真空技術(shù)試驗工職業(yè)技能模擬試卷含答案工種：真空技術(shù)試驗工等級：初級/中級時間：90分鐘滿分：100分---一、單項選擇題（每題1分，共30分）1.真空環(huán)境中，氣體分子的平均自由程通常大于（）毫米時，可視為高真空。A.0.1B.1C.10D.1002.真空獲得設(shè)備中，最適合抽除空氣和不凝性氣體的是（）。A.磁懸浮泵B.離子泵C.旋片泵D.油擴(kuò)散泵3.真空測量中，測量范圍在10?3Pa到10??Pa的真空計是（）。A.熱偶規(guī)B.電離規(guī)C.Pirani規(guī)D.麥克勞規(guī)4.真空系統(tǒng)中的“放氣”現(xiàn)象通常由（）引起。A.系統(tǒng)泄漏B.系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體C.真空泵油污染D.系統(tǒng)溫度過高5.真空管道連接時，常用（）方式確保氣密性。A.焊接B.卡扣連接C.橡膠塞D.焊接+密封膠6.真空系統(tǒng)的檢漏方法中，不適用于大面積檢漏的是（）。A.氦質(zhì)譜檢漏B.聽聲法C.氦氣泡法D.放氣法7.真空獲得設(shè)備中，抽速與壓強成反比的是（）。A.機械泵B.擴(kuò)散泵C.離子泵D.渦輪分子泵8.真空系統(tǒng)中的“返流”現(xiàn)象主要發(fā)生在（）階段。A.預(yù)抽B.高真空抽取C.末期抽氣D.泵啟動9.真空測量中，熱偶規(guī)的工作原理基于（）。A.氣體熱傳導(dǎo)B.氣體電離C.氣體擴(kuò)散D.氣體分子碰撞10.真空系統(tǒng)中，常用的冷凝阱材料是（）。A.鉑金B(yǎng).液氮C.銅合金D.石墨11.真空獲得設(shè)備中，噪聲較大的泵是（）。A.旋片泵B.真空助力泵C.離子泵D.渦輪分子泵12.真空測量中，測量范圍在10??Pa到10?1Pa的真空計是（）。A.Pirani規(guī)B.熱偶規(guī)C.電離規(guī)D.麥克勞規(guī)13.真空系統(tǒng)中的“冷凝”現(xiàn)象通常由（）引起。A.系統(tǒng)溫度過低B.系統(tǒng)內(nèi)水分C.真空泵油污染D.系統(tǒng)壓力過高14.真空管道連接時，常用（）材料制作密封墊圈。A.石墨B.橡膠C.金屬箔D.聚四氟乙烯15.真空系統(tǒng)的檢漏方法中，靈敏度最高的方法是（）。A.氦氣泡法B.氦質(zhì)譜檢漏C.聽聲法D.火焰法16.真空獲得設(shè)備中，適合抽除可凝性氣體的泵是（）。A.機械泵B.擴(kuò)散泵C.離子泵D.渦輪分子泵17.真空系統(tǒng)中的“氣壓波動”現(xiàn)象通常由（）引起。A.系統(tǒng)泄漏B.真空泵不穩(wěn)定C.系統(tǒng)溫度變化D.真空管道過長18.真空測量中，測量范圍在10?1Pa到10?Pa的真空計是（）。A.熱偶規(guī)B.Pirani規(guī)C.麥克勞規(guī)D.電離規(guī)19.真空系統(tǒng)中，常用的吸氣劑材料是（）。A.活性炭B.鈦合金C.鉑銠合金D.銅網(wǎng)20.真空獲得設(shè)備中，抽氣速率最高的泵是（）。A.機械泵B.真空助力泵C.離子泵D.渦輪分子泵21.真空測量中，影響熱偶規(guī)測量精度的主要因素是（）。A.熱偶絲老化B.環(huán)境溫度C.真空度D.氣體成分22.真空系統(tǒng)中的“返流”現(xiàn)象會導(dǎo)致（）。A.真空度下降B.真空度上升C.泵壽命延長D.系統(tǒng)漏氣23.真空管道連接時，常用（）方法檢查密封性。A.氦質(zhì)譜檢漏B.氣壓測試C.火焰法D.聽聲法24.真空獲得設(shè)備中，適合抽除氫氣的泵是（）。A.機械泵B.離子泵C.擴(kuò)散泵D.渦輪分子泵25.真空測量中，電離規(guī)的工作原理基于（）。A.氣體熱傳導(dǎo)B.氣體電離C.氣體擴(kuò)散D.氣體分子碰撞26.真空系統(tǒng)中的“冷凝”現(xiàn)象會導(dǎo)致（）。A.真空度下降B.真空度上升C.泵壽命延長D.系統(tǒng)漏氣27.真空管道連接時，常用（）材料制作密封墊圈。A.石墨B.橡膠C.金屬箔D.聚四氟乙烯28.真空系統(tǒng)的檢漏方法中，最適用于金屬管道的方法是（）。A.氦氣泡法B.氦質(zhì)譜檢漏C.聽聲法D.火焰法29.真空獲得設(shè)備中，噪聲最小的泵是（）。A.旋片泵B.真空助力泵C.離子泵D.渦輪分子泵30.真空測量中，測量范圍在10?1?Pa到10?3Pa的真空計是（）。A.熱偶規(guī)B.電離規(guī)C.Pirani規(guī)D.麥克勞規(guī)---二、多項選擇題（每題2分，共20分）1.真空系統(tǒng)的組成部分包括（）。A.真空泵B.真空管道C.真空計D.真空閥門E.冷凝阱2.真空測量中，影響測量精度的因素包括（）。A.環(huán)境溫度B.真空計老化C.氣體成分D.真空泵抽速E.真空管道長度3.真空系統(tǒng)的檢漏方法中，適用于不同材質(zhì)的方法包括（）。A.氦氣泡法B.氦質(zhì)譜檢漏C.聽聲法D.火焰法E.氣壓測試4.真空獲得設(shè)備中，適合抽除多種氣體的泵包括（）。A.機械泵B.離子泵C.擴(kuò)散泵D.渦輪分子泵E.真空助力泵5.真空系統(tǒng)中的常見問題包括（）。A.系統(tǒng)泄漏B.真空度不足C.真空泵過熱D.真空管道堵塞E.真空計故障6.真空測量中，常用的真空計類型包括（）。A.熱偶規(guī)B.電離規(guī)C.Pirani規(guī)D.麥克勞規(guī)E.真空計7.真空系統(tǒng)中的密封材料包括（）。A.聚四氟乙烯B.橡膠C.石墨D.金屬箔E.真空膠帶8.真空獲得設(shè)備中，適合抽除高活性氣體的泵包括（）。A.離子泵B.擴(kuò)散泵C.渦輪分子泵D.真空助力泵E.機械泵9.真空測量中，影響熱偶規(guī)測量精度的因素包括（）。A.熱偶絲老化B.環(huán)境溫度C.真空度D.氣體成分E.真空管道長度10.真空系統(tǒng)中的常見故障包括（）。A.真空泵油污染B.真空管道泄漏C.真空計損壞D.真空閥門卡滯E.冷凝阱失效---三、判斷題（每題1分，共10分）1.真空環(huán)境中，氣體分子的平均自由程越大，氣體越稀薄。（√）2.真空測量中，熱偶規(guī)適用于測量高真空。（×）3.真空系統(tǒng)中的檢漏方法中，聽聲法適用于大面積檢漏。（×）4.真空獲得設(shè)備中，機械泵的抽速與壓強成正比。（×）5.真空測量中，電離規(guī)適用于測量高真空。（√）6.真空系統(tǒng)中的“返流”現(xiàn)象會導(dǎo)致真空度上升。（×）7.真空管道連接時，常用焊接方式確保氣密性。（√）8.真空測量中，麥克勞規(guī)適用于測量低真空。（×）9.真空系統(tǒng)中的“冷凝”現(xiàn)象會導(dǎo)致真空度下降。（√）10.真空獲得設(shè)備中，離子泵的抽速與壓強成反比。（√）---四、簡答題（每題5分，共20分）1.簡述真空系統(tǒng)的組成部分及其作用。2.簡述真空測量中，不同類型真空計的工作原理及適用范圍。3.簡述真空系統(tǒng)檢漏的方法及其適用場景。4.簡述真空獲得設(shè)備中，常見故障的排查方法。---五、論述題（10分）結(jié)合實際案例，論述真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用及其重要性。---答案及解析一、單項選擇題1.C2.D3.B4.B5.A6.B7.B8.C9.A10.B11.A12.A13.A14.D15.B16.B17.B18.B19.B20.D21.A22.A23.B24.B25.B26.A27.D28.B29.D30.B二、多項選擇題1.A,B,C,D,E2.A,B,C,D,E3.A,B,C,D,E4.A,B,C,D,E5.A,B,C,D,E6.A,B,C,D7.A,B,C,D,E8.A,C,D9.A,B,C,D,E10.A,B,C,D,E三、判斷題1.√2.×3.×4.×5.√6.×7.√8.×9.√10.√四、簡答題1.真空系統(tǒng)的組成部分及其作用-真空泵：負(fù)責(zé)抽除系統(tǒng)中的氣體，降低系統(tǒng)壓強。-真空管道：連接各部件，傳遞氣體。-真空計：測量系統(tǒng)內(nèi)的真空度。-真空閥門：控制氣體流動，隔離系統(tǒng)。-冷凝阱：捕集可凝性氣體，防止其返流。2.真空測量中，不同類型真空計的工作原理及適用范圍-熱偶規(guī)：基于氣體熱傳導(dǎo)原理，適用于測量10?1Pa到10?3Pa的中等真空。-Pirani規(guī)：基于氣體電阻變化原理，適用于測量10?3Pa到10?1Pa的中等真空。-電離規(guī)：基于氣體電離原理，適用于測量10??Pa到10?1Pa的高真空。-麥克勞規(guī)：基于氣體壓縮原理，適用于測量10?1Pa到10?Pa的低真空。3.真空系統(tǒng)檢漏的方法及其適用場景-氦氣泡法：適用于金屬管道，通過觀察氦氣泡產(chǎn)生判斷泄漏位置。-氦質(zhì)譜檢漏：適用于各種材質(zhì)，靈敏度最高，適用于精密儀器檢漏。-聽聲法：適用于較大泄漏，通過聽聲音判斷泄漏位置。-火焰法：適用于低壓系統(tǒng)，通過觀察火焰變化判斷泄漏位置。-氣壓測試：適用于大型系統(tǒng)，通過壓力變化判斷泄漏位置。4.真空獲得設(shè)備中，常見故障的排查方法-真空泵油污染：檢查油位，更換油液，防止油蒸氣污染系統(tǒng)。-真空管道泄漏：使用檢漏儀器檢查各連接處，修復(fù)泄漏點。-真空計損壞：檢查真空計是否老化，更換損壞部件。-真空閥門卡滯：清理閥門，潤滑機械部分，確保閥門正常開關(guān)。-冷凝阱失效：更換冷凝阱，確保其正常工作，防止可凝性氣體返流。五、論述題真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用及其重要性真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體設(shè)備中扮演著至關(guān)重要的角色，主要體現(xiàn)在以下幾個方面：1.薄膜沉積：在半導(dǎo)體制造中，薄膜沉積（如原子層沉積、化學(xué)氣相沉積）需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，以防止雜質(zhì)氣體干擾薄膜質(zhì)量。真空系統(tǒng)提供穩(wěn)定的低壓環(huán)境，確保薄膜的均勻性和純凈度。2.刻蝕工藝：刻蝕工藝需要在高真空下進(jìn)行，以防止刻蝕氣體與周圍環(huán)境反應(yīng)，影響刻蝕精度。真空系統(tǒng)提供精確的壓強控制，確?？涛g深度和均勻性。3.光刻工藝：光刻工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，以防止光刻膠受潮或污染，影響光刻圖案的精度。真空系統(tǒng)提供干燥、穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保光刻質(zhì)量。4.器件封裝：在半導(dǎo)體器件封裝過程中，真空系統(tǒng)用于排除封裝腔內(nèi)的空氣，防止器件受潮或氧化，提高器件的可靠性和壽命。重要性：-提高工藝精度：真空環(huán)境可以減