防靜電知識(shí)介紹1第1頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四自然界的ESD現(xiàn)象現(xiàn)象A：閃電，每一次閃光都是一次巨大的靜電釋放，靜電從聚集的雷雨云傳向地球?，F(xiàn)象B：洗衣機(jī)洗完衣物后，用手取出衣物時(shí)，發(fā)出噼啪聲和火花?，F(xiàn)象C：走過(guò)地毯后觸摸門(mén)的把手，會(huì)感覺(jué)電擊。據(jù)日本80年代統(tǒng)計(jì),失效的半導(dǎo)體器件中,45%是靜電造成的.2第2頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電和靜電放電的定義和特點(diǎn)

靜電釋放（ESD）的定義：電荷從一個(gè)物體突然傳遞到另一個(gè)物體的過(guò)程。什么是靜電？靜電是由于物質(zhì)表面的正負(fù)電荷分離所造成的電位；靜電的高低與材料的特性、環(huán)境溫度、濕度等密切相關(guān)。3第3頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四對(duì)靜電和靜電危害的認(rèn)識(shí)

靜電(Electrostatic)——是物體表面過(guò)?；虿蛔愕撵o止電荷。是一種電能，它存留于物體表面；是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果，是通過(guò)電子或離子的轉(zhuǎn)換而形成的。靜電現(xiàn)象是電荷在產(chǎn)生和消失過(guò)程中產(chǎn)生的電現(xiàn)象的總稱(chēng)。隨著科技發(fā)展，靜電現(xiàn)象已在靜電噴涂、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。但在另一方面，靜電在許多領(lǐng)域帶來(lái)重大危害和損失。在電子工業(yè)中,靜電位達(dá)1.5-35KV,足以使元器件受損,硬擊穿或軟擊穿,形成永久性或暫時(shí)性失效.4第4頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電基礎(chǔ)知識(shí)靜電現(xiàn)象（electrostaticphenomenon)

●由于帶電體的靜電場(chǎng)作用而引起的靜電放電、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化及靜電力作用等物理現(xiàn)象的統(tǒng)稱(chēng)。

●靜電的高低與材料特性、環(huán)境溫度、濕度等密切相關(guān)5第5頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電放電（ESD）無(wú)任何感覺(jué)：1000V聽(tīng)到放電聲音：2000~3000V能夠感覺(jué)到：3000~4000V能夠看到：>5000V6第6頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電的產(chǎn)生（一）傳導(dǎo)帶電摩擦生電感應(yīng)生電7第7頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電的產(chǎn)生（二）地板：尤其是塑料地板或地毯椅子：木質(zhì)、塑料或化學(xué)材質(zhì)衣服：化纖及一般布料工作臺(tái)面：磨光、油漆及上蠟其它：塑料墊、文件夾等任何產(chǎn)生摩擦的地方8第8頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電是否可不產(chǎn)生是自然現(xiàn)象，沒(méi)法杜絕只能消除或減小想法泄放9第9頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四所能產(chǎn)生的電位根源溫度10~20%濕度65~90%在地毯上行走35000V1500V在帆布上行走12000V250V在工作臺(tái)上工作6000V100V從塑料管中取元件2000V200V拿起一只塑料袋200000V1200V在布套椅上工作18000V1500V10第10頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電放電危害的幾種模式1.引發(fā)火災(zāi)和爆炸事故2.造成人體電擊3.造成產(chǎn)品損害4.造成對(duì)電子設(shè)備正常運(yùn)行的干擾.11第11頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電感應(yīng)危害

靜電感應(yīng)是使物體帶電的一種方式可在器件引線(xiàn)、工具、包裝容器上產(chǎn)生高的靜電壓，并對(duì)半成品等造成靜電損害12第12頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四環(huán)境濕度對(duì)靜電的影響在干燥的季節(jié)產(chǎn)生靜電的幾率大在濕度較大的環(huán)境中產(chǎn)生靜電的幾率小在工廠廠房?jī)?nèi),增加濕度,減小靜電的產(chǎn)生.最好:濕度RH在45%-75%內(nèi)形成機(jī)理是介質(zhì)物體表面電導(dǎo)率提高13第13頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四關(guān)于電子產(chǎn)品靜電防護(hù)

電子產(chǎn)品的靜電防護(hù)工作，具有下述明顯特點(diǎn):1/超細(xì)、超薄的加工工藝和產(chǎn)品細(xì)微結(jié)構(gòu),即使20V下也可能造成損害2/對(duì)靜電敏感的產(chǎn)品，如半導(dǎo)體分立器件、集成電路、厚薄膜電路等3/靜電防護(hù)工作是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，它涉及敏感電子產(chǎn)品的制造、裝配、處理、檢查、試驗(yàn)、維修、包裝、運(yùn)輸、貯存、使用等各個(gè)環(huán)節(jié)，而且是一種串聯(lián)模式，任一環(huán)節(jié)上的失誤，都將導(dǎo)致整個(gè)防護(hù)工作的失?。?4第14頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

ESD在工業(yè)領(lǐng)域的危害

電子產(chǎn)品靜電放電損害的特點(diǎn):隱蔽性失效分析的復(fù)雜性損傷具有潛在性損傷的隨機(jī)性15第15頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四電子元器件靜電損傷的失效類(lèi)型

1/突發(fā)性完全失效，ESD造成電子元器件鋁條燒斷、硅片局部融化、PN結(jié)邊緣損傷等,是硬性損傷，約占總數(shù)10%2/潛在性緩慢失效，靜電能量低，對(duì)元器件造成輕度損傷，難以預(yù)先檢測(cè)，只能在工作過(guò)程中發(fā)生，是軟損傷，約占90%，危害最大。16第16頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

靜電對(duì)器件和產(chǎn)品的破壞機(jī)理

熱擊穿金屬導(dǎo)電層熔化介質(zhì)擊穿氣體電弧放電表面擊穿體擊穿17第17頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四部分元件對(duì)靜電的敏感程度元件類(lèi)型損壞電壓元件類(lèi)型損壞電壓RF-FETS（MICROWAVE）1~5VEPROM100VMR-HEADS5VJ.FET140VPENTIUM5V運(yùn)算放大器190VV.MOS30VCMOS250VMOSFET100V18第18頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電對(duì)元器件的損傷程度對(duì)P-N結(jié)造成軟擊穿，產(chǎn)品可靠性下降19第19頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電對(duì)元器件的損傷程度芯片內(nèi)單晶硅金屬鍍膜擊穿產(chǎn)品廢品率上升20第20頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電對(duì)元器件的損傷程度芯片內(nèi)引線(xiàn)擊穿使產(chǎn)品廢品率上升21第21頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電防護(hù)的重要性電子行業(yè)除ESD損傷外，靜電還會(huì)導(dǎo)致

ESA(Electro-StaticAttraction)EML(Electro-MagneticInterference)對(duì)凈化間最具有威脅的是ESA導(dǎo)致的表面污染物22第22頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四（ESD）靜電放電所造成的損失環(huán)境場(chǎng)合最小最大平均元件制造4%97%16~22%分銷(xiāo)商3%70%9~15%承銷(xiāo)商2%35%8~14%最終用戶(hù)5%70%27~33%23第23頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四電子產(chǎn)品制造中的靜電源

(1)人體靜電(2)工作服(3)工作鞋(4)樹(shù)脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放入包裝中運(yùn)輸時(shí)(5)用PP（聚丙烯）、PE(6)普通工作臺(tái)面，磨光、油漆及上蠟；(7)地板；(8)電子生產(chǎn)設(shè)備和工具方面：24第24頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

靜電防護(hù)的有關(guān)標(biāo)記和符號(hào)

標(biāo)記和符號(hào)是一種無(wú)聲語(yǔ)言,按國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，如：靜電敏感器件、接地點(diǎn)符號(hào)等推薦使用黃色和黑色

靜電敏感基本符號(hào)25第25頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

靜電防護(hù)原理、目的和總的原則

對(duì)可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電積聚。采取措施，使靜電邊產(chǎn)生，邊泄放，并將靜電電壓控制在安全范圍內(nèi)。對(duì)已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，即時(shí)釋放。靜電防護(hù)的核心是“靜電消除”。26第26頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

對(duì)人體的ESD的控制

(1)管理上：在ESD安全區(qū)域張貼標(biāo)志，在ESD敏感器件上粘貼標(biāo)簽，并對(duì)員工進(jìn)行這方面的培訓(xùn)。(2)工程上：控制空氣濕度，采用離子發(fā)生器，安裝可以消散靜電的地板、工作臺(tái)。(3)員工：由于人是損壞ESD器件的罪魁禍?zhǔn)?，只有每一位員工的參與與配合，所有這些方法才能起到真正的作用。必須對(duì)人進(jìn)行ESD控制。27第27頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四上衣與褲子摩擦后

脫下時(shí)人體帶電情況純棉布毛料丙烯聚酯尼龍維尼綸純棉布12000V900V14700V14700V1500V1800V維尼綸/棉600V4500V12300V12300V4800V300V聚酯/人造絲4200V8400V17100V17100V4800V1200V聚酯/棉14100V15300V7500V7500V14700V13800V褲料人體電位工作服質(zhì)料28第28頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四具體的ESD方法

具體思路是：

(1)將電荷到達(dá)器件之前，將其有控制的排除,進(jìn)入工作區(qū)前穿戴靜電保護(hù)服裝\器具,門(mén)禁檢測(cè)等系統(tǒng)(2)隨時(shí)監(jiān)控,消除產(chǎn)生的靜電,采用離子風(fēng)消除;用腕帶或腳接地帶隨時(shí)泄放;接地監(jiān)控;(3)還有一些其他方式將電荷安全接地。29第29頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四工作臺(tái)面的ESD控制工作臺(tái)面鋪設(shè)防靜電橡塑膠板，同時(shí)有效接地，隨時(shí)泄放靜電。與接地監(jiān)控系統(tǒng)連接在一起，實(shí)時(shí)監(jiān)控。30第30頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四防靜電材料的特性和分類(lèi)

抗靜電材料的定義，★IEC801-2規(guī)定為表面電阻率為105.cm～1011.cm歐姆每方；★DoD—HDBK－263的規(guī)定是把材料分為“靜電耗散材料”（表面電阻率為105.cm～109.cm。歐姆每方）和“抗靜電材料”(表面電阻率為109.cm～1014.cm歐姆每方)；★IEC／TC47(c．o)1330則規(guī)定“抗靜電材料”屬于不能按電阻率分類(lèi)的材料，只能定性為“當(dāng)相對(duì)摩擦或從相同的或其他類(lèi)似的材料分離時(shí)，呈現(xiàn)最少電荷生成特性的材料”。實(shí)際上，各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大致范圍差不太多，對(duì)于我們工廠來(lái)說(shuō)，沒(méi)有深究的必要，只要夠用即可。31第31頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四表面電阻率導(dǎo)電體 表面電阻率低于105歐姆/平方放電體 表面電阻率在106_109歐姆/平方絕緣體 表面電阻率大于109歐姆/平方32第32頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電防護(hù)器材和耗材

(1)人體防靜電系統(tǒng)——包括防靜電腕帶、工作服、帽、手套、鞋、襪等(2)防靜電地面——包括防靜電水磨石地面、防靜電橡膠地面、PVC防靜電塑料地板、防靜電地毯、防靜電活動(dòng)地板等。(3)防靜電操作系列——包括防靜電工作臺(tái)墊、防靜電包裝代、防靜電、物流小車(chē)、防靜電烙鐵及工具等(4)防靜電監(jiān)控、接地、離子化系統(tǒng)，包括聯(lián)網(wǎng)靜電監(jiān)控。

33第33頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四包裝材料技術(shù)防護(hù)包裝材料是實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品靜電防護(hù)包裝的基礎(chǔ)，只有合適的材料才能勝任一般意義上的包裝功能和防靜電功能需要，要同時(shí)具備是不易的。材料的防靜電能力與其自身的摩擦起電特性、電導(dǎo)率、衰減時(shí)間有關(guān)。34第34頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四接地材料技術(shù)

接地技術(shù)是任何電子設(shè)備與設(shè)施中的一項(xiàng)重要技術(shù)接地是靜電防護(hù)中最有效的最基本的技術(shù)措施各接地系統(tǒng)有不同的接地電阻要求35第35頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四人體靜電防護(hù)接地系統(tǒng)

因?yàn)槿梭w是一個(gè)最重要的靜電源安全限流電阻的數(shù)值選用避免人體不慎觸電時(shí)，形成一個(gè)通路，原則：流經(jīng)人體電流小于5mA;(工頻線(xiàn)電壓380V)人體靜電荷能通過(guò)該電阻較快釋放，即人體皮膚靜電在0.1s內(nèi)衰減至100V的敏感產(chǎn)品靜電安全閾值以下：

綜合上述兩因素，取為7.5×105～1×107為宜。實(shí)際常用

1M

36第36頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四工作臺(tái)面/地板材料技術(shù)

工作臺(tái)面應(yīng)該鋪設(shè)防靜電膠板，表面是泄放層，下面是導(dǎo)電層，下層一定接地。地面/地板一般都是防靜電的自流平或防靜電地板。37第37頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

工作服/手套/手指套材料技術(shù)工作服也易產(chǎn)生放電工作服防靜電的機(jī)理是泄放與中和

接地時(shí),經(jīng)導(dǎo)電纖維向大地泄放不接地時(shí),借助導(dǎo)電纖維的微弱電暈放電而消電38第38頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子發(fā)生器技術(shù)在工作臺(tái)區(qū)間形成離子化環(huán)境，使得工件上、服裝上等隨時(shí)產(chǎn)生的靜電荷能夠被中和。

39第39頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四防靜電檢測(cè)的作用和意義

熟悉靜電檢測(cè)很重要，只有知道靜電是怎么回事，具體的技術(shù)數(shù)值，才能知道怎么樣針對(duì)解決它。

40第40頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電測(cè)量參數(shù)和測(cè)量方法

測(cè)量參數(shù)一般包括：靜電電位電阻與電阻率接地電阻人體靜電參數(shù)等測(cè)量?jī)x器都是接觸式或非接觸式靜電電壓表等采用場(chǎng)強(qiáng)計(jì)來(lái)測(cè)量。電阻的測(cè)量，按國(guó)標(biāo)GB1410-89采用高阻計(jì)。

41第41頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四測(cè)量靜電所面對(duì)的難點(diǎn)

對(duì)測(cè)量?jī)x器的絕緣程度要求高靜電測(cè)量受各種環(huán)境條件影響顯著靜電測(cè)量結(jié)果的復(fù)現(xiàn)性差42第42頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四測(cè)量?jī)x器的種類(lèi)和原理

靜電測(cè)量?jī)x器

(1)靜電場(chǎng)測(cè)試儀——用于測(cè)量臺(tái)面、地面等表面電阻值。平面結(jié)構(gòu)場(chǎng)合和非平面場(chǎng)合要選擇不同規(guī)格的測(cè)量?jī)x。

(2)腕帶測(cè)試儀——測(cè)量腕帶是否有效。

(3)人體靜電測(cè)試儀——用于測(cè)量人體攜帶的靜電量，人體雙腳之間的阻抗，測(cè)量人體之間的靜電差，腕帶、接地插頭、工作服等是否防護(hù)有效。還可以作為入門(mén)放電，把人體靜電隔在車(chē)間之外。

(4)兆歐表——用于測(cè)量所有導(dǎo)電型、抗靜電型及靜電泄放型表面的阻抗或電阻。43第43頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四測(cè)量的應(yīng)用例子

正常工作時(shí)隨時(shí)測(cè)量靜電位的數(shù)值定期測(cè)量，包括接地電阻的測(cè)量、靜電位的測(cè)量44第44頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四如何控制ESD

防靜電的基本要求:★防止靜電的產(chǎn)生★減少和消除靜電荷★減少靜電的危害★嚴(yán)格防靜電管理45第45頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電的消除方式安全對(duì)地釋放（對(duì)放電體而言）離子中和（對(duì)絕緣體而言）46第46頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電控制的幾個(gè)方面防止靜電菏積聚（Prevention）建立安全的泄放通路（Grounding）設(shè)立良好的離子中和設(shè)備確認(rèn)并有效的監(jiān)測(cè)措施控制靜電的生成環(huán)境47第47頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電的全面控制如圖所示,靜電的全面控制48第48頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四靜電防護(hù)方法

使用防靜電材料泄漏與接地靜電防護(hù)材料的使用方法49第49頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四對(duì)非導(dǎo)體帶靜電的消除方法

非導(dǎo)體帶靜電的消除——不能用接地的方法對(duì)于絕緣體上的靜電，由于電荷不能在絕緣體上流動(dòng)，因此不能用接地的方法消除靜電?？刹捎靡韵麓胧?/p>

(a)使用離子風(fēng)機(jī)——離子風(fēng)機(jī)產(chǎn)生正、負(fù)離子，可以中和靜電源的靜電?？稍O(shè)置在空間和貼裝機(jī)貼片頭附近。

(b)使用靜電消除劑——靜電消除劑屬于表面活性劑?？捎渺o電消除劑檫洗儀器和物體表面，能迅速消除物體表面的靜電。

(c)控制環(huán)境濕度——增加濕度可提高非導(dǎo)體材料的表面電導(dǎo)率,

使物體表面不易積聚靜電。例如北方干燥環(huán)境可采取加濕通風(fēng)措施。

(d)采用靜電屏蔽——對(duì)易產(chǎn)生靜電的設(shè)備可采用屏蔽罩（籠），并將屏蔽罩（籠）有效接地。50第50頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

對(duì)人體的ESD的控制

按階段隨時(shí)保證人體的接地措施的完整和正常；在進(jìn)入工作區(qū)前檢測(cè)其防靜電措施是否完整？到位？進(jìn)入工作狀態(tài)和區(qū)域后，實(shí)時(shí)監(jiān)控其接地措施的正常工作？不會(huì)出現(xiàn)故障，一方面靠人的自覺(jué)；另一方面靠?jī)x器、技術(shù)保證；51第51頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四工作臺(tái)面的ESD控制

保證工作臺(tái)接地的完整和正常，包括工裝設(shè)備也要有完好的接地。以下圖是一些公司的防靜電工作臺(tái)的常用接地方法52第52頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四工裝夾具

在工作場(chǎng)地或流水線(xiàn)上的工裝夾具，也要保證接地確保接地的完好53第53頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四設(shè)備\物料

確保設(shè)備的接地物料運(yùn)輸過(guò)程中，采用防靜電包裝54第54頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四設(shè)計(jì)階段即要考慮防靜電措施

為了在電子產(chǎn)品制造中盡量少的產(chǎn)生靜電，控制靜電荷積聚，對(duì)已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，即時(shí)釋放，應(yīng)從廠房設(shè)計(jì)、設(shè)備安裝、操作、管理制度等方面采取有效措施。55第55頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四現(xiàn)場(chǎng)的工藝控制

生產(chǎn)設(shè)備必須接地良好防靜電要求設(shè)置防靜電區(qū)域，并有明顯的防靜電警示標(biāo)志:定期測(cè)量地面、桌面、周轉(zhuǎn)箱等表面電阻值靜電安全區(qū)（點(diǎn)）的工作臺(tái)上禁止放置非生產(chǎn)物品工作人員進(jìn)入防靜電區(qū)域，需放電。操作人員進(jìn)行操作時(shí)，必須穿防靜電工作服、鞋操作時(shí)要戴防靜電腕帶，每天測(cè)量腕帶是否有效測(cè)試SSD時(shí)應(yīng)從包裝盒、管、盤(pán)中取一塊，測(cè)一塊，放一塊，不要堆在桌子上。經(jīng)測(cè)試不合格器件應(yīng)退庫(kù)加電測(cè)試時(shí)必須遵循加電和去電順序。加電順序：低電壓→高電壓→信號(hào)電壓的順序進(jìn)行。去電順序與此相反。同時(shí)注意電源極性不可顛倒，電源電壓不得超過(guò)額定值檢驗(yàn)人員應(yīng)熟悉SSD的型號(hào)、品種、測(cè)試知識(shí)，了解靜電保護(hù)的基本知識(shí)56第56頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四防靜電設(shè)備產(chǎn)品的分類(lèi)及技術(shù)原理

在工作中，防靜電設(shè)備很多，在每個(gè)環(huán)節(jié)都可用到，而且其作用范圍不一，效果也不一樣，使用的領(lǐng)域也不一樣，在電子工業(yè)我們大家比較熟悉，就可按以下分許多類(lèi)。按使用階段分：在工作前準(zhǔn)備、預(yù)備、預(yù)防階段按工作原理分：采用靜電正負(fù)電荷中和或接地泄放的方法57第57頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四ESD設(shè)備（一)基本的ESD設(shè)備（離子泄放技術(shù)）

□單線(xiàn)路靜電腕帶□雙線(xiàn)路靜電腕帶□放靜電腕帶監(jiān)控系統(tǒng)中級(jí)的ESD設(shè)備（離子中和技術(shù)）

□交流靜電消除器高級(jí)的ESD設(shè)備（離子中和技術(shù)）

□直流靜電消除器（穩(wěn)態(tài)直流）

58第58頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四ESD設(shè)備（二）交流靜電消除器

□自感應(yīng)式靜電消除器

□交流型靜電消除器△工頻高壓△高頻高壓直流靜電消除器

□穩(wěn)態(tài)直流靜電消除器

□脈沖直流靜電消除器同位素靜電消除器59第59頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四ESD設(shè)備性能比較（一）a-穩(wěn)態(tài)直流靜電消除器b-感應(yīng)式靜電消除器c-工頻高壓靜電消除器d-高頻高壓靜電消除器e-同位素靜電消除器f-脈沖直流靜電消除器60第60頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四ESD設(shè)備性能比較（二）類(lèi)型離子產(chǎn)生原理消電能力消電對(duì)象自感方式導(dǎo)電纖維低薄膜、布、粉體交流型工頻高壓較強(qiáng)造紙、印刷、電子高頻高壓低造紙、印刷、電子穩(wěn)態(tài)直流直流高壓最強(qiáng)電子加工脈沖直流正負(fù)直流脈沖電壓強(qiáng)電子加工同位素α射線(xiàn)最弱密閉空間61第61頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四防靜電接地電阻的技術(shù)要求

應(yīng)該對(duì)防靜電的一些基本要求或計(jì)算了解一些，接地電阻是一個(gè)很常見(jiàn)的題目，做工作中常遇到。要求腕帶放電速度與人體上產(chǎn)生靜電荷的速度相同，不要因?yàn)殪o電積聚形成高電位。因此要求防靜電腕帶接地電阻必須保證操作者在任何情況下（包括移動(dòng)時(shí)）人體電位都能在0.1s內(nèi)降至100V以下。通過(guò)公式Ut=U0e-t/RC計(jì)算得到結(jié)論：腕帶接地電阻應(yīng)在105~108Ω之間。為了獲得最佳靜電安全和對(duì)人體保護(hù)，腕帶接地電阻取1MΩ62第62頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四防靜電技術(shù)要求的參數(shù)計(jì)算

防靜電過(guò)程中通過(guò)人體安全電流和上限和下限電阻的計(jì)算導(dǎo)體上的靜電可以用接地的方法使靜電泄漏到大地。63第63頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四預(yù)防靜電危害的產(chǎn)品

目前，常用到的就是防靜電門(mén)禁系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：身份確認(rèn)、靜電檢測(cè)、門(mén)禁放行等過(guò)程，主要作用就是在工作人進(jìn)入工作區(qū)域前，確保防靜電和接地措施的完好。防靜電門(mén)禁檢測(cè)系統(tǒng)工作原理64第64頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

預(yù)防靜電危害的產(chǎn)品防靜電門(mén)禁檢測(cè)系統(tǒng)工作原理,就是檢測(cè)人體接地電阻的大小:

通常R＜1MΩ,1MΩR＜10MΩ(OR35MΩ)

＞10MΩ

人體放電通路檢測(cè)記錄器65第65頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

預(yù)防靜電危害的產(chǎn)品防靜電門(mén)禁檢測(cè)系統(tǒng)工作原理,就是檢測(cè)人體接地電阻的大小:

通常R＜1MΩ,1MΩR＜10MΩ(OR35MΩ)

＞10MΩ

人體放電通路檢測(cè)器66第66頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四

預(yù)防靜電危害的產(chǎn)品防靜電門(mén)禁檢測(cè)系統(tǒng)工作原理,就是檢測(cè)人體接地電阻的大小:

通常R＜1MΩ,1MΩR＜10MΩ(OR35MΩ)

＞10MΩ

ID鍵盤(pán)67第67頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四消除靜電危害的產(chǎn)品

IONIZTION

比較常用的就是靜電消除器（離子風(fēng)機(jī)）系列，在工廠的各個(gè)環(huán)節(jié)都可使用，隨時(shí)消除各個(gè)工序產(chǎn)生的靜電，特別是非導(dǎo)體的生產(chǎn)線(xiàn)和機(jī)殼，PCB等，例如在插件，貼片。波峰焊后都可能產(chǎn)生靜電，為了下到工序的正常，就要把它去掉，沒(méi)辦法接地泄放，只有通過(guò)靜電消除器（離子風(fēng)機(jī)）系列來(lái)中和它。靜電消除器（離子風(fēng)機(jī)）系統(tǒng)工作原理：就是利用高壓電離空氣分子，產(chǎn)生正負(fù)離子，通過(guò)正負(fù)離子來(lái)中和非導(dǎo)體上的靜電荷；但正負(fù)離子發(fā)生量的多寡是不一樣的，有多種方式來(lái)實(shí)現(xiàn)

68第68頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四空氣電離化將中性的空氣分子電離成帶正電或負(fù)電的離子常見(jiàn)方法

□Alpha輻射法（鈽210）

□高壓放電法

□

X射線(xiàn)法碰撞法69第69頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四高壓放電法（一）99.9%純鎢70第70頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四高壓放電法（二）交流式（AC）高壓尖端放電□離子重結(jié)合率高，故需強(qiáng)風(fēng)吹送□針尖附近產(chǎn)生EMI穩(wěn)態(tài)直流式高壓尖端放電（Steady-StateDC）□離子重結(jié)合率低□易產(chǎn)生離子團(tuán)脈沖（pulsedDC）直流高壓尖端放電□離子重結(jié)合率不高，不需強(qiáng)風(fēng)吹送□出現(xiàn)周期性偏移電位，調(diào)校不易□不易自動(dòng)平衡71第71頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四交流式高壓尖端放電需高速輸送離子HVAC極性變換：每秒100/120次

-----+++++++-----------+++++++++++++++++-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-

快速的極性改變?cè)斐烧?fù)離子易于再度結(jié)合……

72第72頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四穩(wěn)態(tài)直流式高壓尖端放電

HV+HV-HV+HV-

+-+-++++----++++----++++++++-------++++++++++--------+++++++-+-+----+-+-++++++++-+-+---------+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+-+

直流電可產(chǎn)生穩(wěn)定的正、負(fù)離子云……73第73頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四脈沖直流式高壓尖端放電

HV+HV-

++++++++++++++++++++-----------------+++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++-----------------------------------

全區(qū)布滿(mǎn)團(tuán)狀的正、負(fù)離子云……74第74頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的使用方式（一）按使用環(huán)境不同而采用不同離子風(fēng)扇使用環(huán)境可分：

□房間式離子化

□工作臺(tái)離子化

□工作區(qū)表面離子化

□特定點(diǎn)離子化75第75頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的使用方式（二）房間式離子化

□可以混合使用各種離子化系統(tǒng)

□須配合考慮天花板的高度與空氣流向工作臺(tái)離子化

□適用于控制微塵污染的工作區(qū)域

□可以混合使用各種離子化系統(tǒng)，尤其是離子風(fēng)扇工作區(qū)表面離子化

□依區(qū)域表面大小與所需風(fēng)量而決定適用離子化系統(tǒng)特定點(diǎn)離子化

□范圍較小或有限定

76第76頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的選擇（一）選擇適用的離子化系統(tǒng)，確定合適的規(guī)格，應(yīng)考慮：

□靜電問(wèn)題的本質(zhì)

□產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感度

□使用的環(huán)境

□離子化系統(tǒng)的使用特性常見(jiàn)的選擇項(xiàng)目

□電荷中和、操作、環(huán)境考慮、成本、安裝方式77第77頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的選擇（二）電荷中和

□中和時(shí)間、平衡度、產(chǎn)品敏感性、靜電的解決方法操作

□維修要求、可靠性、設(shè)備檢修、臭氧/EMI/微塵釋放安裝考量

□安規(guī)、電源分配與控制，是否須濃縮氣體、擴(kuò)展性、凈房相容性環(huán)境考量

□氣流、體積大小成本

□儀器成本、安裝成本、操作與維護(hù)成本78第78頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的選擇（三）實(shí)際上，離子風(fēng)扇應(yīng)具備的如下特點(diǎn)：

□當(dāng)正負(fù)離子不平衡超出范圍時(shí)，應(yīng)立刻自動(dòng)發(fā)出警告

□離子風(fēng)扇本身應(yīng)會(huì)自我監(jiān)測(cè)離子不平衡度

□放射針端的組成及接頭材質(zhì)應(yīng)為低污染性

□清潔和校驗(yàn)的步驟應(yīng)簡(jiǎn)易明了

□應(yīng)有配合性高且專(zhuān)業(yè)的人員為您提供教育訓(xùn)練與售后服務(wù)79第79頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的安裝一般考慮

□須符合相關(guān)安全法規(guī)，如NEC、NFPA、UL

□應(yīng)先妥善設(shè)計(jì)、不可干擾現(xiàn)行生產(chǎn)活動(dòng)空氣流量考慮

□以充分供應(yīng)所需離子為主分區(qū)及修改的彈性監(jiān)測(cè)及回收控制

□有效的監(jiān)測(cè)可以降低維修次數(shù)80第80頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的測(cè)試(一)可參考之工業(yè)標(biāo)準(zhǔn):美規(guī)ESDSTM3.1

或國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IEC15D/47/CD-1995測(cè)量離子風(fēng)扇的效能（PerformanceTesting）□靜電消除效能：離子量夠嗎？能夠平衡嗎？靜電消除時(shí)間合格嗎?△現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試△使用充電板監(jiān)視器或選適當(dāng)?shù)墓ぞ吲c方法□確認(rèn)制造過(guò)程有否改善？是否消除或減少靜電問(wèn)題？△收集并分析統(tǒng)計(jì)資料△檢查產(chǎn)品良率、粉塵數(shù)或當(dāng)機(jī)時(shí)間81第81頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的測(cè)試（二）合格與驗(yàn)收測(cè)試(Qualification&Acceptance)□建立一組測(cè)試內(nèi)容

□標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試儀器定期性的驗(yàn)證測(cè)試(Verification)□測(cè)試周期依需要而異，除排訂維修時(shí)程外也須每季、每半年或每年重新驗(yàn)證一次□離子平衡與靜電消除時(shí)間□詳細(xì)記錄測(cè)試條件、位置與結(jié)果

82第82頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的測(cè)試（三）臺(tái)式離子風(fēng)扇中和時(shí)間及離子平衡標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試法：俯視圖83第83頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的測(cè)試（四）臺(tái)式離子風(fēng)扇中和時(shí)間和離子平衡標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試法84第84頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的維護(hù)與清潔(一)須建立合適的(routine)維護(hù)規(guī)程高壓尖端放電式

□針尖須定期清潔或更換

□定期檢查離子平衡度及離子消除時(shí)間

□校驗(yàn)85第85頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四離子化系統(tǒng)的維護(hù)與清潔（二）核子式

□測(cè)試有無(wú)輻射泄露

□定期檢查離子平衡度及離子消除時(shí)間

□核料回收及更新X光式

□

X光管換新

□定期檢查離子平衡度及離子消除時(shí)間86第86頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四其他重要的考慮因素溫度、濕度、防靜電液或化學(xué)噴劑（污染）氧化/腐蝕、易燃、易爆環(huán)境安全性考慮

□避免接觸高壓針尖

□針尖須裝限流電阻

□核子及X光式離子系統(tǒng)須遵守相關(guān)安全管制規(guī)定EMI、臭氧及微塵釋放的顧慮

□OSHA規(guī)定安全臭氧量：8小時(shí)內(nèi)0.1ppm87第87頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四工作過(guò)程中防止靜電危害的產(chǎn)品

MONITOR

工作過(guò)程中，除了產(chǎn)品、生產(chǎn)線(xiàn)上的靜電外，還有工作人本身和工作臺(tái)上的靜電了，我們知道在人的動(dòng)作過(guò)程中隨時(shí)會(huì)產(chǎn)生靜電，那么怎么來(lái)保證進(jìn)門(mén)之前的防靜電措施的完好可靠呢，只有隨時(shí)監(jiān)控接地系統(tǒng)了，它能實(shí)時(shí)監(jiān)控工作人、臺(tái)面、夾具接地的完好。防靜電接地監(jiān)控系列工作原理:

通過(guò)電路來(lái)監(jiān)測(cè)人體與接地間的電阻、電容、電壓等物理量的變化，以此來(lái)判斷工作人接地是否正常？一旦出現(xiàn)變化，CPU會(huì)自動(dòng)判斷，并發(fā)出報(bào)警；同時(shí)通訊傳給計(jì)算機(jī),在終端上有所顯示88第88頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備

MONITOR

連續(xù)的接地電阻閉環(huán)監(jiān)測(cè)技術(shù)高、低阻全缺陷檢測(cè)可同時(shí)監(jiān)控二個(gè)手腕帶和二個(gè)工作臺(tái)面安裝快捷方便。

89第89頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備的分類(lèi)MONITOR

ESD腕帶監(jiān)測(cè)器ESD腳帶監(jiān)測(cè)器ConnectedDevices實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集單回路雙回路Monitoring監(jiān)測(cè)系統(tǒng)Capacitive電容式Voltage電壓式Resistive電阻式90第90頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備的分類(lèi)MONITOR

MonitorHumanBodyICapacitiveMonitor(電容式)測(cè)量通過(guò)人體到地的電流Advantages(優(yōu)點(diǎn))采用單回路,便宜Problems(問(wèn)題)

1.測(cè)量不準(zhǔn)確,腕帶套在袖子外,仍顯示對(duì)地接通2.系統(tǒng)需要校準(zhǔn),因每個(gè)使用者的電容值的差異91第91頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備的分類(lèi)MONITOR

接地線(xiàn)人體ServiceWireVoltageMonitor(電壓)采用雙回路,一路將使用者接地,另一路用于檢測(cè)使用者所帶電壓Advantages(優(yōu)點(diǎn))使用者自身電壓值超過(guò)設(shè)定值,系統(tǒng)會(huì)報(bào)警Problems如果使用者帶電值低于設(shè)定電壓,而接地線(xiàn)斷開(kāi),系統(tǒng)不報(bào)警.問(wèn)題,報(bào)警發(fā)生在接地通路斷開(kāi)后.92第92頁(yè)，共100頁(yè)，2023年，2月20日，星期四連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備的分類(lèi)MONITOR

ResistiveMonitor(電阻回路式)采用雙回路,將使用者用雙回路接地,同時(shí)連