EnglishTitle:DevelopmentRese摘要本報(bào)告圍繞電子級(jí)大宗氣體國家標(biāo)準(zhǔn)的整合修訂工作，系統(tǒng)分析了項(xiàng)目立項(xiàng)的目的意義、適用范圍及主要技術(shù)內(nèi)容。電子級(jí)大宗氣體作為集成電路制造領(lǐng)域的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，其質(zhì)量水平直接關(guān)系到我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)發(fā)展和國際競爭力。隨著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小和晶圓尺寸擴(kuò)大，市場對(duì)氣體純度提出了更高要求，現(xiàn)行實(shí)施近14年的標(biāo)準(zhǔn)體系已無法滿足產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求。本次修訂整合了氫、氧、氬、氮、氦等五種電子工業(yè)用氣體標(biāo)準(zhǔn)，全面更新了技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等內(nèi)容，增加了術(shù)語定義、尾氣處理和安全信息等新章節(jié)。修訂工作將有效提升我國電子材料標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)水平，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供質(zhì)量保障，推動(dòng)高端電子材料國產(chǎn)化進(jìn)程，服務(wù)國家戰(zhàn)略需求。關(guān)鍵詞電子級(jí)大宗氣體；國家標(biāo)準(zhǔn)修訂；集成電路材料；高純氣體；標(biāo)準(zhǔn)整合；半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)；氣體純度；技術(shù)規(guī)范Electronic-gradebulkgases;Nationalstandardmaterials;High-puritygases;Standardintegration;Semiconduc正文1項(xiàng)目背景與意義電子級(jí)大宗氣體是集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，具有用量大、純度要求高的特點(diǎn)。隨著集成電路技術(shù)快速發(fā)展，制程節(jié)點(diǎn)已進(jìn)入納米級(jí)別，晶圓尺寸向12英寸及以上發(fā)展，對(duì)氣體材料的純度要求不斷提升，先進(jìn)集成電路制造通常要求氣體純度達(dá)到6N(99.9999%)以上?，F(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)包括GB/T16942-2009《電子工業(yè)用氣體氫》、GB/T14604-2009《電子工業(yè)用氣體氧》等五項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)，已實(shí)施近14年，在適用范圍、技術(shù)要求及試驗(yàn)方法等方面均需更新。這些標(biāo)準(zhǔn)分散獨(dú)立，缺乏系統(tǒng)性和協(xié)調(diào)性，無法滿足現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體材料的一致性和可靠性要求。本項(xiàng)目整合修訂工作積極響應(yīng)《"十四五"推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的國家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》要求，符合制造業(yè)高端化領(lǐng)域材料標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)方向，并與《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019年版)》中電子化工新材料的"特種氣體"分類相銜接。通過標(biāo)準(zhǔn)修訂，將為電子級(jí)大宗氣體的生產(chǎn)和檢測提供技術(shù)指導(dǎo)，為下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供質(zhì)量保障，有助于提高我國高端電子材料自給能力，推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步。2范圍與主要技術(shù)內(nèi)容2.1適用范圍本文件規(guī)定了電子級(jí)大宗氣體的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等要求。適用于以工業(yè)大宗氣體為原料通過提純工藝制得的電子級(jí)大宗氣體，包括氫、氧、氬、氮、氦等品種。2.2主要技術(shù)內(nèi)容修訂標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)優(yōu)化：將原有五項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)整合為統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)體系，更改標(biāo)準(zhǔn)名稱和范圍，增強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)的系統(tǒng)性和協(xié)調(diào)性。更新規(guī)范性引用文件，確保與最新技術(shù)發(fā)展保持同步。技術(shù)要素完善：增加了"術(shù)語和定義"章節(jié)，統(tǒng)一相關(guān)概念和技術(shù)術(shù)語。全面修訂技術(shù)要求章節(jié)，提升氣體純度指標(biāo)，明確雜質(zhì)含量限值要求。更改采樣要求，完善樣檢測方法升級(jí)：更新純度計(jì)算方法，采用更科學(xué)準(zhǔn)確的計(jì)算模型。修訂氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的測定方法，引入先進(jìn)分析技術(shù)。改進(jìn)總烴含量和水含量的測定方法，提高檢測精度和可靠性。新增技術(shù)要求：增加了尾氣處理的要求，體現(xiàn)環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展理念。完善檢驗(yàn)規(guī)則，明確驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)和判定規(guī)則。更新標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存要求，確保產(chǎn)品全過程質(zhì)量保證。安全信息補(bǔ)充：增加了安全信息附錄，提供氣體使用、儲(chǔ)存和應(yīng)急處置指南。補(bǔ)充參考文獻(xiàn)，為標(biāo)準(zhǔn)使用者提供進(jìn)一步的技術(shù)參考依據(jù)。3參與修訂的主要企事業(yè)單位介紹本次標(biāo)準(zhǔn)修訂工作由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì) (SAC/TC203/SC1)牽頭組織，中國計(jì)量科學(xué)研究院作為技術(shù)主導(dǎo)單位參與修訂工作。中國計(jì)量科學(xué)研究院是我國最高計(jì)量科學(xué)研究機(jī)構(gòu)，在氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制、氣體分析檢測技術(shù)研究方面具有深厚的技術(shù)積累和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。該院擁有國家氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心，具備國際先進(jìn)的氣體分析檢測能力，參與制定了多項(xiàng)氣體相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)。在本次標(biāo)準(zhǔn)修訂中，該院負(fù)責(zé)技術(shù)要求的確定、檢測方法的驗(yàn)證和標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)的確定等關(guān)鍵技術(shù)工作，為確保標(biāo)準(zhǔn)的科學(xué)性、先進(jìn)性和適用性提供了重要技術(shù)支撐。同時(shí)，項(xiàng)目組還邀請(qǐng)了中芯國際、長江存儲(chǔ)等半導(dǎo)體制造企業(yè)，以及中船重工第七一八研究所、杭州制氧機(jī)集團(tuán)等氣體生產(chǎn)企業(yè)參與標(biāo)準(zhǔn)修訂工作，確保標(biāo)準(zhǔn)既符合技術(shù)發(fā)展趨勢，又滿足產(chǎn)業(yè)實(shí)際需求。結(jié)論與展望電子級(jí)大宗氣體國家標(biāo)準(zhǔn)的整合修訂工作，是我國標(biāo)準(zhǔn)化工作服務(wù)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要體現(xiàn)。通過本次修訂，建立了更加系統(tǒng)、協(xié)調(diào)的標(biāo)準(zhǔn)體系，提升了技術(shù)要求的先進(jìn)性和適用性，為電子級(jí)大宗氣體的生產(chǎn)、檢測和應(yīng)用提供了全面技術(shù)規(guī)范。修訂后的標(biāo)準(zhǔn)將有效促進(jìn)我國電子氣體行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品質(zhì)量提升，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全穩(wěn)定，支持集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)的發(fā)展，對(duì)電子氣體的需求將持續(xù)增長，質(zhì)量要求將不斷提高。建議持續(xù)跟蹤國際技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)，加強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施效果評(píng)估，及時(shí)更新標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，保持標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)性和適用性。同時(shí)，應(yīng)加強(qiáng)