標準解讀

GB/T 17874-1999 是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》。該標準主要規(guī)定了電子工業(yè)中使用的三氯化硼氣體的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保三氯化硼氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)生產(chǎn)的需求，保障生產(chǎn)和使用過程的安全性與有效性。

技術要求

標準詳細列出了三氯化硼氣體應達到的各項純度指標，包括但不限于三氯化硼的含量、水分含量、酸度或堿度、可燃性雜質(zhì)、非揮發(fā)性殘留物等關鍵參數(shù)的具體限量值。這些指標對于保證氣體在半導體制造、化學氣相沉積（CVD）等精密工藝中的性能至關重要。

試驗方法

為驗證氣體是否符合規(guī)定的質(zhì)量標準，標準中詳細描述了各種檢測項目的具體測試方法。這包括如何準確測量三氯化硼的濃度、水分含量的測定、雜質(zhì)分析等，確保檢測結果的可靠性和重復性。

檢驗規(guī)則

標準明確了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序，包括例行檢驗和型式檢驗的要求。它規(guī)定了抽樣方法、批量判定規(guī)則及不合格品的處理辦法，確保每批出廠的產(chǎn)品均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量控制。

包裝、標志、運輸和儲存

為了保持氣體品質(zhì)并在整個供應鏈中安全地搬運，標準對三氯化硼氣體的包裝材料、容器標識、安全警示信息、運輸條件及儲存環(huán)境提出了具體要求。例如，要求采用耐壓、防泄漏的容器，并明確標注氣體成分、純度、生產(chǎn)日期、有效期及安全注意事項，同時要遵循相關的危險品運輸規(guī)定，確保在儲存和運輸過程中氣體的穩(wěn)定性和安全性。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 17874-2010
  • 1999-09-16 頒布
  • 2000-06-01 實施
?正版授權
GB/T 17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼_第1頁
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文檔簡介

IcS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼Gasesforelectronicindustry--Borontrichloride1999-09-16發(fā)布2000-06-01實施國家質(zhì)量技術監(jiān)督局發(fā)布

GB/T17874-1999前本標準是根據(jù)我國三氯化硼的生產(chǎn)水平和實際使用情況而制定的.主要技術內(nèi)容包括適用范圍、技術要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、安全要求以及產(chǎn)品包裝、標志、儲存、運輸?shù)取１緲藴实母戒汚是提示的附錄。本標準于1999年9月16日首次發(fā)布。本標準由國家石油和化學工業(yè)局提出本標準由西南化工研究設計院歸口。本標準起草單位：光明化工研究設計院本標準參加起草單位：西南化工研究設計院、北京有色金屬研究總院本標準主要起草人：張琳、趙敏、蔡體杰本標準參加起草人：朱心才、蔣文全、余中玉。

中華人民共和國國家標準電子工業(yè)用氣體GB/T17874--1999北明Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride分子式：BCls相對分子質(zhì)量：117.169(按1997年國際相對原子質(zhì)量)101.3kPa下的沸點：12.4C1范圍本標準規(guī)定了電子工業(yè)用三氯化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸、財存和安全要水。本標準適用于以粗制三氯化硼為原料,采用吸附、蒸留的方法提純制得的三氯化硼，主要用于電子工業(yè)硅半導體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。2引用標準下列標準所包含的條文·通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時.所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性、GB190—1990危險貨物包裝標志GB5099-1994鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5274—1985氣體分析校校準用混合氣體的制備稱量法GB7144-1986氣瓶顏色標記GB/T7445—1995純氫、高純氫和超純氫GB/T8980-1998高純氮GB11640—1989鋁合金無縫氣瓶3要求三氯化硼的技術指標應符合表1的要求，其中金屬和顆粒的要求及其檢驗方法由供方和用戶商定表1技術指標三氯化硼純度·10-：（V/）99.999氧和氬（以氧計）含量.10-°（V/V）氮含量.10-（V心）WVVV·氧化碳含量.10-。（V/0.2二氧化碳含量,1

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