犐犆犛７７．１２０．９９

犎６８

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２３６１１—２００９

金靶材

犌狅犾犱狋犪狉犵犲狋

２００９０４１５發(fā)布２０１００２０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２３６１１—２００９

前言

本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口。

本標準由有研億金新材料股份有限公司負責起草。

本標準由北京達博有色金屬焊料有限責任公司參與起草。

本標準主要起草人：閆琳、江軒、呂保國、熊曉東、尚再艷、楊永剛、楊順興、杜連民。

Ⅰ

書

犌犅／犜２３６１１—２００９

金靶材

１范圍

本標準規(guī)定了金靶材要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及訂貨單（或合同）內(nèi)容。

本標準適用于制造半導體電子器件用的各類金濺射靶材（以下簡稱金靶材）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ／Ｔ４１３４金錠

ＧＢ／Ｔ１１０６６．５金化學分析方法銀、銅、鐵、鉛、銻和鉍量的測定原子發(fā)射光譜法

ＧＢ／Ｔ１５０７７貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

３要求

３．１產(chǎn)品分類

金靶材的類型按金的純度分為ＩＣＡｕ９９．９９、ＩＣＡｕ９９．９９９二種。

金靶材的形狀主要為圓盤狀，尺寸主要有直徑：１００ｍｍ、１２５ｍｍ、１５０ｍｍ、２００ｍｍ、２５０ｍｍ、

３００ｍｍ，厚度通常為３ｍｍ～６ｍｍ。經(jīng)雙方協(xié)商，可提供其他規(guī)格及允許偏差的金靶材。

３．２化學成分

金靶材ＩＣＡｕ９９．９９的化學成分應(yīng)符合ＧＢ／Ｔ４１３４的規(guī)定。

金靶材ＩＣＡｕ９９．９９９的化學成分應(yīng)符合表１的規(guī)定。

表１金靶材犐犆犃狌９９．９９９的化學成分％

元素ＡｇＣｕＦｅＰｂＢｉＳｂＳｉＰｄ

質(zhì)量分數(shù)，不大于０．０００５０．０００１０．０００３０．０００１０．０００１０．０００１０．０００３０．０００１

元素ＭｇＡｓＳｎＣｒＮｉＭｎ雜質(zhì)總量

質(zhì)量分數(shù)，不大于０．０００１０．０００１０．０００１０．０００１０．０００１０．０００１０．００１

注：需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的，由雙方協(xié)商解決。

３．３供貨狀態(tài)

金靶材以加工態(tài)供貨。

３．４幾何尺寸

金靶材的幾何尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表２的規(guī)定。

表２金靶材的幾何尺寸及其允許偏差單位為毫米

直徑厚度

尺寸允許偏差尺寸允許偏差

１００±０．１

１２５±０．１