ICS31030

L90.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T4314—2017

代替

GB/T4314—2000

吸氣劑術(shù)語

Getterterms

2017-12-29發(fā)布2018-07-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T4314—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替吸氣劑術(shù)語與相比主要技術(shù)變化如下

GB/T4314—2000《》,GB/T4314—2000:

對耐高溫吸氣劑高牢固度吸氣劑終端吸氣速率比吸著容量放氣量總放氣量預(yù)處理放氣

———、、、、、、

量釋汞率釋汞吸氣劑熱穩(wěn)定性等術(shù)語的名稱定義重新進行了解釋

、、、;

增加了組合吸氣劑低溫汞齊初始吸氣速率游離汞術(shù)語

———(3.40)、(3.41)、(4.16)、(4.66)。

本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位南京華東賽斯真空材料有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院中國電子科技集

:、、

團公司第十二研究所

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人薛函迎高隴橋郭衛(wèi)斌張巨先

:、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T4314—1984、GB/T4314—2000。

Ⅰ

GB/T4314—2017

吸氣劑術(shù)語

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)界定了吸氣劑一般術(shù)語分類術(shù)語及特性術(shù)語

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空器件用吸氣劑

。

2一般術(shù)語和定義

21

.

氣體量gasquantity

Q

處于統(tǒng)計平衡態(tài)的理想氣體所具有的動能量度其值等于氣體所占有的體積與其壓強的乘積

,。

注必要時應(yīng)注明氣體溫度或換算成時的數(shù)值單位為帕斯卡立方米3或焦?fàn)?/p>

:,20℃,[](Pa·m),[](J)。

22

.

吸附相分子adsorbedgasmolecule

已吸附在固體表面上的氣體分子

。

23

.

氣相分子gasmoleculeinspace

對應(yīng)于吸附相分子而言處于氣體與固體交界面的氣體一側(cè)的氣體分子

,。

24

.

氣流量throughput

Q

t

單位時間內(nèi)通過某截面的氣體量單位為帕斯卡立方米每秒3

。[](Pa·m/s)。

25

.

漏放率leak-uprate

系統(tǒng)內(nèi)部因漏氣或放氣引起的單位時間內(nèi)氣體量的增量單位為帕斯卡立方米每秒3

。[](Pa·m/s)。

26

.

吸附adsorption

吸氣劑或吸氣劑膜表面對氣體或蒸汽的捕集現(xiàn)象

。

注也可以更明確地說成表面吸附

:“”。

27

.

吸收absorption

氣體或蒸汽擴散進入到吸氣劑或吸氣劑膜內(nèi)部的現(xiàn)象

。

28

.

吸氣sorption

由于吸附和吸收現(xiàn)象所造成的對氣體和蒸汽的清除過程