變極距型電容傳感器工業(yè)測控儀表自動化與電氣工程學院CollegeofAutomationandElectricalEngineering授課教師：王軼卿變極距型電容傳感器變極距型電容傳感器原理及結(jié)構(gòu)變極距型電容傳感器的應(yīng)用變極距型電容傳感器測量電路前沿科技與網(wǎng)絡(luò)拓展閱讀2復(fù)習：電容傳感器工作原理

工作原理：平板電容器，忽略邊緣效應(yīng)式中:ε0

—真空介電常數(shù)εr—極板間介質(zhì)的相對介電常數(shù)ε—電容極板間介質(zhì)的介電常數(shù)；S—兩平行板所覆蓋的有效面積；d—兩平行板之間的距離。3電容傳感器的類型

變面積型電容傳感器變介質(zhì)型電容傳感器變極距型電容傳感器上一專題4一、變極距型電容傳感器S初始極距d0動極板向下移動極距減小Δd

靈敏度非線性動極板定極板d0越小測量范圍越小靈敏度越高

5差動變極距型電容傳感器單一型差動型改善非線性斜率變大靈敏度提高曲線變直差動電容輸出曲線動極板定極板動極板定極板定極板Δd動極板向下運動初態(tài)：6差動變極距型電容傳感器靈敏度單一型差動型相對非線性誤差結(jié)論：差動型靈敏度提高近一倍，

相對非線性誤差減小一個數(shù)量級！動極板定極板動極板定極板定極板7變極距型電容傳感器變極距型電容傳感器原理及結(jié)構(gòu)變極距型電容傳感器的應(yīng)用變極距型電容傳感器測量電路前沿科技與網(wǎng)絡(luò)拓展閱讀8二、變極距型電容傳感器測量電路調(diào)頻電路脈沖調(diào)制電路環(huán)形二極管檢波電路9調(diào)頻電路信號流程被測物理量變化

電容Cd變化

LC振蕩器輸出頻率變化輸出電壓Uo變化將頻率轉(zhuǎn)換為電壓U0輸出與電渦流傳感器調(diào)頻電路有何區(qū)別？鑒頻器特性10變極距型電容傳感器變極距型電容傳感器原理及結(jié)構(gòu)變極距型電容傳感器的應(yīng)用變極距型電容傳感器測量電路前沿科技與網(wǎng)絡(luò)拓展閱讀11三、變極距型電容傳感器的應(yīng)用1電容式加速度傳感器34電容式差壓傳感器2投入式電容液位傳感器電容式接近開關(guān)12加速度傳感器在汽車中的應(yīng)用負加速度應(yīng)用1電容式加速度傳感器體積小13硅微電容加速度傳感器多晶硅上電極多晶硅下電極三軸加速度傳感器多晶硅懸臂梁差動變極距型電容傳感器14應(yīng)用2電容式接近開關(guān)電容式接近開關(guān)用于物位測量接近開關(guān)：無觸點行程開關(guān),當物體與接近開關(guān)的感應(yīng)面之間的距離達到動作距離時，無需與運動部件直接接觸即可操作。15各種電容式接近開關(guān)全密封防水式遠距離大量程16各種電容式接近開關(guān)齊平式非齊平式17電容式接近開關(guān)原理上檢測極板下檢測極板測量轉(zhuǎn)換電路被測物串聯(lián)導(dǎo)電！18接近開關(guān)拓展思考A：導(dǎo)電，遠離