ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26113—2010

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

微幾何量評定總則

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Generalrulesfortheassessmentofmicro-geometricalparameters

2011-01-10發(fā)布2011-10-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T26113—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心西安交通大學(xué)天津大學(xué)中原工學(xué)院

:、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人丁紅宇張?zhí)O劉偉蔣莊德景蔚萱胡曉東趙則祥

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26113—2010

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

微幾何量評定總則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微幾何量的評定基本原則評定要素評定程序評定方法以及評定規(guī)則

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于企業(yè)研究機(jī)構(gòu)檢測機(jī)構(gòu)等從事微機(jī)電技術(shù)及產(chǎn)品的研究設(shè)計生產(chǎn)檢測

、、、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

GB/T3505(GPS)、

產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范工件與測量設(shè)備的測量檢驗第部分測量設(shè)備

GB/T18779.2(GPS)2:

校準(zhǔn)和產(chǎn)品檢驗中測量的不確定度評定指南

GPS

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

3術(shù)語和定義

和中給出的術(shù)語和定義以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T3505GB/T26111。

31

.

微幾何要素micro-geometricalfeature

構(gòu)成微結(jié)構(gòu)幾何特征最基本的點線面

、、。

32

.

微幾何量micro-geometricalparameter

構(gòu)件的幾何特征參數(shù)

MEMS。

33

.

尺寸特征featureofsize

由一定大小的線性尺寸或角度尺寸確定幾何形狀

。

34

.

表面結(jié)構(gòu)surfacestructure

幾何表面的重復(fù)性或偶然性偏差這些偏差形成該表面的三維形貌

,。

35

.

表面結(jié)構(gòu)參數(shù)surfacestructureparameter

()()

表示表面微觀幾何特性的參數(shù)

。

36

.

形狀特征charac