ICS29045

H80.

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T28—2015

代替

YS/T28—1992

硅片包裝

Packageofsiliconwafers

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T28—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替硅片包裝

YS/T28—1992《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與相比主要變化如下

YS/T28—1992:

擴(kuò)大了標(biāo)準(zhǔn)的范圍增加了硅研磨片包裝和太陽能電池用硅片包裝

———,;

增加了規(guī)范性引用文件術(shù)語和定義等

———、;

增加了包裝的干擾因素

———。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位杭州海納半導(dǎo)體有限公司有研新材料股份有限公司南京國盛電子有限公司江

:、、、

蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司浙江省硅材料質(zhì)量檢驗(yàn)中心東莞市華源光電科技有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王飛堯?qū)O燕馬林寶夏根平林清香樓春蘭王志同

:、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———YS/T28—1992。

Ⅰ

YS/T28—2015

硅片包裝

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片的包裝

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅單晶拋光片外延片等硅片的潔凈包裝硅單晶研磨片簡稱硅研磨片包裝

、、SOI、()

和太陽能電池用硅片包裝使其在運(yùn)輸貯存過程中避免再次沾污和破碎

,、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

硅單晶拋光片

GB/T12964

硅單晶切割片和研磨片

GB/T12965

硅外延片

GB/T14139

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

太陽能電池用硅單晶切割片

GB/T26071

太陽電池用多晶硅片

GB/T29055

硅單晶拋光片

GB/T29506300mm

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

潔凈包裝cleanpackage

用專用的運(yùn)輸片盒對(duì)拋光片外延片等晶片進(jìn)行包裝使其在運(yùn)輸貯存過程中避免顆粒金

、、SOI,、、

屬及有機(jī)物等對(duì)片盒中晶片的沾污

。

32

.

結(jié)合膠帶seamtape

有黏附層的膠帶用于密封晶片盒的座和蓋之間的接口

,。

33

.

片盒waferbox

由一個(gè)盒座和一個(gè)盒蓋組成的封閉容器其中帶有裝載晶片的片籃一起組成一套晶片片盒用于

,,。

貯存和運(yùn)輸晶片

。

34

.

內(nèi)包裝袋innerwrap

封裝專用片盒的內(nèi)層包裝袋通常采用潔凈的塑料袋

,。

35

.

外包裝袋outerwrap

將已封裝內(nèi)包裝袋的專用片盒再次封裝用的外層包裝袋