氣相沉積工技能測(cè)試題庫及答案工種：氣相沉積工等級(jí)：中級(jí)時(shí)間：120分鐘滿分：100分---一、單項(xiàng)選擇題（每題2分，共20分）1.氣相沉積技術(shù)中，不屬于物理氣相沉積方法的是（）。A.蒸發(fā)沉積B.濺射沉積C.化學(xué)氣相沉積D.等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積2.在真空沉積過程中，真空度通常要求達(dá)到（）。A.10?3PaB.10??PaC.10??PaD.1Pa3.下列哪種氣體常用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）（）。A.N?B.H?C.SiH?D.Ar4.沉積速率受以下哪個(gè)因素影響最大（）。A.溫度B.壓力C.沉積時(shí)間D.氣體流量5.沉積膜厚度均勻性主要取決于（）。A.基板溫度B.沉積源與基板距離C.氣體流速D.以上都是6.蒸發(fā)沉積過程中，常用的加熱方式是（）。A.等離子體加熱B.電子束加熱C.熱絲加熱D.激光加熱7.化學(xué)氣相沉積（CVD）的化學(xué)反應(yīng)通常在（）。A.高溫低壓下進(jìn)行B.低溫高壓下進(jìn)行C.室溫常壓下進(jìn)行D.任意條件下均可8.沉積膜的應(yīng)力主要來源于（）。A.晶體缺陷B.化學(xué)鍵能C.沉積速率D.以上都是9.等離子體輔助沉積的優(yōu)點(diǎn)是（）。A.沉積速率高B.膜層致密C.成本低D.以上都是10.沉積后基板清洗常用的溶劑是（）。A.丙酮B.乙醇C.去離子水D.以上都是---二、多項(xiàng)選擇題（每題3分，共15分）1.氣相沉積技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域包括（）。A.半導(dǎo)體制造B.薄膜光學(xué)C.航空航天材料D.生物醫(yī)學(xué)器件E.裝飾涂層2.影響沉積膜性能的因素有（）。A.沉積溫度B.沉積時(shí)間C.氣體流量D.基板材質(zhì)E.沉積前處理3.真空系統(tǒng)的檢漏方法包括（）。A.氦質(zhì)譜檢漏B.真空計(jì)測(cè)量C.觀察氣泡D.氮?dú)庵脫QE.聲音檢測(cè)4.化學(xué)氣相沉積（CVD）的常見反應(yīng)物有（）。A.SiH?B.NH?C.CH?D.H?OE.WF?5.沉積膜缺陷的類型包括（）。A.空位B.位錯(cuò)C.氣孔D.結(jié)晶粒E.氧化層---三、判斷題（每題1分，共10分）1.氣相沉積技術(shù)只能在真空環(huán)境下進(jìn)行。（×）2.蒸發(fā)沉積的速率與蒸發(fā)源的溫度成正比。（√）3.化學(xué)氣相沉積（CVD）通常不需要加熱。（×）4.沉積膜的應(yīng)力越大，膜層越致密。（×）5.等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）的沉積速率比傳統(tǒng)CVD快。（√）6.真空度越高，沉積膜的均勻性越好。（√）7.沉積前基板清洗可以去除表面污染物，提高膜層質(zhì)量。（√）8.沉積膜的厚度通常通過橢偏儀測(cè)量。（√）9.沉積過程中，氣體流量越大，沉積速率越快。（√）10.沉積膜的硬度與基板材質(zhì)無關(guān)。（×）---四、簡(jiǎn)答題（每題5分，共20分）1.簡(jiǎn)述物理氣相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）的區(qū)別。答：PVD通過物理過程（如蒸發(fā)、濺射）將材料沉積到基板上，通常在高溫低壓下進(jìn)行；CVD通過化學(xué)反應(yīng)將氣體前驅(qū)體轉(zhuǎn)化為固態(tài)沉積物，常在較高溫度下進(jìn)行。2.影響氣相沉積膜層均勻性的主要因素有哪些？答：沉積源與基板距離、氣體流速、基板溫度、真空度等。3.簡(jiǎn)述等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）的原理及其優(yōu)點(diǎn)。答：PECVD利用等離子體激發(fā)反應(yīng)氣體，提高化學(xué)反應(yīng)活性，沉積速率快、膜層致密。4.沉積后基板清洗的目的是什么？常用哪些方法？答：去除表面污染物，提高膜層附著力；常用方法包括溶劑清洗、等離子體清洗等。---五、論述題（10分）結(jié)合實(shí)際，論述氣相沉積技術(shù)在半導(dǎo)體器件制造中的重要性及其面臨的挑戰(zhàn)。答：氣相沉積技術(shù)是半導(dǎo)體制造的核心工藝之一，用于形成絕緣層、導(dǎo)電層等關(guān)鍵器件結(jié)構(gòu)。其重要性體現(xiàn)在：1.膜層性能可調(diào)控（厚度、成分、應(yīng)力等）；2.適用多種材料沉積（如SiO?、Si?N?、金屬等）。挑戰(zhàn)包括：沉積均勻性控制、設(shè)備成本高、工藝復(fù)雜等。---答案及解析一、單項(xiàng)選擇題1.C2.B3.C4.A5.D6.C7.A8.D9.D10.D二、多項(xiàng)選擇題1.ABCDE2.ABCDE3.ABCE4.ABC5.ABC三、判