1、AQ XXXX20XX 附錄A（規(guī)范性）多晶硅生產(chǎn)火災(zāi)危險性分類A.1 火災(zāi)危險性分類多晶硅生產(chǎn)中危險化學品的火災(zāi)危險性應(yīng)符合GB 50016的規(guī)定，可燃危險化學品的火災(zāi)危險性分類表見表A.1。表A.1 可燃危險化學品的火災(zāi)危險性分類表序號危險化學品名稱危險類別閃點自燃點爆炸極限（V/V）火災(zāi)危險類別下限上限1硅粉（非晶形的）易燃固體類別2775160mg/m3乙類2氫氣易燃氣體類別1500-5714.175甲類3三氯氫硅自燃液體類別1-281851.290.5甲類4二氯二氫硅易燃氣體類別1-5541-474.196.0甲類注：二氯二氫硅在潮濕空氣中，會發(fā)生局部放熱反應(yīng)，實際發(fā)生閃爆的環(huán)境溫度

2、往往大大低于該自燃點，這是多晶硅生產(chǎn)過程中最危險的物質(zhì)之一。A.2 多晶硅生產(chǎn)裝置火災(zāi)危險性分類A.2.1制氫裝置、氯化氫合成裝置、三氯氫硅合成裝置、氯硅烷分離與提純裝置、三氯氫硅還原裝置、還原尾氣干法回收裝置、四氯化硅氫化裝置、氫氣罐區(qū)、氯硅烷罐區(qū)的火災(zāi)類別為甲類易燃易爆作業(yè)場所。A.3爆炸性環(huán)境危險區(qū)域劃分A.3.1 爆炸性氣體環(huán)境危險區(qū)域按照GB 50058的規(guī)定劃分。A.3.2 爆炸性粉塵環(huán)境危險區(qū)域按照GB 50058的規(guī)定劃分。附錄B（規(guī)范性）多晶硅生產(chǎn)場所空氣中主要有毒物質(zhì)及粉塵容許濃度表B.1規(guī)定了多晶硅生產(chǎn)場所空氣中有毒物質(zhì)及粉塵容許濃度。表B.1 多晶硅生產(chǎn)場所空氣中有毒物

3、質(zhì)及粉塵容許濃度序號危險化學品名稱危險類別健康危害特性毒性危害級別工作場接觸限值mg/m3MACTWASTEL1硅粉易燃固體,類別2嚴重眼損傷/眼刺激,類別2B矽肺2氫氟酸急性毒性-經(jīng)口,類別2*急性毒性-經(jīng)皮,類別1急性毒性-吸入,類別2*皮膚腐蝕/刺激,類別1A嚴重眼損傷/眼刺激,類別1中毒、灼傷23硝酸氧化性液體,類別3皮膚腐蝕/刺激,類別1A嚴重眼損傷/眼刺激,類別1中毒、灼傷4氫氧化鉀皮膚腐蝕/刺激,類別1A嚴重眼損傷/眼刺激,類別1灼傷IV25氫氧化鈉皮膚腐蝕/刺激,類別1A嚴重眼損傷/眼刺激,類別1灼傷IV26氯氣加壓氣體急性毒性-吸入,類別2皮膚腐蝕/刺激,類別2嚴重眼損傷/眼

4、刺激,類別2特異性靶器官毒性-一次接觸,類別3（呼吸道刺激）危害水生環(huán)境-急性危害,類別1中毒、灼傷7氫氣易燃氣體,類別1加壓氣體窒息8三氯氫硅自燃液體,類別1皮膚腐蝕/刺激,類別1A嚴重眼損傷/眼刺激,類別1特異性靶器官毒性-一次接觸,類別3（呼吸道刺激）中毒、灼傷39二氯二氫硅易燃氣體,類別1加壓氣體急性毒性-吸入,類別2皮膚腐蝕/刺激,類別1嚴重眼損傷/眼刺激,類別1特異性靶器官毒性-一次接觸,類別2中毒、灼傷10四氯化硅皮膚腐蝕/刺激,類別2嚴重眼損傷/眼刺激,類別2特異性靶器官毒性-一次接觸,類別3（呼吸道刺激）中毒、灼傷11氯化氫加壓氣體急性毒性-吸入,類別3*皮膚腐蝕/刺激,類別

5、1A嚴重眼損傷/眼刺激,類別1危害水生環(huán)境-急性危害,類別1中毒、灼傷7.512鹽酸皮膚腐蝕/刺激,類別1B嚴重眼損傷/眼刺激,類別1特異性靶器官毒性-一次接觸,類別3（呼吸道刺激）危害水生環(huán)境-急性危害,類別2中毒、灼傷7.5附錄C（資料性）多晶硅生產(chǎn)過程中的危險、有害因素C.1 火災(zāi)火災(zāi)發(fā)生必須具備助燃物質(zhì)、可燃物質(zhì)、引燃（爆）能量三個條件。當氫氣或氫氣與氯硅烷混合氣或三氯氫硅（二氯二氫硅、一氯三氫硅）泄漏時，遇明火、靜電或其他能量引燃容易引起火災(zāi)；氫氣或氫氣與氯硅烷混合氣或三氯氫硅（二氯二氫硅、一氯三氫硅）容器管道破裂時遇明火、靜電或其他能量引燃容易發(fā)生火災(zāi)。C.1.1 可燃物質(zhì)a） 氫

6、氣、三氯氫硅、二氯二氫硅、一氯三氫硅、導熱油；b） 生產(chǎn)過程中在某些生產(chǎn)裝置內(nèi)形成的未徹底水解的淺黃色干燥團狀或塊狀物質(zhì)，這些物質(zhì)具有較強的燃燒性，往往在腳踩的情況下即可發(fā)生燃燒；c） 活性炭、超細硅粉等（包括還原過程中產(chǎn)生的超細無定型硅）。C.1.2 引燃能量a） 明火或高溫物體表面：氫氣電加熱器、還原爐運行狀態(tài)、作業(yè)場所內(nèi)部或外部帶入的煙火、照明燈具灼熱表面，設(shè)備、管道、電器表面的過高溫度、氣焊和切割明火、機動車排氣管噴火星、煙囪飛火花等；b） 摩擦沖擊：機械軸承發(fā)熱，鋼鐵工具、鐵桶和容器與地面相互碰撞或與地坪撞擊、拖拉，帶釘鞋與地坪撞擊等；c） 電器火花：電路開啟與切斷、短路、過載，線路

7、電位差引起的熔融金屬，保險絲熔斷、外露的灼熱絲等，擊穿產(chǎn)生的拉弧等；d） 靜電放電：氯硅烷設(shè)備、容器、管道靜電積累或容器、管道破裂、人體靜電、氣體流速過快、使用塑料管產(chǎn)生靜電等；e） 雷電；f） 化學能：自燃（二氯二氫硅、一氯三氫硅），物質(zhì)混合劇烈放熱反應(yīng)（三氯氫硅、二氯二氫硅），一氯三氫硅水解放熱自燃等；g） 日光聚焦。C.1.3 增加燃燒危險的因素 a） 密閉空間富氧狀態(tài)；b） 火災(zāi)時持續(xù)通風；c） 盛裝易燃易爆液體的壓力容器、管道破裂與容器傾覆后的流淌和擴散；d） 比空氣重的氯硅烷蒸氣積聚；e）氣溫高。C.2 爆炸a） 密閉空間及通風不良處所，易燃氣體及粉塵積聚達到爆炸極限，遇到火源瞬間

8、燃燒爆炸；b） 氫氣、氯硅烷或二者混合氣大量泄漏，遇到火源瞬間燃燒爆炸；c）二氯二氫硅泄漏后，遇空氣中的水分，即會發(fā)生局部放熱反應(yīng)而發(fā)生爆炸；d） 還原爐開爐誤操作，導致在有氫氣或氫氣與氯硅烷化合物與空氣共存時，通電形成爆炸；e） 氯化氫合成點火程序錯誤，形成氫氣與氯氣混合后光照反應(yīng)，導致爆炸等；f） 容器或管道因超壓或超溫發(fā)生的爆炸。C.3 中毒生產(chǎn)性物質(zhì)：氯氣、氯化氫、氯硅烷、氫氟酸等生產(chǎn)性有毒物質(zhì)，通過呼吸道、消化道及皮膚侵入人體或眼睛。有的可刺激粘膜（上呼吸道）或視網(wǎng)膜，有的可引起過敏反應(yīng)或皮炎，有的造成急、慢性中毒。C.4 灼傷三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅等介質(zhì)遇水反應(yīng)，均放出有毒

9、的腐蝕性氣體氯化氫。鹽酸、氫氟酸、硝酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀等是直接腐蝕介質(zhì)，人體在生產(chǎn)活動中因物料迸濺、泄漏、意外接觸等原因，導致人體組織灼傷的可能。C.5 窒息多晶硅生產(chǎn)過程中涉及惰性氣體（氮氣、氬氣）的地方較多。因此，多晶硅生產(chǎn)過程中，窒息事故也經(jīng)常發(fā)生。在使用、生產(chǎn)上述物質(zhì)的三氯氫硅還原、還原尾氣干法回收、四氯化硅氫化、活性炭吸附，以及配套建設(shè)的氯硅烷罐區(qū)等場所，均存在中毒窒息的危險。生產(chǎn)過程或裝置中引入氮氣作為保護氣、置換時使用氮氣、硅芯拉制過程中用氬氣作為保護氣等，一旦保護措施不到位均可造成窒息事故。附錄D（資料性）多晶硅生產(chǎn)安全規(guī)章制度目錄本附錄根據(jù)危險化學品生產(chǎn)企業(yè)安全生產(chǎn)許可證

10、實施辦法等相關(guān)規(guī)定，以及多晶硅企業(yè)根據(jù)工藝、裝置、設(shè)施等實際情況，列項給出了主要的安全生產(chǎn)規(guī)章制度目錄。安全生產(chǎn)例會等安全生產(chǎn)會議制度；安全投入保障制度；安全生產(chǎn)獎懲制度；安全培訓教育制度；領(lǐng)導干部現(xiàn)場帶班制度；特種作業(yè)人員管理制度；安全檢查和隱患排查治理制度；重大危險源評估和安全管理制度；變更管理制度；應(yīng)急管理制度；生產(chǎn)安全事故或者重大事件管理制度；防火、防爆、防中毒、防泄漏管理制度；工藝、設(shè)備、電氣儀表、公用工程安全管理制度；動火、進入受限空間、吊裝、高處、盲板抽堵、動土、斷路、臨時用電等作業(yè)安全管理制度；危險化學品安全管理制度；職業(yè)健康相關(guān)管理制度；勞動防護用品使用維護管理制度；承包商管

11、理制度；安全管理制度及操作規(guī)程定期修訂制度；氯硅烷管線及設(shè)備的氨水定期查漏制度；氮氣安全使用管理制度；液相氯硅烷管道防汽化超壓管理制度。附錄E（資料性）多晶硅企業(yè)重大生產(chǎn)安全事故隱患判定標準E.1 本附錄依據(jù)化工和危險化學品生產(chǎn)經(jīng)營單位重大生產(chǎn)安全事故隱患判定標準，給出了多晶硅企業(yè)重大生產(chǎn)安全事故隱患的判定標準。E.2 以下情形均應(yīng)當判定為多晶硅企業(yè)重大生產(chǎn)安全事故隱患：企業(yè)主要負責人和安全生產(chǎn)管理人員未依法經(jīng)考核合格；特種作業(yè)人員未持證上崗；氯硅烷罐區(qū)等涉及“兩重點一重大”的生產(chǎn)裝置、儲存設(shè)施外部安全防護距離不符合國家標準要求；構(gòu)成一級、二級重大危險源的危險化學品罐區(qū)未實現(xiàn)緊急切斷功能；涉及

12、毒性氣體、液化氣體、劇毒液體的一級、二級重大危險源的危險化學品罐區(qū)未配備獨立的安全儀表系統(tǒng)；液氯等易燃易爆、有毒有害液化氣體的充裝未使用萬向管道充裝系統(tǒng)；氯氣等劇毒氣體管道穿越除廠區(qū)（包括化工園區(qū)、工業(yè)園區(qū)）外的公共區(qū)域；地區(qū)架空電力線路穿越生產(chǎn)區(qū)且不符合國家標準要求；在役多晶硅化工裝置未經(jīng)正規(guī)設(shè)計且未進行安全設(shè)計診斷；使用未設(shè)置密閉及自動吸收系統(tǒng)的液氯存儲倉庫、液氯管道用軟管等淘汰落后安全技術(shù)的工藝、設(shè)備；涉及氫氣、氯氣、氯化氫、氯硅烷等可燃和有毒有害氣體泄漏的場所未按國家標準設(shè)置檢測報警裝置，爆炸危險場所未按國家標準安裝使用防爆電氣設(shè)備；控制室或機柜間面向具有火災(zāi)、爆炸危險性裝置一側(cè)不滿足國家標準關(guān)于防火防爆的要求；多晶硅裝置未按國家標準要求設(shè)置雙重電源供電，自動化控制系統(tǒng)未設(shè)置不間斷電源；安全閥、爆破片等安全附件未正常投用；未建立與崗位相匹配的全員安全生產(chǎn)責任制或者未制定實施生產(chǎn)安全事故隱患排查治理制度；未制定操作規(guī)程和工藝控制指標；未按照國家標準