ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T18994—2014

代替

GB/T18994—2003

電子工業(yè)用氣體高純氯

Gasesforelectronicindustry—Highpuritychlorine

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T18994—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替電子工業(yè)用氣體高純氯與相比除編輯

GB/T18994—2003《》。GB/T18994—2003,

性修改外主要技術(shù)內(nèi)容變化如下

:

修改了范圍見第章年版的第章

———(1,20031);

修改了規(guī)范性引用文件見第章年版的第章

———(2,20032);

修改了技術(shù)要求見第章年版的第章

———(3,20033);

修改了抽樣判定見年版的第章

———、(4.1,20035);

刪去了取樣裝置的規(guī)定年版的

———(20034.1);

修改了氧氮一氧化碳二氧化碳烴含量的測定方法見年版的

———、、、、(4.3,20034.3、4.4);

增加了氫含量的測定方法見

———(4.3);

修改了水分含量的測定方法見年版的

———(4.4,20034.5);

增加了金屬元素含量的測定方法見

———(4.5);

修改了標志包裝貯運及安全見第章年版的第章

———、、(5,20036、7)。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位西南化工研究設(shè)計院有限公司光明化工研究設(shè)計院有限公司佛山市華特氣體

:、、

有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司太和氣體荊州有限公司上海儀盟科技有限公司

、、()、。

本標準主要起草人周鵬云常俠廖恒易方華劉新明汪正宏楊任

:、、、、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T18994—2003。

Ⅰ

GB/T18994—2014

電子工業(yè)用氣體高純氯

1范圍

本標準規(guī)定了高純氯的技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則及包裝標志運輸和儲存

、、、、。

本標準適用于以工業(yè)液氯為原料采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品該產(chǎn)品主要用于大規(guī)

,。

模集成電路光導(dǎo)纖維高溫超導(dǎo)平板顯示器太陽能等技術(shù)領(lǐng)域

、、、、。

分子式

:Cl2。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:70.90(2009)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB7144

氯氣安全規(guī)程

GB11984

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學(xué)品安全管理條例版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

高純氯的技術(shù)要求應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標

項目指標

氯純度體積分數(shù)-2

()/10≥99.99999.9995

氫含量體積分數(shù)-6

(H2)()/10<0.50.5

氧含量體積分數(shù)-6

(O2)