半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目五排氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與維護(hù)任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，需歷經(jīng)諸多復(fù)雜的工藝流程。這些流程中使用的藥品和氣體種類繁多，總數(shù)可達(dá)數(shù)十種，其中包括有毒、有害及具有爆炸危險(xiǎn)性的物質(zhì)。例如，在光刻、蝕刻及清洗環(huán)節(jié)，會(huì)產(chǎn)生酸堿廢氣；光刻工藝的清洗步驟則會(huì)釋放有機(jī)溶劑廢氣；而在氧化、擴(kuò)散和濺鍍等工藝過(guò)程中，則會(huì)產(chǎn)生有毒氣體。這些化學(xué)材料在密閉空間內(nèi)使用完畢后，必須通過(guò)專業(yè)的廢氣處理排放設(shè)施安全地排出室外，并在排放端實(shí)施無(wú)害化處理，以確保室外環(huán)境空氣的清潔與安全。因此，廢氣處理設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造流程中占據(jù)著舉足輕重的地位?！救蝿?wù)背景】任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)半導(dǎo)體廠的廢氣種類有哪些呢？制程排氣系統(tǒng)（EXHAUST）一般廢氣（GEX）酸/堿廢氣（SEX/AEX）有機(jī)廢氣（VEX）含毒性廢氣任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)1.廢氣種類一般廢氣（GEX）：這類廢氣主要來(lái)源于氧化擴(kuò)散爐的熱氣、烤箱及干式泵的排氣等，它們通常是無(wú)毒的。這類廢氣經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單處理后，由于其不含有害物質(zhì)，可以直接排放至大氣中。管道材質(zhì)常選用鍍鋅螺旋風(fēng)管。任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)1.廢氣種類酸堿性廢氣（SEX/AEX）：這類廢氣主要來(lái)源于化學(xué)清洗站，具有刺激性或?qū)θ梭w有害。在清洗芯片時(shí)，會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)性氣體，部分含有濃煙，對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用，對(duì)人體有害。這類廢氣必須經(jīng)過(guò)中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行水洗中和處理后才能排入大氣。管道材質(zhì)通常采用不銹鋼鐵氟龍全焊式內(nèi)襯全焊管，以確保其耐腐蝕性和安全性。任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)1.廢氣種類有機(jī)廢氣（VEX）：這類廢氣主要來(lái)源于有機(jī)化學(xué)溶劑的使用。在半導(dǎo)體制造業(yè)中，這類廢氣常通過(guò)活性碳吸附塔或填充式洗滌塔進(jìn)行處理，有時(shí)也采用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪和燃?xì)馐椒倩癄t的組合技術(shù)，去除率可達(dá)90%以上。管道材質(zhì)常用SUS304/316L不銹鋼全焊管，以保證其耐腐蝕性和密封性。任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)1.廢氣種類含毒性廢氣：這類廢氣主要來(lái)源于化學(xué)氣相沉積、刻蝕、擴(kuò)散、離子注入等制程。由于這些制程中大量使用毒性氣體，機(jī)臺(tái)上通常會(huì)配備吸附式尾氣處理設(shè)備進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理后的廢氣還需送入中央廢氣處理系統(tǒng)，經(jīng)過(guò)水洗中和處理，確保其安全性后，方可排放至大氣中。這類廢氣的處理過(guò)程相對(duì)復(fù)雜且嚴(yán)格，以確保其對(duì)環(huán)境和人體的影響降到最低。任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)2.一般廢氣處理系統(tǒng)一般排氣（GEX）系統(tǒng)，也稱為熱排氣系統(tǒng)。任務(wù)5-1一般廢氣處理系統(tǒng)2.一般廢氣處理系統(tǒng)GEX系統(tǒng)的一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn)是，它直接從潔凈室內(nèi)抽取氣體，而且排放的含塵濃度很低，因此在總風(fēng)管處檢測(cè)的結(jié)果仍然達(dá)到潔凈級(jí)別，且溫度處于室溫范圍內(nèi)。這意味著，GEX系統(tǒng)抽取的氣體在排放到大氣環(huán)境之前不需要進(jìn)行任何處理，因?yàn)樗鼈儽徽J(rèn)為是無(wú)害排放。半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目五排氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與維護(hù)任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，需歷經(jīng)諸多復(fù)雜的工藝流程。這些流程中使用的藥品和氣體種類繁多，總數(shù)可達(dá)數(shù)十種，其中包括有毒、有害及具有爆炸危險(xiǎn)性的物質(zhì)。例如，在光刻、蝕刻及清洗環(huán)節(jié)，會(huì)產(chǎn)生酸堿廢氣；光刻工藝的清洗步驟則會(huì)釋放有機(jī)溶劑廢氣；而在氧化、擴(kuò)散和濺鍍等工藝過(guò)程中，則會(huì)產(chǎn)生有毒氣體。這些化學(xué)材料在密閉空間內(nèi)使用完畢后，必須通過(guò)專業(yè)的廢氣處理排放設(shè)施安全地排出室外，并在排放端實(shí)施無(wú)害化處理，以確保室外環(huán)境空氣的清潔與安全。因此，廢氣處理設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造流程中占據(jù)著舉足輕重的地位?！救蝿?wù)背景】任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)①活性炭吸附法活性炭吸附法是一種直接利用活性炭吸附廢氣中有機(jī)溶劑的方法，其操作簡(jiǎn)便且成本相對(duì)較低。活性炭吸附塔在低濃度VOC條件下，可以理想的去除廢氣中揮發(fā)性有機(jī)物(如惡臭、煙氣、毒氣、O3、SO3、H2S、HF、NOX、苯類、酮類、石油類等)，同時(shí)有較佳的經(jīng)濟(jì)效益。特別適用處理含低濃度VOC之廢氣，例如半導(dǎo)體、LCD廠、PCB廠與相關(guān)電子廠等。有機(jī)廢氣的處理方法？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)①活性炭吸附法然而，該方法存在一些局限性?；钚蕴恳追刍瘜?dǎo)致壓損，且易因吸附水汽而性能下降，同時(shí)孔隙易被顆粒雜質(zhì)堵塞。此外，當(dāng)活性炭達(dá)到吸附飽和時(shí)，若系統(tǒng)停機(jī)且外部環(huán)境溫度高，存在自燃風(fēng)險(xiǎn)。有機(jī)廢氣的處理方法？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)②冷凝法冷凝法通過(guò)降低氣體溫度至某溶劑化學(xué)成分蒸氣壓對(duì)應(yīng)的溫度以下，使該成分凝結(jié)從而實(shí)現(xiàn)分離。適用于處理高濃度（大于1%）廢氣及高沸點(diǎn)、低蒸氣壓的有機(jī)溶劑廢氣。有機(jī)廢氣的處理方法？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣的處理方法？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣的處理方法？③直接燃燒法通過(guò)高溫燃燒將廢氣中的化學(xué)成分分解為二氧化碳和水，操作簡(jiǎn)便且去除率高，同時(shí)可回收熱量。然而，該方法操作費(fèi)用較高，存在回火和爆炸風(fēng)險(xiǎn)，不完全燃燒還會(huì)引發(fā)二次污染及NOx排放問(wèn)題。任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)④觸媒燃燒法在燃燒過(guò)程中加入觸媒輔助燃燒，相較于直接燃燒法更安全、費(fèi)用更低，且不會(huì)產(chǎn)生NOx問(wèn)題。但溫度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致觸媒劣化，同時(shí)觸媒易受硫、氯等物質(zhì)毒化影響。有機(jī)廢氣的處理方法？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)⑤化學(xué)吸收法通過(guò)氣體與固體間的接觸，利用化學(xué)吸附或物理吸收原理移除廢氣中的某些成分。常用吸附劑包括活性炭、沸石、樹脂、白土等。該方法優(yōu)點(diǎn)在于可回收溶劑、制程靈活、系統(tǒng)自動(dòng)化程度高、維護(hù)簡(jiǎn)便且去除率高。但吸附劑需定期再生，廢氣溫度需低于50℃，再生過(guò)程中需使用蒸汽或氮?dú)?，這是其不足之處。有機(jī)廢氣的處理方法？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)現(xiàn)在半導(dǎo)體廠有機(jī)廢氣的主流處理方式是什么？目前大多以活性炭吸附塔和填充式洗滌塔處理有機(jī)廢氣。任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)現(xiàn)在半導(dǎo)體廠有機(jī)廢氣的主流處理方式是什么？部分采用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪加燃?xì)馐椒倩癄t，去除率可達(dá)90﹪以上，是目前較佳之空氣污染控制技術(shù)（運(yùn)行成本高）。任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)現(xiàn)在半導(dǎo)體廠有機(jī)廢氣的主流處理方式是什么？沸石濃縮轉(zhuǎn)輪加焚化處理的系統(tǒng)處理原理，是將大風(fēng)量低濃度有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成小風(fēng)量高濃度氣流，再將濃縮后的高濃度有機(jī)廢氣進(jìn)行焚化處理。其主要優(yōu)點(diǎn)是系統(tǒng)處理效率高(95％)、操作簡(jiǎn)單并且易清洗保養(yǎng)。所選用的沸石為新型的疏水性沸石，從而避免水分對(duì)吸附材料的侵占，保證良好的吸附效果，而高品質(zhì)的沸石必須符合嚴(yán)格的硅鋁比、純度、結(jié)晶度、孔徑常數(shù)等要求。沸石轉(zhuǎn)輪對(duì)低濃度的VOC有很好的吸附能力，吸附后的干凈空氣就可自然排放。任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)現(xiàn)在半導(dǎo)體廠有機(jī)廢氣的主流處理方式是什么？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)現(xiàn)在半導(dǎo)體廠有機(jī)廢氣的主流處理方式是什么？任務(wù)5-2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)典型有機(jī)排氣設(shè)備參數(shù)半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目五排氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與維護(hù)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法。對(duì)于含有酸性／堿性物質(zhì)的廢氣，半導(dǎo)體廠大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理?；谝合嗷戏磻?yīng)的原理，利用氫氧化鈉和稀硫酸分別作為吸收液，對(duì)酸堿性廢氣進(jìn)行噴淋處理。任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)使用氫氧化鈉作為吸收液進(jìn)行噴淋。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)酸性廢氣（如氯化氫氣體HCl）與氫氧化鈉（NaOH）接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生酸堿中和反應(yīng)，其反應(yīng)方程式為：HCl+NaOH==NaCl+H2O。這一反應(yīng)原理正是噴淋洗滌法處理酸性廢氣的核心所在。酸排處理原理？任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)酸排處理原理？洗滌塔（噴淋塔）是酸排系統(tǒng)的核心設(shè)備。廢氣經(jīng)由填充式洗滌塔和洗滌液進(jìn)行吸收中和。填充式洗滌塔，采用氣液逆向吸收方式處理以霧狀噴淋而下產(chǎn)生小水滴。任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)堿排處理原理？使用稀硫酸作為吸收液進(jìn)行噴淋。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)堿性廢氣（如氨氣）與稀硫酸（H2SO4

）接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生酸堿中和反應(yīng)，其反應(yīng)方程式為：NH3+H2SO4==(NH4)2SO4這一反應(yīng)原理正是噴淋洗滌法處理堿性廢氣的核心所在。任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)酸排/堿排設(shè)備洗滌塔塔體風(fēng)機(jī)系統(tǒng)循環(huán)水系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)酸排/堿排設(shè)備加藥系統(tǒng)儀控系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)使用經(jīng)驗(yàn)：酸堿液PH值的影響？PH值是越高越好/越低越好嗎？？？任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)通過(guò)廠務(wù)工程師多年的工作經(jīng)驗(yàn)，調(diào)整酸性排氣洗滌塔循環(huán)水的pH值，當(dāng)pH低于7時(shí)，系統(tǒng)處理效率不超過(guò)60%；當(dāng)pH值高于8時(shí)，系統(tǒng)處理效率通常高于90%；當(dāng)pH值達(dá)到10時(shí)，系統(tǒng)處理效率甚至超過(guò)99%。雖然酸性排氣洗滌塔，pH值越高處理效率越好，但實(shí)際運(yùn)行中pH過(guò)高會(huì)增加運(yùn)行成本，并會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶等問(wèn)題，危及生產(chǎn)安全，因此pH值通?？刂圃?0-12。堿性排氣洗滌塔，pH值通?？刂圃?～6運(yùn)行中要嚴(yán)格控制洗滌塔循環(huán)水的電導(dǎo)度減少鹽類堵塞噴嘴的情況，定期對(duì)噴嘴進(jìn)行清理，對(duì)循環(huán)水泵和淋洗塔進(jìn)行保養(yǎng)，保證充足的循環(huán)水量。半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目五排氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與維護(hù)任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)含毒性廢氣處理系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，毒性廢氣的來(lái)源主要包括刻蝕工藝、摻雜工藝和化學(xué)氣相淀積等關(guān)鍵工序?？涛g：為了去除硅片上不需要的材料，常使用四氟化碳（CF4）、六氟化硫（SF6）、六氟乙烷（C2F6）、三氟化氮（NF3）以及氯基（Cl2）和溴基（Br2、HBr）等氣體。具有強(qiáng)烈的毒性。摻雜：可能會(huì)使用砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、三氟化磷（PF3）、三氟化砷（AsF3）、三氟化硼（BF3）以及乙硼烷（B2H6）等有毒氣體。一旦處理不當(dāng)，可能導(dǎo)致火災(zāi)、爆炸或中毒事故?；瘜W(xué)氣相淀積（CVD）：可能會(huì)產(chǎn)生包括氯化氫、氫氟酸、甲硅烷、磷化氫、砷烷等在內(nèi)的多種有毒及腐蝕性氣體，以及如四氟化碳、六氟化硫等溫室氣體。具有強(qiáng)烈的毒性、腐蝕性和自燃性，對(duì)環(huán)境和人體健康構(gòu)成潛在威脅。任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)含毒性廢氣處理系統(tǒng)尾氣處理設(shè)備是通過(guò)不同的處理工藝，回收或去除、減少排放尾氣中的有害成分，以達(dá)到保護(hù)環(huán)境和周邊人員健康的目的。常見的尾氣處理工藝包括水洗式、氧化式、吸附式及等離子燃燒式等。任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)排氣系統(tǒng)運(yùn)行注意事項(xiàng)A.激活運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查填充材高度是否適當(dāng)；檢查電源及清水的供應(yīng)是否正常；檢查風(fēng)管上之手動(dòng)閥門，是否在打開或關(guān)閉的位置；檢查洗滌塔內(nèi)部是否有清潔用污物；檢查循環(huán)泵浦出口閥是否開啟；檢查備用循環(huán)泵浦出口閥是否關(guān)閉；檢查廢液排水閥是否通暢及關(guān)閉。任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)排氣系統(tǒng)運(yùn)行注意事項(xiàng)B.激活運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)開啟供水閥，注入清水，并關(guān)閉泄水閥，讓清水自溢流口，流出約2~3分鐘后，再開啟泄水閥，排出原注入之清水，可清潔洗滌塔內(nèi)部水池；開啟控制箱的主電源；開啟所預(yù)定運(yùn)轉(zhuǎn)的循環(huán)泵浦，按順序開啟。任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)排氣系統(tǒng)運(yùn)行注意事項(xiàng)C.激活運(yùn)轉(zhuǎn)后檢視循環(huán)泵浦是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)；檢視循環(huán)泵浦出口閥是否在開啟位置；檢視備用循環(huán)泵浦出口閥是否在關(guān)閉位置；檢視流量計(jì)的流量是否為預(yù)定的流量值范圍檢視壓力計(jì)約0～2.5Kg之壓力；檢視洗滌塔上方噴嘴。任務(wù)5-4毒性廢氣處理系統(tǒng)排氣系統(tǒng)運(yùn)行注意事項(xiàng)當(dāng)排氣系統(tǒng)出現(xiàn)異常狀況時(shí)怎么進(jìn)行排除呢？洗滌塔壓降太高？？？