ICS25.040.10CCSJ54團 體 標 準T/TCCT001—2022激光精密加工設備檢驗檢測規(guī)范激光精密加工設備檢驗檢測規(guī)范CheckingStandardsforLaserMicromachiningEquipment2021-10-29發(fā)布 2022-05-08實施天津市檢服會 發(fā)布T/TCCT001T/TCCT001—2022II目 次前 言 II1范圍 12規(guī)性用件 13術和義 14產類別 35要求 36檢方法 57標記 118文件 12附錄 A（范）儀器備 13參 考 文 獻 14T/TCCT001T/TCCT001—2022IIII前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。（T/TCCT001T/TCCT001—2022PAGEPAGE16激光精密加工設備檢驗檢測規(guī)范范圍（GB7247.1-2012激光產品的安全第1部分：設備分類、要求GB/T18490.1-2017機械安全激光加工機第1部分：通用安全要求GB/T5226.1-2019機械電氣安全機械電氣設備第1部分：通用技術條件下列術語和定義適用于本文件。3.1 激光密工備 lasermicromachiningequipment3.2 激光器 laser利用受激輻射原理使光在工作介質中放大或振蕩發(fā)射的器件3.3 光束徑 beamdiameter在垂直光束軸平面內，內含功率（或能量）占光束總功率（或能量）規(guī)定比例的最小孔徑的直徑。3.4 束散角 divergenceangle光束寬度[內含功率（能量）定義的]在遠場增大形成的漸進面錐所構成的全角度。3.5 光束向定度 beampointingstability所測束角移的準方的倍3.6 光束輸比 beampropagationratioM2）beampropagationfactor（deprecated）K光束參數(shù)積逼近理想高斯光束衍射極限程度的度量，即：式中：K——光束傳輸因子——波長，單位為微米（μm）

M21K

d04d0（mm）——束散角，單位為毫弧度（mrad）3.7脈沖率 pulsepower脈沖能量與脈沖持續(xù)時間之比。3.8 偏振 polarization電磁波的振動限制在一定方向的現(xiàn)象。3.9 光束量 beamquality激光束可聚焦程度的度量，是表征激光束聚焦能力的指標。3.10脈沖度 pulseduration激光脈沖上升和下降到它的50%峰值功率點的間隔時間。3.11 脈沖重復頻率pulserepetitionfrequency指激光器每秒鐘所投射出的脈沖數(shù)目。3.12行程 travel運動部件移動的最大距離。3.13工作回角 swivelangleoftable工作臺可回轉的最大角度。3.14位置差 deviationofposition運動部件到達的實際位置減去目標位置之差。3.15軸線向復位度 unidirectionalrepeatabilityofpositioning沿軸線或繞軸線的任一位置的單向重復定位的最大值。3.16軸線向位度 unidirectionalaccuracyofpositioningofanaxis由單向定位系統(tǒng)偏差和單向軸線重復定位精度估算的2倍的組合來確定的范圍。3.17 振鏡galvoscanningsystem按照GB/T4754C35C356要求1表1 激光特要求項目單位要求光斑直徑百分比偏差在標稱值±10%之內光斑圓度百分比>標稱值發(fā)散角毫弧度mrad<2.0mrad(FullAngle)光束指向穩(wěn)定性每分鐘或每攝氏度（PerMinute/Per℃）<50.0urad光束質量M2百分比偏差在標稱值±10%之內脈沖能量非穩(wěn)定度均方差rms<2%脈寬百分比在標稱值50%-100%之間偏振比激光通過率的比值>100:1平均功率穩(wěn)定性均方差rms<2%2表2 其它光密工備性要求項目單位要求定位精度水平軸定位精度比值≤1.1垂直軸定位精度比值≤1.1水平旋轉軸定位精度比值≤1.1垂直旋轉軸定位精度比值≤1.1振鏡軸定位精度比值≤1.1重復定位精度水平軸重復定位精度比值≤1.1垂直軸重復定位精度比值≤1.1水平旋轉軸重復定位精度比值≤1.1垂直旋轉軸重復定位精度比值≤1.1振鏡軸重復定位精度比值≤1.1軸間精度振鏡間拼接精度比值≤1.1水平軸間垂直度比值≤1.1垂直軸與加工平面垂直度比值≤1.1水平旋轉軸軸線與加工平面平行度比值≤1.1垂直旋轉軸軸線與加工平面垂直度比值≤1.1平臺精度被加工部件承載臺平面度比值≤1.1視覺系統(tǒng)相關精度同軸視覺定位與激光聚焦位置偏差值比值≤1.1旁軸視覺定位與激光聚焦位置偏差標稱值與實際值誤差比值≤1.1同軸視覺定位與激光聚焦位置偏差值的重復精度比值≤1.1旁軸視覺定位與激光聚焦位置偏差值的重復精度比值≤1.1遠心成像鏡頭畸變值百分比≤10%視覺系統(tǒng)定位精度比值≤1.1視覺系統(tǒng)重復定位精度比值≤1.1系統(tǒng)精度被加工部件承載臺范圍內加工精度比值≤1.1速度單軸運動速度百分比≤1%振鏡運動速度百分比≤1%靶標定位時間比值≤1.1被加工材料單位時間加工孔數(shù)（在有孔數(shù)要求的項目中適用本條款）百分比≤10%每小時加工件數(shù)（在有件數(shù)要求的項目中適用本條款）百分比≤10%加工尺寸范圍標準平面加工尺寸范圍標準百分比≤1%垂直加工尺寸范圍標準百分比≤1%單振鏡加工平面尺寸范圍標準百分比≤5%單振鏡加工垂直方向可加工尺寸范圍標準百分比≤20%激光終端參數(shù)聚焦光斑相關參數(shù)聚焦光斑直徑百分比≤10%焦深百分比≤10%聚焦光斑橢圓度百分比≥90%聚焦光斑相散百分比實際相散值與標稱值的比值在0.9與1.1之間設備終端激光平均功率穩(wěn)定性短期平均功率穩(wěn)定性百分比≤3%長期平均功率穩(wěn)定性百分比≤6%分類激光產品的分類職責應符合GB7247.1-2012第8.2章的要求。激光產品分類規(guī)則應符合GB7247.1-2012第8.3章的要求。依據(jù)GB7247.1-2012第9章確定可達發(fā)射水平。激光輻射危害的防護應符合GB/T18490.1-2017第5.3.2章、第6章的要求。由材料和物質產生的危險的防護應符合GB/T18490.1-2017第5.3.4章、第6章的要求?；疽髴螱B/T5226.1-2019第4章的要求。引入電源線斷接法和切斷開關應符合GB/T5226.1-2019第5章的要求。電擊防護應符合GB/T5226.1-2019第6章的要求。電氣設備的保護應符合GB/T5226.1-2019第7章的要求。等電位聯(lián)結應符合GB/T5226.1-2019第8章的要求?？刂齐娐泛涂刂乒δ軕螱B/T5226.1-2019第9章的要求。操作板和安裝在機械上的控制器應符合GB/T5226.1-2019第10章件采取安全防護措施。位置、安裝和電柜應符合GB/T5226.1-2019第11章的要求。導線和電纜應符合GB/T5226.1-2019第12章的要求。配線技術應符合GB/T5226.1-2019第13章的要求。電動機及有關設備應符合GB/T5226.1-2019第14章的要求。插座和照明應符合GB/T5226.1-2019第15章的要求。驗證應依據(jù)GB/T5226.1-2019第18章進行驗證。應依據(jù)GB/T15706-2012進行機械風險評估。激光器8%~15PBS1圖1連接光斑分析儀CCD，設置Home-MainControls-Definition為1/e2crosshairs(13.5%Setup-ExposuretimeAuto，ImageAveragingNoneCCD500mmCCDCCD0.06~200±10發(fā)散角200mm300mmCCDCCD0.06～200x，y/300mm2.0mrad(FullAngle)。PC-BeamageStartDateAcquisition1min算均方差即為光束指向穩(wěn)定性數(shù)值。要求光束指向穩(wěn)定性：<50.0urad（PerMinute）或<50.0urad（Per℃）。6.1.1M22圖2M2Waist±1RayeigLengtXY2±2*RyleghenghX，Y3M210%。100Deviation/Mean(2Sigma2%rms脈寬12PBS12Distance圖3偏振比PBSPBSPBSP2，P2/P1。100:1光譜8h，2%rms使用激光干涉儀或相關儀器，對水平軸的線性位移進行測量，實測定位精度與標稱定位精度的比值≤1.1。使用激光干涉儀或相關儀器，對垂直軸的線性位移進行測量，實測定位精度與標稱定位精度的比值≤1.1。1.11.11.11.11.1≤1.1≤1.1≤1.1≤1.1水平軸間垂直度≤1.11.1。被加工部件承載臺平面度測量時，在平臺上選擇一定密度的點位，用千分表測量高度偏差值，該數(shù)值與標稱數(shù)值的比值≤1.1。≤1.11.1≤1.1≤1.1≤1.1≤1.1被加工部件承載臺范圍內加工精度的測試，應使用標準測試圖形進行加工，測量實際加工位置與圖檔理論位置最大偏差，該偏差與標稱偏差的比值≤1.1。速度1%沿振鏡范圍內，加工一定直徑的圓若干遍，根據(jù)總路徑長度與實際運行時間計算出實際運行速度，實際速度和標稱速度的偏差量與標稱速度的比值≤1%。放置好帶靶標點的標準測試件，從設備零點位置啟動后，依次識別數(shù)個間距為一定數(shù)值的靶標點，識別成功后再次回歸到設備零點，整個循環(huán)所用時間與標稱時間的比值≤1.1。）10（）≤10%1%。二維加工聚焦范圍內承載臺平面上，最低和最高聚焦平面差≤1%。1mm≤520焦深≤10搭建外光路，采用光束分析儀，實際相散值與標稱值的比值在0.9與1.1之間。測量開機預熱一定時間后的終端功率，4小時后的終端功率，8小時后的終端功率，3個功率的最大值與最小值的差值，該差值與平均功率的比值≤3%。（標記標記激光標記的一般要求應符合GB7247.1-2012第5.1章的規(guī)定。11M1類和1M類的說明標記應符合GB7247.1-2012第5.2章的規(guī)定。22M2類和2M類的警告標記符合GB7247.1-2012第5.3章的規(guī)定。3R3R類的警告標記和說明標記應符合GB7247.1-2012第5.4章的規(guī)定。3B3B類的警告標記和說明標記應符合GB7247.1-2012第5.5章的規(guī)定。44類的警告標記和說明標記應符合GB7247.1-2012第5.6章的規(guī)定。激光輻射的窗口附近的標記應符合GB7247.1-2012第5.7章的規(guī)定。輻射輸出和標準說明應符合GB7247.1-2012第5.8章的規(guī)定。7247.1-20125.9.1安全聯(lián)鎖標記應符合GB7247.1-2012第5.9.2章的規(guī)定。不可見光輻射警告應符合GB7247.1-2012第5.10章的規(guī)定?？梢姽廨椛渚鎽螱B7247.1-2012第5.11章的規(guī)定。激光加工機的標記應符合GB/T18490.1-2017第8章的要求。整機產品的機械電氣安全相關的警告標志、銘牌、標記、標簽和識別牌應經久耐用，經得住復雜的實際環(huán)境影響。應符合GB/T5226.1-2019第16章相關要求。文件機械電氣安全相關的文件GB/T5226.1-2019第17章的要求。激光產品制造商應依據(jù)GB/T18490.1-2017第7章的要求提供相關信息。附錄A（試驗用儀器設備應經過計量檢定或校驗合格且在有效期內，儀器設備的準確度應不低于表A.1的規(guī)定。表A.1儀器設備的準確度要求儀表名稱技術指標光功率計2級M2分析儀300nm~1100nm能量計0.3μm~11μm自相關儀自相關度：10fs~