半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目八化學(xué)品分類任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查【任務(wù)背景】CCSS常用設(shè)備根據(jù)CCSS系統(tǒng)的使用功能，CCSS系統(tǒng)可以分為電器系統(tǒng)控制單元、CCB系統(tǒng)控制單元和Drum桶單元系統(tǒng)控制單元。電器系統(tǒng)控制單元通常由以下幾個(gè)關(guān)鍵部分組成：氣源區(qū)、報(bào)警塔燈、負(fù)壓表、控制電源、PLC、繼電器、380V斷路器、380B變頻器等任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查【任務(wù)背景】CCSS常用設(shè)備CCB系統(tǒng)控制單元通常由以下幾個(gè)關(guān)鍵部分組成：急停開(kāi)關(guān)、負(fù)壓表、CCB、水槍、氣槍等。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查【任務(wù)背景】CCSS常用設(shè)備Drum桶單元系統(tǒng)控制單元通常由以下幾個(gè)關(guān)鍵部分組成：氣動(dòng)閥、氣管、流量感應(yīng)計(jì)、液管、水槍、條碼槍等。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查【任務(wù)背景】CCSS常用設(shè)備CCSS常用設(shè)備包括漏液感應(yīng)計(jì)、計(jì)數(shù)流量計(jì)、氣動(dòng)閥、手閥、表頭壓力計(jì)、電子壓力計(jì)、電磁泵、氣動(dòng)泵、過(guò)濾器、應(yīng)急閥、濃度計(jì)、排風(fēng)、負(fù)壓表、調(diào)壓閥、讀碼槍和法蘭任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查【任務(wù)背景】CCSS常用設(shè)備CCSS常用設(shè)備包括漏液感應(yīng)計(jì)、計(jì)數(shù)流量計(jì)、氣動(dòng)閥、手閥、表頭壓力計(jì)、電子壓力計(jì)、電磁泵、氣動(dòng)泵、過(guò)濾器、應(yīng)急閥、濃度計(jì)、排風(fēng)、負(fù)壓表、調(diào)壓閥、讀碼槍和法蘭任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查【任務(wù)背景】CCSS常用設(shè)備CCSS常用設(shè)備包括漏液感應(yīng)計(jì)、計(jì)數(shù)流量計(jì)、氣動(dòng)閥、手閥、表頭壓力計(jì)、電子壓力計(jì)、電磁泵、氣動(dòng)泵、過(guò)濾器、應(yīng)急閥、濃度計(jì)、排風(fēng)、負(fù)壓表、調(diào)壓閥、讀碼槍和法蘭化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)備操作任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查1.CDM常用操作1）切換泵CDM一般配置有觸摸操控面板。在主界面上點(diǎn)擊SYSTEMOPER選項(xiàng)，輸入CDM的控制賬號(hào)及密碼，進(jìn)入系統(tǒng)界面。點(diǎn)擊系統(tǒng)的切換選擇SWITCHSELECT，選擇需要切換的泵即可。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查1.CDM常用操作2）開(kāi)啟/屏蔽液位計(jì)或流量計(jì)同樣在CDM的觸摸操控面板操作。在主界面上點(diǎn)擊SYSTEMOPER選項(xiàng)，輸入CDM的控制賬號(hào)及密碼，進(jìn)入系統(tǒng)界面。點(diǎn)擊屏幕翻頁(yè)，觀察設(shè)備列表，查看目標(biāo)設(shè)備是否為屏蔽狀態(tài)。一般系統(tǒng)里以黑色OFF為開(kāi)啟狀態(tài)，橙色ON為屏蔽狀態(tài)。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查1.CDM常用操作3）手動(dòng)開(kāi)啟循環(huán)或上線/下線儲(chǔ)罐在系統(tǒng)界面，點(diǎn)擊INTER-LOCK選項(xiàng)。點(diǎn)擊CIRCULATIONINSTAND-BY選項(xiàng)，USE/UNUSED可以進(jìn)行選擇循環(huán)或者關(guān)閉循環(huán)。點(diǎn)擊STORAGETANK選項(xiàng)，USE/UNUSED可以進(jìn)行選擇上線還是下線該儲(chǔ)罐。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶1）人員防護(hù)首先，操作人員需要穿戴好防護(hù)用具，包括全呼吸式面罩、C級(jí)防化服、安全鞋以及防酸手套，確保在操作過(guò)程中人身安全得到保障，才能進(jìn)入工作區(qū)域。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶2）確認(rèn)酸桶信息操作人員需要確認(rèn)待更換酸桶的品名，保證無(wú)誤之后使用電動(dòng)液壓車將酸桶夾起。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶4）檢查觸摸屏狀態(tài)在CDM操作界面的觸摸屏上，操作人員需要確認(rèn)當(dāng)前酸桶是否顯示為“Empty”狀態(tài)，只有處于空桶狀態(tài)時(shí)，才能進(jìn)行更換操作。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶5）搖晃與確認(rèn)操作人員輕輕搖晃需要更換的酸桶，以進(jìn)一步確認(rèn)桶內(nèi)是否為空，防止因誤判而導(dǎo)致未完全用完的化學(xué)品被浪費(fèi)或泄漏。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶6）拆除空酸桶在確認(rèn)需要更換的酸桶為空后，操作人員需要先拆除酸桶的氣管，再拆除液管。這一步驟需要按照“先氣后液”的原則進(jìn)行，以確保操作的安全性。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶7）安裝新酸桶空酸桶拆除下來(lái)后，安裝新酸桶時(shí)操作人員需要注意按照“先液后氣”的原則，先接液管后接氣管。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶8）鎖緊確認(rèn)確認(rèn)液管和氣管的接頭已經(jīng)鎖緊。再次確認(rèn)酸桶的品名，確保無(wú)誤。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查2.更換酸桶9）關(guān)門與上線完成管路的更換后，操作人員需要關(guān)閉酸桶區(qū)域的門，并進(jìn)行酸桶的上線操作。這一步驟通常需要在CDM系統(tǒng)的操作界面上完成，包括輸入賬號(hào)密碼、選擇對(duì)應(yīng)的酸桶進(jìn)行切換等操作。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充1）槽車安全檢查目視檢查槽車是否完整，無(wú)撞擊凹痕，確保槽車外觀和結(jié)構(gòu)安全。檢查槽車是否有產(chǎn)品合格材料，確保槽車內(nèi)的化學(xué)品符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充2）槽車停放與準(zhǔn)備將槽車停放在防漏盤上并確認(rèn)停穩(wěn)，防止化學(xué)品泄漏時(shí)污染環(huán)境。擺放圍籬，并安置好安全告示牌，提醒周圍人員注意安全。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充3）管路檢查檢查氣液管路是否完好無(wú)損，接頭包裝無(wú)破損，確保管路連接的安全可靠。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充4）確認(rèn)品名與開(kāi)門確認(rèn)槽車內(nèi)化學(xué)品的品名與所需灌充的化學(xué)品一致。打開(kāi)對(duì)應(yīng)的CCB（化學(xué)品連接設(shè)備）門，準(zhǔn)備進(jìn)行灌充操作。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充5）液位確認(rèn)與防護(hù)準(zhǔn)備灌充前確認(rèn)TANK（儲(chǔ)液罐）內(nèi)液位與槽車液位之和不超過(guò)30000L，防止溢出。操作人員穿戴適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)具，確保器具無(wú)破損，以防化學(xué)品泄漏或人員受傷。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充6）管路連接與灌充按照“先液后氣”的順序銜接管道接頭，并確認(rèn)接頭是否接牢。在CCB選擇要灌入的化學(xué)品儲(chǔ)罐，長(zhǎng)按3秒進(jìn)行確認(rèn)。選擇CHARGERUN（灌充運(yùn)行）并長(zhǎng)按3秒開(kāi)始灌充。灌充過(guò)程中，檢查槽車出口壓力是否正常，管線無(wú)液體滲出（壓力范圍1.5-2.3kg/cm2）。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查3.槽車灌充7）拆管與清理灌充完成后，先關(guān)緊管道閥門，再按照“先氣后液”的順序拆管。并清理灌充區(qū)域，復(fù)歸相關(guān)警告標(biāo)志，確?，F(xiàn)場(chǎng)整潔安全。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品取樣1）準(zhǔn)備階段領(lǐng)取取樣瓶和標(biāo)簽，穿戴好個(gè)人防護(hù)具PPE，包括呼吸面罩、防化服、安全鞋和防酸手套等。確保設(shè)備排廢閥已打開(kāi)。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品取樣2）模式切換將設(shè)備切換至SEMIMANUAL模式，以便進(jìn)行手動(dòng)操作。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品取樣3）開(kāi)啟氣閥與泵按照順序先開(kāi)啟氣閥，確保氣路暢通，再開(kāi)啟PUMP，使化學(xué)品在管路中流動(dòng)。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品取樣4）沖洗管路開(kāi)啟對(duì)應(yīng)手閥，對(duì)管路進(jìn)行沖洗。沖洗時(shí)間通常為15分鐘，以確保管路中的殘留物被徹底清除，避免對(duì)取樣結(jié)果產(chǎn)生影響。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品取樣5）清洗取樣瓶打開(kāi)samplebox（取樣箱）的小門，取出取樣瓶。使用適當(dāng)?shù)娜軇┗蚯逅畬?duì)取樣瓶進(jìn)行清洗，清洗次數(shù)通常為3次。清洗完畢后，將取樣瓶放置在干凈的地方晾干或使用無(wú)塵布擦拭干凈。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品取樣6）取樣完成清洗后，將取樣瓶放置在取樣口下方。打開(kāi)取樣口的手閥，讓化學(xué)品流入取樣瓶中。取樣量應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行確定，并確保取樣過(guò)程中不造成污染或泄漏。任務(wù)8-5化學(xué)品設(shè)備操作及故障排查4.化學(xué)品