2025年新大型半導(dǎo)體設(shè)備安全員考試題庫及答案1.單項選擇題（每題1分，共30分）1.在2025版《大型半導(dǎo)體設(shè)備安全規(guī)范》中，對“熱失控”定義的臨界溫度閾值是A.85℃?B.95℃?C.105℃?D.115℃答案：C2.EUV光刻機真空腔體在維護前必須執(zhí)行的“三步置換”順序為A.N?→DryAir→Vacuum?B.Vacuum→N?→DryAir?C.DryAir→N?→Vacuum?D.N?→Vacuum→DryAir答案：A3.當(dāng)RF電源反射功率超過設(shè)定值多少時，2025版新規(guī)要求設(shè)備立即切斷高壓并鎖機？A.2%?B.3%?C.5%?D.7%答案：B4.對于含F(xiàn)?氣體的刻蝕腔體，安全員巡檢時必須佩戴的防毒濾盒型號為A.ABEK1?B.ABEK2P3?C.ABEK2HgP3?D.ABEK3NOXP3答案：B5.2025年起，半導(dǎo)體廠區(qū)內(nèi)所有≥6kg的SF?鋼瓶必須加裝A.防爆片?B.超流閥?C.逆止閥?D.電子稱重模塊答案：D6.在離子注入機高壓端(≥200kV)進行絕緣檢測時，允許的最小安全距離為A.0.7m?B.1.0m?C.1.2m?D.1.5m答案：C7.當(dāng)晶圓傳送機械手伺服驅(qū)動器報“EncLOS”故障時，安全員首先應(yīng)A.復(fù)位伺服?B.檢查光柵?C.切斷48V控制電?D.切換至手動模式答案：C8.2025版規(guī)范要求，設(shè)備內(nèi)部使用石墨烯散熱膜的區(qū)域必須設(shè)置的警示標(biāo)簽顏色為A.橙底黑字?B.紅底白字?C.黃底黑字?D.綠底白字答案：A9.對于使用HFO1234yf作為冷媒的溫控系統(tǒng)，其最大允許充注量(以CO?當(dāng)量計)為A.50kg?B.100kg?C.150kg?D.200kg答案：B10.在AMHS天車軌道例行巡檢中，發(fā)現(xiàn)軌道接縫間隙＞1mm時應(yīng)A.立即停運并掛牌?B.記錄并月底統(tǒng)一處理?C.涂抹導(dǎo)電脂?D.調(diào)低車速至15m/min答案：A11.當(dāng)EUV光源Sn液滴發(fā)生器溫度波動＞±0.3℃時，將觸發(fā)的聯(lián)鎖屬于A.PLa?B.PLb?C.PLc?D.PLd答案：D12.2025年起，進入Class1000以下潔凈區(qū)的人員，其鞋底氯離子含量快檢限值為A.5μg/cm2?B.10μg/cm2?C.15μg/cm2?D.20μg/cm2答案：B13.對于使用CO?激光器的退火設(shè)備，其激光防護眼鏡的最低光密度(OD)要求為A.OD3@10.6μm?B.OD4@10.6μm?C.OD5@10.6μm?D.OD6@10.6μm答案：D14.在ALD設(shè)備前級管道進行HF酸洗時，廢液臨時儲罐必須采用A.PTFE內(nèi)襯?B.PVDF整體?C.316L鈍化?D.哈氏C276答案：B15.當(dāng)廠房MAU送風(fēng)露點低于70℃時，安全員需確認(rèn)A.電加熱運行?B.分子篩切換周期?C.消防排煙關(guān)閉?D.廢氣洗滌塔pH答案：B16.2025版規(guī)范中，設(shè)備“能量隔離”定義的能量不包括A.液壓?B.氣動?C.熱能?D.聲能答案：D17.對于使用DMSO的清洗工藝，廢液收集桶必須設(shè)置的二次圍堰容積至少為A.50%桶容積?B.75%桶容積?C.100%桶容積?D.110%桶容積答案：D18.當(dāng)真空泵出口油霧分離器壓差＞150mbar時，系統(tǒng)首先執(zhí)行的動作為A.停泵?B.切換泵?C.報警不停機?D.降低泵頻答案：B19.2025年起，廠務(wù)FMCS系統(tǒng)對N?O氣體泄漏的最低報警靈敏度為A.0.5ppm?B.1ppm?C.2ppm?D.5ppm答案：A20.在晶圓廠屋頂布置的H?儲罐組，其防雷等級應(yīng)不低于A.一類?B.二類?C.三類?D.四類答案：A21.當(dāng)設(shè)備“安全門聯(lián)鎖”被短接時，根據(jù)2025版處罰條例，對責(zé)任人最高罰款為A.5000元?B.1萬元?C.3萬元?D.5萬元答案：C22.對于使用GaAs材料的MOCVD設(shè)備，其排風(fēng)管道最低內(nèi)壁清洗頻率為A.每月?B.每季度?C.每半年?D.每年答案：B23.2025版要求，設(shè)備急停按鈕的觸點必須為A.常開?B.常閉?C.雙常開?D.雙常閉答案：D24.當(dāng)廠房發(fā)生≥0.25g地震加速度時，AMHS系統(tǒng)應(yīng)在多少秒內(nèi)完全停機？A.1s?B.2s?C.3s?D.5s答案：B25.對于使用ClF?的腔體清洗工藝，其尾氣處理必須采用的介質(zhì)為A.活性炭?B.蘇打石灰?C.五氧化二磷?D.高溫燃燒+堿洗答案：D26.2025年起，設(shè)備維護使用的無塵布必須不含A.硅油?B.酰胺酯?C.聚醚砜?D.聚烯烴答案：A27.當(dāng)高壓電源柜濕度＞60%RH時，禁止執(zhí)行的操作是A.斷電?B.絕緣測試?C.開門通風(fēng)?D.紅外測溫答案：B28.在EUV設(shè)備維護中，Sn殘渣收集盒的轉(zhuǎn)運容器需貼A.黃底黑字“重金屬”?B.白底黑字“一般廢物”?C.橙底黑字“腐蝕性”?D.紅底白字“易燃”答案：A29.2025版規(guī)范規(guī)定，設(shè)備安全鏈測試周期為A.每天?B.每周?C.每月?D.每季度答案：C30.當(dāng)發(fā)現(xiàn)設(shè)備接地電阻＞1Ω時，應(yīng)A.涂導(dǎo)電膠?B.更換編織線?C.加降阻劑?D.停機并通知電務(wù)答案：D2.多項選擇題（每題2分，共20分）31.以下哪些屬于2025版“機械危險”能量源？A.旋轉(zhuǎn)機械手?B.直線電機?C.真空吸盤?D.冷卻水壓力?E.伺服放大器電容答案：ABC32.進入EUV光源維護區(qū)前，安全員必須確認(rèn)A.氧含量＞19.5%?B.Sn蒸氣濃度＜0.01mg/m3?C.臭氧濃度＜0.1ppm?D.氫氣濃度＜1%LEL?E.地面靜電電位＜100V答案：ABCD33.以下哪些情況會觸發(fā)“高真空差壓鎖”聯(lián)鎖？A.腔體壓力＞5×10?2Pa?B.分子泵轉(zhuǎn)速＜90%額定?C.前級泵故障?D.腔體溫度＞60℃?E.冷卻水流量低答案：ABC34.2025版規(guī)定，設(shè)備維護掛牌必須包含A.能量類型?B.隔離點編號?C.作業(yè)人簽名?D.作業(yè)時間?E.作業(yè)工具清單答案：ABCD35.關(guān)于HF酸管道安全，下列正確的是A.必須雙套管?B.外管負(fù)壓監(jiān)測?C.內(nèi)管316L?D.外管排口接洗滌塔?E.每半年做保壓答案：ABDE36.以下哪些屬于“化學(xué)危害”PPE必備？A.防化服?B.正壓呼吸器?C.丁腈手套?D.防靜電腕帶?E.護目鏡答案：ABCE37.2025版要求，設(shè)備軟件“權(quán)限矩陣”必須區(qū)分A.操作員?B.工藝員?C.設(shè)備員?D.安全員?E.廠務(wù)員答案：ABCD38.當(dāng)發(fā)生“高純SiH?泄漏”時，應(yīng)A.立即切斷氣源?B.開啟防爆排風(fēng)?C.用霧狀水稀釋?D.禁止啟停電器?E.使用CO?滅火器答案：ABCD39.以下哪些屬于“電氣能量隔離”必要步驟？A.斷電?B.驗電?C.上鎖?D.掛牌?E.短接放電答案：ABCDE40.2025版對“高空作業(yè)”定義包括A.墜落高度≥2m?B.有護欄無風(fēng)險?C.使用移動平臺?D.站在設(shè)備頂部?E.站在梯子第3階以上答案：ACD3.判斷題（每題1分，共10分）41.2025版允許使用藍(lán)牙掛鎖進行能量隔離掛牌。答案：錯誤42.當(dāng)設(shè)備“安全門聯(lián)鎖”失效時，可用“雙人監(jiān)督”方式繼續(xù)運行。答案：錯誤43.2025版規(guī)定，所有安全培訓(xùn)記錄必須保存≥10年。答案：正確44.在潔凈室內(nèi)可以使用干粉滅火器撲滅電氣火災(zāi)。答案：錯誤45.2025版要求，設(shè)備維護后必須執(zhí)行“功能+安全”雙驗證。答案：正確46.對于使用GeH?的工藝，尾氣燃燒塔溫度必須≥800℃。答案：正確47.2025版允許安全員單獨進入H?儲罐區(qū)巡查。答案：錯誤48.當(dāng)設(shè)備軟件版本升級后，可沿用原安全風(fēng)險評估報告。答案：錯誤49.2025版規(guī)定，設(shè)備“能量隔離”可由作業(yè)人員自己解除。答案：錯誤50.在EUV設(shè)備維護中，Sn殘渣屬于一般固廢。答案：錯誤4.填空題（每空1分，共20分）51.2025版規(guī)定，設(shè)備維護前必須執(zhí)行“________、________、________、________”四步能量隔離法。答案：識別、隔離、上鎖、驗證52.當(dāng)真空腔體壓力高于________Pa時，禁止打開任何法蘭。答案：1×10253.2025版要求，潔凈室內(nèi)N?O8hTWA濃度不得超過________ppm。答案：2554.對于使用________氣體的工藝，必須設(shè)置“雙閥+盲板”隔離。答案：Cl?55.2025版規(guī)定，設(shè)備安全鏈測試記錄必須保存________年。答案：1056.當(dāng)高壓電源柜濕度＞________%RH時，禁止送電。答案：6057.2025版要求，設(shè)備急停響應(yīng)時間必須≤________ms。答案：50058.在ALD設(shè)備維護中，HF廢液臨時儲罐必須采用________材質(zhì)。答案：PVDF59.2025版規(guī)定，設(shè)備“機械危險”區(qū)域必須設(shè)置________色警示線。答案：黃黑60.對于使用________的清洗工藝，必須設(shè)置β射線液位計。答案：HF61.2025版要求，設(shè)備維護掛牌必須使用________語言雙語書寫。答案：中英62.當(dāng)廠房發(fā)生≥________g地震加速度時，AMHS應(yīng)在2s內(nèi)停機。答案：0.2563.2025版規(guī)定，設(shè)備“能量隔離”鑰匙必須由________保管。答案：作業(yè)負(fù)責(zé)人64.對于使用________氣體的工藝，必須設(shè)置紅外雙鑒泄漏探頭。答案：SiH?65.2025版要求，設(shè)備維護后必須執(zhí)行“________+________”雙驗證。答案：功能、安全66.2025版規(guī)定，潔凈室內(nèi)H?泄漏報警濃度為________%LEL。答案：1067.當(dāng)設(shè)備接地電阻＞________Ω時，必須停機整改。答案：168.2025版要求，設(shè)備安全門聯(lián)鎖失效時，必須在________h內(nèi)修復(fù)。答案：2469.2025版規(guī)定，設(shè)備“高真空差壓鎖”測試周期為________月。答案：170.2025版要求，設(shè)備維護PPE必須執(zhí)行“________、________、________”三檢查。答案：使用前、使用中、使用后5.簡答題（每題6分，共30分）71.簡述2025版新規(guī)對“能量隔離”中“驗證”環(huán)節(jié)的具體要求。答案：1.使用經(jīng)校準(zhǔn)的測試儀對每一隔離點進行驗電、驗壓、驗?zāi)埽?.確認(rèn)無電壓、無壓力、無殘余熱能；3.記錄測試值并雙人簽字；4.對儲能元件（電容、蓄能器）執(zhí)行放電或機械鎖定；5.在PLC或HMI界面查看聯(lián)鎖狀態(tài)位為“SAFE”；6.全程錄像保存≥90天。72.說明EUV設(shè)備Sn液滴發(fā)生器維護前的“五步安全準(zhǔn)備”。答案：1.關(guān)閉Sn加熱器，待溫度＜50℃；2.執(zhí)行“真空→N?→DryAir”三步置換，氧含量≥19.5%；3.切斷激光觸發(fā)高壓并上鎖；4.穿戴Sn防毒口罩、耐高溫手套；5.使用β射線液位計確認(rèn)無液態(tài)Sn殘留。73.列舉2025版對“高空作業(yè)”必須設(shè)置的“三硬一軟”防護措施。答案：硬護欄、硬踏板、硬錨點、軟安全帶；護欄高度≥1.2m，錨點承載≥22kN，安全帶為全身式雙掛鉤。74.描述ALD設(shè)備HF酸管道“雙套管”泄漏應(yīng)急處置流程。答案：1.DCS立即報警并切斷酸源；2.啟動外管負(fù)壓泵，將泄漏酸抽至應(yīng)急洗滌塔；3.作業(yè)人員穿戴A級防化服進入現(xiàn)場；4.使用Ca(OH)?漿液中和外管積液；5.更換內(nèi)管并做1.5倍保壓30min；6.廢液收集至PVDF桶，貼“腐蝕性”標(biāo)簽，送危廢站。75.說明2025版對“設(shè)備軟件安全權(quán)限矩陣”的強制字段。答案：用戶ID、角色、可訪問畫面、可修改參數(shù)、可導(dǎo)出數(shù)據(jù)、可升級固件、可復(fù)位聯(lián)鎖、審批人、有效期、雙因子認(rèn)證方式。6.案例分析題（每題10分，共20分）76.背景：2025年3月，某12英寸廠在更換離子注入機高壓電源模塊時，作業(yè)人員未執(zhí)行“驗證”環(huán)節(jié)，導(dǎo)致殘余電荷放電，造成1人電弧灼傷。問題：1.指出違反的2025版條款；2.給出糾正措施；3.列出再發(fā)防止的“四化”管理手段。答案：1.違反《能量隔離》第5.3.2條“驗證”環(huán)節(jié)；2.立即停產(chǎn)整改，重新培訓(xùn)，升級高壓電源放電電路，增加自動放電電阻；3.標(biāo)準(zhǔn)化：修訂SOP插圖；機械化：加裝自動放電棒；數(shù)字化：高壓狀態(tài)接入FMCS；可視化：設(shè)置紅色“殘余電荷”指示燈。77.背景：2025年4月，某廠EUV光源維護后，Sn殘渣轉(zhuǎn)運盒未貼“重金屬”標(biāo)簽，被當(dāng)成一般固廢出廠，被監(jiān)管部門罰款50萬元。問題：1.指出違反的2025版條款；2.給出整改措施；3.設(shè)計一份“Sn殘渣轉(zhuǎn)運”雙簽核查表。答案：1.違反《危廢管理》第8.1.4條標(biāo)識要求；2.立即召回殘渣，補正標(biāo)簽，對相關(guān)責(zé)任人罰款3萬元，建立Sn殘渣專用轉(zhuǎn)運通道，安裝RFID自動識別；3.核查表字段：日期、時間、重量、RFID編號、標(biāo)簽完整性、雙人簽字、出廠掃描記錄、監(jiān)管部門二維碼確認(rèn)。7.計算題（每題10分，共20分）78.已知：某設(shè)備SF?鋼瓶充注量50kg，2025版要求最大允許泄漏率＜0.5%/年，紅外檢漏儀精度0.1ppm，廠房換氣12次/h，體積5000m3，溫度2