ICS31-030

L90

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25495—2010

代替

GB/T6626.1—1986,GB/T9506.6—1988,GB/T9506.2—1988

吸氣劑金屬釋放特性測試方法

Testmethodsformetalreleasingcharacteristicsofgetters

2010-12-01發(fā)布2011-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

吸氣劑金屬釋放特性測試方法

GB/T25495—2010

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京復(fù)興門外三里河北街號

16

郵政編碼

:100045

網(wǎng)址

電話

:6852394668517548

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社秦皇島印刷廠印刷

各地新華書店經(jīng)銷

*

開本印張字?jǐn)?shù)千字

880×12301/160.7518

年月第一版年月第一次印刷

2011220112

*

書號

:155066·1-41572

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舉報(bào)電話01068533533

:()

GB/T25495—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)是將以下標(biāo)準(zhǔn)整合后進(jìn)行修訂的

:

釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法

———GB/T6626.1—1986《》;

摻氮吸氣劑鋇膜分布測試方法

———GB/T9506.6—1988《》;

蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法

———GB/T9506.2—1988《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比主要變化如下

:

取消釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法中的名詞術(shù)語在規(guī)范性引用文件中新增

———,GB/T4314

吸氣劑術(shù)語

《》;

將釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法與

———GB/T6626.1—1986《》

蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法中的測試系統(tǒng)方法合并

GB/T9506.2—1988《》、;

取消試驗(yàn)設(shè)備中的無脂球閥

———;

將試驗(yàn)中測試室的尺寸按使用用途分類改為按金屬釋放量分類

———;

將釋汞量得鋇量加熱完后稱重時(shí)間由更改為內(nèi)

———、15min5min;

釋汞特性曲線的測試由開始提高到開始

———400℃500℃;

取消平均值標(biāo)準(zhǔn)偏差的計(jì)算方法

———、;

取消得鋇量一致性測試

———;

取消測試報(bào)告格式

———;

將蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法中的蒸散曲線繪制方法中的起蒸

———GB/T9506.2—1988《》

時(shí)間的控制表述進(jìn)行修訂

;

根據(jù)的要求進(jìn)行格式修訂

———GB/T1.1—2000。

本標(biāo)準(zhǔn)代替下列標(biāo)準(zhǔn)

:

釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法

———GB/T6626.1—1986《》;

摻氮吸氣劑鋇膜分布測試方法

———GB/T9506.6—1988《》;

蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法

———GB/T9506.2—1988《》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位南京華東賽斯真空材料有限公司工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所中國

:、、

電子科技集團(tuán)公司第十二研究所

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人薛函迎郭衛(wèi)斌張巨先劉筠

:、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T6626.1—1986;

———GB/T9506.6—1988;

———GB/T9506.2—1988。

Ⅰ

GB/T25495—2010

吸氣劑金屬釋放特性測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了吸氣劑金屬釋放特性測試方法如釋汞吸氣劑的總釋汞量標(biāo)準(zhǔn)釋汞量釋汞特性曲

,、、

線及熱穩(wěn)定性的測試方法蒸散型鋇吸氣劑得鋇量的測試方法摻氮吸氣劑鋇膜分布測試方法

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空器件用吸氣劑

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款凡是注日期的引用文件其隨后所有

。,

的修改單不包括勘誤的內(nèi)容或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)然而鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

(),,

是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)

。,。

吸氣劑術(shù)語

GB/T4314

吸氣劑成分分析測試方法

GB/T25494—2010

3術(shù)語

所確定的術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)

GB/T4314。

4金屬釋放量的測試方法

41原理

.

吸氣劑金屬釋放量的測試如釋汞吸氣劑的總釋汞量標(biāo)準(zhǔn)釋汞量蒸散型鋇吸氣劑得鋇量等均采

,、、,

用差重法測定釋放出的金屬量

“”。

42測試設(shè)備和條件

.

對蒸散型吸氣劑進(jìn)行測試時(shí)推薦的試樣室和高頻感應(yīng)線圈尺寸見表