PAGE瀧芯宇通（煙臺(tái)）集成電路項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書PAGE80山東大學(xué)第1章總論1.1評(píng)價(jià)目的與指導(dǎo)思想1.1.1評(píng)價(jià)目的摸清工程所在地的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀，通過(guò)對(duì)擬建項(xiàng)目進(jìn)行工程分析，找出工程的排污環(huán)節(jié)、確定污染物產(chǎn)生量、治理后排放量，分析治理措施的可行性，預(yù)測(cè)項(xiàng)目投產(chǎn)后對(duì)周圍環(huán)境的影響范圍和程度；論證項(xiàng)目建設(shè)是否符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策和區(qū)域發(fā)展規(guī)劃；論證廠址選擇和工程建設(shè)的環(huán)境可行性，為工程的環(huán)保設(shè)施設(shè)計(jì)、環(huán)境管理及領(lǐng)導(dǎo)部門決策提供依據(jù)。1.1.2指導(dǎo)思想本次評(píng)價(jià)的指導(dǎo)思想是根據(jù)項(xiàng)目特點(diǎn)，抓住影響環(huán)境的主要因子，有重點(diǎn)的進(jìn)行評(píng)價(jià)；評(píng)價(jià)方法力求科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)，實(shí)事求是；分析論證客觀公正；貫徹達(dá)標(biāo)排放、總量控制和清潔生產(chǎn)等環(huán)境保護(hù)政策的基本原則；提環(huán)保措施和建議時(shí)注意可行性和合理性；充分利用現(xiàn)有資料，在保證報(bào)告書質(zhì)量的前提下，盡量縮短評(píng)價(jià)周期。1.2編制依據(jù)1.2.1國(guó)家法規(guī)依據(jù)=1\*GB2⑴《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》（1989）；=2\*GB2⑵《中華人民共和國(guó)環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》（2003）；=3\*GB2⑶《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》（2000）；=4\*GB2⑷《中華人民共和國(guó)水污染防治法》（1996）；=5\*GB2⑸《中華人民共和國(guó)噪聲污染防治法》（1996）；=6\*GB2⑹《中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法》（2005）；=7\*GB2⑺《中華人民共和國(guó)水土保持法》（1991）；=8\*GB2⑻《中華人民共和國(guó)清潔生產(chǎn)促進(jìn)法》（2002）；=9\*GB2⑼國(guó)務(wù)院第253號(hào)令《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》（1999）；=10\*GB2⑽國(guó)家經(jīng)貿(mào)委國(guó)資源（2000）1015號(hào)文《關(guān)于加強(qiáng)節(jié)約工業(yè)用水的規(guī)定》；=11\*GB2⑾國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)令第40號(hào)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2005年本)》（2005）；=12\*GB2⑿國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)、商務(wù)部聯(lián)合發(fā)布第24號(hào)令《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄》（2004）；=13\*GB2⒀中華人民共和國(guó)國(guó)家發(fā)展計(jì)劃委員會(huì)、科學(xué)技術(shù)部、商務(wù)部令第26號(hào)《當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)領(lǐng)域指南》（2004.4.30）；=14\*GB2⒁山東省人大第99號(hào)公告《山東省環(huán)境保護(hù)條例》（2001）；=15\*GB2⒂《山東省地面水環(huán)境功能區(qū)劃方案》（山東省政府2000年3月以魯政字[2000]86號(hào)文批準(zhǔn)）；=16\*GB2⒃《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》（2002年）；⒄《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》（國(guó)家環(huán)?？偩?、國(guó)家經(jīng)貿(mào)委、對(duì)外貿(mào)易經(jīng)濟(jì)合作部、公安部）（1998）；⒅《關(guān)于加強(qiáng)環(huán)境影響評(píng)價(jià)管理防范環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)的通知》（環(huán)發(fā)[2005]152號(hào)）。1.2.2技術(shù)規(guī)范依據(jù)=1\*GB2⑴HJ/T2.1～2.3-93《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》；=2\*GB2⑵HJ/T2.4-1995《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則——聲環(huán)境》；=3\*GB2⑶HJ/T19-1997《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則——非污染生態(tài)影響》；=4\*GB2⑷HJ/T169-2004《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》。1.2.3項(xiàng)目依據(jù)=1\*GB2⑴國(guó)家環(huán)?？偩帧督ㄔO(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)分類管理名錄》（環(huán)發(fā)[2001]17號(hào)）；=2\*GB2⑵國(guó)家計(jì)委、國(guó)家環(huán)保局《關(guān)于規(guī)范環(huán)境影響咨詢收費(fèi)有關(guān)問(wèn)題的通知》（計(jì)價(jià)格[2002]125號(hào)文）；=3\*GB2⑶《煙臺(tái)市城市總體規(guī)劃》；=4\*GB2⑷《煙臺(tái)市福山區(qū)城市規(guī)劃》；=5\*GB2⑸《煙臺(tái)市“十五”環(huán)境保護(hù)計(jì)劃》；=6\*GB2⑹《煙臺(tái)市海洋功能區(qū)劃》；⑺《煙臺(tái)市環(huán)境功能區(qū)劃》；⑻《煙臺(tái)市福山區(qū)地下水資源開發(fā)利用規(guī)劃》；⑼《煙臺(tái)市福山區(qū)水資源保護(hù)規(guī)劃》；⑽瀧芯宇通（煙臺(tái)）集成電路有限責(zé)任公司8英寸⑾瀧芯宇通（煙臺(tái)）集成電路有限責(zé)任公司環(huán)境影響評(píng)價(jià)委托書。1.3評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)地方功能區(qū)劃和山東省環(huán)保局對(duì)該項(xiàng)目評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的批復(fù)，本次評(píng)價(jià)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)如下。1.3.1環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)具體見表1-1。表1-1環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)類別序號(hào)環(huán)境因素執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)污染因子標(biāo)準(zhǔn)限值備注環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)1地下水環(huán)境《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-93）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)砷0.05mg/L六價(jià)鉻0.05mg/L鉛0.05mg/L氟化物1.0mg/L鎘0.01mg/L錳0.1mg/L氯化物250mg/LCODMn3.0mg/L氰化物0.05mg/L硫酸鹽250mg/L總硬度450mg/L溶解性總固體1000mg/L2環(huán)境空氣《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-1996）二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)PM100.15mg/m3日均NO20.24mg/m30.12mg/m31小時(shí)平均日均SO20.50mg/m30.15mg/m31小時(shí)平均日均氟化物20μg/m37μg/m31小時(shí)平均日平均《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》TJ36-79居住區(qū)大氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度氯化氫0.50mg/m30.15mg/m3一次濃度日平均硫酸霧0.30mg/m30.10mg/m3一次濃度日平均溴化氫丙酮0.80mg/m3一次濃度氨0.20mg/m3一次濃度前蘇聯(lián)居民區(qū)大氣中有害物質(zhì)的最大允許濃度異丙醇0.60mg/m3一次濃度3聲環(huán)境《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-93）3類標(biāo)準(zhǔn)南、西、北廠界LeqA65dB(A)晝間55dB(A)夜間《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-93）4類標(biāo)準(zhǔn)東廠界LeqA70dB(A)晝間55dB(A)夜間4土壤《土壤環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB15618-1995）一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)砷15mg/kg鎘0.20mg/kg汞0.15mg/kg銅35mg/kg鉛35mg/kg鉻90mg/kg鋅100mg/kg鎳40mg/kg1.3.2污染物排放標(biāo)準(zhǔn)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)具體見表1-2。表1-2污染物排放標(biāo)準(zhǔn)類別序號(hào)環(huán)境因素執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)污染因子標(biāo)準(zhǔn)限值備注污染物排放標(biāo)準(zhǔn)1廢水《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)pH6～9SS400mg/LCODCr500mg/LBOD5300mg/L石油類20mg/L動(dòng)植物油100mg/L氟化物20mg/LNH3-N/磷酸鹽/2廢氣《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)氟化物9.0mg/m30.59kg/h30m氯化氫100mg/m31.4kg/h30m硫酸霧45mg/m38.8kg30m氮氧化物240mg/m34.4kg/h30m《工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值》（GBZ2—2002）及上海市控制標(biāo)準(zhǔn)異丙醇320mg/m33《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）氨20kg/30m《荷蘭排放導(dǎo)則》NER砷烷1.0mg/m30.01磷烷1.0mg/m30.01硅烷5.0mg/m30.05臺(tái)灣地區(qū)《半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》及上海擬頒布的半島體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)揮發(fā)性有機(jī)物VOC100mg/m3排放速率小于0.6kg排放削減率大于90%《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB13271-2001）二類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)（第Ⅱ時(shí)段）煙塵50mg/m3燃?xì)?00mg/m3燃油SO2100mg/m3燃?xì)?00mg/m3燃油NOx400mg/m3燃?xì)?、燃?噪聲《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-90）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)南、西、北廠界LeqA65dB(A)晝間55dB(A)夜間《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-90）Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)東廠界LeqA70dB(A)晝間55dB(A)夜間(1)廢水：《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。(2)廢氣：《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16279-1996）二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）（氨），《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB13271-2001）二類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于目前我國(guó)尚無(wú)排放標(biāo)準(zhǔn)的本項(xiàng)目排放的特殊污染物，參照?qǐng)?zhí)行國(guó)外的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)調(diào)研，收集國(guó)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)參照?qǐng)?zhí)行如下：①我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)《半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》對(duì)特征污染物揮發(fā)性有機(jī)物VOC的控制標(biāo)準(zhǔn)主要為排放削減率，要求大于90%。本項(xiàng)目有機(jī)廢氣VOC的排放擬參照?qǐng)?zhí)行《半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》及上海擬頒布的半島體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。②對(duì)于目前我國(guó)尚無(wú)排放標(biāo)準(zhǔn)的特殊污染物，如砷烷、磷烷、硅烷等，參照?qǐng)?zhí)行《荷蘭排放導(dǎo)則》（NER，NederlandseEmissieRichtlijnen=DutchEmissionGuidelines）。關(guān)于該導(dǎo)則需要說(shuō)明的是：NER不是類同于中國(guó)排放標(biāo)準(zhǔn)的強(qiáng)制性規(guī)章，而是政府和行業(yè)用來(lái)為每個(gè)工廠設(shè)備設(shè)置環(huán)境許可所用的指導(dǎo)方針。(3)噪聲：營(yíng)運(yùn)期執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-90）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，施工期執(zhí)行《建筑施工場(chǎng)界噪聲限值》（GB12523-90）。1.4環(huán)境影響因素識(shí)別及評(píng)價(jià)因子篩選1.4.1環(huán)境影響因素識(shí)別擬建項(xiàng)目施工建設(shè)期土建施工作業(yè)、人工作業(yè)和設(shè)備安裝作業(yè)等將會(huì)破壞廠區(qū)范圍內(nèi)的原有植被、改變土地使用功能，產(chǎn)生施工揚(yáng)塵、廢水、施工垃圾和噪聲等。項(xiàng)目生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)期間將產(chǎn)生廢氣、廢水、固廢和設(shè)備噪聲等污染，對(duì)周圍環(huán)境產(chǎn)生一定污染。根據(jù)工程分析擬建項(xiàng)目生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)期間產(chǎn)生主要大氣污染物是酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣、有機(jī)污染物燃燒廢氣，將對(duì)廠址附近的環(huán)境空氣產(chǎn)生一定影響。廠區(qū)生產(chǎn)廢水中有機(jī)污染物濃度相對(duì)較高，經(jīng)污水處理設(shè)施處理后排入城市污水管網(wǎng)。生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的固體廢物全部安全處置或回收綜合利用，無(wú)外排。廠區(qū)周圍較空曠，聲環(huán)境敏感目標(biāo)較少，對(duì)廠內(nèi)高噪聲設(shè)備采取相應(yīng)消聲、減噪措施后對(duì)聲環(huán)境的影響較小。根據(jù)以上項(xiàng)目特點(diǎn)及廠址周圍環(huán)境情況，確定擬建項(xiàng)目的環(huán)境影響要素詳見表1-3。表1-3擬建項(xiàng)目環(huán)境影響要素識(shí)別表工程階段環(huán)境空氣水環(huán)境聲環(huán)境生態(tài)環(huán)境社會(huì)環(huán)境施工期▲▲▲□□運(yùn)營(yíng)期■■▲△▲注：表中■表示影響顯著，▲表示影響一般，□表示影響輕微，△表示基本無(wú)影響。1.4.2環(huán)境影響因子識(shí)別施工期項(xiàng)目施工期間對(duì)環(huán)境的影響很大程度上取決于工程特點(diǎn)、施工季節(jié)以及工程所處的地形、地貌等環(huán)境因素。經(jīng)分析，施工期主要環(huán)境影響因素見表1-4。表1-4施工期主要環(huán)境影響因素環(huán)境要素產(chǎn)生影響的主要內(nèi)容主要影響因素環(huán)境空氣土地平整、挖掘，土石方、建材運(yùn)輸、存放、使用揚(yáng)塵施工車輛尾氣、炊事燃具使用NOx、SO2水環(huán)境施工人員生活廢水等COD、BOD、SS聲環(huán)境施工機(jī)械、車輛作業(yè)噪聲噪聲生態(tài)環(huán)境土地平整、挖掘及工程占地水土流失、植被破壞土石方、建材堆存占?jí)和恋氐仁┕て跀M建項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期將產(chǎn)生廢氣、廢水、噪聲以及固廢等污染因素，將相應(yīng)對(duì)廠址周圍的環(huán)境空氣、地表水、地下水環(huán)境及聲環(huán)境等產(chǎn)生不同程度的影響。綜上所述，擬建項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響因子識(shí)別情況詳見表1-5。表1-5擬建項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響因素識(shí)別表環(huán)境要素環(huán)境影響因素廢氣廢水噪聲固廢酸性廢氣堿性廢氣有機(jī)廢氣VOC燃燒廢氣環(huán)境空氣有影響地表水有影響地下水輕微影響聲環(huán)境有影響生態(tài)輕微影響土壤輕微影響輕微影響輕微影響1.4.3評(píng)價(jià)因子的確定根據(jù)工程分析及環(huán)境影響要素、影響因子識(shí)別，確定本次評(píng)價(jià)的評(píng)價(jià)因子詳見表1-6。表1-6擬建項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)因子一覽表項(xiàng)目專題主要污染源現(xiàn)狀評(píng)價(jià)因子預(yù)測(cè)因子環(huán)境空氣工藝廢氣SO2、NO2、PM10、氟化物、氯化氫、溴化氫、氨、硫酸霧、VOC、丙酮、異丙醇共11項(xiàng)氟化物、HCl、硫酸霧、NH3、異丙醇、VOC、氮氧化物地表水生產(chǎn)、生活污水項(xiàng)目區(qū)附近河道已干涸無(wú)水，因此未進(jìn)行現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)影響分析地下水廠區(qū)污水砷、六價(jià)鉻、鉛、氟化物、鎘、錳、氯化物、CODMn、氰化物、硫酸鹽、總硬度、溶解性總固體、異丙醇、丙酮共14項(xiàng)影響分析土壤廠區(qū)土壤砷、鎘、氟、汞、銅、鉛、鉻、鋅、鎳共9項(xiàng)--噪聲廠區(qū)生產(chǎn)設(shè)備LAeqLAeq1.5評(píng)價(jià)等級(jí)及評(píng)價(jià)重點(diǎn)1.5.1大氣環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)根據(jù)擬建項(xiàng)目主要大氣污染物的排放量，依據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則·大氣環(huán)境》的評(píng)價(jià)級(jí)別計(jì)算方法：結(jié)合評(píng)價(jià)區(qū)范圍內(nèi)的地形特點(diǎn)，確定的評(píng)價(jià)等級(jí)詳見表1-7。表1-7擬建項(xiàng)目大氣環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)確定表序號(hào)大氣污染物Qi（kg/h）Coi（mg/m3）Pi地形評(píng)價(jià)等級(jí)確定1氟化物0.070.023.5×106山丘陵區(qū)三級(jí)2氯化氫0.0330.050.66×106三級(jí)3硫酸霧0.140.300.47×106三級(jí)4NOx4.930.150.32×108三級(jí)5SO20.0160.500.032×106三級(jí)6異丙醇0.140.600.23×106三級(jí)7NH30.0860.200.43×106三級(jí)8煙塵0.670.302.23×106三級(jí)由上表可見，Pi＜2.5×108，根據(jù)項(xiàng)目性質(zhì)評(píng)價(jià)等級(jí)提高一級(jí)，因此，擬建項(xiàng)目環(huán)境空氣影響評(píng)價(jià)應(yīng)執(zhí)行二級(jí)評(píng)價(jià)。1.5.2水環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)擬建項(xiàng)目日外排廢水約114.416萬(wàn)t/a，經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理達(dá)標(biāo)后經(jīng)市政污水管網(wǎng)排入煙臺(tái)市套子灣污水處理廠，因此本次環(huán)評(píng)重點(diǎn)對(duì)本項(xiàng)目廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理達(dá)標(biāo)后再通過(guò)市政管網(wǎng)進(jìn)入煙臺(tái)市套子灣污水處理廠處理的可行性和可靠性進(jìn)行分析。項(xiàng)目廠區(qū)地面硬化、雨污分流，廢水收集系統(tǒng)和污水處理設(shè)施進(jìn)行防滲處理，外排廢水經(jīng)過(guò)管道排入煙臺(tái)市城市套子灣污水處理廠，因此地下水環(huán)境影響僅作簡(jiǎn)要分析。1.5.3聲環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)根據(jù)地方環(huán)境功能區(qū)劃，項(xiàng)目廠址所在區(qū)域適用于《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-93）中規(guī)定的3類功能區(qū)，擬建項(xiàng)目屬大型建設(shè)項(xiàng)目，項(xiàng)目建設(shè)前后噪聲的增量較小，受影響人口變化不大，因此根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則—聲環(huán)境》（HJ/T2.4-1995）的規(guī)定，確定本項(xiàng)目噪聲影響評(píng)價(jià)等級(jí)為三級(jí)評(píng)價(jià)。1.5.4環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)等級(jí)根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》，本次項(xiàng)目位于環(huán)境敏感區(qū)，原材料包含劇毒危險(xiǎn)性物質(zhì)，因此本次環(huán)評(píng)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)定為一級(jí)評(píng)價(jià)。1.6評(píng)價(jià)范圍和重點(diǎn)保護(hù)目標(biāo)根據(jù)項(xiàng)目廠址所在地的氣象、水文、地質(zhì)條件，項(xiàng)目“三廢”排放特點(diǎn)、排放量以及廠址周圍敏感目標(biāo)的分布情況，見表1-8、圖1-1。表1-8擬建項(xiàng)目評(píng)價(jià)范圍和重點(diǎn)保護(hù)目標(biāo)一覽表環(huán)境要素環(huán)境保護(hù)對(duì)象名稱方位距離（米）評(píng)價(jià)范圍環(huán)境功能環(huán)境空氣呂格莊SW1600以廠址為中心，主導(dǎo)風(fēng)向?yàn)橹鬏S，邊長(zhǎng)6km《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB3095-1996二級(jí)芝陽(yáng)山醫(yī)院N1100房家疃ENE1600前埠村居民點(diǎn)W150福山區(qū)政府N2800東留公W1300水廠地下水取水口WNW1100芝陽(yáng)小區(qū)N1400南涂山SE1700水環(huán)境大沽夾河E2600內(nèi)夾河和大沽夾河流域《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB3838-2002Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)夾河W1000地下水取水口W500廠址500m《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-93）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)聲環(huán)境前埠村W150廠界外1米《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》GB3096-933類標(biāo)準(zhǔn)第2章建設(shè)項(xiàng)目概況2.1項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容2.1.1工程概況項(xiàng)目名稱：瀧芯宇通（煙臺(tái)）集成電路有限責(zé)任公司8英寸建設(shè)性質(zhì)：新建籌建方：森邦集團(tuán)（美國(guó)）（SCHAUMBONDGroup.Inc.）建設(shè)地點(diǎn)：山東省煙臺(tái)市福山區(qū)工業(yè)用地。詳見圖2-1A、2-1B?？偼顿Y：12.6億美元。2.1.2生產(chǎn)規(guī)模和產(chǎn)品方案新購(gòu)工藝生產(chǎn)設(shè)備組建8英寸芯片加工生產(chǎn)線，形成月生產(chǎn)8英寸硅片3萬(wàn)片的能力，生產(chǎn)工藝達(dá)到0.13～0.25μm的CMOS工藝技術(shù)水平，并將同時(shí)具備為客戶代工的能力。公司生產(chǎn)方式主要采用CMOS和BiCMOS2.1.3廠區(qū)布置和項(xiàng)目組成廠區(qū)布置項(xiàng)目組成建筑物情況及主要數(shù)據(jù)指標(biāo)見表2-1，項(xiàng)目組成情況詳見表2-2。表2-1建筑物情況及主要數(shù)據(jù)指標(biāo)一覽表序號(hào)項(xiàng)目建筑面積m2指標(biāo)1辦公研發(fā)樓193942綜合樓142883八英寸芯片廠房592604綜合動(dòng)力站152995氣站11106化學(xué)品庫(kù)14267鍋爐房7078活動(dòng)室和餐廳32129倒班宿舍1503810門衛(wèi)18011總用地面積13329312總建筑占地面積4250213總建筑面積12991414容積率0.9715建筑密度32％16綠化率36％表2-2擬建項(xiàng)目組成情況一覽表序號(hào)設(shè)施名稱內(nèi)容1生產(chǎn)設(shè)施主要由8英寸芯片廠房、辦公研發(fā)樓等構(gòu)成，內(nèi)容包括：集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)施、集成電路測(cè)試設(shè)施、實(shí)驗(yàn)設(shè)施、原材料半成品及成品存放、生產(chǎn)線技術(shù)管理、生產(chǎn)線設(shè)備維修等。2動(dòng)力設(shè)施由綜合動(dòng)力站，鍋爐房、氣站等構(gòu)成，內(nèi)容包括：水泵房、純水站、廢水站、冷凍站、鍋爐房、空壓站、真空站、凈化、通風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)、消防等；變電站、柴油發(fā)電機(jī)房（備用）、大宗氣體供應(yīng)站。3輔助設(shè)施化學(xué)品庫(kù)、硅烷站（SiH4）、天然氣調(diào)壓站（NG）、特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)、大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)，空分主裝置(PL-2E)，包括：主空氣壓縮機(jī),氮?dú)鈮嚎s機(jī)。工廠空氣裝置（CDA），包括：空氣壓縮機(jī)。4環(huán)保設(shè)施工業(yè)廢水處理系統(tǒng)、生活污水處理系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)、廢液、廢渣收集系統(tǒng)、綠化、雨水回收處理系統(tǒng)。5服務(wù)設(shè)施由辦公研發(fā)樓，綜合樓、倒班宿舍、專家宿舍、活動(dòng)室及餐廳等構(gòu)成，內(nèi)容包括：辦公、會(huì)議、餐廳等用房；停車場(chǎng)6廠外設(shè)施給水管線、排水管線、天然氣管線、高壓輸電線、通信線路等。注：本項(xiàng)目新鮮水依托福山自來(lái)水公司，電依托福山電力公司，天然氣的供給依托福山燃?xì)夤荆a(chǎn)、生活污水末端處理依托煙臺(tái)市套子灣污水處理廠2.1.4項(xiàng)目主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)擬建項(xiàng)目的主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)情況詳見表2-3。表2-3擬建項(xiàng)目主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表序號(hào)項(xiàng)目名稱單位數(shù)量備注1生產(chǎn)能力萬(wàn)片/月38英寸0.13～0.25μm2所需人數(shù)人15003生產(chǎn)線主要設(shè)備儀器臺(tái)（套）365套4用地面積m21332935總建筑面積m21299146項(xiàng)目總投資萬(wàn)美元126000（1）建設(shè)投資萬(wàn)美元100000（2）流動(dòng)資金萬(wàn)美元260007正常生產(chǎn)年年銷售收入萬(wàn)美元1200008正常生產(chǎn)年所得稅后利潤(rùn)萬(wàn)美元329039所得稅前內(nèi)部收益率%28.2610所得稅后內(nèi)部收益率%24.4711稅后靜態(tài)投資回收期年5.01含建設(shè)期1.5年12稅后動(dòng)態(tài)投資回收期年6.15含建設(shè)期1.5年2.1.5定員及年時(shí)基數(shù)擬建項(xiàng)目勞動(dòng)定員1500人，其中管理人員200人，技術(shù)人員300人，操作人員800人，其他人員200人。年工作日360天，生產(chǎn)線工人實(shí)行四班二運(yùn)轉(zhuǎn)工作制，每天2班，每班12小時(shí)，2天上班2天休息；管理人員實(shí)行單班工作制。2.1.6工程投資及經(jīng)濟(jì)指標(biāo)項(xiàng)目總投資為126000萬(wàn)美元，其中注冊(cè)資本42000萬(wàn)美元，由美國(guó)森邦集團(tuán)公司全資投入，其余由境外資金、設(shè)備等中國(guó)法律允許的注資形式投入，屬于外商獨(dú)資項(xiàng)目，資金有保障；注冊(cè)資本及項(xiàng)目投資分年投入，考慮了項(xiàng)目運(yùn)作的客觀規(guī)律。第3章工程分析3.1主要原、輔材料用量及能源供應(yīng)和消耗3.1.1主要原輔材料及用量主要原輔材料消耗量見表3-1。表3-1主要原輔材料消耗量一覽表序號(hào)名稱規(guī)格單位年用量1硅片8英寸片3790002控制片8英寸片720003光刻版套1004H2O230%升4550005NH4OH29%升2450006H2SO496%升2450007HCl37%升770008HF49%升1540009HF1%升6300010氧化層刻蝕緩沖液（BOE6：1）NH4F/HF/H2升3500011HNO370%升2100012H3PO480%升2170013KOH10%升1200014異丙醇(IPA)100%升28000015剝離液（NMP）STRIPERN-methylPyrrolidone（C5H9NO）升10500016Slurry-1（SM700）10%KOH+30%H2O2+純水升7000017Slurry-2（BT900）NH4OH+純水升8750018Slurry-3（SS25）拋光稀漿原料（25%固體成分）升35000019顯影液（TMAH）四甲基氫氧化銨(CH3)4NOH升52500020邊角去除劑（EBR）丙烯乙二醇一甲胺升1550021光刻膠苯酚-甲醛聚合物（聚合物）升4250022稀釋液（OK-73）THINNER丙二醇甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯的混合物升26250023刻蝕液（EKC-270）羥氨、單乙醇胺、異丙醇胺等的混合物升660024預(yù)涂液（HMDS）六甲基乙硅烷升1320025TEOS正硅酸乙脂公斤35026CHF3升/瓶564/4727C2F升/瓶28200/4728He/N25%升/瓶94/4729H2/N24%升/瓶28200/4730SF6升/瓶5640/4731N2O升/瓶4800/4032CH4/Ar10%升/瓶188/4733O2/He20%升/瓶564/4734CO2升/瓶720/3035CF4升/瓶11280/4736CH2F升/瓶90/1537WF6升/瓶1440/2038BCl3升/瓶480/1039Kr/Ne升/瓶588/4940Kr/Ne/F21%升/瓶588/4941NH3千克/瓶240/2042HBr千克/瓶120/1043Cl2千克/瓶960/1044NH4千克791045NF3升/瓶4512/4746SiF4升/瓶141/4747PH3/He0.8%升/瓶1128/4748PH3/N20.8%升/瓶8460/4749SiH4升/瓶7896/47AsH450SiH4/He20%升/瓶94/4751C4H8升/瓶564/4752CO升/瓶3384/4753ClF3千克/瓶120/1054B2H6/N20.8%升/瓶8460/4755靶材（Al、Ti等）個(gè)2803.1.2原輔材料供應(yīng)系統(tǒng)、產(chǎn)品運(yùn)輸及儲(chǔ)存方案本項(xiàng)目原材料基本上都由空運(yùn)和海運(yùn)進(jìn)入煙臺(tái)，工廠成品采用空運(yùn)或海運(yùn)方式。該項(xiàng)目的原輔材料和成品對(duì)運(yùn)輸條件要求較高，市區(qū)內(nèi)運(yùn)輸由專業(yè)運(yùn)輸公司承擔(dān)，以專用貨車運(yùn)至廠區(qū)內(nèi)?；瘜W(xué)品及特殊氣體，視需要送至廠內(nèi)，置于專設(shè)的化學(xué)品庫(kù)（參見總圖）、fab廠房的特氣間、化配間、物料入口室處、原材料暫存間、備品備件存放間等，并做好安全衛(wèi)生防護(hù)措施。在化學(xué)品庫(kù)中大宗化學(xué)品存量為1-3天的用量，小瓶裝存量為1-2星期的用量，特殊由外國(guó)進(jìn)口的化學(xué)品存量為2-4星期的用量?；瘜W(xué)品儲(chǔ)存量參照有關(guān)規(guī)范規(guī)定的限額進(jìn)行儲(chǔ)存。特殊氣體采用鋼瓶?jī)?chǔ)存，有氣體監(jiān)測(cè)器（電化學(xué)式、半導(dǎo)體式和色帶式檢測(cè)器等），在有氣體泄露時(shí)報(bào)警。以1個(gè)月的用量為儲(chǔ)存量。儲(chǔ)存方式為鋼瓶。需要?dú)怏w監(jiān)測(cè)器（電化學(xué)式、半導(dǎo)體式和色帶式檢測(cè)器等）。3.1.3能源動(dòng)力供應(yīng)和消耗供電經(jīng)計(jì)算全廠用電負(fù)荷總裝設(shè)容量72750Kw。本工程擬建設(shè)一座110kV總變電所，從市電不同的區(qū)域變電站引來(lái)兩路獨(dú)立的電源。變電所內(nèi)安裝兩臺(tái)31.5MVA110/6.3kV有載調(diào)壓變壓器。另外設(shè)置六臺(tái)6kV、1650kW柴油發(fā)電機(jī)組作為應(yīng)急電源。供汽、供熱本項(xiàng)目工藝中所需熱源為開發(fā)區(qū)提供的熱水。另設(shè)熱水鍋爐房做為備用熱源，鍋爐房?jī)?nèi)安裝全自動(dòng)熱水鍋爐（油氣兩用，Q=5.6MW，供水溫度80℃）5臺(tái)，供應(yīng)蒸汽40t/h。天然氣與柴油天然氣設(shè)計(jì)使用量為120m3/h，由柴油由槽車運(yùn)來(lái)后，儲(chǔ)存于室外柴油儲(chǔ)罐內(nèi)，2個(gè)200m3立式地上柴油罐，室外地上擺放。經(jīng)過(guò)濾器、油泵加壓后由管網(wǎng)系統(tǒng)送鍋爐房。柴油品質(zhì)為0空壓、氮?dú)忭?xiàng)目所需壓縮空氣及氮?dú)庥蓮S給。廠區(qū)所需壓縮空氣量詳見表3-2。項(xiàng)目廠區(qū)內(nèi)使用0.65MPa高純氮?dú)?，用量?500Nm3/h。表3-2擬建項(xiàng)目廠區(qū)壓縮空氣消耗量一覽表序號(hào)壓縮空氣壓力消耗量（Nm3/h）常壓露點(diǎn)平均最大10.7MPa-5000-主要能源動(dòng)力消耗量見表3-3。表3-3主要能源動(dòng)力消耗一覽表序號(hào)項(xiàng)目名稱單位數(shù)量備注1總裝設(shè)功率kVA727502生產(chǎn)、生活用水t/a14401003純水m3/h1804工藝用冷卻水m3/h15005常溫冷卻水m3/h47506空調(diào)用冷卻水m3/h13007天然氣m3/h1208柴油9蒸汽kg/h4000010耗冷量kW863911工藝氮?dú)釴m3/h250012動(dòng)力氮?dú)釴m3/h450013工藝氫氣Nm3/h5014工藝氧氣Nm3/h8515工藝氬氣Nm3/h9016工藝氦氣Nm3/h2517工藝真空Nm3/h250018清掃真空Nm3/h1500其他動(dòng)力1、工藝真空系統(tǒng)2、清掃真空系統(tǒng)3、工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)：供水：擬建項(xiàng)目用水全部由煙臺(tái)市福山區(qū)信息產(chǎn)業(yè)區(qū)供水工程管理中心提供。具體描述：工業(yè)用水和生活用水系統(tǒng)（1）自市政引入一條供水管線(目前按DN300考慮)，接入生產(chǎn)水池，生活水箱及消防水池。市政給水壓力按0.3MPa考慮。（2）本廠生產(chǎn)及生活日用水量約為4100m3（3）廠區(qū)所有生活用水利用市政水壓直接供給。（4）生產(chǎn)水池設(shè)置在4號(hào)建筑（動(dòng)力站），儲(chǔ)水量約5000m3，其中包括576m（5）設(shè)備備用：生產(chǎn)水泵及純水原水泵均為N＋1備用方式。排水：本項(xiàng)目廠區(qū)排水體制實(shí)行雨污分流制：（1）雨水經(jīng)廠區(qū)雨水管網(wǎng)匯集后排入市政雨水管網(wǎng)；（2）生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)廢水處理站處理，生活污水經(jīng)化糞池、隔油池處理后，分別由擬建項(xiàng)目生產(chǎn)廢水總排口、生活污水總排口排入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)市政污水管網(wǎng)排入套子灣污水處理廠，處理后深海排放。生活污水、生產(chǎn)廢水在生產(chǎn)廢水總排口和生活污水總排口按《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）的三級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。3.1.4水量平衡本項(xiàng)目用水主要分為生產(chǎn)用水和生活用水。本項(xiàng)目用水量分布見圖3-1。自來(lái)水自來(lái)水超純水系統(tǒng)生活用水初純水系統(tǒng)酸堿廢水含氟廢水含氨廢水處理系統(tǒng)處理系統(tǒng)處理系統(tǒng)純水回收系統(tǒng)熱水鍋爐工藝?yán)鋮s水空調(diào)循環(huán)水冷卻塔排放3301（3316）3066（3086）4951503784596192036442964000（4020）（20）322（15）隔油池、化糞池123廢氣洗滌塔工藝用水研磨廢水處理系統(tǒng)有機(jī)廢水中和處理系統(tǒng)濃水常溫冷卻水系統(tǒng)1080120120120360495227237204554損耗520損耗27損耗15損耗（5）67200循環(huán)1140001920411損耗56108214108576621綠化用水蒸發(fā)、滲透9696（15）621生產(chǎn)廢水3178（3193）圖3-1擬建項(xiàng)目全廠用水平衡圖（m3/d）注：熱水鍋爐為備用鍋爐，括號(hào)內(nèi)數(shù)字為鍋爐運(yùn)行時(shí)用水量（下同），熱水鍋爐年運(yùn)行5天。3.1.5物料平衡為了了解主要原輔材料中的有毒有害物質(zhì)的情況，本次環(huán)評(píng)對(duì)其中具有代表性的物料（用量較大或者毒性較大的物料），如氟、氨、異丙醇進(jìn)行物料平衡分析。氟平衡本項(xiàng)目氟平衡見圖3-2。氨平衡氨的平衡圖見圖3-3。異丙醇平衡IPA異丙醇平衡圖見圖3-4。折合純氟：折合純氟：85643.5消耗2141.1進(jìn)入廢水51386.1進(jìn)入廢氣6423.3廢氣排放642.3廢氣處理5781.0廢水處理57167.1廢水處理污泥54880.4廢水排放2286.7HFNH4FCHF3C2F6SF6CF4WF6CH2F29118279101.69166.1835.2538.2718.770.2013.70120廢液回收25693.0圖3-圖3-2氟平衡圖（單位：kg/a）折合純氨折合純氨：49322消耗2466進(jìn)入廢水39458進(jìn)入廢氣7398廢氣排放740廢氣處理6658廢水處理46116生化處理43810廢水排放2306NH4OHNH4FNH877477910240圖3-3圖3-3氨平衡圖（單位：kg/a）異丙醇IPA異丙醇IPA219828清洗進(jìn)入廢水8793進(jìn)入有機(jī)廢氣24181廢水排放8793廢氣排放1099廢液外委處理186854有機(jī)廢氣處理24181進(jìn)入有機(jī)廢液186854沸石濃縮轉(zhuǎn)輪23082燃燒圖3-圖3-4異丙醇平衡圖（單位：kg/a）3.2工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)3.2.1工藝流程一般地，集成電路芯片制造生產(chǎn)工藝包括硅片清洗、熱氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積(CVD)、光刻、去膠、離子注入、刻蝕、金屬化、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)等，這些工序反復(fù)交叉，包括檢測(cè)和測(cè)試在內(nèi)實(shí)際達(dá)到300左右的工藝步數(shù)。并且生產(chǎn)過(guò)程中使用多種化學(xué)試劑、特殊氣體和配套動(dòng)力。集成電路芯片生產(chǎn)的工藝流程如圖3-5所示。清洗清洗氧化硅片離子注入光刻圖3-5芯片生產(chǎn)工藝流程圖(簡(jiǎn)化)CVD沉積CMP拋光入庫(kù)檢測(cè)去膠濕法刻蝕背面減薄濺射干法刻蝕干法刻蝕現(xiàn)將集成電路芯片加工的主要生產(chǎn)工藝的內(nèi)容介紹如下：清洗集成電路芯片生產(chǎn)的清洗包括硅片的清洗和工器具的清洗。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)污染要求非常嚴(yán)格，清洗工藝需要消耗大量的高純水；且通過(guò)特殊過(guò)濾和純化的半導(dǎo)體級(jí)化學(xué)試劑、有機(jī)溶劑等被廣泛使用。硅片清洗是完全清除半導(dǎo)體硅片表面的塵埃顆粒、有機(jī)物殘留薄膜和吸附在表面的金屬離子。在硅片的加工工藝中，硅片先按各自的要求放入各種藥液槽進(jìn)行表面化學(xué)處理，再送入清洗槽，將其表面粘附的藥液清洗干凈后進(jìn)入下一道工序。最主要的清洗方式是將硅片沉浸在液體槽內(nèi)或使用液體噴霧清洗，同時(shí)為有更好的清洗效果，通常使用超聲波激勵(lì)，在一些特定的情況下，高溫蒸汽腐蝕和低溫噴濺腐蝕也被采用。由于使用有機(jī)溶劑清洗帶來(lái)的溶劑殘留，一般在有機(jī)溶劑清洗后立即采用無(wú)機(jī)酸將其氧化去除，最后用純水沖洗，如圖3-6所示。廢藥液廢藥液清洗排水1清洗排水3清洗排水2藥液超純水超純水超純水藥液槽清洗槽圖3-6硅片清洗工藝示意圖廢液收集系統(tǒng)清洗水回收系統(tǒng)廢水處理系統(tǒng)芯片移動(dòng)工具的清洗基本采用硅片清洗同樣的方法。熱氧化熱氧化是在800～1250℃高溫的氧氣氣氛和惰性攜帶氣體（N2）下使硅片表面的硅氧化生成二氧化硅膜的過(guò)程，產(chǎn)生的二氧化硅用以作為擴(kuò)散、離子注入的阻擋層，或介質(zhì)隔離層。典型的熱氧化化學(xué)反應(yīng)為：Si+O2→SiO光刻光刻包括涂膠、曝光、顯影。涂膠是在硅片表面通過(guò)硅片高速旋轉(zhuǎn)均勻涂上光刻膠的過(guò)程；曝光是使用光刻機(jī)，并透過(guò)光掩膜版對(duì)涂膠的硅片進(jìn)行光照，使部分光刻膠得到光照，另外部分光刻膠得不到光照，從而改變光刻膠性質(zhì)；顯影是對(duì)曝光后的光刻膠進(jìn)行去除，由于光照后的光刻膠和未被光照的光刻膠將分別溶于顯影液和不溶于顯影液，這樣就使光刻膠上形成了溝槽?；磕z后基片片顯影后基片曝光后基片光刻膠濕法腐蝕和等離子刻蝕通過(guò)光刻顯影后，光刻膠下面的材料要被選擇性地去除，使用的方法就是濕法腐蝕或干法刻蝕。濕法腐蝕或干法刻蝕后，要去除上面的光刻膠。濕法腐蝕是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)的方法對(duì)基材腐蝕的過(guò)程，對(duì)不同的去除物質(zhì)使用不同的材料。對(duì)不同的對(duì)象，典型使用的腐蝕材料為：腐蝕硅(Si)——使用氫氟酸加硝酸（HF+HNO3）腐蝕二氧化硅(SiO2)——使用氫氟酸（HF）腐蝕氮化硅(Si3N4)——使用熱磷酸（熱H3PO4）干法刻蝕是在等離子氣氛中選擇性腐蝕基材的過(guò)程，刻蝕氣氛通常含有F等離子體或碳等離子體，因此刻蝕氣體通常使用CF4這一類的氣體。擴(kuò)散擴(kuò)散是在硅表面摻入純雜質(zhì)原子的過(guò)程。通常是使用乙硼烷（B2H6）作為N-源和磷烷（PH3）作為P+源。工藝生產(chǎn)過(guò)程中通常分為沉積源和驅(qū)趕兩步，典型的化學(xué)反應(yīng)為：2PH3→2P+3H2摻雜區(qū)摻雜區(qū)P/N-Si片P/N-Si片阻擋層離子注入離子注入也是一種給硅片摻雜的過(guò)程。它的基本原理是把摻雜物質(zhì)（原子）離子化后，在數(shù)千到數(shù)百萬(wàn)伏特電壓的電場(chǎng)下得到加速，以較高的能量注入到硅片表面或其它薄膜中。經(jīng)高溫退火后，注入離子活化，起施主或受主的作用。化學(xué)氣相沉積（CVD）化學(xué)氣相沉積是在一定的溫度條件下，依靠反應(yīng)氣體與芯片表面處的濃度差，以擴(kuò)散方式，被芯片表面吸收，并沉積出薄膜。在反應(yīng)器中，反應(yīng)氣體（SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H4、AsH3）和攜帶氣體（H2、O2、Ar、N2O、NH3等）不斷流過(guò)反應(yīng)室而產(chǎn)生氣態(tài)副產(chǎn)物，連同未反應(yīng)的氣體一起排出。CVD被使用來(lái)在硅片上沉積氧化硅、氮化硅和多晶硅等半導(dǎo)體器件材料，是在300-900℃400400～450SiH4+O2→SiO2+2H2O生長(zhǎng)過(guò)程中摻磷時(shí)加磷烷的反應(yīng)為：4PH3+5O2→2P2O5+6H2SiH2Cl2+2N2O→SiO2+2N2+2HCl化學(xué)氣相沉積根據(jù)CVD反應(yīng)的氣氛和氣壓可分為低壓CVD（LPCVD）、常壓CVD（APCVD）和離子增強(qiáng)CVD（PECVD）等?；瘜W(xué)機(jī)械拋光（CMP）CMP是類似機(jī)械拋光的一種拋光方式，一般用于具有三層或更多層金屬的集成電路芯片制造生產(chǎn)。在已形成圖案的芯片上進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光，使之形成整體平面，以減輕多層結(jié)構(gòu)造成的嚴(yán)重不平的表面形態(tài)，滿足光刻時(shí)對(duì)焦深的要求。金屬化金屬化是在芯片表面上制成金屬或合金的導(dǎo)體。在硅基片上沉積金屬以作為電路的內(nèi)引線的方法有蒸發(fā)、濺射、CVD等。本項(xiàng)目采用的是濺射工藝。鋁是常用的金屬沉積材料，其它的材料包括金、鈦、鉬、鎢、鈦鎢合金、鈀、銅。0后加工后加工包括對(duì)集成電路硅片的金屬層熱處理，電性測(cè)試和晶背研磨。3.2.2產(chǎn)污環(huán)節(jié)本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中主要污染源的分布情況見圖3-7。本項(xiàng)目主要污染源在總平面布置圖上的位置見圖3-8。清洗清洗氧化光刻濕法刻蝕去膠離子注入干法刻蝕CVD沉積CMP拋光濺射背面減薄檢測(cè)入庫(kù)G1、G2、G3W1、W2、W3、W5S1、S2、S3G4G1、G2、G3W1、W5S3、S4G1、G2、G3、W1、W2S3G3、S5G4G3、G4G4G1、G2、W4W4S6注：G1酸性廢氣；G2堿性廢氣；G3有機(jī)廢氣；G4特殊氣體廢氣；W1酸堿廢水；W2含氟廢水；W3含氨廢水；W4研磨廢水；W5有機(jī)廢水；S1磷酸廢液；S2硫酸廢液；S3有機(jī)廢液（IPA）；S4有機(jī)廢液（廢光刻膠、廢顯影液）；S5其他有機(jī)廢液；S6廢硅片圖3-7污染源分布示意圖3.3污染物排放及其治理措施3.3.1工程施工期施工期間的主要污染有揚(yáng)塵和噪聲。揚(yáng)塵主要由建筑工地施工和運(yùn)輸車輛運(yùn)行引起；噪聲主要是機(jī)械的施工噪聲及車輛運(yùn)行的交通噪聲。車輛和施工機(jī)械的尾氣含CH、NO2、CO等會(huì)造成大氣污染。施工過(guò)程產(chǎn)生的各種噪聲應(yīng)遵守國(guó)家規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)。施工期的無(wú)組織揚(yáng)塵應(yīng)注意控制，如道路應(yīng)及時(shí)灑掃，建筑棄土棄石應(yīng)及時(shí)清運(yùn)，堆存場(chǎng)所應(yīng)灑水抑塵，運(yùn)輸車輛應(yīng)蓬蓋等。3.3.2工程營(yíng)運(yùn)期廢水?dāng)M建工程排放的廢水主要包括生產(chǎn)廢水和生活污水兩大類。（一）、生產(chǎn)廢水本項(xiàng)目產(chǎn)生的生產(chǎn)廢水主要包括酸堿廢水、含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水、有機(jī)廢水、廢氣洗滌塔排水、純水制備廢水、工藝設(shè)備冷卻水和冷卻塔循環(huán)水排水等，排放量3178t/d，鍋爐運(yùn)行時(shí)排放量為3193t/d。1.酸堿廢水（1）工藝酸堿廢水排放方式為連續(xù)排放，排放量為1080t/d。工藝酸堿廢水主要來(lái)自芯片加工過(guò)程中使用硫酸、磷酸、鹽酸等超純?cè)噭┮约俺兯畬?duì)生產(chǎn)硅片進(jìn)行清洗的過(guò)程，包括對(duì)生產(chǎn)工具、器具、石英制品的清洗等。（2）純水站酸堿再生廢水排放方式：連續(xù)排放，排放量為150t/d。主要為離子交換再生酸堿廢水，廢水中主要污染物為酸、堿，與上述工藝酸堿廢水一并處理后，擬匯入中和處理系統(tǒng)處理后由公司廢水總排口排放。酸堿廢水簡(jiǎn)化處理流程如下：酸堿廢水酸堿廢水合格排放酸堿廢水收集罐一級(jí)中和槽二級(jí)中和槽三級(jí)中和槽不合格最終pH調(diào)節(jié)槽2.含氟廢水排放形式：連續(xù)排放，排放量574t/d。2.含氟廢水排放形式：連續(xù)排放，排放量574t/d。含氟廢水采用化學(xué)沉淀法進(jìn)行處理。含氟廢水處理流程如下：洗滌塔廢水濃HF廢液濃HF廢液洗滌塔廢水濃HF廢液濃HF廢液Ca（OH）2、H2SO4混凝劑CaCl2混凝劑CaCl2預(yù)處理一級(jí)反應(yīng)槽儲(chǔ)槽收集槽預(yù)處理一級(jí)反應(yīng)槽儲(chǔ)槽收集槽含氟廢水Ca（Ca（OH）2、H2SO4事故水箱絮凝劑混凝劑CaCl2事故水箱絮凝劑混凝劑CaCl2一級(jí)澄清槽三級(jí)反應(yīng)槽處理后水箱二級(jí)澄清槽二級(jí)反應(yīng)槽一級(jí)澄清槽三級(jí)反應(yīng)槽處理后水箱二級(jí)澄清槽二級(jí)反應(yīng)槽NaOH、HNaOH、H2SO4、NaHSO3、混凝劑最終PH值調(diào)節(jié)槽污泥槽板框壓濾機(jī)污泥槽板框壓濾機(jī)排放外運(yùn)排放外運(yùn)在采用氟化鈣絮凝沉淀法處理含氟廢水的同時(shí)，亦可去除廢水中大部分磷。3.含氨廢水：排放量為228t/d，排放方式為連續(xù)排放。本項(xiàng)目在生產(chǎn)上使用氟化銨和氨水，產(chǎn)生的含氨廢水屬高濃度的含氨廢水。擬采用吹脫＋硝化脫氮方式處理，處理后出水溢流至最終pH調(diào)節(jié)槽，與上述工藝酸堿廢水一并中和處理后排放。含氨廢水處理流程如下：含氨廢水熱交換含氨廢水熱交換吹脫(NH4)2SO4污泥處理系統(tǒng)活性炭過(guò)濾器NaOHH2SO4洗滌塔廢水硝化槽脫氮槽曝氣槽澄清槽最終pH調(diào)節(jié)槽NaOHH2SO4外運(yùn)4.研磨廢水排放方式：連續(xù)排放，排放量120t/d。分為背晶研磨廢水、金屬研磨廢水等，主要污染物為懸浮物，采用絮凝沉淀法進(jìn)行處理。5.有機(jī)廢水排放方式：連續(xù)排放，排放量120t/d。根據(jù)生產(chǎn)廢水中有機(jī)物的含量分析，采用生化法處理。廢水經(jīng)過(guò)pH調(diào)節(jié)，生物接觸氧化，澄清沉淀后排放，部分污泥回流，其余污泥經(jīng)濃縮、脫水后外運(yùn)。由專門公司統(tǒng)一處理。6.純水站濃縮廢水和超濾濃縮廢水排放方式：連續(xù)排放，排放量1071t/d。本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝中用到大量純水和超純水，純水站的濃縮廢水主要含原自來(lái)水中的離子（鹽類），每天濃縮廢水量為495t/d。這部分廢水基本不含污染物，直接排出。在制取超純水時(shí)，將產(chǎn)生超濾濃縮廢水，是未通過(guò)超濾膜的廢水，是優(yōu)質(zhì)排水，每天超濃縮廢水量為576t/d。這部分廢水不排出，而是供冷卻塔用水。7.廢氣洗滌塔排水排放方式：間歇排放，排放量322t/d。芯片加工過(guò)程中排放的HF、HCl、硫酸霧、NH3等酸堿廢氣，工程上設(shè)置有堿（酸）液噴淋吸收塔吸收處理，排放的廢水為吸收塔中多次循環(huán)使用的吸收廢液。其中，堿性洗滌塔廢水108t/d，匯入含氨廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理；酸性洗滌塔廢水214t/d，匯入含氟廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。8.工藝設(shè)備冷卻水、空調(diào)循環(huán)水排放方式：連續(xù)排放，排放量為45t/d。工藝設(shè)備冷卻水及空調(diào)循環(huán)水排放量45t/d。工藝設(shè)備冷卻水使用RO純水，采用管道密閉循環(huán)，由于工藝設(shè)備對(duì)循環(huán)水質(zhì)量要求較高，因此循環(huán)水需少量外排，并且補(bǔ)充部分新鮮RO水，以維持一定的水質(zhì)指標(biāo)，這部分廢水不直接排出，進(jìn)入冷卻塔供其使用。9.冷卻塔排水排放方式：連續(xù)排放，排放量為411t/d。冷卻塔中循環(huán)水經(jīng)反復(fù)多次使用后，鹽分增高，需要定期外排。排水中主要成份為原自來(lái)水中濃縮的鹽類、SS，無(wú)需處理，直接經(jīng)廠區(qū)生產(chǎn)廢水總排口排放。10.熱水鍋爐排水熱水鍋爐全年運(yùn)行5天，在運(yùn)行期間排水15t/d，廢水基本不含污染物，直接排出。生產(chǎn)廢水處理工藝流程詳見圖3-9。（二）生活污水生活污水主要有廠區(qū)職工日常清洗用水、衛(wèi)生間污水、餐廳廢水以及潔凈服清洗水等，排放量123t/d。衛(wèi)生間糞便污水?dāng)M采用化糞池預(yù)處理，餐廳污水?dāng)M設(shè)置隔油池作撇油處理后由公司生活污水總排口排放。（三）污染物排放情況各類廢水處理設(shè)施中主要污染物處理前后的排放量和濃度見表3-4。表3-4廢水中主要污染物處理情況統(tǒng)計(jì)廢水處理系統(tǒng)廢水處理量t/d主要污染物處理前處理后處理效率(%)產(chǎn)生量kg/d濃度mg/L排放量kg/d排放濃度mg/L含氨廢水處理系統(tǒng)（包括含氨廢水、廢氣洗滌塔廢水）228NH3-N128.1561.86.428.195含氟廢水處理系統(tǒng)（包括含氫氟酸、磷酸廢水、廢氣洗滌塔廢水）574pH*1～66～9－F-158.8276.76.411.196磷酸鹽（以P計(jì)）21.189CODCr84.9147.949.285.842TOC42.574.025.544.440SS60.3105.030.252.550研磨廢水處理系統(tǒng)120pH*7～126～9/SS48.2402.02.924.194有機(jī)廢水處理系統(tǒng)120pH*5～66～9CODCr44.8373.36.756.085TOC22.4186.74.4837.380SS7.68640.776.490最終pH調(diào)節(jié)（包括含氟廢水、含氨廢水、研磨廢水、酸堿廢水和純水站離子交換再生酸堿廢水）2272pH*1.5～106～9F-2.8－NH3-N2.8－磷酸鹽（以P計(jì)）1.010.441.010.44－CODCr379.5167.0379.5167.0－TOC189.883.5189.883.5SS105.946.6105.946.6－生活污水123pH*6.5～9.06.5～9.0－CODCr43.135031.025228BOD525.821018.6151.228TOC17.9145.513.8112.023SS27.122020.1162.826NH3-N20.718*——pH無(wú)單位。上述經(jīng)過(guò)處理后的各類生產(chǎn)廢水匯合后經(jīng)擬建項(xiàng)目生產(chǎn)廢水總排口，生活污水經(jīng)擬建項(xiàng)目生活污水總排口進(jìn)入開發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)進(jìn)行二次處理。生產(chǎn)廢水總排口各類污染物排放指標(biāo)統(tǒng)計(jì)見表3-5。表3-5生產(chǎn)廢水總排口污染物排放情況廢水排放量(萬(wàn)t/a)名稱污染物名稱氟化物(以F計(jì))NH3-N磷酸鹽(以P計(jì))CODCrTOCSSpH114.416排放濃度(mg/L)2.0（2.0）2.0（2.0）0.32（0.32）119.4（118.9）59.7（59.4）33.3（33.2）6～9年排放量(kg/a)23042304363.61366206832838124—排放標(biāo)準(zhǔn)(mg/L)20——500—4006～9達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)注：1.pH無(wú)單位；括號(hào)內(nèi)數(shù)字為鍋爐運(yùn)行時(shí)排放濃度。2.排放標(biāo)準(zhǔn)為《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。生活污水總排口各類污染物排放指標(biāo)統(tǒng)計(jì)見表3-6。表3-6生活污水總排口污染物排放情況廢水排放量(萬(wàn)t/a)名稱污染物名稱NH3-NTOCCODCrSSPH4.428排放濃度(mg/L)20.7112.0252162.86.5～9年排放量(kg/a)9004968111607236—排放標(biāo)準(zhǔn)(mg/L)——5004006～9達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)注：1.pH無(wú)單位；2.排放標(biāo)準(zhǔn)為《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。從表3-5、表3-6中可見，擬建項(xiàng)目排放的生產(chǎn)廢水經(jīng)處理后均能達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求。廢氣（一）工藝廢氣①一般廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)該系統(tǒng)排放一般的廢氣和高溫排風(fēng)，不需經(jīng)處理而直接排放?？偱棚L(fēng)量為540000m3②酸性廢氣酸性廢氣量430000m3/h，主要來(lái)源于工藝流程中使用各種酸液對(duì)芯片的腐蝕、清洗過(guò)程，主要污染物為氟化物、硫酸霧、HCl等。酸性廢氣采用廢氣洗滌塔進(jìn)行處理，該裝置對(duì)污染物的吸收效率為90③堿性廢氣.堿性廢氣76000m3/h，主要來(lái)源于清洗、顯影、去膠、濕法刻蝕、CMP等工序產(chǎn)生的工藝排氣，主要污染物為NH3。堿性廢氣采用廢氣④有機(jī)溶劑廢氣有機(jī)廢氣94000m3/h，主要是來(lái)自于光刻區(qū)、擴(kuò)散區(qū)的及清洗用之異丙醇等有機(jī)溶劑廢氣；以及涂膠、去膠、濕法刻蝕工序剝離、光刻區(qū)、擴(kuò)散區(qū)的光阻劑及清洗用有機(jī)廢氣經(jīng)由特殊的沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將有機(jī)溶劑廢氣濃縮后通入天然氣燃燒處理，該裝置處理效率為90～95%左右。主要污染物指標(biāo)均能達(dá)到相應(yīng)排放標(biāo)準(zhǔn)要求。表3-7工藝廢氣主要污染物處理及排放情況表廢氣種類排放參數(shù)污染物名稱處理前處理后處理效率評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)達(dá)標(biāo)情況排氣筒數(shù)量高度(m)排氣總量(m3/h)排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)酸性廢氣430430000氟化物0.741.720.070.1790%0.599.0達(dá)標(biāo)HCl0.330.770.0330.07790%1.4100達(dá)標(biāo)硫酸霧1.3190%8.845達(dá)標(biāo)NOX0.110.260.0110.02690%4.4240達(dá)標(biāo)堿性廢氣13076000NH30.8611.30.0861.1390%20/達(dá)標(biāo)有機(jī)廢氣13094000異丙醇2.80995%/320/TVOC9.095.70.909.690%//注：1.除氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB14554-93外，其余均執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297--1996）中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(第二時(shí)段)。2.氮氧化物以NO2計(jì)，氟化物以F計(jì).在我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)目前執(zhí)行的是《半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》對(duì)特征污染物揮發(fā)性有機(jī)物VOC的控制標(biāo)準(zhǔn)為排放削減率（要求大于90%）或排放速率（要求低于0.6kg/h）。而目前我國(guó)國(guó)內(nèi)尚未完成相應(yīng)的控制標(biāo)準(zhǔn)制訂工作。根據(jù)國(guó)內(nèi)外同類生產(chǎn)企業(yè)的運(yùn)行、測(cè)試經(jīng)驗(yàn)，本項(xiàng)目采取的特殊的沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將有機(jī)溶劑廢氣濃縮后通入天然氣燃燒處理，效果完全能達(dá)到90%以上，能滿足臺(tái)灣地區(qū)《半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》的要求。=5\*GB3⑤天然氣燃燒廢氣生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)溶劑廢氣（VOC），使用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將有機(jī)溶劑廢氣濃縮后燃燒處理，以及區(qū)域性除害裝置在處理特殊氣體時(shí),所需燃料為天然氣。使用的天然氣約120m3/h，年總用量為100.8萬(wàn)m3/a（一年按350天，一天按24小時(shí)計(jì)），煙氣排放量為1058.4萬(wàn)m3/a，污染物排放量為：NOx1.77t/a、SO20.0058t/a、煙塵=6\*GB3⑥特殊氣體廢氣在生產(chǎn)過(guò)程中使用的硅烷、磷烷等特殊性氣體自設(shè)備排出后先經(jīng)專用的區(qū)域除害裝置進(jìn)行處理，然后再進(jìn)入酸性廢氣處理系統(tǒng)，通過(guò)中央濕式洗滌塔處理后，洗滌后的廢氣由防腐離心風(fēng)機(jī)經(jīng)置于屋頂?shù)呐艢馔玻ǜ叨龋?0區(qū)域性廢氣處理系統(tǒng)主要采用吸附、燃燒、水洗和熱氧化4種處理方式，分別處理不同性質(zhì)的廢氣污染物。在設(shè)備尾端對(duì)制程尾氣（如SiH4,AsH3,PH3,H2,C4F6等）直接處理，以降低廢氣輸送過(guò)程中的風(fēng)險(xiǎn)，經(jīng)處理后廢氣通過(guò)輸送管道進(jìn)入中央處理系統(tǒng)再次進(jìn)行酸堿洗滌處理，處理效率為85%左右工程特殊廢氣處理措施見表3-8。表3-8特殊廢氣處理措施廢氣處理設(shè)備原理廢氣來(lái)源廢氣種類排氣類型備注區(qū)域性廢氣處理系統(tǒng)電熱水洗式BOCE-HOX通過(guò)電加熱（750度）使廢氣氧化產(chǎn)生固體廢物和可溶于水的氣體，再由三級(jí)水洗系統(tǒng)吸收溶于水的氣體并排走固體廢物爐管蝕刻CO、HCl、HF、HBr、SiCl4、SiF4、ClF3、、PFC酸性排氣廢水進(jìn)入工業(yè)廢水處理系統(tǒng)處理填充水洗式BOC-Tempest逆流水淋洗廢氣吸收易溶于水氣體蝕刻、清洗HCl、HBr酸性排氣廢水進(jìn)入工業(yè)廢水處理系統(tǒng)處理燃燒式BOCE-TCS/TPU通入燃?xì)猓–H4,C3H8等）高溫燃燒（700-1100度）處理廢氣，產(chǎn)生固體廢物和可溶于水的氣體，再由三級(jí)水洗系統(tǒng)吸收溶于水的氣體并排走固體廢物化學(xué)氣相沉淀,物理氣相沉淀,爐管PFC，H2、SiF4，PH3，AsH3酸性排氣廢水進(jìn)入工業(yè)廢水處理系統(tǒng)處理干式吸附式BOCE-GRC使用吸附劑（金屬酶和鈣鹽），通過(guò)物理或化學(xué)吸附法處理各類有害氣體。離子植入AsH3,PH3,B2H6酸性排氣吸附材料由指定廠商定期更換、再生（二）鍋爐煙氣本項(xiàng)目工藝中所需熱源為開發(fā)區(qū)提供的熱水。項(xiàng)目用蒸汽量為40t/h，另設(shè)熱水鍋爐房做為備用熱源，有5臺(tái)5600KW熱水鍋爐。根據(jù)園區(qū)市政情況，熱水鍋爐將使用燃料輕質(zhì)柴油（0＃、10＃），5臺(tái)鍋爐年運(yùn)行5天，柴油用量為1320L/h，煙氣排放情況見表3-15。從表中可見，使用燃料輕質(zhì)柴油時(shí)，鍋爐煙氣排放能達(dá)到GB13271-2001表3-9熱水鍋爐煙氣排放情況統(tǒng)計(jì)排放參數(shù)污染物名稱排放速率(kg/h)排放濃度(mg/m3)評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)(mg/m3)達(dá)標(biāo)情況排氣筒數(shù)量高度(m)煙氣溫度℃排氣總量(Nm3/h)11520024006氮氧化物3.6148400達(dá)標(biāo)二氧化硫1.1179500達(dá)標(biāo)煙塵0.113100達(dá)標(biāo)（三）無(wú)組織排放無(wú)組織排放是指排氣筒高度小于15（1）氣體及化學(xué)品的儲(chǔ)存過(guò)程本項(xiàng)目特殊氣體和化學(xué)品根據(jù)生產(chǎn)需要由供應(yīng)商負(fù)責(zé)儲(chǔ)存、運(yùn)輸、供貨。特殊氣體采用鋼質(zhì)高壓容器，工藝中使用的化學(xué)品，全部采用不銹鋼、不銹鋼聚已烯內(nèi)膽、錳鋼等鋼質(zhì)瓶、罐密封后用車運(yùn)的方式運(yùn)輸入廠，然后根據(jù)其不同的用途和性質(zhì)分別儲(chǔ)存在化學(xué)品庫(kù)內(nèi)。儲(chǔ)罐采用密封，在儲(chǔ)存過(guò)程中不存在損耗，基本沒(méi)有污染物的無(wú)組織排放。（2）氣體及化學(xué)品的使用過(guò)程本項(xiàng)目大宗氣體（氮?dú)?、氧氣、氫氣）由專業(yè)氣體公司在項(xiàng)目建設(shè)地內(nèi)建設(shè)氣體工廠，根據(jù)使用量現(xiàn)場(chǎng)制備并通過(guò)管道直接輸送至生產(chǎn)車間。特殊氣體和化學(xué)品在使用前分別轉(zhuǎn)運(yùn)至特氣、藥品自動(dòng)供給室，在開罐使用時(shí)不可避免會(huì)有少量逸出，由于特氣及藥品配送站設(shè)計(jì)位于密閉的潔凈廠房?jī)?nèi)，設(shè)置有緊急排氣系統(tǒng)，廢氣將通過(guò)30m高度的排氣筒有組織排放。特氣及化學(xué)品在輸送至生產(chǎn)工序時(shí)管道采用雙層套管，避免了物料的跑、冒、滴、漏，對(duì)于產(chǎn)生的廢液也作了儲(chǔ)存處理。本項(xiàng)目生產(chǎn)車間大部分為超潔凈室，全封閉式操作，易揮發(fā)有機(jī)、無(wú)機(jī)廢氣分別抽取到4類廢氣凈化系統(tǒng)中進(jìn)行處理，再通過(guò)30m高度的（3）化學(xué)品運(yùn)輸過(guò)程中的極微量泄漏管道輸送液體的過(guò)程中，在管道接口處有極微量液體泄漏。根據(jù)類比數(shù)據(jù)，化學(xué)材料在運(yùn)輸過(guò)程中，在罐裝、管道等接口處可能的極微量泄漏約為總量的0.05%。本評(píng)價(jià)考慮的是使用量較大的氟化氫、氨，年使用量分別按91182kg/a、87747kg/a計(jì)，泄漏量按最壞情況來(lái)考慮，為總量的0.8%計(jì)，可得到氟化氫、氨的極微量無(wú)組織排放約為0.084kg噪聲本項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備位于潔凈廠房?jī)?nèi)，聲級(jí)較小。產(chǎn)噪設(shè)備主要為冷凍機(jī)組、空壓機(jī)、真空泵、風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備。本項(xiàng)目的主要?jiǎng)恿υO(shè)備情況見表3-10。通過(guò)選用低噪聲設(shè)備，布置于廠房?jī)?nèi)，并采取了隔聲、吸聲、減振等有效的降噪措施，可大大降低了其噪聲影響。表3-10擬建工程主要噪聲污染源一覽表序號(hào)噪聲源名稱數(shù)量(臺(tái))數(shù)量(臺(tái))來(lái)源源強(qiáng)(dBA)備注治理前治理后1通風(fēng)機(jī)5酸性廢氣處理系統(tǒng)（包括特殊性廢氣）≤95752通風(fēng)機(jī)2堿性廢氣處理系統(tǒng)≤95753通風(fēng)機(jī)2有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)≤95754冷凍機(jī)組12冷凍站85左右75～802臺(tái)備用冷凍水一次泵12建筑物外1m處冷凍水二次泵6循環(huán)冷卻水泵125冷卻塔6冷卻塔75左右70冷卻塔風(fēng)機(jī)6冷卻塔90左右856生活/生產(chǎn)加壓泵4生活/生產(chǎn)給水系統(tǒng)78左右707熱水泵5鍋爐房70左右705臺(tái)備用8真空泵3工藝真空系統(tǒng)80左右701臺(tái)備用9真空泵2清掃真空系統(tǒng)80左右70701臺(tái)備用旋風(fēng)式分離器210新風(fēng)機(jī)組14生產(chǎn)廠房化學(xué)品庫(kù)80～85752臺(tái)備用空調(diào)器機(jī)組665～757011風(fēng)機(jī)1065～757012空氣壓縮機(jī)6～7大宗氣體供應(yīng)站（BulkGasYard）≤10075～80建筑物外1m處為75～80膨脹機(jī)2～3≤10075～8013柴油發(fā)電機(jī)6柴油發(fā)電機(jī)房＜9075～8014主變壓器2主變壓器室＜70固體廢物本項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，產(chǎn)生的廢物的排放情況見表3-11。表3-11廢物、廢液處置與排放情況統(tǒng)計(jì)表類別廢物名稱主要成分排放量（噸/年）危害性處置去向廢液廢光刻膠、廢顯影液（HW16）EKC、EBR、A515等142.5易揮發(fā)燃燒委托具有危險(xiǎn)廢物處理資質(zhì)的單位進(jìn)行收集處置混合有機(jī)溶劑廢液（HW42）NMP等70.5易揮發(fā)燃燒、低毒硫酸銨廢液（HW34）（NH4）2SO4237.6一般異丙醇廢液（HW42）IPA560刺激、低毒；有火災(zāi)爆炸得危險(xiǎn)廢酸（廢硫酸、磷酸等）（HW34）H2SO4、H3PO4等928.8刺激、腐蝕含氟廢液HF等128.5腐蝕、刺激、低毒濃廢光阻液（HW42）115.2易揮發(fā)燃燒小計(jì)=SUM(ABOVE)2183.1固體廢物廢芯片5.6生產(chǎn)廠回收電子混合廢料廢五金15具有危險(xiǎn)廢物處理資質(zhì)的單位進(jìn)行收集處置含砷廢物含砷抹布等3含汞廢物含汞燈泡0.4廢化學(xué)試劑瓶玻璃75廢水處理污泥CaF2、SiO21164.6一般廢包裝材料等一般事業(yè)廢棄物紙、塑料等97.5廢品回收商辦公及生活垃圾紙、廚余等540一般城市垃圾處理場(chǎng)小計(jì)1901.1合計(jì)4084.2第3章自然與社會(huì)環(huán)境概況3.1自然環(huán)境概況3.1.1項(xiàng)目地理位置本次項(xiàng)目位于煙臺(tái)市福山區(qū)工業(yè)用地內(nèi)，處于福桃路與五區(qū)連環(huán)路交叉口的西南角，地理位置詳見圖2-1。煙臺(tái)市福山區(qū)位于膠東半島東北部、黃海之濱，是全國(guó)首批14個(gè)沿海開放城市—煙臺(tái)市的市轄區(qū)，東以大沽夾河為界與芝罘區(qū)、萊山區(qū)隔河相望，東南與牟平區(qū)為鄰，西南與棲霞市相連，西北與蓬萊市接壤，北臨煙臺(tái)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)?？偯娣e482.83平方公里，轄4個(gè)鎮(zhèn)、2個(gè)街道辦事處和1個(gè)省級(jí)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)，179個(gè)行政村，52個(gè)居委會(huì)。煙臺(tái)市工業(yè)用地位于福山區(qū)南部，距離萊山機(jī)場(chǎng)7km；與主城區(qū)聯(lián)系便捷。該地區(qū)也是煙臺(tái)的西南門戶，站立在煙臺(tái)對(duì)外開放的最前沿；并位于繞城高速北側(cè)，有著極其優(yōu)越的區(qū)位條件。3.1.2地形地貌項(xiàng)目區(qū)地形屬山丘陵區(qū)，山丘起伏，溝壑縱橫。總的地勢(shì)是西高東低，南高北洼，自西南向北傾斜。南部山峰多為東西走向，西部峰巒多為南北走向。主要山脈為嗒壚山，主峰塔頂，海拔630.4m。沿河多為小片平原。3.1.3氣候氣象煙臺(tái)市屬于暖溫帶大陸性氣候，四季分明。春季溫暖而干燥，風(fēng)大雨少；夏季濕熱多雨；秋季天高氣爽；冬季寒冷少雨雪。流域地處中緯度，屬于暖溫帶季風(fēng)型大陸性氣候。具有四季分明，氣候溫和等特點(diǎn)。常年主要?dú)庀筇卣鳛椋憾嗄昶骄鶜鉁?1.8℃，最冷月份平均氣溫-2.9℃，最熱月份平均氣溫25℃，極端最高氣溫39.8℃，極端最低氣溫-17.3℃。多年平均無(wú)霜期207.3天，最大凍土深3.1.4水文地表水煙臺(tái)境內(nèi)河流屬半島邊沿水系，主要河流有：清洋河，俗稱內(nèi)夾河，發(fā)源于棲霞城南小靈山，境內(nèi)長(zhǎng)27公里，流域面積330平方公里；大沽夾河，俗稱外夾河，發(fā)源于海陽(yáng)縣郭城鎮(zhèn)牧牛山，境內(nèi)長(zhǎng)43公里，流域面積130平方公里。兩河分別自西、南入境，流貫全區(qū)，蜿蜒于福山城東北永福園村東，匯流入黃海。境內(nèi)有煙臺(tái)市最大的水庫(kù)——門樓水庫(kù)，庫(kù)容可達(dá)1.2億立方米，是煙臺(tái)市區(qū)生產(chǎn)、生活用水的主要水源地。內(nèi)夾河控制流域面積1224平方公里，河道長(zhǎng)度65公里，流域平均長(zhǎng)度52公里，寬度22．5公里。地貌為低山丘陵區(qū)，其中山區(qū)面積占80％，丘陵占20％。地勢(shì)為西南高、東北低。流域內(nèi)水土保持一般，森林覆蓋率在21．7％以上。流域內(nèi)現(xiàn)有門樓大(2)型水庫(kù)1座，庵里中型水庫(kù)1座，小型水庫(kù)86座，控制總流域面積1079平方公里，總庫(kù)容3．52億立方米，興利庫(kù)容1.95億立方米。地下水本區(qū)地下水按其賦存條件，可分為第四系松散巖類孔隙水、碳酸鹽巖類巖溶裂隙水和基巖裂隙水三種類型。第四系松散巖類孔隙水主要分布于沿內(nèi)夾河發(fā)育的山間河谷河道、河漫灘及河流階地內(nèi)。其沉積厚度由南向北漸增加，一般6～23m左右。含水層巖性以砂、礫、卵石為主，賦存孔隙潛水、微承壓水。地下水埋深一般4～12m。主含水層滲透系數(shù)50～80m/d，單井涌水量1200～2000m33.1.5地質(zhì)條件本區(qū)在大地構(gòu)造上屬膠東隆起區(qū)，處于次一級(jí)單元膠北隆起的北部邊緣。位于崗崳一古現(xiàn)向斜東翼，該向斜主要由粉子山群軟質(zhì)云母片巖組成。桃村一東陡山斷裂在本區(qū)東南10公里處的萊山、初家一帶穿過(guò)，向東北入黃海。芝罘島北側(cè)，有北西向煙臺(tái)一蓬萊北斷裂通過(guò)。項(xiàng)目區(qū)域內(nèi)，無(wú)大的活動(dòng)性斷裂構(gòu)造存在。據(jù)《中國(guó)地震動(dòng)參數(shù)區(qū)劃圖》(GBl8306—2001)，地震動(dòng)峰值加速度為0.10g，場(chǎng)地地震動(dòng)反映譜特征周期為0．40S，相應(yīng)的地震基本烈度為Ⅶ度，屬設(shè)計(jì)地震第一組。3.2社會(huì)環(huán)境概況3.2.1福山區(qū)概況福山區(qū)是煙臺(tái)市的市轄區(qū)，在1949年至2002年間，行政區(qū)劃幾經(jīng)調(diào)整，至2002年9月，福山區(qū)轄清洋街道辦事處、福新街道辦事處、高疃鎮(zhèn)、門樓鎮(zhèn)、張格莊鎮(zhèn)、回里鎮(zhèn)和福山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)；共4個(gè)鎮(zhèn)、2個(gè)街道辦事處和1個(gè)省級(jí)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)。2003年全區(qū)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)總值50.2億元，地方財(cái)政收入1.96億元；社會(huì)消費(fèi)品零售總額11.5億元；城鎮(zhèn)居民人均可支配收入8586元，農(nóng)民人均純收入3939元；城鄉(xiāng)居民儲(chǔ)蓄余額29億元。福山區(qū)按照“以園區(qū)化帶動(dòng)工業(yè)化、推進(jìn)城市化，建設(shè)新型工業(yè)化河濱市區(qū)”的總體發(fā)展思路，以福山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)為重要載體，膨脹發(fā)展機(jī)械制造、紡織服裝、電子信息和高檔食品加工四大主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。2003年全區(qū)規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)完成增加值7.9億元，銷售收入28.6億元，利稅2.1億元。同時(shí)加快農(nóng)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，促進(jìn)農(nóng)業(yè)增效、農(nóng)民增收。到2003年，全區(qū)大櫻桃種植面積7萬(wàn)畝，無(wú)公害蔬菜基地面積3000畝，糧經(jīng)種植比例達(dá)到1:9；畜禽規(guī)模養(yǎng)殖場(chǎng)340個(gè)，奶牛存養(yǎng)量3000頭，形成了以林果、蔬菜和奶牛養(yǎng)殖為重點(diǎn)的三大高效主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化水平不斷提高，農(nóng)產(chǎn)品加工企業(yè)達(dá)到27家，年加工能力25萬(wàn)噸，促進(jìn)了全區(qū)農(nóng)產(chǎn)品的銷售，增加了農(nóng)民收入。項(xiàng)目位于福山城市規(guī)劃的工業(yè)用地。位于福山區(qū)南部，距離萊山機(jī)場(chǎng)7km，至煙臺(tái)火車站7km，至八角港碼頭15km?，F(xiàn)狀有正在建設(shè)的芝陽(yáng)小區(qū)及衛(wèi)家疃、房家疃、南塗山等村莊，已有通用顯示、華俊科技電子、福山政府接待中心等企事業(yè)單位入駐,土地平整已基本完成。本區(qū)主要由產(chǎn)業(yè)研發(fā)區(qū)、信息產(chǎn)業(yè)區(qū)、展示區(qū)、普通一類產(chǎn)業(yè)區(qū)和居住片區(qū)組成，規(guī)劃總用地682.6公頃。3.2.2廠址周圍社會(huì)概況擬建項(xiàng)目廠址東臨福桃路；西與內(nèi)夾河相望；北臨新五區(qū)連接路，經(jīng)調(diào)查評(píng)價(jià)范圍內(nèi)無(wú)名勝古跡及重點(diǎn)文物保護(hù)區(qū)，也無(wú)旅游區(qū)。廠址周圍均為已經(jīng)平整的信息產(chǎn)業(yè)區(qū)土地。經(jīng)調(diào)查，本項(xiàng)目廠址一期工程占地的單位正在搬遷，距離廠址最近的居民點(diǎn)為前埠村居民點(diǎn)，共有24戶，72口人。項(xiàng)目廠址附近主要敏感目標(biāo)分布情況詳見表3-1和圖5-1。表3-1擬建項(xiàng)目廠址附近主要敏感目標(biāo)一覽表序號(hào)名稱相對(duì)廠址方位相對(duì)廠址距離(m)1呂格莊SW16002芝陽(yáng)山醫(yī)院N11003房家疃ENE16004前埠村居民點(diǎn)W1505福山區(qū)政府N28006東留公W13007水廠地下水取水口WNW11008芝陽(yáng)小區(qū)N14009南涂山SE17003.2.3套子灣污水處理廠簡(jiǎn)介套子灣污水處理廠于1996年開工建設(shè)，1998年10月投入試運(yùn)行，一期設(shè)計(jì)一級(jí)處理能力為25萬(wàn)m3/d，二級(jí)處理能力為4萬(wàn)m3/d，目前，實(shí)際處理量約為16萬(wàn)m3/d。主要用于處理煙臺(tái)市芝罘區(qū)、福山區(qū)和經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)的城市污水。該污水處理廠一期工程總投資4.53億元，經(jīng)過(guò)二級(jí)AAO處理工藝及深度處理的廢水量?jī)H為4萬(wàn)m3/d，其余廢水經(jīng)一級(jí)機(jī)械處理后，經(jīng)污水處理廠內(nèi)排海泵站通過(guò)4950米管道及穿山隧道深海排放。排放管線見圖3-1。該污水處理廠二期工程共投資2.35億元，目前正處于招標(biāo)階段，將于2007年中旬投入運(yùn)行。該工程根據(jù)城市排水量的變化，計(jì)劃將二級(jí)處理的能力擴(kuò)建16萬(wàn)m3/d，處理工藝采用改良的AAO工藝。二期投產(chǎn)后，項(xiàng)目廢水經(jīng)套子灣污水處理廠處理后，達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）中二級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)，深海排放。本次項(xiàng)目污水最終進(jìn)入套子灣污水處理廠，地理位置見圖2-1B。3.3環(huán)境質(zhì)量概況3.3.1環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)2005年煙臺(tái)市福山區(qū)例行監(jiān)測(cè)點(diǎn)（環(huán)保局）例行監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，福山區(qū)環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀良好，PM10、SO2、NO2年均值滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-1996）中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求。詳見表3-2。表3-22005年煙臺(tái)市福山區(qū)例行監(jiān)測(cè)點(diǎn)（環(huán)保局）例行監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)名稱時(shí)間可吸入顆粒物二氧化硫二氧化氮1月0.0250.0380.0382月0.0280.0310.0313月0.0950.0480.048一季均值0.0490.0390.0394月0.1050.0320.0115月0.0720.0170.0176月0.0820.0450.017二季均值0.0860.0130.0157月0.0850.0490.0178月0.0550.0050.0089月0.0670.0090.020三季均值0.0690.0210.01510月0.0710.0200.04211月0.0900.0360.05212月0.0420.0450.034四季均值0.0680.0340.042年日平均值0.0680.0270.0283.3.2地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)2005年煙臺(tái)市城市環(huán)境綜合整治定量考核結(jié)果報(bào)表顯示，本次項(xiàng)目5km范圍內(nèi)的河流斷面地表水環(huán)境質(zhì)量良好，能夠滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）中Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。詳見表3-3。表3-32005年煙臺(tái)市城市環(huán)境綜合整治定量考核明細(xì)表監(jiān)測(cè)水域監(jiān)測(cè)項(xiàng)目執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測(cè)情況（毫克/升(PH除外)）水體斷面3月5月7月8月10月11月大沽夾河（外夾河）大沙埠PH6-97.267.527.127.057.147.18DO≥56.417.526.886.446.446.22CODcr≤2011.09.810.6CODmn≤65.025.325.113.443.445.92BOD5≤43.723.013.333.953.853.41NH3-N≤1.00.650.9520.7540.8770.8770.987總氨≤1.00.8540.9890.9580.9980.9850.997氰化物≤0.2未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出揮發(fā)酚≤0.005未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出氟化物≤1.0未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出砷≤0.05未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出汞≤0.0001000000六價(jià)鉻≤0.05未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出鉛≤0.05未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出鎘≤0.005未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出陰離子表面活性劑≤0.2未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出石油類≤0.05未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出未檢出硫化物≤80.070.090.080.08仉村河PH6-96.897.40--7.117.057.10DO≥56.226.88--6.876.875.95CODcr≤209.2010.8--8.508.458.52CODmn≤64.445.24--2.882.885.31BOD5≤43.123.15--3.613.612.53NH3-N≤1.00.3320.955--0.9850.9850.856總氨≤1.00.5540.995--0.9950.9990.956氰化物≤0.2未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出揮發(fā)酚≤0.005未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出氟化物≤1.0未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出砷≤0.05未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出汞≤0.000100--000六價(jià)鉻≤0.05未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出鉛≤0.05未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出鎘≤0.005未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出陰離子表面活性劑≤0.2未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出石油類≤0.05未檢出未檢出--未檢出未檢出未檢出硫化物≤0.20.090.08--0.050.070.09內(nèi)夾河福山水閘下PH6-97.986.95斷流DO≥55.556.35CODcr≤2018.525.50CODmn≤65.8814.8BOD5≤43.943.85NH3-N≤1.00.7550.898總氨≤1.00.9560.997氰化物≤0.2未檢出未檢出揮發(fā)酚≤0.005未檢出未檢出氟化物≤1.0未檢出未檢出砷≤0.05未檢出未檢出汞≤0.000100六價(jià)鉻≤0.05未檢出未檢出鉛≤0.05未檢出未檢出鎘≤0.005未檢出未檢出陰離子表面活性劑≤0.2未檢出未檢出石油類≤0.05未