ICS7110020 G 86 . . 中 華 人 民 共 和 國(guó) 國(guó) 家 標(biāo) 準(zhǔn) GB/T323862015 電子工業(yè)用氣體 六氟化鎢 GasesforelectronicindustryTungstenhexaflouride2015-12-31發(fā)布 2016-07-01實(shí)施 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 發(fā) 布 中 國(guó) 國(guó) 家 標(biāo) 準(zhǔn) 化 管 理 委 員 會(huì) GB/T323862015 前 言 本標(biāo)準(zhǔn)按照 給出的規(guī)則起草 GB/T1.12009 。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì) 提出并歸口 (SAC/TC203) 。 本標(biāo)準(zhǔn)起草單位 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所 廈門鎢業(yè)股份有限公司 西南化工研究 : 、 、設(shè)計(jì)院有限公司 上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司 上海儀盟電子科技有限公司 、 、 。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人 鄭秋艷 江海風(fēng) 王占衛(wèi) 方蘭蘭 林竹光 王志信 方華 楊任 周鵬云 : 、 、 、 、 、 、 、 、 。 GB/T323862015 電子工業(yè)用氣體 六氟化鎢 1 范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化鎢的技術(shù)要求 試驗(yàn)方法 包裝 標(biāo)志 貯運(yùn)和安全 、 、 、 、 。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)合成法制取并經(jīng)精制純化的六氟化鎢 該產(chǎn)品主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué) 。 氣相沉積工藝 鎢材料的制備等 、 。 分子式 :WF6。 分子量 按 年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算 :297.8304192( 2009 )。2 規(guī)范性引用文件 下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本文件 。 , ( ) 。 危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志 GB190 工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則 GB/T3723 鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶 GB5099 氣體分析 動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體 第 部分 滲透法 GB/T5275.10 10 : 氣瓶顏色標(biāo)志 GB7144 液化氣體氣瓶充裝規(guī)定 GB14193 化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定 GB15258 氣瓶警示標(biāo)簽 GB16804 特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范 GB/T26571 氣體分析 氦離子化氣相色譜法 GB/T28726 工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn) TJ36-79 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程 版 (2000 ) 危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例 版 (2002 ) 特種設(shè)備安全監(jiān)察條例 版 (2009 )3 技術(shù)要求 六氟化鎢的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表 要求 1 。 表 1 技術(shù)指標(biāo) 項(xiàng) 目 名 稱 指 標(biāo) 六氟化鎢 純度 體積分?jǐn)?shù) -2 (WF6) ( )/10 99.9 99.999 99.9995 99.9999 四氟化碳 含量 體積分?jǐn)?shù) -6 (CF4) (