TCSTM01024-2023導(dǎo)電陽(yáng)極絲熱成像輔助定位失效分析方法_第1頁(yè)
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T/CSTM01024—Failureanalysismethodofthermalimaging-assistedpositioningforconductiveanodicfilament 2023-09-21實(shí)中關(guān)村材料試驗(yàn)技術(shù)聯(lián) 發(fā)T/CSTMT/CSTM01024- 前 范 原 樣 前本文件參照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1GB/T20001.4—20154部分：試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)》的規(guī)定起草。本文件由中國(guó)材料與試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)電子材料領(lǐng)域覆銅板材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)T/CSTMT/CSTM01024-GB/T2036GB/T4677-200215b conductiveanodicfilament（以下簡(jiǎn)稱金屬離子在電場(chǎng)的作用下，沿玻纖/ 1infraredhotspotanalysis2infraredhotspotstacking3CAF失效導(dǎo)致絕緣電阻降低，通電時(shí)會(huì)因?yàn)榘l(fā)熱產(chǎn)生微弱的紅外能量，高靈敏度的紅外探測(cè)器能a)b）0.1VDC1μA；c）25mK@25℃；, 108Ω9.2～9.3進(jìn)行試驗(yàn)。28℃~50℃，以增加樣品表面發(fā)射率從而得到清晰圖像。測(cè)試電壓和限流初始值應(yīng)設(shè)置較低數(shù)值，防止CAF電阻越大，設(shè)置的測(cè)試電壓越大，設(shè)置電壓建議不超過(guò)CAF試驗(yàn)的測(cè)試電壓。設(shè)置值越小，例如厚度＜1.6mm1Hz2s，對(duì)于厚樣品和失效位置較深，則需a)熱量聚集初 c)熱量擴(kuò)散初 d)熱量擴(kuò)散中 e)熱量擴(kuò)散末

圖 5EDSCAF5GB/T4677-200215b：顯微剖切進(jìn)行顯CAFCAFCAFb6CAFCAF的背散射模式觀察CAFCAFa）CAF方向研磨示意圖b7CAFCAF9.3.2a）步

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