空氣凈化及防靜電知識演示文稿當前1頁，總共97頁。（優(yōu)選）空氣凈化及防靜電知識當前2頁，總共97頁。Cleanroom(凈化間、無塵間、凈房）當前3頁，總共97頁。Cleanroom當前4頁，總共97頁。凈化間等級無塵等級數(shù)值越小，凈化等級越高。其數(shù)值代表塵埃濃度，亦稱為潔凈度，是用單位體積（每立方英尺或者每升）空氣中所含的粒徑大于等于0.5μm的塵埃數(shù)量來衡量。亦有0.35μm為粒經(jīng)的標準無塵室。當前5頁，總共97頁。當前6頁，總共97頁。凈化間等級通常無塵室對溫度要求在22±3℃（21±2℃），濕度要求在55±5RH%（60±10RH%）。同時潔凈室內(nèi)的空氣壓力要比相鄰非潔凈室高25Pa，潔凈度較高的室內(nèi)壓力比潔凈度低的室內(nèi)壓力約高10~15Pa。?100級以下的無塵室一般為底回風，1000級以上為側(cè)回風當前7頁，總共97頁。一般凈化間

當前8頁，總共97頁。百級凈化間當前9頁，總共97頁。凈化間用品當前10頁，總共97頁。臟污分類當前11頁，總共97頁。典型臟污來源及舉例臟污類別臟污源舉例微粒類臟污人體、衣服、紙張、工裝工具、外界環(huán)境皮屑、頭發(fā)、毛線、毛絲等有機類臟污人體、外辦環(huán)境唾沫、煙塵、皮膚油等離子臟污人體、外辦環(huán)境SOX、NOX等當前12頁，總共97頁。臟污介入和產(chǎn)生的渠道凈化間臟污裝配物料工具設備人體移動工藝過程殘留物當前13頁，總共97頁。臟污控制的基本原則當前14頁，總共97頁。當前15頁，總共97頁。當前16頁，總共97頁。當前17頁，總共97頁。臟污預防的基本措施當前18頁，總共97頁。當前19頁，總共97頁。當前20頁，總共97頁。當前21頁，總共97頁。當前22頁，總共97頁。當前23頁，總共97頁。當前24頁，總共97頁。當前25頁，總共97頁。當前26頁，總共97頁。當前27頁，總共97頁。當前28頁，總共97頁?！鰞艋R■防靜電知識當前29頁，總共97頁。防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問題；三、靜電防護操作要求 四、靜電防護器材； 五、靜電防護管理及常用標識當前30頁，總共97頁。一、靜電，靜電的產(chǎn)生什么是靜電（staticelectricity）？常見的靜電現(xiàn)象：脫衣服時聽到噼啪的聲音、碰到門把手時手指發(fā)麻、梳頭時頭發(fā)飄起來。靜電是一種處于靜止狀態(tài)的電荷。當前31頁，總共97頁。靜電物質(zhì)的組成：

物質(zhì)→分子→原子→原子核＋電子在自然狀態(tài)下，物質(zhì)處于電平衡的中性狀態(tài)，即不帶電。在靜電學中稱不帶電物體為電的中性體。在某種狀態(tài)下，當物質(zhì)原子中的電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。當前32頁，總共97頁。物體呈現(xiàn)帶電的現(xiàn)象稱為帶電現(xiàn)象，它是一種自然現(xiàn)象。按照物體所帶電荷的存在與變化狀態(tài)可分為動電（流電）相象和靜電現(xiàn)象。靜電現(xiàn)象指相對于觀察者而言，所帶的電荷處于靜止或緩慢變化的相對穩(wěn)定狀態(tài)。動電現(xiàn)象則與此相反。在靜電情況下，由于電荷靜止不動或其運動非常緩慢，故它所引起的磁場效應較之電場效應來說可以忽略不計。

當前33頁，總共97頁。靜電的產(chǎn)生在日常生活中，任何兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電。當兩個不同的物體相互接觸時就會使得一個物體失去一些電荷如電子轉(zhuǎn)移到另一個物體使其帶正電，而另一個體得到一些剩余電子的物體而帶負電。

若在分離的過程中電荷難以中和，電荷就會積累使物體帶上靜電。所以物體與其它物體接觸后分離就會帶上靜電。當前34頁，總共97頁。摩擦起電:在日常生活中，任何兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電，而產(chǎn)生靜電的最普通方法，就是摩擦生電。材料的絕緣性越好，越容易是使用摩擦生電。另外，任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離，也能產(chǎn)生靜電。當前35頁，總共97頁。富蘭克林(Benjaminfranklin,1706-1790)。摩擦后的玻璃棒帶正電，而樹脂帶的電為負電。當前36頁，總共97頁。為什么流動空氣會產(chǎn)生靜電呢？因為氣體也是由分子、原子組成，當空氣流動時分子、原子也會發(fā)生“接觸分離”而起電。所以可以這么說，在人們生活的任何時間、任何地點都有可能產(chǎn)生靜電。要完全消除靜電幾乎不可能，但可以采取一些措施控制靜電使其不產(chǎn)生危害。當前37頁，總共97頁。感應起電：當帶電物體接近不帶電物體時會在不帶電的導體的兩端分別感應出負電和正電。針對導電材料而言，因電子能在它的表面自由流動，如將其置于一電場中，由于同性相斥，異性相吸，正負電子就會轉(zhuǎn)移。當前38頁，總共97頁。

感應靜電起電當帶電物體A接近不帶電物體C時在導體C的a端和b端分別感應出負電和正電A++++++Ca一一一+++b_____·◎B當前39頁，總共97頁。靜電的產(chǎn)生摩擦起電感應起電傳導起電：針對導電材料而言，因電子能在它的表面自由流動，如與帶電物體接觸，將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。當前40頁，總共97頁。防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生；

二、電子工業(yè)中的靜電問題；三、靜電防護操作要求 四、靜電防護器材； 五、靜電防護管理及常用標識當前41頁，總共97頁。二十世紀中后期靜電危害震驚世界美國從1960年到1975年由于靜電引起的火災爆炸事故達116起1969年底在不到一個月的時間內(nèi)荷蘭、挪威、英國三艘20萬噸超級油輪洗艙時產(chǎn)生的靜電引起相繼發(fā)生爆炸以后引起了世界科學家對靜電防護的關注。我國在石油企業(yè)發(fā)生了30多起較大的靜電事故，其中損失達百萬元以上的有數(shù)起。當前42頁，總共97頁。工業(yè)生產(chǎn)中靜電危害的形成工業(yè)發(fā)展的高速發(fā)展以及高分子材料的迅速推廣應用，一些電阻率很高的高分子材料如塑料，橡膠等的制品的廣泛應用以及現(xiàn)代生產(chǎn)過程的高速化，使得靜電能積蓄到很高的程度。另一方面，靜電敏感材料的生產(chǎn)和使用，如輕質(zhì)油品，火藥，固態(tài)電子器件等，工礦企業(yè)部門受到靜電的危害也越來越突出，靜電危害造成了相當嚴重的后果和損失。當前43頁，總共97頁。二、電子工業(yè)中的靜電問題集成電路元器件的線路縮小，耐壓降低，線路面積減小，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場（StaticElectricField）和靜電電流（ESDcurrent）成為這些高密度元器件的致命殺手。同時大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應用，導致產(chǎn)生靜電的機會大增。日常生活中如走動，空氣流動，搬運等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感，實際上，集成度高的元器件電路都很敏感。當前44頁，總共97頁。靜電對電子元件的影響

（1）靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產(chǎn)品的功能與壽命。（2）因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w，使元件不能工作（完全破壞）。（3）因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱，元件受傷，仍能工作，壽命受損。當前45頁，總共97頁。靜電損傷的特點：1.隱蔽性人體不能直接感知靜電，除非發(fā)生靜電放電，但發(fā)生靜電放電，人體也不一定能有電擊的感覺。這是因為人體感知的靜電放電電壓為2-3KV。2.潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降，但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患，而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可治愈。3.隨機性電子元件什么情況下會遭受到靜電破壞呢？可以這么說，從一個元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，及難預測和防護。當前46頁，總共97頁。4.復雜性靜電放電損傷分板工作，因電子產(chǎn)品的精細，微小的結(jié)構特點而費時、費事、費錢，要求較復雜的技術往往需要使用掃描電鏡等精密儀器，即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別，使人誤把靜電損傷失效當作其它失效，這是對靜電放電損害未充分認識之前，常常歸咎于早期失效或情況不明的失效，從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。5.嚴重性ESD問題表面上看來只影響了制成品的用家，但實際上亦影響了各層次的制造商，如：保用費、維修及公司的聲譽等等。當前47頁，總共97頁。

ESD是什么意思ESD是ElectroStaticDischarge“靜電放電”的縮寫。

ElectroStaticDamage“靜電破壞”在20世紀中期以后，隨著工業(yè)技術的迅速發(fā)展，ESD問題越來越受到人們的重視當前48頁，總共97頁。不同濕度下各種操作時的人體電位相對濕度人體電位（KV）操作（10-20)﹪

(65-90)﹪在地板/合成纖維地毯上走動351.5在聚乙稀地面上行走120.25從工作椅上站起181.5在工作臺上操作60.1從印刷電路上拉下膠帶121.5印刷電路板薄膜包裝163用橡皮清潔電路121當前49頁，總共97頁。

器件所能承受的靜電電壓器件類型靜電破壞電壓（V）VMOS30~1800OP-AMP（operationalamplifier運算放大器）190~2500當前50頁，總共97頁。器件人體靜電電壓幾百到幾千伏幾千到幾萬伏當前51頁，總共97頁。生產(chǎn)產(chǎn)所中的靜電危害源物體或工藝加工材料或活動人站起、行走、操作工作服椅子組裝、清洗、測試和維修區(qū)當前52頁，總共97頁。電子工業(yè)哪些過程會產(chǎn)生靜電危害元件制造過程：切割、連線、檢驗印刷電路版生產(chǎn)過程：儲存、裝配設備使用過程：安裝、試驗設備維修過程：拆卸、檢驗從元件的制造、使用到維修的任一環(huán)節(jié)，靜電已成為電子工業(yè)的隱形的致命殺手。當前53頁，總共97頁。小結(jié)任何兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離即可產(chǎn)生靜電。摩擦的實質(zhì)是一種接觸分離過程。當帶電物體接近不帶電物體時會感應靜電。大部分器件的靜電破壞電壓都在幾百伏至幾千伏，而在干燥的環(huán)境中人活動所產(chǎn)生的靜電電壓可達幾千伏到幾萬伏。靜電危害的特點：隱蔽性、潛在性、隨機性、復雜性。當前54頁，總共97頁。防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問題；

三、靜電防護操作要求 四、靜電防護器材； 五、靜電防護管理及常用標識當前55頁，總共97頁。三、靜電防護操作要求

（一）ESD防護的意義

1、減少損失（美國一年的損失200多億美金，其中電子工業(yè)的損失超過100多億美金）

2、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性

3、提高生產(chǎn)效率

4、靜電防護回報達1：95以上當前56頁，總共97頁。（二）靜電防護主要有下列幾點

1、盡量減少靜電荷的產(chǎn)生

2、對已產(chǎn)生的靜電荷盡快予以消除

3、最大限度地減少靜電危害

4、嚴格靜電防護管理，以保證各項措施的有效執(zhí)行當前57頁，總共97頁。靜電防護的具體措施一、防止靜電的產(chǎn)生：1、控制靜電的生成環(huán)境：（1）、濕度控制。在不致導致器材或產(chǎn)品腐蝕生銹或其他危害前提下，盡量加大濕度（2）、溫度控制。在可能條件下盡量降低溫度，包括環(huán)境溫度和物體接觸溫度（3）、塵?？刂?。防止附著（吸附）帶電的重要措施（4）、地板、桌椅面料和工作臺墊應由防靜電材料制成，并正確接地（5）、靜電敏感產(chǎn)品的運送傳遞和存儲及包裝與拆包裝應采取靜電防護措施當前58頁，總共97頁。2、防止人體帶電（1）、配戴防靜電腕帶（2）、穿戴防靜電服裝、衣、帽（3）、穿戴防靜電鞋襪、腳鏈（4）、配戴防靜電手套、指套（5）、嚴格禁止與工作無關的人體和動（例如做操、打鬧、梳頭發(fā)、吃東西等）（6）、進行離子風浴當前59頁，總共97頁。3、材料選用要求使用靜電導電材料和靜電耗散材料4、工藝控制措施（1）、制定并實施防靜電操作程序（2）、使用防靜電周轉(zhuǎn)、運輸盤、盒、箱及其他容器、小車（3）、使用防靜電工具（烙鐵、吸錫器等）（4）、采用防靜電包裝當前60頁，總共97頁。二、減少和消除靜電荷

1、接地

（1）、地板和工作桌、椅、臺面、臺墊正確接地（2）、人體接地（3）、工具（烙鐵、吸錫器、臺架、運輸小車等）接地設備、儀器等接地當前61頁，總共97頁。2、中和

針對場所和帶電物體的形狀、特點，選用適宜類形的靜電消除器具、器材、產(chǎn)品、場所、設備和人體上的靜電3、參雜1在非導體材料、器具的表面通過噴、涂、鍍、印、貼等方式附加上一層物質(zhì)以增加表面電導率，加速電荷的泄漏與釋放

當前62頁，總共97頁。三、減少靜電危害

1、提高產(chǎn)品自身抗靜電能力（1）、對CMOS等靜電敏感集成電路采用輸入、輸出保護電路設計（2）、對敏感元器件進行靜電防護設計（3）、對靜電敏感電子組件和電子設備，采用抗靜電防護設計當前63頁，總共97頁。2、確保設備、設施和作業(yè)場所的靜電安全

（1）、保護作業(yè)場所各種接地設施和系統(tǒng)正確和有效接地（2）、嚴格靜電安全作業(yè)操作規(guī)程當前64頁，總共97頁。四、嚴格防靜電管理

1、建立健全責任制和規(guī)章制度

（1）、建立健全各類人員（領導者、技術和管理人員、操作人員）的靜電安全防護管理職責，并有檢查制度（2）、編制具體詳細的防靜電操作規(guī)程（3）、對設備、裝置、器材、器具、工具等的防靜電性能要求建立定期檢查制度當前65頁，總共97頁。2、培訓教育

（1）、針對領導者、管理和技術人員、操作人員等不同層次和不同崗位的人員，實施有關防靜電意識、知識、技術和安全要求教育（2）、針對不同崗位操作人員進行操作技能培訓及考核當前66頁，總共97頁。3、警示裝置、標記、及符號的使用（1）、應在靜電敏感產(chǎn)品上和外包裝件上做出警示標記或符號（2）、應對裝置、設備中的靜電敏感部件、部位，按照標準的要求做出標記或警示符號（3）、應對防靜電作業(yè)場所（工作區(qū)）做出規(guī)定的特別的標記當前67頁，總共97頁。4、按標準規(guī)定進行檢測試驗

（1）、對有防靜電性能要求的工具、器具、服裝、鞋襪、地面、桌椅和工作臺墊等應定期檢查，使之保持合格狀態(tài)（2）、對人體和設備、裝置、系統(tǒng)的接地狀況應按規(guī)定檢測（3）、對產(chǎn)品的靜電敏感度（抗擾度）應按標準的規(guī)定進行試驗，并建立質(zhì)量分析和反饋制度當前68頁，總共97頁。（三）、靜電防護工作的主要特點1、安全（包刮環(huán)境、人身及設備）防護與產(chǎn)品防護有時是并存的，特別是電子產(chǎn)品。2、加工制造過程中對半成品的防護與使用、維護、包裝、檢測、拆包裝、裝配、調(diào)試過程中對產(chǎn)成品的防護并重。3、防止靜電的發(fā)生與消除已產(chǎn)生的靜電荷。4、靜電防護工作中，技術措施與管理措施均不可缺少，他們是相輔相成的。當前69頁，總共97頁。（四）、靜電防護工作的主要目的1、靜電防護工作大體分為兩個方面，其主要目的有3個（1）兩個方面是：安全防護與產(chǎn)品防護。（2）3個目的是：保證人員和生產(chǎn)場所的安全，防止火災與爆炸，提高工藝成品率，確保產(chǎn)成品的工作可靠性。當前70頁，總共97頁。防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問題；三、靜電防護操作要求

四、靜電防護器材； 五、靜電防護管理及常用標識當前71頁，總共97頁。防靜電器具、器材術語1、防靜電服為了防止人體和衣物的靜電積聚，用防靜電織物為衣料而縫制的工作服2、防靜電腕帶由外絕緣金屬線或?qū)щ娝芰辖M成的軟扣帶。該腕帶一端戴在操作者手腕上，另一端接在防靜電地線上，以便泄放人體積聚的靜電荷3、防靜電鞋鞋底用電阻變化小的防靜電材料制作，不僅具有防止人體靜電積聚的性能，而且還能避免因偶然觸及工頻電（220V以下）而導致人體遭受電擊的鞋類當前72頁，總共97頁。5、防靜電真空吸錫器

由小型真空泵和專用吸錫烙鐵組成的裝置。該裝置能快速拆卸元器件，而不損壞元器件和印制板組裝件6、靜電消除器一種能產(chǎn)生消除帶電體上的電荷所必要的正負離子的設備或裝置7、離子化靜電消除器凡利用空氣電離以產(chǎn)生為中和帶電體上的表面異性電荷所必須的正負離子的各種形式靜電消除裝置的統(tǒng)稱當前73頁，總共97頁。8、防靜電工作臺墊

敷設在防靜電安全工作臺上的墊子。該墊子用于泄放人體或?qū)w上積聚的靜電電荷，提供一個無靜電電荷的工作面9、導靜電地板一種地板，它具有足夠低的電阻以便當接地或連接到任何較低電位點時快速地泄放電荷。導靜電地板以電阻低于1X106歐姆來表征當前74頁，總共97頁。靜電材料：指摩擦生電產(chǎn)生超過100V電壓，并且將產(chǎn)生的電壓保持10秒以上的材料。防靜電材料：包括靜電導電材料（表面電阻值小于105Ω）。靜電耗散材料：表面電阻值大于或等于105Ω但小于1012Ω）。絕緣材料：表面電阻值在1012Ω以上的材料。

當前75頁，總共97頁。 防靜電材料電阻值（一）１．靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開拉設，其接地電阻值≤4Ω。２．靜電保護區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設備、工具應接地，其接地電阻值≤4Ω。３．靜電手環(huán)、防靜電臺墊、防靜電地墊限流電阻值為1MΩ～10MΩ。4.鐵頭、電鎖桿的的漏電壓值≤0.2VAC５．靜電膠墊的表面電阻值為106Ω～109Ω。６．靜電元件盒和防靜電周轉(zhuǎn)箱的表面電阻值為105Ω～1011Ω。７．集成電路包裝管的表面電阻值為104Ω～1010Ω。

當前76頁，總共97頁。 防靜電材料電阻值（二）８．防靜電海綿的表面電阻值為105Ω～1011Ω。９．防靜電鞋的表面電阻值為105Ω～108Ω。１０。防靜電手指套表面電阻105Ω～1011Ω；１１。防靜電手套表面電阻105Ω～1011Ω。１２。防靜電地板的表面電阻值為105Ω～1010Ω。１３。防靜電袋的表面電阻值為105Ω～1011Ω。１４。防靜電服的表面電阻值為105Ω～1010Ω。

當前77頁，總共97頁。

ESD防護工作區(qū)

ESD防護工作區(qū)是由各種ESD設施、器材及有明確定義的區(qū)域界限形成的工作場地。能抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生，并能安全、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，原則上要求區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的靜電壓小于100V。當前78頁，總共97頁。4-1ESD控制原理---接地 靜電導體接地人員的接地（腕帶:（0.8~1.2)109Ω

、防靜電/導電膠底鞋對地電阻:0.5×105~1.0×109Ω

）設備和工具接地:＜4.0Ω(GB50174-93)環(huán)境：地面、貨架、活動設備對地電阻：

1×105~1×109Ω雷電保護接地：＜4.0Ω

（最好在1Ω以下）當前79頁，總共97頁。4-2ESD控制原理靜電非導體離子消電器放射消電器當前80頁，總共97頁。4-3人體ESD控制原理人體是最普遍存在的靜電危害源對于靜電來說，人體是導體。對人體采取接地的措施可以控制人體靜電。當前81頁，總共97頁。4-4使靜電從腳導到大地使用靜電地面（防靜電地墊、地毯等）防靜電鞋防靜電襪防靜電膠墊地面對地電阻注意：鞋、地面、襪、鞋墊等必須全是防靜電的，才能保證靜電從腳導向大地。

105Ω＜鞋、地面對地電阻＜109Ω當前82頁，總共97頁。4-5使靜電從手導致大地配戴防靜電手環(huán)并接地用手觸摸接地金屬體（如：球）能暫時釋放人體靜電，但手離開接地金屬后又會產(chǎn)生靜電靜電手環(huán)腕帶對地電阻：

7.5×105~1×108Ω無線腕帶不能起到防靜電作用當前83頁，總共97頁。4-6防靜電鞋與腕帶使用中人體安全問題從防靜電的角度考慮時，人體總的對地電阻越小越好安全要求：鞋的最小值不應小于1×105Ω人體必須具有一定的對地電阻，限制意外流過人體上的電流。當前84頁，總共97頁。4-7防靜電鞋與腕帶的使用問題1、使用腕帶操作時不允許斷開，否則會失去接地作用2、在穿用防靜電鞋時應有防靜電襪/鞋墊，鞋與地面必須都防靜電。否則靜電不能從人體導向大地。夾在衣服等不導電物體上的接地裝置，不能釋放人體靜電。當前85頁，總共97頁。4-8