1、Confidential真空知識(shí)及側(cè)漏報(bào)告真空知識(shí)及側(cè)漏報(bào)告Confidential 真空的定義(一般工業(yè)技術(shù)上的定義)： 一切存在于空氣中的物體，都受到空氣的壓力。這個(gè)壓力的強(qiáng)度通常情況下我們稱它為一個(gè)大氣壓。 真空（Vacuum）是指氣壓比一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓低的狀態(tài) 國(guó)際上為了使用方便，統(tǒng)一使用“托”作為計(jì)量氣壓的單位，1托即為1mm Hg.所以： 1個(gè)大氣壓760托 反映真空程度高低的量叫做真空度。真空度低即氣壓高；真空度高即氣壓低。 目前的真空技術(shù)，已經(jīng)獲得 760托P 10 托的真空度。根據(jù)不同的應(yīng)用情況，大致上可以把真 空區(qū)域劃分為以下幾個(gè)范圍： 氣壓在 760托10托 叫粗真空； 1

2、0托 10 叫低真空； 1010 叫高真空； 10 托以下 叫超高真空；一、何為真空一、何為真空Confidential一、何為真空一、何為真空關(guān)于真空體系中的氣體滲透：關(guān)于真空體系中的氣體滲透：氣體滲透，顧名思義，就是指氣體分子滲透到氣壁中去。這里要說(shuō)明的是，氣體分子不只會(huì)順著微小的裂縫滲透，而是不管氣壁材料種類如何，有多么致密，多么完美無(wú)瑕，氣體分子一樣可以滲透進(jìn)去，只是滲透速度大小的問(wèn)題。滲透的速度受氣壁材料特性、溫度、氣體成分等因素影響。正是從這個(gè)意義上，我們說(shuō)正是從這個(gè)意義上，我們說(shuō)“真正完全不漏氣的組件或體系是不存真正完全不漏氣的組件或體系是不存在的。在的。在我們的排氣機(jī)真空系統(tǒng)中

3、，鋼鐵、銅、鎳、鋁、玻璃等材料抗?jié)B透的能力都是足夠的。要注意的是如橡膠之類的材料Confidential二、抽真空二、抽真空旋片式真空泵工作原理如右圖：旋片式真空泵工作原理如右圖：D25B，D40B，大致就是這樣工作的。，大致就是這樣工作的。SV100(B)結(jié)構(gòu)稍有不同，但原理一樣。結(jié)構(gòu)稍有不同，但原理一樣。 羅羅茨（茨（Roots）泵（或稱雙突瓣式泵）泵（或稱雙突瓣式泵two-lobe pump) 其工作原理如左圖：其工作原理如左圖：Confidential 檢檢漏是指對(duì)于漏氣的部件或系統(tǒng)進(jìn)行檢查以確定漏點(diǎn)的工作。經(jīng)漏是指對(duì)于漏氣的部件或系統(tǒng)進(jìn)行檢查以確定漏點(diǎn)的工作。經(jīng)常的，在此之后我們要對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行處理，使得部件常的，在此之后我們要對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行處理，使得部件/系統(tǒng)的漏率小到系統(tǒng)的漏率小到可以接受的程度?？梢越邮艿某潭?。 絕絕對(duì)不漏氣的部件或系統(tǒng)是不存在的。所以技術(shù)上所說(shuō)的對(duì)不漏氣的部件或系統(tǒng)是不存在的。所以技術(shù)上所說(shuō)的“不漏不漏氣氣”，只是指部件或系統(tǒng)的漏率已經(jīng)小到滿足要求。，只是指部件或系統(tǒng)的漏率已經(jīng)小到滿足要求。三、測(cè)漏三、測(cè)漏Confidential測(cè)漏方法：測(cè)漏方法：檢漏的方法根據(jù)檢漏時(shí)樣品內(nèi)氣壓是否超過(guò)外界大氣壓，大體有真空法和過(guò)壓法兩類。我們常用的氣泡法（用于檢查氣體管道的