ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國國家標準

GB/T14603—2025

代替GB/T14603—2009GB/T26251—2010等

,

電子氣體鹵化物氣體

Electronicgas—Halidegas

2025-08-01發(fā)布2026-02-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T14603—2025

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替電子工業(yè)用氣體三氟化硼電子工業(yè)用氣

GB/T14603—2009《》、GB/T14602—2014《

體氯化氫電子工業(yè)用氣體高純氯電子特氣三氯化

》、GB/T18994—2014《》、GB/T17874—2021《

硼氟和氟氮混合氣體與

》、GB/T26251—2010《》,GB/T14603—2009、GB/T14602—2014、

相比除結構調整和編輯性改動外主要

GB/T18994—2014、GB/T17874—2021、GB/T26251—2010,,

技術變化如下

:

更改了范圍見第章的第章的第章

———(1,GB/T14603—20091、GB/T14602—20141、

的第章的第章的第章

GB/T18994—20141、GB/T17874—20211、GB/T26251—20101);

增加了術語和定義見第章

———“”(3);

更改了鹵化物氣體的技術要求見第章的第章

———(4,GB/T14603—20093、GB/T14602—2014

的第章的第章的第章

3、GB/T18994—20143、GB/T17874—20214、GB/T26251—2010

的第章

3);

更改了采樣的要求見第章的的

———(5,GB/T14603—20094.1.2、GB/T14602—20144.1.2、

的的的

GB/T18994—20144.1.2、GB/T17874—20215.2、GB/T26251—20104.1.3);

更改了純度計算方法見的

———(6.1,GB/T14603—20094.2);

更改了三氟化硼中氧氬氮二氧化碳二氧化硫含量的測定方法見

———+、、、(6.2,GB/T14603—

的和

20094.34.6);

增加了三氟化硼中甲烷一氧化碳含量的測定方法見

———、(6.2);

更改了三氟化硼中四氟化硅含量的測定方法見的

———(6.3,GB/T14603—20094.4);

刪除了三氟化硼中硫酸鹽含量的測定方法見的

———(GB/T14603—20094.5);

增加了三氟化硼中氟化氫含量的測定方法見

———(6.3);

更改了氯化氫中氧氬氮甲烷乙炔一氧化碳二氧化碳含量的測定方法見

———+、、、、、(6.4,

的

GB/T14602—20144.3);

更改了高純氯中氫氧氬氮甲烷一氧化碳二氧化碳含量的測定方法見

———、+、、、、(6.5,GB/T18994—

的

20144.3);

更改了高純氯中金屬元素含量的測定方法見的

———(6.17,GB/T18994—20144.5);

增加了三氟化氯中氧氬氮四氟化碳含量的測定方法見

———+、、(6.9);

增加了三氟化氯中氟化氫含量的測定方法見

———(6.10);

更改了氟氮混合氣中氟含量的測定方法見的

———(6.11,GB/T26251—20104.2);

更改了氟氮混合氣中氧氬含量的測定方法見的

———(+)(6.12,GB/T26251—20104.2);

更改了氟氮混合氣中四氟化碳氟化氫含量的測定方法見的

———、(6.13,GB/T26251—20104.2);

增加了氟氮混合氣中六氟化硫一氧化碳二氧化碳碳酰氟四氟化硅含量的測定方法見

———、、、、(

6.13);

增加了溴化氫中氫氧氬氮甲烷一氧化碳二氧化碳含量的測定方法見

———、+、、、、(6.14);

增加了溴化氫中氯化氫含量的測定方法見

———(6.15);

增加了溴化氫中水分含量的測定方法見

———(6.16);

增加了三氟化硼中金屬元素含量的測定方法見

———(6.17);

Ⅰ

GB/T14603—2025

更改了氯化氫中金屬元素含量的測定方法見的

———(6.17,GB/T14602—20144.5);

增加了三氟化氯中金屬元素含量的測定方法見

———(6.17);

增加了溴化氫中金屬元素含量的測定方法見

———(6.17);

增加了尾氣處理的要求見

———(6.18);

更改了檢驗規(guī)則見第章的的

———(7,GB/T14603—20094.1、GB/T14602—20144.1、

的的

GB/T18994—20144.1、GB/T26251—20104.1);

更改了標志包裝運輸貯存及安全信息的要求見第章的第章

———、、、(8,GB/T14603—20095、

的第章的第章的第章

GB/T14602—20145、GB/T18994—20145、GB/T17874—20218、

的第章

GB/T26251—20105)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位昊華氣體有限公司西南分公司福建德爾科技股份有限公司山東合益氣體股份

:、、

有限公司浙江瑞亨電子材料有限公司北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司福建福豆新材料有限公

、、、

司大連華邦化學有限公司浙江中寧硅業(yè)股份有限公司福建永晶科技股份有限公司迪森爾北京科

、、、、()

技有限公司上海櫟智半導體科技有限公司唐山三友電子化學品有限責任公司浙江英德賽半導體材

、、、

料股份有限公司廣州廣鋼氣體能源股份有限公司同方威視技術股份有限公司北京鑒知技術有限公

、、、

司寧波從越科技創(chuàng)新有限公司天津綠菱氣體股份有限公司福建久策氣體股份有限公司北京普瑞分

、、、、

析儀器有限公司大連科利德半導體材料股份有限公司廣東華特氣體股份有限公司南大光電烏蘭察

、、、(

布有限公司福建恒申電子材料科技有限公司中船邯鄲派瑞特種氣體股份有限公司中昊光明化工

)、、()、

研究設計院有限公司大連光明化學工業(yè)氣體質量監(jiān)測中心有限公司液化空氣中國投資有限公司

、、()、

布魯克北京科技有限公司杭州云必技術有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司大連大特氣體

()、、、

有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司朗析儀器上海有限公司杭州新世紀混合氣體有限公司沈陽中

、()、()、、

復科金壓力容器有限公司中國計量大學北京睿信捷環(huán)?？萍加邢薰局袊嬃繙y試學會愛爾蘭

、、、、

儀器有限公司北京代表處上海凡偉儀器設備有限公司貴州省產品質量檢驗檢測院宿州伊維特

AGC、、、

新材料有限公司西南化工研究設計院有限公司

、。

本文件主要起草人賴曉峰陳施華楊軍李建新郭曉俊馬建修李嘉磊王哲軍李智孫芳

:、、、、、、、、、、

郭瓊侯鵬錢吉趙斌吳希湖劉春花李文李長健彭佛曉任如徐正軍鄭存強倪志遠趙曉蘭

、、、、、、、、、、、、、、

董曉陽陸巖柱陳志強王紅球黃韜湯萍吳禹強何經余李景升趙銀鳳施旖旎陳艷珊楊俊豪

、、、、、、、、、、、、、

王新喜劉光宇呂磊李庭輝鄭秋艷滕鑫勝孫福楠常俠牛迪殷昊王若雯趙躍王軍鋒李安林

、、、、、、、、、、、、、、

方華辛伶杜雨桐黃輝李建浩王祥科張金波李明宮兵張朋越趙潔楊揚仲夫任希輝何波

、、、、、、、、、、、、、、

唐中偉程化鵬談益強尹樂樂周鵬云唐霞梅

、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為年第一次修訂為

———1993GB/T14603—1993,2009GB/T14603—2009;

年首次發(fā)布為年第一次修訂為年第

———1993GB/T14602—1993,2009GB/T14602—2009、2014

二次修訂時并入了電子工業(yè)用氣體氯化氫的內容

GB/T24469—2009《5N》;

年首次發(fā)布為年第一次修訂為

———2003GB/T18994—2003,2014GB/T18994—2014;

年首次發(fā)布為年第一次修訂為年第

———1999GB/T17874—1999,2010GB/T17874—2010,2021

二次修訂為

GB/T17874—2021;

年首次發(fā)布為

———2010GB/T26251—2010;

本次為第三次修訂將

———,GB/T14603—2009、GB/T14602—2014、GB/T18994—2014、

整合修訂

GB/T17874—2021、GB/T26251—2010。

Ⅱ

GB/T14603—2025

電子氣體鹵化物氣體

1范圍

本文件規(guī)定了鹵化物氣體的技術要求描述了相應的試驗方法還規(guī)定了采樣檢驗規(guī)則標志包

,,、、、

裝運輸及貯存要求并提供了安全信息

、。

本文件適用于以工業(yè)鹵化物氣體為原料提純制得的鹵化物氣體

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

純氦高純氦和超純氦

GB/T4844、

所有部分鋼質無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的