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智能制造傳感器與檢測技術(shù)傳感器與檢測技術(shù)項目1傳感器與檢測數(shù)據(jù)處理傳感器與檢測技術(shù)任務(wù)2傳感器的基本知識傳感器與檢測技術(shù)任務(wù)導(dǎo)入:機器人的感知。了解傳感器的概念、組成、分類等知識。
1.傳感器的定義根據(jù)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T7665—2005)傳感器(Transducer/Sensor):能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件和裝置。非電量電量1.1.1傳感器的認識需要明確以下幾點:①傳感器是測量裝置,能完成檢測任務(wù);②輸入量是某一被測量,可能是物理量,也可能是化學(xué)量、生物量等;③輸出量是某種物理量,便于傳輸、轉(zhuǎn)換、處理、顯示等,可以是氣、光、電物理量,主要是電物理量;④輸出輸入有對應(yīng)關(guān)系,且應(yīng)有一定的精確程度。1.1.1傳感器的認識敏感元件:是直接感受被測量,并輸出與被測量成確定關(guān)系的某一物理量的元件。轉(zhuǎn)換元件:敏感元件的輸出就是它的輸入,它把輸入轉(zhuǎn)換成電路參量。轉(zhuǎn)換電路:將轉(zhuǎn)換元件輸出的電參量轉(zhuǎn)換為電壓、電流或頻率。2.傳感器的組成輔助電源敏感元件轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換電路被測量電量3.傳感器的分類(1)按工作原理分類
按照傳感器工作原理的不同,可分電阻式、電感式、電容式、壓電式、光電式、熱電式、波式和輻射式等傳感器。(2)按被測量分類
按被測量的性質(zhì)進行分類,有利于準(zhǔn)確表達傳感器的用途,方便使用者選用。如按被測量的不同,可分為位移、力、力矩、轉(zhuǎn)速、振動、加速度、溫度、壓力、流量、流速等傳感器。(3)按傳感器轉(zhuǎn)換能量供給形式分類
可分為能量變換型(發(fā)電型)和能量控制型(參量型)兩種。(4)按傳感器工作機理分類
可分為結(jié)構(gòu)型傳感器和物性型傳感器。4.傳感器的樣式細長型壓力傳感器位移傳感器溫度傳感器5.傳感器的發(fā)展(1)發(fā)現(xiàn)并利用新現(xiàn)象
利用物理現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、生物效應(yīng)作為傳感器原理,所以研究發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象與新效應(yīng)是傳感器技術(shù)發(fā)展的重要工作,是研究開發(fā)新型傳感器的基礎(chǔ)。日本夏普公司利用超導(dǎo)技術(shù)研制成功高溫超導(dǎo)磁性傳感器,是傳感器技術(shù)的重大突破,其靈敏度高,僅次于超導(dǎo)量子干涉器件。(2)利用新材料傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ),由于材料科學(xué)進步,人們可制造出各種新型傳感器。例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器;光導(dǎo)纖維能制成壓力、流量、溫度、位移等多種傳感器;用陶瓷制成壓力傳感器。(3)微機械加工技術(shù)半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴散、沉積、平面電子工藝,各向異性腐蝕及蒸鍍,濺射薄膜等,這些都已引進到傳感器制造。因而產(chǎn)生了各種新型傳感器,如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器,利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器,利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。(4)集成傳感器集成傳感器的優(yōu)勢是傳統(tǒng)傳感器無法達到的,它不僅僅是一個簡單的傳感器,其將輔助電路中的元件與傳感元件同時集成在一塊芯片上,使之具有校準(zhǔn)、補償、自診斷和網(wǎng)絡(luò)通信的功能,它可降低成本、增加產(chǎn)量,美國LUCAS、NOVASENSOR公司開發(fā)的這種血壓傳感器,每星期能生產(chǎn)1萬只。5.傳感器的發(fā)展
(5)智能化傳感器
智能化傳感器是一種帶微處理器的傳感器,是微型計算機和傳感器相結(jié)合的成果,它兼有檢測、判斷和信息處理功能,與傳統(tǒng)傳感器相比有很多特點。美國HONYWELL公司ST-3000型智能傳感器,芯片尺寸才有3×4×2mm3,采用半導(dǎo)體工藝,在同一芯片上制成CPU、EPROM、靜壓、壓差、溫度等三種敏感元件,把傳感器、信號調(diào)節(jié)電路、單片機集成在一芯片上形成超大規(guī)模集成化的高級智能傳感器
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