熱發(fā)射掃描電鏡技術(shù)規(guī)格及要求1、 設(shè)備組成、布置方式及用途說明1.1 設(shè)備名稱：熱發(fā)射掃描電鏡1.2 數(shù)量： 一套1.3 場發(fā)射掃描電鏡主要由以下部分組成：①主機(jī)：熱場發(fā)射掃描電鏡②附件：電制冷能譜(EDS)與EBSD一體化系統(tǒng)；離子束鍍膜儀；精密切割機(jī)；半自動(dòng)研磨/拋光機(jī)；振動(dòng)拋光機(jī)。1.4 推薦布置方式：開放式布置。1.5. 電鏡主要用于材料的微觀形貌觀察，要求該設(shè)備可以直接對導(dǎo)電（金屬材料、半導(dǎo)體材料）和不導(dǎo)電的材料（陶瓷、塑料、玻璃等）進(jìn)行觀察，以滿足研究近似原始狀態(tài)下相關(guān)樣品的觀察和分析需求；配上能譜儀，可對材料的微區(qū)成分進(jìn)行定性和定量分析及元素線掃描和面分布分析；配上EBSD，可通過實(shí)時(shí)采集背散射電子以及標(biāo)定背散射電子衍射花樣，快速獲取逐點(diǎn)的晶體學(xué)結(jié)構(gòu)信息，分析研究材料的晶體取向、微觀織構(gòu)及其相關(guān)的材料性能等。1.6. 能通過程序控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化檢測。2、 技術(shù)指標(biāo)要求2.1. 場發(fā)射掃描電鏡FESEM場發(fā)射掃描電鏡作為最關(guān)鍵部件，要求選用國際知名品牌產(chǎn)品。投標(biāo)文件應(yīng)對所選用場發(fā)射顯微鏡品牌、特色及技術(shù)指標(biāo)給予詳細(xì)描述。1性能參數(shù)1.1分辨率二次電子像（SE）15KV1nm1KV1.6nm分析模式（EDS或EBSD分析）15KV3nm背散射電子像（BSE）30KV2.5nm1.2放大倍數(shù)30-800,000×放大倍數(shù)誤差≤3%調(diào)節(jié)自動(dòng)放大倍數(shù)修正功能，放大倍數(shù)預(yù)設(shè)功能；連續(xù)可調(diào)1.3加速電壓0.2-30KV調(diào)節(jié)連續(xù)可調(diào)1.4探針電流（束流范圍）4pA-100nA穩(wěn)定度優(yōu)于0.2%/h調(diào)節(jié)連續(xù)可調(diào)1.5成像模式二次電子像；背散射電子像調(diào)節(jié)模式二次電子和背散射電子成像系統(tǒng)可以任意比率混合，自動(dòng)調(diào)節(jié)和手動(dòng)調(diào)節(jié)亮度、對比度2電子光學(xué)系統(tǒng)2.1電子槍（燈絲）標(biāo)書需詳細(xì)描述本產(chǎn)品的電子光學(xué)系統(tǒng)特點(diǎn)具有自動(dòng)對中和啟動(dòng)電子槍功能；在顯示器中顯示全部發(fā)射器參數(shù)的狀態(tài)信息；燈絲壽命優(yōu)于兩年。2.2透鏡控制系統(tǒng)需在標(biāo)書上詳細(xì)說明透鏡控制系統(tǒng)；實(shí)現(xiàn)了大小樣品的高分辨率。取代機(jī)械式可調(diào)光闌，避免機(jī)械上的誤差和人為的誤操作。2.3物鏡光闌物鏡光欄應(yīng)能自加熱自清潔；無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌；光闌壽命優(yōu)于兩年。2.4電子束位移掃描旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦和傾斜校正補(bǔ)充，圖像旋轉(zhuǎn)連續(xù)調(diào)整，工作距離改變自動(dòng)旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償；樣品傾斜時(shí)自動(dòng)聚焦并修正。3樣品室3.1樣品臺五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，同時(shí)保留各軸手動(dòng)，移動(dòng)范圍：X≥50mm；Y≥50mm；Z≥25mm；T≥-5～+70°；R=360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)，電腦控制全對中旋轉(zhuǎn)控制，內(nèi)置樣品防撞警報(bào)器3.2樣品室最大可裝載直徑不小于150mm樣品；兼容性高，預(yù)留了EDS、EBSD以及其他標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)展接口。3.3重復(fù)性重復(fù)性：2μm；3.4穩(wěn)定性最小步長：90nm；漂移：在穩(wěn)定20min后，在360s內(nèi)（樣品臺不傾斜），樣品臺漂移小于40nm；3.5樣品臺控制樣品臺移動(dòng)：在屏幕圖形上用鼠標(biāo)控制及操縱桿控制；靈敏度與放大倍數(shù)相協(xié)調(diào)；樣品臺導(dǎo)航：由模擬樣品臺移動(dòng)的SmartSEM圖形來進(jìn)行；接觸報(bào)警：與屏幕上的信息同時(shí)進(jìn)行音響報(bào)警。4檢測器4.1鏡筒內(nèi)二次電子檢測器一個(gè)和背散射電子檢測器各一個(gè)；樣品室二次電子檢測器一個(gè)和背散射電子檢測器各一個(gè)4.2樣品室紅外CCD相機(jī)一個(gè)5電腦控制、數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用軟件5.1配置與EDS和EBDS的數(shù)據(jù)連接通道；1.1（*）EBSD探頭*適用于場發(fā)射電鏡的高速EBSD探測器，能與EDS硬件同時(shí)使用，高端的高靈敏度CCD相機(jī)，加速電壓大于３ＫＶ，及束流大于５００pＡ?xí)r，可以采集到明顯的衍射花樣。40×30mm大面積矩形熒光屏；花樣像素分辨率：640×480×12位，高精度馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；確保掃描電鏡的真空密封；具備安全保護(hù)裝置；配置散射探測器（FSD）；可以充分靠近樣品而不遮擋能譜探頭,無需電子制冷，CCD相機(jī)直接安裝于熒光屏后，充分靠近樣品。1.2（*）花樣采集速度≥106點(diǎn)/秒(8*8binning)1.3標(biāo)定成功率任何掃描速度下，用以多晶鎳（Ni）為標(biāo)樣，測量>99%的標(biāo)定成功率。1.4（*）取向精準(zhǔn)度任何掃描速度下，獲得優(yōu)于0.3度的取向精準(zhǔn)度，并可同時(shí)給出數(shù)據(jù)可用性的量化指標(biāo)；2（*）數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)具有專用的EBSD和ICSD數(shù)據(jù)庫；具有人工建立數(shù)據(jù)庫和添加源于XRD的通用數(shù)據(jù)庫功能。3（*）軟件功能與能譜聯(lián)合使用，具備圖像采集系統(tǒng)：具有SEM成像功能，可支持多種SEM圖像類型，圖片尺寸不低于4096×4096；具備EBSD花樣自由采集，無標(biāo)樣自動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)功能，擁有極圖與反極圖，取向分布，相區(qū)分與鑒定，能夠分析晶界織構(gòu)，以及EDS和EBSD的同步分析，離線數(shù)據(jù)再處理等軟件包；標(biāo)書需詳細(xì)提供產(chǎn)品功能的軟件特點(diǎn)。4（☆）計(jì)算機(jī)提供通訊連接和高性能計(jì)算機(jī)工作站，保證解析的高速度；標(biāo)書需詳細(xì)提供產(chǎn)品功能的特點(diǎn)。2.3． 附件：離子束鍍膜儀功能：適用于不同材質(zhì)的試樣表面噴鍍導(dǎo)電層。主要技術(shù)指標(biāo)：1.樣品能夠快速鍍膜，只產(chǎn)生極小的熱量；2.控制樣品旋轉(zhuǎn)和搖擺速率，確保樣品鍍膜均一；3.樣品載臺適用于各種SEM樣品；4.配有測膜厚度裝置（FTM），能夠連續(xù)測量沉積速率；5.提供多種材質(zhì)（C、Pt、Au、Cr）的靶材；6.隱藏在腔體內(nèi)的耙材完全與濺射污染物隔離；7.可選配第二個(gè)耙材交換儀器即可再增加兩個(gè)耙材，可在保持真空的情況下極短時(shí)間內(nèi)選擇兩個(gè)可用耙材中任意一個(gè)。2.4． 附件：精密切割機(jī)功能：適用于不同材質(zhì)的試樣取樣，包括陶瓷，金屬，稀土材料，復(fù)合材料，生物材料等；能自動(dòng)完成試樣的切割，并有良好的切割效果，試樣損傷?。粚τ谑Х治龅脑嚇幽芫_定位切割。主要技術(shù)指標(biāo)：工作功率:1/8HP（92瓦）直流馬達(dá)刀片轉(zhuǎn)速:0-975RPM連續(xù)可調(diào)，步長1RPM刀片尺寸:75mm(3英寸)-178mm（7英寸安裝孔尺寸:1/2”(12.7毫米)最大切割直徑:40毫米自動(dòng)切割開關(guān)，滑動(dòng)籌碼配重系統(tǒng)(0-500g)數(shù)字式樣品定位系統(tǒng)，定位精度0.1mm帶有可拆卸的防護(hù)罩，可進(jìn)行全自動(dòng)封閉切割內(nèi)裝切割片精整裝置標(biāo)準(zhǔn)配置包含所有連接管線,工器具及操作手冊耗材配置冷卻液（950ml）及金剛石刀片（152x0.50x12.7）。工作環(huán)境:220V/單相2.5． 附件：半自動(dòng)研磨/拋光機(jī)功能：通過選用不同的研磨/拋光介質(zhì)，完成從粗磨至精拋的樣品制備過程主要技術(shù)指標(biāo)：磨盤工作功率：750瓦自動(dòng)工作頭功率：116瓦磨盤直徑：25底盤轉(zhuǎn)速：10-500轉(zhuǎn)/分鐘,轉(zhuǎn)動(dòng)方向可調(diào)自動(dòng)工作頭轉(zhuǎn)速：30-60轉(zhuǎn)/分鐘,轉(zhuǎn)向可調(diào)節(jié),以在必要時(shí)增加切削速度壓力模式：同時(shí)具有單點(diǎn)力(5-45牛頓)和中間力(20-260牛頓)兩種模式觸摸面板控制水流出口,出水大小/方向可調(diào)節(jié)安全性能：緊急停車旋鈕;所有夾具可方便且快速的與工作頭裝配或拆卸,以滿足頻繁的清洗和顯微觀察要求氣動(dòng)壓力控制,穩(wěn)定安全面板控制:壓力模式,壓力大小,工作頭轉(zhuǎn)向,工作時(shí)間,水流開關(guān)外形尺寸及設(shè)備重量:506X621X653mm,175磅(85KG工作環(huán)境:220V/50Hz，氣壓85psi(6bars)，清潔自來水2.6． 附件：振動(dòng)拋光機(jī)功能：完成金相試