犐犆犛７７．１２０．９９

犎６８

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１７４７３．６—２００８

代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８

微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法

分辨率測定

犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱狊狅犳狆狉犲犮犻狅狌狊犿犲狋犪犾狊狆犪狊狋犲狊狌狊犲犱犳狅狉

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２００８０３３１發(fā)布２００８０９０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜１７４７３．６—２００８

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１７４７３—１９９８《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法》（所有部分），本標(biāo)準(zhǔn)分

為７個部分：

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．１—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法固體含量測定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．２—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法細度測定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．３—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法方阻測定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．４—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法附著力測試；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．５—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法粘度測定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定；

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．７—２００８微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法可焊性、耐焊性測定。

本部分為ＧＢ／Ｔ１７４７３—２００８的第６部分。

本部分代替ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８《厚膜微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定》。

本部分與ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８相比，主要有如下變動：

———將原標(biāo)準(zhǔn)名稱修改為微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法分辨率測定；

———增加了固化型貴金屬漿料分辨率測定的內(nèi)容；

———原“光刻膜絲網(wǎng)網(wǎng)徑２０２５μｍ不銹鋼絲網(wǎng)”改為“光刻膜絲網(wǎng)，絲網(wǎng)孔徑不大于５４μｍ”；

———增加６．３將印有固化型的試樣按其規(guī)定的工藝要求進行靜置、烘干、固化，固化后試樣膜厚控

制在１μｍ～１５μｍ；

———分辨率規(guī)格分級重新定義為０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ、０．５ｍｍ五個級別。

本部分由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。

本部分由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會負責(zé)歸口。

本部分由貴研鉑業(yè)股份有限公司負責(zé)起草。

本部分起草人：劉成、趙汝云、陳伏生、馬曉峰、劉繼松、朱武勛。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１７４７３．６—１９９８。

Ⅰ

書

犌犅／犜１７４７３．６—２００８

微電子技術(shù)用貴金屬漿料測試方法

分辨率測定

１范圍

本部分規(guī)定了微電子技術(shù)用貴金屬漿料分辨率的測定方法。

本部分適用于微電子技術(shù)用貴金屬漿料的分辨率測定。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本部分的引用而成為本部分的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本部分，然而，鼓勵根據(jù)本部分達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本部分。

ＧＢ／Ｔ８１７０數(shù)值修約規(guī)則

３方法提要

漿料用絲網(wǎng)印刷成圖形。圖形按漿料正常使用時的條件燒結(jié)或固化要求進行燒結(jié)或固化，用顯微

鏡在一定的放大倍數(shù)下觀察和測量圖形的膜線寬度和線間距，進行漿料分辨率的測定。

４材料

４．１光刻膜絲網(wǎng)，絲網(wǎng)孔徑不大于５４μｍ。

４．２符合不同漿料使用要求的基片。基片表面粗糙度不大于１．５μｍ（在測距為１０ｍｍ的條件下測

量）。

５儀器與設(shè)備

５．１絲網(wǎng)印刷機。

５．２紅外烘干機，最高使用溫度３５０℃，控溫精度±５℃。

５．３隧道式燒結(jié)爐，最高使用溫度１０００℃，控溫精度±１０℃。

５．４電熱鼓風(fēng)式烘箱，最高使用溫度３００℃，控溫精度±５℃。

５．５讀數(shù)顯微鏡，放大倍數(shù)２５Ｘ～１００Ｘ，讀數(shù)精度０．０１ｍｍ以上。

５．６光切測厚儀或電子千分尺，讀數(shù)精度１μｍ以上。

６測定步驟

測試在溫度２０℃～２５℃、相對濕度４５％～７５％和大氣壓力８６ｋＰａ～１０６ｋＰａ環(huán)境下進行。

６．１將樣品攪拌均勻，不得引入雜質(zhì)。用絲網(wǎng)印刷機在基片上印出圖形，印刷圖案為與表１的膜線寬

度和線間距相等的五組４線條圖形組成。

６．２將印有燒結(jié)型漿料的基片水平放置５ｍｉｎ。用紅外烘干機在１５０℃～３００℃的條件下烘干，試樣的

烘干膜厚度控制在１０μｍ～３５μｍ。將烘干后的試樣置于隧道燒結(jié)爐內(nèi)，按漿料燒成溫度曲