分子束外延.ppt_第1頁
分子束外延.ppt_第2頁
分子束外延.ppt_第3頁
分子束外延.ppt_第4頁
全文預(yù)覽已結(jié)束

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、（三） 分子束外延,分子束外延（MBE）是新發(fā)展起來的外延制膜方法，也是一種特殊的真空鍍膜工藝。它是在超高真空條件下，將薄膜諸組分元素的分子束流直接噴到襯底表面，從而在其上形成外延層的技術(shù)。 其突出的優(yōu)點是能生長極薄的單晶膜層，且能夠精確控制膜厚、組分和摻雜，適合于制作微波、光電和多層結(jié)構(gòu)器件。,分子束外延裝置圖,分子束外延裝置主要由工作室、分子束噴射爐和各種監(jiān)控儀器組成。 特點： 其突出的優(yōu)點是能生長極薄的單晶膜層，且能夠精確控制膜厚、組分和摻雜，適合于制作微波、光電和多層結(jié)構(gòu)器件。 分子束外延制膜是將原子一個一個地直接沉積在襯底上實現(xiàn)外延生成的。分子束外延雖然也是一個蒸發(fā)過程，但它并不以蒸

2、發(fā)溫度為控制參數(shù)，而以系統(tǒng)中的四極質(zhì)譜儀、原子吸收光譜等現(xiàn)代儀器精密地監(jiān)控分子束的種類和強度，從而嚴(yán)格控制生長過程與生長速率。 分子束外延是一個超高真空的物理淀積過程，利用快門可對生長和中斷進行瞬時控制。因此，膜的組分和摻雜濃度可隨要求的變化作迅速調(diào)整。,分子束外延能獨立控制各蒸發(fā)源的蒸發(fā)和噴射速度，從而能制備合金薄膜。 分子束外延的襯底溫度低，因此降低了界面上熱膨脹引入的晶格失配效應(yīng)和襯底雜質(zhì)對外延層的自摻雜擴散影響。 分子束外延是動力學(xué)過程，即將入射的中性粒子（原子或分子）一個一個地堆積在襯底上進行生長，而不是一個熱力學(xué)過程，所以它是按照普通熱平衡生長方法難以生長的薄膜。 分子束外延的另一顯著特點是生長速率低，大約1 ，相當(dāng)于每秒生長一個單原子層，因此有利于實現(xiàn)精確控制厚度、結(jié)構(gòu)與成分和形成陡峭異質(zhì)結(jié)等，特別適于生長超晶格材料和外延薄膜材料。分子束外延受襯底材料的影響較大，

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論