ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T32293—2015

真空技術真空設備的檢漏方法選擇

Vacuumtechnology—Selectionofleaktestmethodsforvacuumequipment

2015-12-10發(fā)布2016-07-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32293—2015

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

人員資格

4…………………1

通用要求

5…………………2

檢漏方法匯總

6……………2

檢漏方法選擇程序

7………………………3

檢漏方法的選擇

8…………………………3

檢漏安全

9…………………5

附錄規(guī)范性附錄不同檢漏條件的漏率修正

A()………6

附錄規(guī)范性附錄真空設備常用檢漏方法及主要特征參數(shù)

B()………8

附錄資料性附錄真空設備其他檢漏方法及主要特征參數(shù)

C()………10

Ⅰ

GB/T32293—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所中國空間技術研究院蘭州空間技術物理研究所安徽

:、、

皖儀科技股份有限公司臺州環(huán)球真空設備制造有限公司湖南維格磁流體股份有限公司中山凱旋真

、、、

空技術工程有限公司威海智德真空科技有限公司東莞勁勝精密組件股份有限公司沈陽真空技術研

、、、

究所

。

本標準主要起草人孫立臣史紀軍李得天劉恩均汪力閆榮鑫張春元孫剛陳光奇劉磊

:、、、、、、、、、、

黃文平趙偉勝趙計春言繼春王功發(fā)言潤泉高峰胡雙麗林樂忠王長明王玲玲

、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T32293—2015

真空技術真空設備的檢漏方法選擇

1范圍

本標準規(guī)定了真空設備檢漏方法選擇的人員資格要求通用要求檢漏實施的安全要求選擇程序

、、、

及選擇原則檢漏方法的特征參數(shù)

、。

本標準適用于真空設備的檢漏方法選擇適用的真空設備包括真空容器真空管道真空泵真空閥

,、、、

門真空鍍膜設備真空干燥設備真空冷凍干燥設備表面分析設備真空冶金設備空間環(huán)境模擬設

、、、、、、

備半導體生產設備等真空設備工作時涉及真空狀態(tài)的其他設備的檢漏方法選擇也可參照本標準

、。

執(zhí)行

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術術語

GB/T3163

無損檢測人員資格鑒定與認證

GB/T9445

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T3163。

31

.

漏率leakagerate

在規(guī)定條件下一種特定氣體通過漏孔的流量

,。

32

.

有效最小可檢漏率effectiveminimumdetectableleakagerate

qemin

在具體的工作條件下檢漏方法所能檢出的最小漏孔漏率

,。

33

.

允許漏率acceptableleakagerate