RENA清洗設(shè)備操作規(guī)程

確認(rèn)外圍電力供應(yīng)到位后，將電力控制柜前的紅色送電旋鈕從OFF旋到ON

設(shè)備供電后再在將冷卻器的旋鈕開關(guān)從OFF旋到ON

確認(rèn)所有紅色急停按鈕拉出后到設(shè)備前方操作區(qū)域?qū)@示器下方的綠色ON按鈕按下

用鑰匙打開顯示器后面的門，將顯示器電源開關(guān)POWER打開

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)啟動(dòng)后將自動(dòng)進(jìn)入生產(chǎn)操作界面，點(diǎn)擊Login進(jìn)入登陸界面，輸入用戶名及密碼，點(diǎn)擊ok進(jìn)入,確認(rèn)界面各模塊單元上方顯示黃色“Manual”狀態(tài)，且滾輪顯示藍(lán)色即滾動(dòng)狀態(tài)

確認(rèn)監(jiān)測(cè)屏幕上顯示各模塊溶液均滿槽（即FullDI、FullChem)和設(shè)備門窗均關(guān)閉。EtchBath顯示NotReady，Dryer1Dryer2顯示Ready確認(rèn)各模塊有無(wú)報(bào)警信息，若有任何異常，通知當(dāng)班工藝工程師和設(shè)備工程師點(diǎn)擊Manual按鈕進(jìn)入Drives菜單點(diǎn)擊AllConveyor，點(diǎn)擊Stop停止?jié)L輪，點(diǎn)F10退回主界面。

點(diǎn)擊ModeAuto按鈕，設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)模式，在界面上所有操作單元下方從黃色“Manual”轉(zhuǎn)變成綠色“Auto”設(shè)備將自動(dòng)開始從Tank中向Etchbath添加腐蝕液，界面上Etchbath單元下方顯示為黃色“Fillingchemie”和黃色“notready”,等待Etchbath添加完成，等待堿槽和酸槽溫度顯示穩(wěn)定，下方顯示為綠色“Fullchemie”和綠色“Ready”。隨后點(diǎn)擊“start”按鈕各模塊自動(dòng)運(yùn)行。界面顯示各模塊均為綠色“Ready”和綠色＂inprocess＂．即設(shè)備進(jìn)入正常生產(chǎn)狀態(tài)

關(guān)機(jī)步驟確認(rèn)各模塊均停止工作，點(diǎn)擊“Modemanual”按鈕進(jìn)入手動(dòng)模式點(diǎn)擊manual進(jìn)入Drives菜單點(diǎn)擊AllConveyor，點(diǎn)擊Start啟動(dòng)滾輪，點(diǎn)擊F10退回主界面進(jìn)入“Manual”選單中“Etchbath”點(diǎn)擊“DrainBath”,即把Etchbath中的反應(yīng)液排到Tank內(nèi)，點(diǎn)擊F10退回主菜單，確認(rèn)EtchBath模塊顯示黃色＂notready"和黃色＂draining"。等待Etchbath排液完成，在Etchbath模塊上只顯示為黃色“notready”，表明液體排完

用水槍沖洗KOH的噴淋管和槽體，并清潔設(shè)備表面檢查各門的位置，正確地調(diào)整好它們擊右上角的“Logoff”，跳出一個(gè)對(duì)話框。點(diǎn)擊對(duì)話框中“Logoff”，門將被密封。若生產(chǎn)區(qū)域的門未正確地調(diào)整好位置，Alert警報(bào)會(huì)出現(xiàn)。再次登錄，調(diào)整好門的位置，按F1消除警報(bào)，再登出關(guān)掉設(shè)備的顯示器，關(guān)閉電力控制柜電源開關(guān)

生產(chǎn)準(zhǔn)備

穿上工作服，戴上PVC/昵絨手套，清洗操作人員需要戴上安全眼鏡、防護(hù)面具、防酸堿圍裙、長(zhǎng)袖防酸手套確保手套沒(méi)有粘有油脂性物質(zhì)，嚴(yán)禁直接接觸硅片的正反面，只允許接觸硅片的兩側(cè)，在插片過(guò)程。中禁止用手套接觸皮膚，如接觸過(guò)皮膚、頭發(fā)或者是帶有油脂的物品，請(qǐng)更換手套確認(rèn)廠務(wù)配套各項(xiàng)目是否正常藥液更換蝕刻槽（etchbath）選擇菜單Manual，然后點(diǎn)擊etchbath在確定需要更換藥液后點(diǎn)擊屏幕左邊操作菜單上的BATHCHANGE，系統(tǒng)將自動(dòng)將液體排空，再依工藝設(shè)定的清洗次數(shù)進(jìn)行槽和罐的清洗，最后按照工藝設(shè)定補(bǔ)充相應(yīng)量的藥液到儲(chǔ)液罐內(nèi)，至此蝕刻槽的換藥結(jié)束

堿洗槽（alkalinebath）先確認(rèn)機(jī)器處于手動(dòng)狀態(tài)，點(diǎn)擊控制面板上的ManualMode選擇菜單Manual,然后點(diǎn)擊alkaline按下draining將堿槽的化學(xué)品排掉，等待直到圖表顯示為“Empty”(黃色)堿槽的沖洗，按下“rinsing”沖洗(屏幕的左邊)。堿槽將充滿水和開始循環(huán)?？赏ㄟ^(guò)程序設(shè)定沖洗次數(shù)。清洗完成之后，系統(tǒng)自動(dòng)將水排掉，堿槽內(nèi)狀態(tài)保持空的在排空槽內(nèi)液體并清洗完畢后按下fillingchemie,系統(tǒng)將按工藝設(shè)定配比容積加入藥液

酸洗槽（acidicbath）先確認(rèn)機(jī)器處于手動(dòng)狀態(tài)，點(diǎn)擊控制面板上的ManualMode選擇菜單Manual，然后點(diǎn)擊acidic按下draining將酸槽的化學(xué)品排掉，等待直到圖表顯示為“Empty”(黃色)酸槽的沖洗，按下“rinsing”沖洗(屏幕的左邊)。酸槽將充滿水和開始循環(huán)?？赏ㄟ^(guò)程序設(shè)定沖洗次數(shù)。清洗完成之后，系統(tǒng)自動(dòng)將水排掉，酸槽內(nèi)狀態(tài)保持空的在排空槽內(nèi)液體并清洗完畢后按下fillingchemie,系統(tǒng)將按工藝設(shè)定配比容積加入藥液其他要求在正常生產(chǎn)過(guò)程中，不要出現(xiàn)半小時(shí)的停產(chǎn)。若出現(xiàn)停產(chǎn)半小時(shí)以上情況，請(qǐng)將刻蝕槽溶液排至Tank，以保證溶液濃度穩(wěn)定。若出現(xiàn)停產(chǎn)半小時(shí)以上，清洗操作人員帶好防護(hù)用品，打開KOH槽的上蓋用水槍沖洗KOH槽噴淋管，沖洗完畢后，蓋上蓋子進(jìn)入正常生產(chǎn)無(wú)論設(shè)備是否在生產(chǎn)過(guò)