激光干涉儀實(shí)際用途：檢測(cè)醫(yī)療CT滑軌運(yùn)行精度及旋轉(zhuǎn)架定位精度一、測(cè)量需求檢查床CT滑軌運(yùn)行的定位精度、重復(fù)精度、直線度，旋轉(zhuǎn)架的旋轉(zhuǎn)精度和旋轉(zhuǎn)定位精度。二、行業(yè)痛點(diǎn)傳統(tǒng)方法是人工通過百分表或千分表打表，測(cè)量運(yùn)行軸直線度和重復(fù)定位精度，依靠方尺或者大理石為基準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)，步驟費(fèi)時(shí)費(fèi)力，且對(duì)操作者有極高要求，不同操作者測(cè)量數(shù)據(jù)會(huì)有差異，不能對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行生成報(bào)告及后續(xù)溯源。最主要的是沒法對(duì)設(shè)備定位精度和旋轉(zhuǎn)精度進(jìn)行測(cè)量。三、中圖儀器方案SJ6000激光干涉儀搭配線性鏡組+角度鏡組+直線度鏡組+WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。1、測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm，分辨率1nm，最長(zhǎng)支持80m測(cè)長(zhǎng)距離；支持360°任意角度測(cè)量，旋轉(zhuǎn)精度±1″；配備溫度補(bǔ)償模塊，可實(shí)時(shí)采集現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境溫濕度對(duì)激光波長(zhǎng)和測(cè)量材料進(jìn)行補(bǔ)償，使測(cè)量結(jié)果更準(zhǔn)確；測(cè)試結(jié)果可生成數(shù)據(jù)圖表和報(bào)告，并自動(dòng)分析生成補(bǔ)償數(shù)據(jù)從而補(bǔ)償?shù)较到y(tǒng)，提高運(yùn)行精度。2、測(cè)試步驟（1）安裝調(diào)試把三腳架調(diào)整到合適高度，激光干涉儀放置在三腳架上，調(diào)整至與CT滑軌同高。線性反射鏡放置于滑軌上，隨測(cè)量軸一起移動(dòng)，通過調(diào)整主機(jī)和線性鏡組，確保光路與檢測(cè)軸平行，此時(shí)光路搭建完成。（2）數(shù)據(jù)采集測(cè)量行程0-650mm，間隔25mm，往返1次，越程1mm，激光干涉儀暫停時(shí)間2S，設(shè)備運(yùn)行暫停3S（注意設(shè)備暫停時(shí)間大于激光干涉儀設(shè)定時(shí)間1S）。設(shè)備和激光干涉儀設(shè)置程序一致即可開始運(yùn)行測(cè)量。（3）數(shù)據(jù)補(bǔ)償測(cè)量結(jié)束后，軟件可通過算法自動(dòng)生成補(bǔ)償數(shù)據(jù)。補(bǔ)償前：定位精度81.173um,重復(fù)定位精度2.683um。檢測(cè)出的“實(shí)際位置數(shù)據(jù)”和“理論位置數(shù)據(jù)”存在顯著差異，未滿足出廠標(biāo)準(zhǔn)。補(bǔ)償后：定位精度7.037um