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鋁膜蒸鍍?cè)砑疤匦阅夸?蒸發(fā)臺(tái)蒸鍍?cè)礓X膜反射率;·MARK-50蒸發(fā)臺(tái)外觀:::::高真空一般由擴(kuò)散泵或冷泵實(shí)現(xiàn),擴(kuò)散泵系統(tǒng)一般有冷阱,用以防止泵油蒸氣反流到腔室;蒸發(fā)臺(tái)加熱系統(tǒng)一般有三種:電阻、電感和電子束電阻加熱系統(tǒng)用一個(gè)小線圈和一臺(tái)可調(diào)變壓器,將要蒸發(fā)材料放入加熱燈絲中加熱蒸發(fā),但加熱燈絲本身易造成沾污,且常常沒(méi)有合用的加熱難熔金屬的電阻加熱元件;電感加熱系統(tǒng)將蒸發(fā)材料放入一個(gè)BN制成的坩鍋中,一個(gè)金屬線圈繞在坩鍋上,通過(guò)這個(gè)線圈施加RF功率,RF射頻在材料中感應(yīng)出渦流電流使其加熱,線圈本身用水冷,保持溫度在100℃但是坩鍋本身材料的沾污仍然是一個(gè)嚴(yán)重問(wèn)題;電子束蒸發(fā)系統(tǒng)包括一個(gè)加熱鎢絲環(huán),它圍繞著一根相對(duì)鎢絲處于高偏壓的材料細(xì)棒周圍,從鎢絲射出的電子轟擊材料棒,提高材料末端的溫度,從而產(chǎn)生出蒸發(fā)原子束,高能束流在一個(gè)強(qiáng)磁場(chǎng)下彎曲270度,射到材料表面,達(dá)到蒸發(fā)目的;電子束加熱系統(tǒng)熱電子燈絲易成為沾污源,并且對(duì)于硅基材料,易造成輻射損傷;如圖所示:燈絲線圈電子束淀積材料坩鍋應(yīng)燈絲加速棚極偏轉(zhuǎn)板偏轉(zhuǎn)磁鐵蒸發(fā)材料被加熱蒸發(fā)后,在真空腔室中蒸氣壓非常高,因此我們可得到可接受的淀積速率;淀積速率通常用石英晶體速率指示儀測(cè)量,所用器件是一個(gè)諧振器板,當(dāng)晶體頂部有材料蒸發(fā)淀積,所外加的質(zhì)量將使得頻率偏移,由測(cè)得得頻率移動(dòng)可得出淀積速率;蒸發(fā)的一個(gè)重要限制是臺(tái)階覆蓋,種常用的改進(jìn)臺(tái)階覆蓋的方法是在蒸發(fā)過(guò)程中旋轉(zhuǎn)圓片,為此,蒸發(fā)臺(tái)內(nèi)用于承載圓片的半球形夾具,被設(shè)計(jì)成能使圓片環(huán)繞蒸發(fā)器頂部

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