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文檔簡介

專題四:高能束加工1.離子束加工

2.電子束加工

3.激光束加工

1.離子束加工概念:

離子束加工是利用離子束對材料進(jìn)行成型或改性的一種加工方法.

特點:

(1)精度高

聚焦光斑可達(dá)1μm,可逐個剝離原子;(2)污染少在較高真空中進(jìn)行,可加工易氧化的金屬,合金及半導(dǎo)體材料;(3)變形小加工應(yīng)力小,表面質(zhì)量好.1.離子束加工加工分為四類:

(1)離子刻蝕;(2)濺射鍍膜;(3)離子鍍;(4)離子注入.

其中:(1)

﹑(2)和(3)是利用離子的濺射效應(yīng);(4)為基于注入效應(yīng).1.離子束加工圖1離子碰撞過程示意圖1.離子束加工1.離子束加工1.離子束加工1.離子束加工1.離子束加工2.電子束加工特點:

(1)精度高束斑極小,可聚焦到0.1μm實現(xiàn)亞微米級寬度;(2)加工范圍廣微小束斑上達(dá)到10E7～10E9W/cm2,不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和切削變形;(3)生產(chǎn)率高能量利用率達(dá)90%,打孔焊接效率高;(4)可控性好加工過程便于實現(xiàn)自動化;(5)無污染在真空中進(jìn)行,加工表面不氧化;(6)設(shè)備昂貴需要一套專用設(shè)備和真空系統(tǒng).圖2-1電子束加工原理圖2.電子束加工2.電子束加工2.電子束加工圖5-12

電子束加工的噴絲頭異形孔2.電子束加工圖5-13電子束焊接鼓輪2.電子束加工2.電子束加工3.激光束加工★

激光加工設(shè)備由激光器﹑導(dǎo)光聚焦系統(tǒng)和加工機(激光加工系統(tǒng))等三部分組成.

加工特點:

(1)精度較高;(2)效率高;(3)污染少;(4)加工材料范圍廣;(5)無”切削力”和”刀具磨損”等現(xiàn)象.3.激光束加工3.激光束加工3.激光束加工3.激光束加工3.激光束加工激光加工技術(shù)應(yīng)用:

★激光增材制造(快速原型制造技術(shù));

★★

激光表面強化技術(shù);

★★★

激光焊接;

★★★★

激光切割;

★★★★★

激光打孔;

★★★★★★

激光微造型技術(shù).3.激光束加工激光加工技術(shù)及應(yīng)用研究:林成富編譯,劉獻(xiàn)國審校<<激光熱處理文集>>

----哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社1989年2月主要內(nèi)容(共61篇論文):(1)激光熱處理的組織與性能的研究,40篇;(2)激光熱處理工藝規(guī)范的選擇與確定方法,8篇;(3)激光合金化與激光化學(xué)熱處理的研究,10篇;(4)激光熱處理的設(shè)備與裝置,3篇.

3.激光

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