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文檔簡介

冷陰極電離真空計冷陰極電離真空計是以冷陰極取代熱陰極作為電離真空計的離子源，利用低壓力下氣體分子的電離與壓力有關的特性，用放電電流做為真空度的測量，俗稱冷規(guī)。冷規(guī)的組成冷規(guī)由規(guī)管和測量線路兩部分組成，這種真空計規(guī)管中的電子是在平行電磁場或正交電磁場作用下維持放電而進行工作的，因此被稱為磁放電真空計。冷規(guī)的分類冷規(guī)主要有兩大類型，即電場與磁場方向相互平行的普通型冷陰極電離真空計和電場與磁場方向相互垂直的磁控管式冷陰極電離真空計。而后者又分為倒置磁控管式和正置磁控管式兩種類型。冷陰極電離真空計優(yōu)點5.冷規(guī)管靈敏度比普通型電離規(guī)管靈敏度高1個數量級。6.冷規(guī)管結構與控制線路均較簡單，易于制作。7.冷規(guī)繼承了電離計的一般特性，能夠連續(xù)，遠距離測量全壓力，響應速度快。冷陰極電離真空計缺點冷陰極電離真空計的主要缺點是冷規(guī)管必須具備磁鐵，因此使規(guī)管占用的體積大，而且因磁場不能承受高溫烘烤去氣，必須去下磁鐵，從而給操作帶來不便，而且由于此帖的存在，無法將其放入大容器的內部代替裸規(guī)快速測定各部分的壓力，以求的空間的壓力分布。普通型冷陰極電離真空計工作原理是利用低壓下氣體分子的電離電流與壓力有關的特性，用放電電流做為真空度的測量指示，有電流cb做為真空度指示儀表給出讀數。冷電離真空計是靠冷發(fā)射所產生的少量電子在正交電磁場作用下，能夠長時間在兩塊陰極極板間往返作螺旋線行運動，直至被測氣體分子放生碰撞，使其電離，最后電子被陽極吸收，電離產生的正離子高速的打到陰極上，并且產生二次電子發(fā)射。氣體分子電離產生的電子和陰極

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