ICS31030

CCSL.90

中華人民共和國國家標準

GB/T46191—2025

電子級五二甲氨基鉭

()

Electronicradeentakisdimethlamidetantalum

gp(y)

2025-10-05發(fā)布2026-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T46191—2025

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位南大光電半導體材料有限公司中國電子技術標準化研究院蘇州實驗室江蘇南

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大光電材料股份有限公司蘇州源展材料科技有限公司長江存儲科技有限責任公司中芯國際集成電

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路制造北京有限公司全椒南大光電材料有限公司安徽亞格盛電子新材料股份有限公司寧波南大

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光電材料有限公司合肥安德科銘半導體科技有限公司南大光電烏蘭察布有限公司南大光電淄博

、、()、()

有限公司安徽博泰電子材料有限公司

、。

本文件主要起草人陳德義曹可慰茅炳榮徐文濤楊敏史澤遠孫明璐陳鵬宇孫鵬張婷

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趙俊莎吳怡然張健羅文嬌李雪高加新郭威王偉魏良杰毛國玉張學奇何曉晨張寶帥劉立偉

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王小亮孫麗麗曹益寧童祎陸平王博文彭元兵婁夏冰劉能巧孟慶典孫建高朋張鵬顧洋洋

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Ⅰ

GB/T46191—2025

電子級五二甲氨基鉭

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1范圍

本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級五二甲氨基鉭的技術要求檢驗規(guī)則包裝標志及隨貨資料

()、、、、

運輸貯存及安全信息的要求描述了相應的檢測方法

、,。

本文件適用于沉積氮化鉭氧化鉭和鉭摻雜物等鉭基薄膜的電子級五二甲氨基鉭

、()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

固體化工產品采樣通則

GB/T6679

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術條件

GB12463

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

危險化學品倉庫儲存通則

GB15603

化學品安全技術說明書內容和項目順序

GB/T16483—2008

化學品安全技術說明書編寫指南

GB/T17519—2013

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

不銹鋼焊接氣瓶

GB/T32566

電子化學品電感耦合等離子體質譜法通則

SJ/T11637

3術語和定義

本文件沒有需要界定的術語和定