爾公式計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差實(shí)際測(cè)量時(shí)，在重復(fù)性條件下連續(xù)測(cè)量3次，以算術(shù)平均值進(jìn)行計(jì)算，則引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量：u5.1.3力值示值測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度uFuFi=u5.2標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不確定度u(5.2.1標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不確定度引入的確定度分量u砝碼檢定證書中給出了100mg的F1等級(jí)砝碼的約定質(zhì)量值，以及測(cè)量結(jié)果擴(kuò)展不確定度U和包含因子k，其標(biāo)準(zhǔn)不確定度為：u5.2.2標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不穩(wěn)定性引入的確定度分量u根據(jù)JJG99砝碼檢定規(guī)程，100mg的F1等級(jí)砝碼在檢定周期內(nèi)約定質(zhì)量的變化量不能超過其質(zhì)量允差絕對(duì)值的三分一，即0.016mg，按均勻分布計(jì)算：5.2.3標(biāo)準(zhǔn)砝碼的不確定度u(mumc=6合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度uc校準(zhǔn)地點(diǎn)重力加速度g=9.7883m/s2，標(biāo)準(zhǔn)砝碼約定質(zhì)量值mc=100.005mg靈敏系數(shù)：1.021781mN-1-9.98817g-1ucE=0.21%7擴(kuò)展不確定度取包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度U為：U=k用不同規(guī)格的F1等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)某納米拉伸儀進(jìn)力值示值相對(duì)誤差和示值重復(fù)性測(cè)量，按上述不確定度評(píng)定方法，評(píng)定出示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度如下表最右一列所示。加載方向：壓向重力加速度g=9.7883m/s2標(biāo)準(zhǔn)砝碼約定質(zhì)量值標(biāo)準(zhǔn)砝碼力值mN儀器力值示值mN力值示值相對(duì)誤差%力值示值重復(fù)性%擴(kuò)展不確定度（k=2）%第1次第2次第3次平均值10.001mg0.0978780.0982040.0988530.0987490.098602+0.70.70.5100.005mg0.9787300.9812020.9747540.9769130.977623-0.10.70.5500.004mg4.8934554.8753744.8665734.8706494.870865-0.50.20.21.000014g9.7869699.7346479.7234129.7214539.726504-0.60.10.110.000039g97.86869997.36234897.26586197.30213997.310116-0.60.10.120.000038g195.737007194.653466194.832279194.685736194.723827-0.50.10.1納米拉伸儀橫梁位移示值相對(duì)誤差測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定示例1校準(zhǔn)的具體條件校準(zhǔn)的具體條件見表1表1校準(zhǔn)的具體條件納米拉伸儀橫梁最大位移200mm納米拉伸儀橫梁位移示值分辨力0.01m校準(zhǔn)期間的環(huán)境條件在校準(zhǔn)開始時(shí)溫度測(cè)量為21.6℃，校準(zhǔn)過程中溫度變化不大于1.0℃；相對(duì)濕度測(cè)量為50%，校準(zhǔn)過程中相對(duì)濕度變化不大于5%位移測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器具有檢定證書的激光干涉儀2測(cè)量方法依據(jù)本校準(zhǔn)規(guī)范，安裝好激光干涉儀，在納米拉伸儀橫梁位移的測(cè)量范圍內(nèi)，對(duì)位移設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。3測(cè)量模型qD=式中：qD——橫梁位移示值相對(duì)誤差，%D——納米拉伸儀橫梁位移的設(shè)定示值，mm；Di——同一位移4合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度計(jì)算公式ucq靈敏系數(shù)：C=5標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量評(píng)定5.1激光干涉儀示值分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u激光干涉儀的分辨力是0.01m，取半寬，按均勻分布：u5.2重復(fù)性測(cè)量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u以10mm測(cè)量點(diǎn)為例，重復(fù)測(cè)量10次，測(cè)量結(jié)果見表D.2。表2測(cè)量結(jié)果次數(shù)12345實(shí)測(cè)值(mm)9.985989.988099.990429.989259.98964次數(shù)678910實(shí)測(cè)值(mm)9.987899.986579.989679.990399.98876按貝塞爾公式計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差實(shí)際測(cè)量時(shí)，在重復(fù)性條件下連續(xù)測(cè)量3次，以算術(shù)平均值進(jìn)行計(jì)算，則引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量：u5.3激光干涉儀技術(shù)指標(biāo)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u在10mm測(cè)量范圍內(nèi)，激光干涉儀的最大允許誤差MPE：±0.0005mm，估計(jì)其為均勻分布，則引入的不確定度為：u5.4標(biāo)準(zhǔn)不確定度u