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超短脈沖(màichōng)激光及其應(yīng)用第一頁,共40頁。報(bào)告(bàogào)大綱1)超短脈沖激光及其特點(diǎn);2)超短脈沖激光產(chǎn)生及其放大(fàngdà)技術(shù)簡(jiǎn)介;3)超短脈沖激光應(yīng)用;4)今后的發(fā)展趨勢(shì)。第二頁,共40頁。一、超短脈沖(màichōng)激光及其特點(diǎn)什么(shénme)叫超短脈沖激光?一般指時(shí)間寬度(kuāndù)小于10-12秒的激光脈沖。10-12秒~皮秒;10-15秒~飛秒;10-18秒~阿秒時(shí)間一般超短激光脈沖:~5飛秒~幾百飛秒。第三頁,共40頁。超短脈沖激光有什么(shénme)特點(diǎn)呢?時(shí)間寬度(kuāndù)非常短。可以用于處理(chǔlǐ)持續(xù)時(shí)間非常的物理化學(xué)過程:瞬態(tài)成像;超快光開光;高速光通信……
光譜含量非常豐富??梢杂糜诩す夤庾V檢測(cè):脈沖整形;通信中的光譜編碼;……第四頁,共40頁。光脈沖(màichōng)的峰值功率非常高。脈沖功率=脈沖能量/脈沖時(shí)間(shíjiān)寬度時(shí)間1kHz、40fs、0.71012W的激光(jīguāng)系統(tǒng)激光加工;激光醫(yī)學(xué)手術(shù);強(qiáng)場(chǎng)激光與物質(zhì)相互作用;激光核聚變;……1.01015W聚焦功率密度:1020~1022W/cm2
第五頁,共40頁。1)要讓被放大的激光包含(bāohán)足夠的光譜寬度;2)要讓這些光譜分量的激光同相位。二、超短脈沖激光(jīguāng)及其放大技術(shù)超短脈沖激光產(chǎn)生必須(bìxū)有足夠的光譜作為支撐。1)鎖模;2)色散補(bǔ)償。時(shí)間鎖模脈沖序列第六頁,共40頁。棱鏡高反鏡Ti:S凹面反射鏡透鏡532nm泵浦光棱鏡泵鏡輸出鏡飛秒激光振蕩器結(jié)構(gòu)圖第七頁,共40頁。啁啾脈沖(màichōng)放大技術(shù)第八頁,共40頁。三、超短脈沖激光(jīguāng)應(yīng)用超短、超強(qiáng)是飛秒激光的特點(diǎn)。飛秒激光脈寬可短至4飛秒以內(nèi),峰值功率高達(dá)拍瓦量級(jí)(1.0PW=1015W)聚焦功率密度達(dá)到1020~1022W/cm2。飛秒激光可以將其能量全部(quánbù)、快速、準(zhǔn)確地集中在限定的作用區(qū)域,實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、塑料、聚合物、樹脂等材料的微納尺寸加工,具有其它激光加工無法比擬的優(yōu)勢(shì):飛秒激光(jīguāng)加工第九頁,共40頁。①耗能低,無熱熔區(qū),“冷”加工(jiāgōng);②可加工(jiāgōng)的材料:從金屬到非金屬再到生物細(xì)胞組織;③不會(huì)出現(xiàn)加工(jiāgōng)面的熔融、裂縫現(xiàn)象。高精度、高質(zhì)量、高分辨率,加工(jiāgōng)區(qū)域可小于焦斑尺寸,突破衍射極限;④非接觸,無飛濺無熔渣、無污染、不需特殊的氣體環(huán)境和無后續(xù)工藝。第十頁,共40頁。飛秒激光(jīguāng)加工微結(jié)構(gòu)在金屬薄膜上,鈦寶石飛秒激光加工制備出了微納米級(jí)陣列孔,孔徑最小達(dá)2.5μm,孔直徑在2.5~10μm間可調(diào),最小間距可達(dá)10μm,很容易實(shí)現(xiàn)(shíxiàn)10~50μm間距調(diào)整。飛秒激光(jīguāng)加工具有孔邊緣清晰、表面干凈等特點(diǎn)第十一頁,共40頁。金屬掩模板(múbǎn)加工金屬納米顆粒(kēlì)加工金屬納米顆粒加工:與其它激光脈沖相比,飛秒激光改變(gǎibiàn)的金屬顆粒尺寸大小和特定形狀。對(duì)微電子技術(shù)(集成電路)的發(fā)展將具有重要意義。利用飛秒激光超衍射極限加工有效地修補(bǔ)了金屬鎘掩模板的缺陷,修復(fù)的線寬達(dá)到小于100nm的精度。第十二頁,共40頁。長(zhǎng)10m高7m立體(lìtǐ)公牛圖微小(wēixiǎo)蜘蛛和恐龍模型復(fù)雜(fùzá)的微結(jié)構(gòu)加工第十三頁,共40頁。飛秒激光微加工技術(shù)在一些特殊領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用:鉆孔、切割高熱導(dǎo)性、高熔點(diǎn)金屬(如錸、鈦等)和高硬度金剛石。安全切割一些高爆危險(xiǎn)物品如:LX-16、TNT、PETN、PBx等,避免了長(zhǎng)脈沖激光線性吸收(xīshōu)、能量轉(zhuǎn)移和擴(kuò)散等的影響,斷面處沒有炸藥熔化和反應(yīng)的痕跡。但在研究切割雷管時(shí),沒有熱效應(yīng),能夠安全切割。利用飛秒激光觀測(cè)分析物理化學(xué)反應(yīng)本質(zhì),有望控制核聚變,以獲得可控的無污染核聚變能源。將光頻與波頻聯(lián)系起來的飛秒光梳技術(shù),為更精確的頻率機(jī)構(gòu)一光鐘的誕生鋪平了道路。第十四頁,共40頁。光通信領(lǐng)域(lǐnɡyù)與離子注入法和熱擴(kuò)散型離子交換法等目前常用的制作方法相比(xiānɡbǐ),飛秒激光制作波導(dǎo)在室溫環(huán)境下進(jìn)行,過程簡(jiǎn)單,波導(dǎo)結(jié)構(gòu)在高溫時(shí)仍能保持良好的質(zhì)量和穩(wěn)定性。利用計(jì)算機(jī)精密控制飛秒激光加工平臺(tái),可以在材料內(nèi)部(nèibù)的任意位置制得任意形狀的二維、三維或單模光波導(dǎo)。光波導(dǎo)第十五頁,共40頁。光柵在光通訊、色散補(bǔ)償、光纖傳感等領(lǐng)域中發(fā)揮著不可替代的作用。對(duì)光柵提出了更高的要求:①不同幾何形狀排列,如六角陣列光柵;②在光纖內(nèi)部刻劃,如Bragg(布拉格)光纖光柵。傳統(tǒng)加工方法工序繁雜、制作的光柵穩(wěn)定性差、壽命短。飛秒激光(jīguāng)微加工克服了這些缺點(diǎn),永久性改變折射率,改變量高達(dá)0.05,實(shí)現(xiàn)直接刻劃,順應(yīng)了現(xiàn)代光柵微型化和多樣化的發(fā)展趨勢(shì)。光纖光柵(guāngshān)第十六頁,共40頁。光子晶體器件:新型的微納光子集成器件,新一代光子器件。飛秒激光雙光子效應(yīng),加工精度高,是制備(zhìbèi)光子晶體的理想選擇。光子(guāngzǐ)晶體第十七頁,共40頁。微型光學(xué)(guāngxué)回路第十八頁,共40頁。光子(guāngzǐ)晶體第十九頁,共40頁。光存儲(chǔ):使用高分辨率存儲(chǔ)無疑會(huì)增加記錄密度,而采用超短激光(jīguāng)進(jìn)行亞微米級(jí)操作會(huì)得到更好的效果。其特點(diǎn):快速的數(shù)據(jù)讀、寫、擦寫、重寫;并行數(shù)據(jù)隨機(jī)存??;相鄰數(shù)據(jù)位層間串?dāng)_小;存儲(chǔ)介質(zhì)成本低;三維立體光存儲(chǔ)技術(shù)。第二十頁,共40頁。微通道的制備聚合物力學(xué)性能好,具有生物相容性,而且飛秒激光光束幾乎可以毫無衰減地到達(dá)透明材料內(nèi)部的聚焦點(diǎn),入射激光唯有在該點(diǎn)位置才能獲得較高的功率密度,發(fā)生非線性多光子吸收和電離,實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)任意部位三維微結(jié)構(gòu)的直寫。道壁光滑且沒有裂紋,沒有損壞透明材料表面,這種微通道將廣泛(guǎngfàn)用于生物醫(yī)學(xué)技術(shù)如DNA拉伸、微統(tǒng)計(jì)分析系統(tǒng)等。第二十一頁,共40頁。生物醫(yī)療(yīliáo)領(lǐng)域飛秒激光具有“冷”加工、能量消耗低、損傷小、準(zhǔn)確度高、三維空間上嚴(yán)格定位的優(yōu)點(diǎn),最大限度地滿足了生物醫(yī)療的特殊要求:①手術(shù)風(fēng)險(xiǎn)低,可對(duì)同一患處(huànchù)進(jìn)行多次手術(shù),治療愈合周期短;②相比傳統(tǒng)手術(shù)刀,醫(yī)源性感染少;③全激光手術(shù),無刀勝有刀,精確度高;④無痛,無并發(fā)癥。①在牙齒、隱形眼鏡上鉆孔,邊緣干凈(gānjìng)、無損傷;②非熱性手術(shù)切割燒蝕腦組織;③納米切割人體染色體;④制作血管支架,力學(xué)性能好,可望解決血管再狹窄問題,即治療冠心病;⑤飛秒激光飛行質(zhì)譜DNA排序;第二十二頁,共40頁。飛秒激光治療近視(jìnshì)一、飛秒激光制作的角膜瓣,切削的角膜瓣厚度均勻一致,瓣的厚薄和直徑都可以設(shè)定,可控性非常好,損傷的神經(jīng)和血管較少,大大減少了術(shù)后干眼癥的發(fā)生率。二、全激光手術(shù),完全避免了交叉感染的可能(kěnéng)。三、飛秒激光誤差小,醫(yī)生可以根據(jù)患者的角膜情況進(jìn)行設(shè)置角膜瓣的厚度,厚薄完全在醫(yī)生的精確掌控中,因此,術(shù)前即可準(zhǔn)確預(yù)測(cè)剩余角膜基質(zhì)床的厚度,這對(duì)合理地設(shè)計(jì)手術(shù)方案、保證手術(shù)安全更為有利。四、飛秒激光制作角膜瓣,能夠完全避免金屬角膜刀制瓣時(shí)可能(kěnéng)出現(xiàn)的破碎瓣、游離瓣、紐扣瓣、醫(yī)源性交叉感染、醫(yī)源性像差等并發(fā)癥,并能將術(shù)后發(fā)生干眼癥的概率降低。第二十三頁,共40頁。治療(zhìliáo)的全過程LASIK治療(zhìliáo)近視眼第二十四頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼第二十五頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼使用(shǐyòng)板層刀制作角膜瓣第二十六頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼角膜(jiǎomó)瓣制作完成第二十七頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼激光進(jìn)行角膜(jiǎomó)切削第二十八頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼第二十九頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼第三十頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼角膜(jiǎomó)瓣復(fù)位第三十一頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼第三十二頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼角膜(jiǎomó)瓣復(fù)位第三十三頁,共40頁。LASIK治療(zhìliáo)近視眼治療后的角膜(jiǎomó)形狀第三十四頁,共40頁。飛秒激光(jīguāng)成像第三十五頁,共40頁。時(shí)間(shíjiān)間隔15ps,時(shí)間(shíjiān)分辨300fs.第三十六頁,共40頁??扉T速度440ps第三十七頁,共40頁。檢測(cè)化學(xué)反應(yīng):通過化學(xué)反應(yīng)過程中原子(yuánzǐ)或分子的光譜特性變化診斷其過程。High-harmonicinterferometrycanbeusedtomeasuretheamplitudeandphaseoflightemittedfrommolecules.Thismethodhasnowbeenusedtorevealtheultrafastdynamicsofelectronsandnuclearinteractionsduringachemicalreaction.第三十八頁,共40頁。超寬帶特性(tèxìng)可用于高比特率的光通信。第三十九頁,共40頁。需解決一系列的關(guān)鍵技術(shù)問題:(1)目前沒有形成一套完整的理論來解釋:在超快、超短、超強(qiáng)的極端條件下,激光與物質(zhì)相互作用的物理本質(zhì);(2)加大力
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