真空鍍膜試驗指導真空鍍膜常用的方法有蒸發(fā)鍍膜、射頻濺射鍍膜和離子鍍膜等。本試驗通過介紹蒸發(fā)鍍膜原理，把握蒸發(fā)鍍膜的操作方法。真空鍍膜技術在電真空、無線電、光學、固體物理、原子能和空間技術中有廣泛的應用。真空鍍膜原理：蒸發(fā)鍍膜機理質都可以用此法蒸鍍成膜。蒸發(fā)原子的成膜過程比較簡單，這里只能粗略描述如下：濺落原子首先被固體外表吸附，當外表溫度低于某一臨界溫度時，原子開頭“核化”——局部原子分散成團，消滅假設干“島”，然發(fā)鍍膜的條件主要有兩個，分別介紹如下：高真空發(fā)鍍膜的速度高，成膜質量也好。相反，假設真空度低，有大量的空氣分子存在，一方面，蒸發(fā)完成鍍膜，膜料將被抽走。因此，蒸發(fā)鍍膜需要在高真空條件下進展。固然，真空度也不需要絕10--20cm，依據自由程公式〔d是分子的直徑，n是分子數密度〕不難估量真空度在 Pa以上就可以滿足要求。材料干凈膜的物理性質，如亮度、外表張力、電導率等等。所以，膜材和基底的清洗工作必需認真對待。真空技術獲得真空需要使用真空泵。測量真空度需要使用真空計。真空泵和真空計的種類都很多，本試驗的主要目的：〔1〕了解真空泵、真空計的工作原理；〔2〕把握低真空、高真空的獲得、測量與檢漏的根本方法。真空的獲得目前，在試驗室中廣泛使用著機械泵、油集中泵、吸附泵和離子泵來獲得真空，下面依次介紹它們的原理。機械泵要構造見圖4-1-1，由定子、轉子、旋片、彈簧等組成。轉子在電機的帶動下轉動，轉子的外表面與定子的內外表在圖中的A排氣閥承受油封，油在工作室的內外表形成油膜，有利于潤滑和A點的密封，但同時也會形成油的氣體倒流，例如，當系統(tǒng)工作一段時間后需要停機，應先關斷進氣管上的閥門，保持抽氣狀態(tài)，然后給進氣管放氣，最終才能給機械泵斷電。機械泵的極限真空度約為10-1Pa，它主要由機械泵油的飽和蒸汽壓和泵的機械加工精度打算起來，可以將真空度再提高一個數量級。油集中泵油集中泵比機械泵能獲得更高的真空度，它的工作壓力范圍是10-1~1-6Pa，起始壓力正好是機械泵的極限壓力，因此，油集中泵通常要利用機械泵作為前級泵，將真空度抽到10-1Pa后才能開集中泵。油集中泵是利用氣體的集中性質制作的，構造原理見圖4-1-2，其構造主要由泵體、噴嘴、10-1Pa〔一種低蒸汽壓的高分子物質〕向下方；油氣被泵體冷凝，重變成油，返回蒸發(fā)器，并釋放出夾帶的氣體，氣體被機械泵抽走，而油又被重加熱循環(huán)，如此反復，到達連續(xù)抽氣的目的。為了防止氣體集中返回，往往需2~320分鐘以后再關冷卻水，10-6Pa真空的測量了。但是，真空度的范圍是很寬的，達十幾個數量級，不行能由一個或一種真空計完成這樣大范圍的真空度測量，所以，各種真空計都有一個測量范圍，將有范圍掩蓋的各種真空計組合起來，完成大范圍的真空度測量。下面介紹常用的幾種真空計。熱電偶真空計真空計的原理見圖4-1-3，一端開口的玻璃殼的開口端與真空室相接，玻璃殼內的真空度與真空室內的真空度一樣，外電路給加熱絲通電，熱電偶的一個結點與加熱絲焊接或壓接在A點，結點的〔即真空度〕，壓強越大，氣體傳導熱量越多，加熱絲的溫度越低，毫伏表測量出的熱電動勢越??；相反，壓強越低，氣體越淡薄，氣體傳導熱量越少，加熱絲的溫度升得越高，毫伏表測量出的熱電確定壓強計〔確定真空計〕校準，校準曲線用圖4-1-4表示。熱電偶真空計的測量范圍是10~10-1Pa。熱陰極電離真空計〔燈絲、柵極和板極〔收集極〕組成，其構造見圖4-1-5，圖4-1-6是電離規(guī)管和測量電路的連接方法。體的壓強成正比，通過校準比例系數〔該系數與氣體的種類有關〕，就可以用板流指示真空度。10-1~10-6Pa10-11Pa。假設將熱偶真空計和電離真空計結合起來，可以測10~10-6Pa的真空度，能滿足很多狀況下的測量要求。這種組合起來的真空計使用得格外多，例如FZH—1FZH–2現(xiàn)FZH—2B復合真空計作些介紹。FZH—2B復合真空計的測量范圍是：熱偶計：1.3×101~1×10-1Pa電離計：1×10-1~6.65×10-6Pa它的面板見圖4-1-7，能外連兩個熱偶規(guī)管〔V1和V2〕和一個電離規(guī)管，兩個熱偶規(guī)管的開封時〔內部真空度達10-2~1-3Pa〕進展的，將的規(guī)管用電纜連接到反面的相應插孔上，垂直放置，按下電源按鈕，將轉換開關置于“測量”位置，調整“電流調整”使電表滿偏，持續(xù)3檢查工作電流的變化狀況，假設有變化，通過“電流調整”旋鈕將電流校正到工作電流。在測定完工作電流后，熱偶規(guī)管才能開封，與要測量的系統(tǒng)進展密封連接。電離計的規(guī)管用五芯電纜與線柱相連。電離計要在真空度高于10-1Pa后才能使用，按下燈絲開關，預熱10分鐘后就可以測10-110-210-5除氣，則先將量程開關置于10-1檔，關閉燈絲，按下“除氣”按鈕，持續(xù)10~15分鐘即可；斷開“除氣”開關，翻開“燈絲”開關，即可進展測量。儀器與裝置自制玻璃真空系統(tǒng)如圖4-1-8，F(xiàn)ZH-2BZXGHZ—3火花測定儀，電吹風機等。在圖4-1-8中機械泵連接兩路系統(tǒng)：〔1〕一路經三通I、二通II，與容器V3連接，容器V3上有幾處漏氣的地方，所以該路系統(tǒng)用來專做檢漏試驗?！?〕另一路有三通I、集中泵通向容器V1V1經三通II通過流導G1或G2的管道通向V2V1和V2的壓強分別由DL—2aDL—2bG1、G2IIG1G2端的動態(tài)壓強差〔 〕是不一樣的。DL—2是熱電離真空規(guī)管，是作用在高真空條件下高頻加熱內部金屬零件，以到達金屬零件去氣之目的。試驗室常用的濺射儀如JS—450A，其具體用法見說明書。蒸發(fā)鍍膜的儀器與裝置整體構造圖4-2-2料鍍膜?；撞牧峡梢云椒藕土⒎拧Ｕ舭l(fā)器試驗中用到的蒸發(fā)器很簡潔，是舟狀的。機械泵和集中泵極限真空度不高，一般為 Pa。當需要較高的真空度時，需要將機械泵和油集中泵結合起來使用。油集中泵有玻璃殼和金屬殼兩種。兩種真空泵的工作原理見試驗4—1，此處不再重復。復合真空計約為 Pa，電離計測量的真空度較高，為Pa的真空度。

Pa，二者合在一起可以測量之間是非線性關系。多，通過檢測正離子流，可以測量真空度。離子流與真空度是線性關系。兩種真空計的具體構造和工作過程見試驗4—1和儀器說明書。試驗內容與方法對真空系統(tǒng)撿漏、觀看輝光放電顏色，定性地推斷系統(tǒng)的真空度，測量用機械泵抽氣時系統(tǒng)的近似真空度。關閉活塞二通I，開動機械泵，三通I旋至與系統(tǒng)V3通，再翻開二通II，用高頻火花撿漏V3II觀看記錄系統(tǒng)內放電顏色，推斷對應的真空度；用熱偶計測量，檢驗推斷之正確性。測量用機械泵抽氣時該局部真空系統(tǒng)的近似極限真空度。將系統(tǒng)抽至高真空；對系統(tǒng)內部的金屬零件進展高頻加熱去氣；測量不同流導的管道對抽氣的影響。將三通I旋至與集中泵通，讓機械泵對集中泵和高真空系統(tǒng)進展預抽氣〔此時三通II與G1或G2管道通皆可〕；用熱偶計進展測量，當系統(tǒng)真空度到達 托時，接通集中泵冷卻水〔留意輕輕旋動水龍頭，絕不行太快太猛，否則水量過大易損壞橡皮管〕。漸漸加熱集中泵〔掌握集中泵加熱電爐調壓器分兩次調整，第一次調到160伏，10分鐘后調210伏，以后再依據集中泵工作狀況作適當地調整〕。當系統(tǒng)真空度到達 托時〔熱偶計指針滿刻度〕改用電離計局部進展測量。2．高頻加熱去氣：當系統(tǒng)真空度達10-5托時，就可進展高溫加熱去氣。將高頻加熱的負載線圈套在被加熱零件之外〔留意高頻爐輸出的兩根對股線切忌相碰〕，開啟高頻爐進展加熱去氣。〔高頻爐的使用見使用說明書〕。高頻加熱視零件除氣的快慢應斷續(xù)進展。金3～4測不同導管的抽速：當活塞三通IIG1和通向管道G2II處的實際抽氣速度率 、 。管道G1和G2的尺寸：G1長15cm，內徑為1.2cm；G2長15cm，內徑為0.7cm〔或由試驗室具體給出〕。管道兩端的壓強分別有DL—2a，dl—2b測得。具體操作由同學自行考慮?！布斜玫撞坎粻C手〕，把三通I旋至斷的位置，使集中泵和真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。停頓機械泵工作，把二通I留意事項嚴格依據系統(tǒng)操作規(guī)程進展試驗。在旋動真空活塞時，不能用力過猛，旋動時用雙手進展〔一手護著活塞外殼，一手輕輕旋動〕，如旋轉不動，可用吹風機適當加熱。玻璃集中泵升溫工作時，應先通冷卻水，再逐步升溫。用復合真空計的電離計局部測量時，肯定要在系統(tǒng)真空度高于壞電離計規(guī)管燈絲。

托時進展，否則易燒思考與爭論為什么