犐犆犛０１．０４０．７１；７１．０４０．９９

犌０４

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２１６３６—２００８／犐犛犗２３８３３：２００６

微束分析

電子探針顯微分析（犈犘犕犃）術(shù)語

犕犻犮狉狅犫犲犪犿犪狀犪犾狔狊犻狊—

犈犾犲犮狋狉狅狀狆狉狅犫犲犿犻犮狉狅犪狀犪犾狔狊犻狊（犈犘犕犃）—犞狅犮犪犫狌犾犪狉狔

（ＩＳＯ２３８３３：２００６，ＩＤＴ）

２００８０４１１發(fā)布２００８１００１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２１６３６—２００８／犐犛犗２３８３３：２００６

前言

本標準等同采用國際標準ＩＳＯ２３８３３：２００６《微束分析電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）術(shù)語》

（英文版）。

為了便于使用，本標準做了下列編輯性修改：

———５．７．５的注中對ＩＳＯ２３８３３：２００６勘誤將“犣＞４３”改為“犣＞４”；

———刪除了法文版。

本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口。

本標準起草單位：全國微束分析標準化技術(shù)委員會。

本標準主要起草人：林卓然、李香庭、李戎、朱衍勇、莊世杰、柳得櫓。

Ⅰ

書

犌犅／犜２１６３６—２００８／犐犛犗２３８３３：２００６

引言

電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）是微束分析技術(shù)中一個應用極為廣泛的領域，是在高技術(shù)產(chǎn)業(yè)、基礎工

業(yè)、農(nóng)業(yè)、冶金、地質(zhì)、生物、醫(yī)藥衛(wèi)生、環(huán)境保護、商檢貿(mào)易乃至刑事法庭等行業(yè)中需要通過各種材料或

產(chǎn)品的微米尺度成分和結(jié)構(gòu)分析來進行質(zhì)量管理和質(zhì)量檢驗所不可缺少的技術(shù)手段。

電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）是一門綜合性的技術(shù)，涉及物理、化學、電子學等廣泛術(shù)語。本標準只

限于定義電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）標準化實踐中使用和直接有關(guān)的術(shù)語，其內(nèi)容包括：

電子探針顯微分析用一般術(shù)語定義；

描述電子探針顯微分析儀器的術(shù)語定義；

用于電子探針顯微分析方法的術(shù)語定義。

本標準是微束分析技術(shù)領域中為了適應電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）標準化實踐的基本需要而制定

的第一個術(shù)語標準。掃描電子顯微鏡（ＳＥＭ），分析電子顯微鏡（ＡＥＭ），Ｘ射線能譜儀（ＥＤＳ）等其他領

域的術(shù)語標準也會相繼制定。

Ⅱ

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微束分析

電子探針顯微分析（犈犘犕犃）術(shù)語

１范圍

本標準定義了電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）實踐中使用的術(shù)語，包括一般概念的術(shù)語和按技術(shù)等級

分類的具體概念的術(shù)語。

本標準適用于所有有關(guān)電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）實踐的標準化文件，部分適用于相關(guān)領域［例如：

掃描電子顯微鏡（ＳＥＭ），分析電子顯微鏡（ＡＥＭ），Ｘ射線能譜儀等］的標準化文件，用于定義共用的術(shù)語。

２縮略語

ＢＳＥｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎ背散射電子

ＣＲＭｃｅｒｔｉｆｉｅｄｒｅｆｅｒｅｎｃｅｍａｔｅｒｉａｌ有證參考物質(zhì)、標準樣品

ＥＤＳｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ能譜儀

ＥＤＸｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ能譜法

ＥＰＭＡｅｌｅｃｔｒｏｎｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏａｎａｌｙｓｉｓｏｒｅｌｅｃｔｒｏｎｐｒｏｂｅｍｉ電子探針顯微分析或電子探針顯微

ｃｒｏａｎａｌｙｚｅｒ分析儀

ｅＶｅｌｅｃｔｒｏｎｖｏｌｔ電子伏特

ｋｅＶｋｉｌｏｅｌｅｃｔｒｏｎｖｏｌｔ千電子伏特

ＳＥｓｅｃｏｎｄａｒｙｅｌｅｃｔｒｏｎ二次電子

ＳＥＭｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ掃描電子顯微鏡

ＷＤＳｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ波譜儀

ＷＤＸｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ波譜法

３電子探針顯微分析用一般術(shù)語定義

３．１

電子探針顯微分析犲犾犲犮狋狉狅狀狆狉狅犫犲犿犻犮狉狅犪狀犪犾狔狊犻狊；犈犘犕犃

根據(jù)聚焦電子束與試樣微米至亞微米尺度的體積相互作用激發(fā)Ｘ射線的譜學原理，對電子激發(fā)體

積內(nèi)的元素進行分析的技術(shù)。

３．１．１

定性電子探針顯微分析狇狌犪犾犻狋犪狋犻狏犲犈犘犕犃

通過標識Ｘ射線譜峰的方法來鑒別試樣電子激發(fā)體積中元素組成的電子探針顯微分析方法。

３．１．２

定量電子探針顯微分析狇狌犪狀狋犻狋犪狋犻狏犲犈犘犕犃

對電子束激發(fā)區(qū)定性分析所鑒定的元素進行濃度測定的電子探針顯微分析方法。

注：定量分析可以在相同條件下，對測量的未知試樣Ｘ射