ICS2522040

A29..

中華人民共和國國家標準

GB/T31563—2015

金屬覆蓋層厚度測量

掃描電鏡法

Metalliccoatings—Measurementofcoatingthickness—

Scanningelectronmicroscopemethod

(ISO9220:1988,MOD)

2015-05-15發(fā)布2016-01-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31563—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準修改采用金屬覆蓋層厚度測量掃描電鏡法

ISO9220:1988《》。

本標準與的主要技術差異如下

ISO9220:1988:

對照本標準采用照相成像輸出由于技術發(fā)展本標準修改采用計

———ISO9220:1988(9.2.1.2),。,

算機磁盤記錄存儲圖像并標定標準中涉及利用視頻波形的信號目前設備已不采用本

。ISO,

標準采用分辨率更高的線掃描等技術

EDS。

規(guī)范性引用文件替換為對應的我國標準并增加了的引用

———,GB/T27788—2011。

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術委員會歸口

(SAC/TC57)。

本標準起草單位武漢材料保護研究所清華大學株洲鉆石硬質合金廠西安西電高壓開關有限公

:、、、

司重慶市計量質量檢測研究院東莞市五株電子科技有限公司深圳市發(fā)斯特精密技術有限公司

、、、。

本標準主要起草人李健邵天敏段海濤劉秀生陳利馬博凃杰松王鼎于翔曾國權孫聯(lián)和

:、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31563—2015

金屬覆蓋層厚度測量

掃描電鏡法

1范圍

本標準規(guī)定了通過掃描電子顯微鏡檢測金屬試樣橫截面局部厚度的方式測量金屬涂層厚

(SEM)

度的方法它通常是一種破壞性的檢測方式不確定度小于或者該測量方法也可以用

。,10%,0.1μm。

來測量幾個毫米厚的涂層但是對于這類厚涂層建議采用光學顯微鏡法進行測量

,(GB/T6462)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬和氧化物覆蓋層厚度測量顯微鏡法

GB/T6462(GB/T6462—2005,ISO1463:2003,

IDT)

金屬和其他非有機覆蓋層關于厚度測量的定義和一般規(guī)則

GB/T12334(GB/T12334—2001,

ISO2064:1996,IDT)

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則

GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

局部厚度localthickness

在涂層的一個指定區(qū)域內進行多次測量取平均值所得的厚度值

,。

[GB/T12334—2001,3.4]

4原理

將試樣沿垂直于涂層水平方向切割并經(jīng)過仔細打磨和拋光制成金相試樣放入掃描電子顯微鏡

,,,

中進行檢測測量是通過常規(guī)的涂層截面顯微圖片來獲得涂層的厚度

。,。

5儀器

51掃描電子顯微鏡SEM

.()

分辨率應優(yōu)于

50