第九章基本光刻工藝------從曝光到最終檢驗－1－概述

在本章中，將介紹從顯影到最終檢驗所使用的基本方法。還涉及掩膜版工藝的使用和定位錯誤的討論。9.1顯影

晶園經(jīng)過曝光后,器件或電路的圖形被以曝光和未曝光區(qū)域的形式記錄在光刻膠上。通過對未聚合光刻膠的化學分解來使圖形顯影。通過顯影完成掩膜版圖形到光刻膠上的轉(zhuǎn)移（如圖所示）。

不良顯影：不完全顯影

顯影不足

嚴重過顯影。

第九章基本光刻工藝------從曝光到最終檢驗－2－第九章基本光刻工藝------從曝光到最終檢驗－3－負光刻膠顯影

當負性光刻膠經(jīng)過曝光后，它會發(fā)生聚合，在聚合與未聚合之間有足夠高的分辨率，從而在顯影過程中聚合的區(qū)域只會失去很小部分光刻膠，而未聚合的區(qū)域則在顯影過程中分解，但由于兩個區(qū)域之間總是存在過渡區(qū)，過渡區(qū)是部分聚合的光刻膠，所以，顯影結(jié)束后必須及時沖洗，使顯影液很快稀釋，保證過渡區(qū)不被顯影，使顯影后的圖形得以完整。第坦九強章市基戀本徑光路刻六工竄藝-連-憤-越-所-弱-從摸曝咱光并到槍最烘終躺檢膊驗右－4－正趴光熊刻撫膠子顯闊影對記于籠正朋性鹿光聞刻音膠芬，貴聚船合捏與閥未求聚螺合紹區(qū)娛域暗的蛛溶溪解頸率旋約損為1:4。斥這貍意鳴味睜著寺在急顯應影眉中惑總逐會赤從余聚達合蹈的伏區(qū)沒域除失梯去砌一射些媽光漫刻側(cè)膠嗚。醉使免用政過模渡繼的須顯曠影淚液醫(yī)或越顯段影史時艦間神過瞎長谷都岸會效導悔致朽光婆刻黨膠累太勿薄田而延不日能鄰使牌用癥。通底常沈要捧求迷不賢高剩的側(cè)正坊光終刻勵膠剛顯帳影帆使找用減福－閘水懲溶餅液啞和宜非珠離法子償溶夾液，梳對其制牧造賺敏我感撫電閉路驗使撓用疊胸氮娃化頃四出甲裁基敘銨肚氫墓氧暫化寇物的謹溶愛液思。正辟性包光沿刻爭膠雜的受顯天影以工箏藝義比完負劣性格光征刻得膠講更常為嬸敏起感途，省影走響逼的碰因跪素雄有漲：軟舍烘悉焙宅時傭間壘和塘溫攝度堵、虹曝集光腿度屑、豈顯筍影屢液旅濃掙度意、蝦時財間飽、煎溫糞度慮以貝及屋顯識影昌方些法弄。顯貨影夢工腥藝編參隔數(shù)登由捧所邪有支變缸量根的咱測釋試利來賽決贏定烏。圖9押.工4顯美示毀了黃一小個恰特栽定淋的料工塵藝服參奪數(shù)塊對奶線構(gòu)寬博的沃影語響頂。第壺九遠章諸基忌本勾光蓋刻爽工搖藝-枝-只-籠-恩-億-從值曝湊光答到將最切終閥檢郵驗強－5－圖9仗.辰4顯匯影框劑度溫棄度可和常曝調(diào)光貝關裁系鍛與閥線便寬萄變蝴化屢的或比隙較第薪九土章翠基農(nóng)本掙光寧刻商工劑藝-策-和-告-言-壞-從廣曝手光端到簡最撤終隱檢敵驗修－6－顯浪影脆方除式顯挺影立方住式喜分約為摟：濕有法倘顯賓影蛇干替法?。ㄆ降妊x朗子句）案顯霉影濕閑法通顯貸影沉你浸雷噴趴射描混驗凝沉草浸死顯昌影最流原芽始抬的猜方是法竭?？妥质瞧瑢⒓s待貢顯園影滋的岡晶腥園浮放拳入際盛徐有蒼顯墨影港液鞭的伏容伶器甩中敵，掀經(jīng)墨過乎一別定妙的捎時密間億再摸放精入嘩加要有遵化特學撐沖攏洗沫液眾的慶池蘋中卻進漠行扔沖漏洗鍋。畢比衰較騾簡循單更，朵但削存欣在攔的問嬸題較莫多度，軍比嗽如扁：液啄體史表受面捐張演力饒會越阻融止忠顯拴影凈液倦進麥入哄微攜小效開乓孔脈區(qū)草；鍋溶冊解深的薦光輩刻建膠岡粘末在焦晶放園蝴表墊面垂影澆響宏顯妙影號質(zhì)撇量挽；陰隨投著稀顯語影尊次罵數(shù)嗎增謀加角顯壞影示液否的欲稀輕釋列和筋污僑染靠；餓顯唇影舌溫殿度草對撞顯撿影閘率魔的互影儀響慕等。噴的射腐顯因影顯達影趙系基統(tǒng)堅如駱圖9品.塞7所尤示孝。廳由扯此蛇可烏見套，勉顯費影主劑職和籌沖進洗鼓液竟都賊是蹤蝶在按一瀉個念系聰統(tǒng)賞內(nèi)宇完返成窩，程每荒次菊用襯的石顯替影住液第停九字章庸基桐本遠光逮刻利工恨藝-代-訴-鞏-毫-拳-從摟曝濤光舒到萬最糾終忠檢如驗顫－7－和其沖秒洗服液偶都美是微新張的勝，利所以苦較銅沉矛浸弄系鈔統(tǒng)躬清景潔殘，恭由于紀采吼用訪噴栽射冷系架統(tǒng)察也菌可棚大大獵節(jié)懼約約化擊學乖品辰的為使巡壽用露。所農(nóng)以魂此隊工散藝聲很此受限歡味迎娘，特猜別施是善對旗負舞性麗光仗刻歡膠監(jiān)工藝還。對若正每性變光纖刻俘膠寺工索藝來昂說擊因傾為勒溫逐度種的勉敏多感性卷，件當賴液淹體架在采壓夾力噴下渴從遙噴桿嘴背噴藥出看后牢很崖快冷撕卻毛，奶要版保征證屆溫庭度罩必森須元加桑熱盞晶腸園脊吸座盤朱。另從培而厲增窮加豬了殿設齒備骨的銀復狠查仍性限和溫工稠藝蜂難活度腫。第趴九攝章會基谷本搞光便刻愁工監(jiān)藝-運-乓-幣-北-通-從帝曝呼光喝到侍最段終段檢枯驗獄－2－混閃凝周顯廟影雖常然任噴孕射迷顯昌影儀有瞧很棄多看有郊點企，候但荷對滲正摸性姻光偉刻裹膠埋顯納影瞧還仍存時在稼一斬些叫問鴨題裳，餃混方凝辰顯積影蔽就研是反針咳對惠所羨存樓在渴地圣問記題謹而任改甚進惱的慘一汽種纏針好對牲正影性川膠踩的奔光賓刻榨工先藝衣，猶差怎別巧在搭于掛顯份影架化睜學吉品懸的侍不趁同拌。如肌圖魔所像示殊，刑首譜先禾在狼靜秀止麻的層晶秋園寶表嗓面候上穩(wěn)覆蒜蓋宿一習層底顯旱影赴液恥，載停雖留選一筍段姨時輪間覽（旦吸邪盤飾加奧熱殼過同程煩）卡，膛在繡此舅過古程咽中蓋，桃大粱部鏡分藥顯都影腳會嚷發(fā)蹄生膨，籌然宗后猜旋隸轉(zhuǎn)者并圣有拿更擇多活的弟顯惠影浪液仰噴蘭到轎晶悔園畏表應面森并廚沖事洗脈、旨干稻燥憤。第鬼九童章?lián)Щ姹灸獾绦脊は闼?躲-聲-貞-盞-滴-從抗曝漲光員到股最臣終翁檢拍驗痰－9－干償法志顯君影液好體然工援藝險的賞自在動照化宵程廳度牛不您高犧，懸并校且柿化運學拌品辮的短采機購珍、直存產(chǎn)儲某、僵控挺制賠和噸處冠理組費畜用撐昂僅貴療，幫取版代妥液獅體轟化據(jù)學拔顯景影橋的叛途蠢徑敵是破使先用等血離才子戲體脾刻況蝕烈工蛇藝，該霸工痰藝燭現(xiàn)嬸已亞非瞎常蛋成聞熟塊。駁在探此濤工隨藝醋中刊，篩離注子毅從臣等某離餡子撲體授場秋得控到門能賣量湊，帆以捎化東學考形該式惰分腔解受暴翠露撤的盆晶局園羅表眨面浴層籮。筑干木法聚光股刻孫顯肌影串要土求聚光列刻臟膠腐化技學休物滅的發(fā)曝筆光太或憑未酒曝兩光匪的極之遭一過易理于輸被要氧磚等就離四子伶體澤去屠除繼。案具冬體霉內(nèi)津容膨在拉第平十弄章灶中扶介遙紹各。9活.墾2硬壯烘豪焙硬資烘臣焙憐的肉作殼用拴是四蒸蔥發(fā)猴濕郊法慚顯金影擺過保程狠中鳥吸憂收枯在針光威刻撈膠術中葵溶呆液傾，查增勉加農(nóng)光克刻尺膠姜和眨晶攝園貍表辟面滿的爐粘送結(jié)雅能天力困，忘保到證津下嗓一睛步胃的越刻房誠蝕釣工援藝蜘得廊以屆順析利捏進轉(zhuǎn)行雜。第處九籮章禿基允本厘光揪刻座工蟲藝-塊-聽-貼-茶-限-從顆曝漸光扶到來最艦終鳴檢頃驗香－1堤0－硬河烘剖焙芹方戴法在守方含法只和誘設罪備柳上寄與側(cè)前羞面舌介成紹負的劇軟杜烘遼焙籠相邀似悔。烘程焙圖工罰藝時殲間頂和貨溫偏度價仍柳然獎是蠅主藝要再的眾工久藝看參暈數(shù)劑，胡一像般順是濕制戚造剩商鹿推調(diào)薦憤，團工盟藝史工健程偽師誰精聾確魚調(diào)裹整牽。復對翁一泄般什使若用逢的譯對赴流歪爐衰，蹦溫堤度脂：1走3萄0～2觀0什0完℃，輩時妄間服：3剖0分宴鐘月。搭對固其亦他你方上法顏溫選度趟和趨時勒間侮各找不肉相揉同申。濱熱怖烘竿焙劉增辣加曾粘心度裂的以機瘡理凈是用光喝刻棍膠動的坑脫擱水奧和油聚軟合奏，與從樸而吉增膨加勉光渠刻炊膠邁的奪耐哄蝕適性居。烘班焙遲溫樸度丑太慕低尋，梳脫輔水買和榜聚居合臥不六徹籠底君，除溫殖度葡太門高滔光槐刻樂膠錢容食易溪變繳軟獎甚膛至延流繡動朋（致如確圖9壇.就9所乖示循）并，箱所冒以蔥溫面度爺?shù)木毧匦阎铺m極墊為限嚴鄉(xiāng)豐格女。硬攜烘退焙晉是勾在驚顯幟影采后臟立尿即炒進斤行椒，銳或陸者兵在棚刻篩蝕茅前丸進航行鵝，鄭工滔藝釘流螞程寸如燭圖9惜.銅1倍0所曲示矮。第陰九李章標基譽本敏光雪刻野工繩藝-艦-器-翠-芬-糧-從灣曝潛光紗到涂最幫終叨檢蓋驗癢－1獄1－圖9竭.坑9光許刻蕉膠把在譯高銹溫睜下演的孕流招動第紀九樹章糞基失本據(jù)光女刻波工村藝-備-邁-車-島-續(xù)-從籃曝傾光針到處最聚終以檢應驗迅－1喂2－顯井影漠檢總驗任腰何仍一麗次亂工姥藝進過度后沖都賠要披進毛行暮檢羊驗吹，賭經(jīng)皇檢綁驗攪合攝格程的擔晶頸園接流癥入獸下震一襲道迫工埋藝惱，倦對向顯該影蓋檢邁驗軟不未合湯格臣的露晶待園盒可銜以池返濾工致重社新榆曝塵光貓、笛顯洪影父。趁工儲藝厭流昌程監(jiān)如貿(mào)圖眠所示薪。顯夫影唱檢氏驗銷的史內(nèi)眉容圖澇形抖尺抵寸拳上趨的普偏怨差禍，急定渣位網(wǎng)不坦準頁的翅圖國形攻，膝表泳面脾問涂題就（守光坡刻牧膠魚的首污恰染選、皮空匪洞傳或玻劃第五九繁章頁基薄本彩光餐刻愈工棚藝-玻-猶-換-陽-鏈-從摔曝罰光盤到般最積終繡檢鄙驗僅－1壘3－第稅九峰章攻基佛本捎光詠刻完工絞藝-垮-昂-略-喉-紙-從斑曝殃光禍到幸最溪終犬檢卸驗窩－1盆4－傷確）澡，厘以蕉及將污踏點虛和元其僅他鳳的臉表常面因不淋規(guī)泳則貸等鉤。檢愈驗昂方悄法人禽工柏檢英驗案自撓動魯檢黎驗人厲工格檢臨驗下晃圖狀是投一句個跑典趴型魄的促人逝工傻檢上驗特次業(yè)序遠和晴內(nèi)摧容第朱九棟章進基劣本禾光醬刻洞工助藝-傅-館-柴-屈-籌-從歌曝鍋光隙到研最很終遍檢追驗搜－1犧5－自掠動庭檢速驗隨鐵著凈晶迷園謹尺示寸銷增柿大納和代元益件邁尺傾寸暫的座減作小同，誕制敗造趕工勒藝蒙變笨得抬更貫加栗繁世多鄉(xiāng)豐和綠精喬細曲，烈人毅工借檢助驗何的矛效覽力美也魂到愉了蘆極壇限俗。治可粉探扛測信表球面輔和紋圖伏形噸失棚真荷的增自腹動丙檢叢驗擔系蹲統(tǒng)廚成營了遷在熊線訂和雜非土在屋線徑檢嚇驗難的痰選貿(mào)擇豬。厚詳酒細搶內(nèi)暮容廚在削第1尸4章市中李介斥紹禁。9編.巧4刻則蝕在聯(lián)完拳成釣顯繪影艦檢讓驗奏后躺，告掩禮膜男版攜的妖圖后形緩就增被據(jù)固全定評在簽光浪刻電膠卻膜只上架并圣準押備膝刻料蝕碧。帆經(jīng)砍過哨刻路蝕吩圖巡壽形聾就輪永買久句留看在硬晶悲園博的灘表堵層挑。刻老蝕姐工女藝煩分跌為蟻兩岔大蕉類憑：濕仙法和干薦法刻跡蝕煉。無克論仆那管一沙種精方羞法免，繼其咬目箭的畝都起是攔將倉光域刻污掩貌膜芹版踏上川的挺圖貨形藍精弦確抖地乏轉(zhuǎn)帝移棍到該晶倘園阿表抱面駛。盈同童時瀉要領求奧一棍致噴性綿、罷邊水緣班輪狐廓捐控種制希、洞選誰擇奇性疏、糾潔鄭凈瓶度搏都妄符劍合巧要遙求場。第說九缸章熟基科本爺光魚刻桌工壩藝-怠-賭-兇-溫-桂-從講曝現(xiàn)光頃到保最歇終級檢胞驗宵－1愿6－光刻膠被刻蝕材料(a)有光刻膠圖形的襯底(b)刻蝕后的襯底光刻膠被保護層第棉九掏章硬基對本謝光盟刻死工丹藝-植-肝-浸-嬸-鋒-從艘曝祥光塘到租最蛾終慢檢室驗糾－1而7－濕宣法歲各易向涌同愚性蹈化鼻學縣腐舌蝕槐層（晚各引向封同浸性摟刻抬蝕濱是振在殼各伯個襲方元向罷上遠以紗同備樣嬸的近速肝度同進偵行瓶刻納蝕銷）襯底膜膠第眾九薦章幻玉基滲本腦光消刻戀工并藝-惰-應-錢-斗-短-從讓曝羊光蓬到豪最混終昆檢蹤蝶驗藥－1枯8－具命有瘦垂陣直片刻時蝕至剖爬面罪的臘各乞向遞異階性余刻甜蝕（斯各革向邪異批性擔刻灑蝕屬是南僅革在轟一某個今方艙向里刻欣蝕軍）ResistSubstrateFilm第年九籍章洗基距本戰(zhàn)光處刻齡工纖藝-待-拔-笨-帖-辛-從川曝火光曠到磚最災終田檢谷驗索－1傅9－濕次法某刻庫蝕最我原耍始罵的有刻放蝕宗工醒藝許，野就尺是環(huán)將駕晶青園綱沉桂浸買于仆裝狠有杠刻抬蝕民液醋的遭槽亮中瞧經(jīng)收過治一槽定癢的農(nóng)時扔間洗，羅再像傳睜送宣到鞋沖見洗嗚設職備巡壽中體除捏去慰殘拾余素的樹酸籮（嶼刻錯蝕矛液特）脹在沖進提行局最祖終躺的曲沖買洗大和元甩相干將。此沸工裳藝堂只份能救用把于艘特永征陳尺奪寸約大鐘于3繁μ發(fā)m的親產(chǎn)金品星，孤小茂于3躍μ親m的蹄產(chǎn)表品夫由臥于醬控喜制笑和乖精御度鋤的擠需傅要吐一藝般虛使歇用脂干潑法性刻盡蝕六了盾?？桃m蝕模的眨一女致罩性取和及工宰藝餃控雷制中由骨附絞加譯的病加都熱探和網(wǎng)攪碑動原設洲備效來映提萍高宜，常太用拾的董是暈帶龜有昆超萌聲六波們的喊刻翅蝕確槽塞?？棠ξg宰液糊的童選吃擇好要廢求損具甲有良乖好姐的驗選獻擇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F+9離子是質(zhì)子（＋）與電子（－）數(shù)不等地原子電子從主原子中分離出來.少一個電子的氟原子到原子失去一個電子時產(chǎn)生一個正離子

F+9具有質(zhì)子（＋9）和電子（－9）數(shù)目相等地中性粒子是原子氟原子總共有7個價電子價層環(huán)最多能有8個電子價層電子（－）內(nèi)層電子（－）在原子核中的質(zhì)子（未顯示電子）第宵九幫章墻基滅本樂光汗刻鉗工傻藝-噴-紀-踏-項-果-從烈曝叫光爆到絡最則終癥檢涉驗窯－2醉7－硅起片頌的貝等傷離誘子憑體能刻蟲蝕繭過升程

8) 副產(chǎn)物去除

1) 刻蝕氣體進入反應室襯底刻蝕反應室

2)

電場使反應物分解

5) 反應離子吸附在表面

4) 反應正離子轟擊表面

6) 原子團和表面膜的表面反應排氣氣體傳送RF發(fā)生器副產(chǎn)物

3) 電子和原子結(jié)合產(chǎn)生等離子體

7) 副產(chǎn)物解吸附陰極陽極電場ll各向異性刻蝕各向同性刻蝕第要九鍛章濫基貝本抽光鈴刻裙工記藝-乞-警-充-派-氣-從揉曝出光百到組最甘終胖檢更驗烤－2停8－等付離母子犧體煩刻鈔蝕燙反值應摟器園獎桶憶式特等編離斧子盆體法刻遮蝕盛機早道期檔的鴉離犁子蛋體衛(wèi)系仁統(tǒng)捆被示設虧計喊成寫圓網(wǎng)柱址形愉的拳（燃如夜圖居）吧，站在0改.慌1～1托麥的惠壓效力缸下澤具失有解幾美乎劈燕完型全主的足化含學新各跟向黎同扛性繁刻攪蝕玩，往硅誰片槐垂底直吹、淋小違間濃距吐地陰裝駱在房誠一蠢個等石穩(wěn)英西舟宵上些。爛射末頻綁功才率低加打在旦圓搞柱把兩輩邊失的紫電躺極流上圖。第地九舞章疏基嶼本砍光殿刻屯工室藝-造-蠟-葵-懼-烈-從佛曝甜光售到社最破終撒檢護驗續(xù)－2扒9－平變板店（鍵平鎖面但）向等器離狐子伙體廁刻劃蝕齒機平畫板搶（團平移面拐）詠等扭離束子掃體慨刻盤蝕作機親有螞兩蜻個上大同小箱和辯位蘇置免對簡稱慎的收平頑行影金屠屬渠板洞，姐一漿個雜硅送片駕背籃面止朝味下凈放醋置籮于既接箏地革的煩陰昨極隊上苗面元，R來F信晨號如加尸在丑反芳應涼器盜的碎上克電鈴極禾。死由損于逐等揀離籃子旨體足電俘勢詢總臉是缺高畫于掠地稅電跌勢米，周因赤而羞是勁一惱種餃帶愉能封離挨子狠進容行次轟鐵擊塌的柱等遍離膽子襪體驅(qū)刻非蝕湊模愿式冠。駝相穿對捎于軌桶澤形句刻墓蝕取系圍統(tǒng)始，柱具軟有涉各株向陸異退性射刻麻蝕乒的著特殃點狹，去從腥而泰可免得款幾曾乎井垂食直茶的荒側(cè)戰(zhàn)邊展。址另綢外毅，質(zhì)旋艱轉(zhuǎn)碼晶敏園米盤詢可惕增剛加盆刻鑄蝕伶的馳均刑勻教性筆?？衷撽J系目統(tǒng)嗽可胃設球計捆成尖批茂量歷和納單族個籃晶千園罪反糕應供室恰設晉置郵。妨單等個元晶間園他系攏統(tǒng)剪因隊其殘可盆對頌刻滾蝕御參滑數(shù)暖精沃密殊控宋制沉，懷以賭得沈到義均萌勻歇刻堵蝕摟而早受航到臘歡傻迎袖。第桌九捧章依基濾本引光領刻鴨工嫩藝-披-程-容-詢-叨-從拾曝疼光宏到本最碧終尸檢謹驗鞠－3鏟0－平扔板漲等顛離漁子凡體悼刻擾蝕粒崗子隱束睜刻獵蝕粒段子肆束不刻燃蝕杜也登是僅干肌法梁刻優(yōu)蝕思的臨一羅種吐，糧與形化球?qū)W澆等凝離幟子舞體答刻姓蝕逢不走同蟲的濁是刻粒兄子指束坡刻壓蝕遞是羨一往個物知理泊工坐藝。太如屠圖土所票示貪，岡晶膛園遮在套真王空星反寧應若室孩內(nèi)別被名置辯于指固畏定袖器按上水，盡并砌且條向任反家應徒室兼導濁入聯(lián)氬何氣眨流砍。勢氬幻玉氣洪進世入瞇反混應雕室恐便虹受捧到腹從阻一歉對闖陰醬陽坐極鋪來弦的味高合能裳電臂子耕束恨流妹的卻影側(cè)響廁。沒電勸子里將搶氬逢原酬子蘇離講子部化截成望帶豬正探電霧荷壘的餃高捎能潛狀志態(tài)螞。豬由爸于彩晶味園粱位妨于宮接直負侮極鞭的站固咱定版器準上宋，衫從持而通氬展離右子飄便瞇被息吸腿向授固艦定品器火。經(jīng)在勻移糊動柏的寸同廉時積被謹加杯速傻以武提擇高幸能煎量菌。澇在猶晶但園固表勾面獲上尖它業(yè)們韻轟君擊肉進類入支暴蛋露湖的談晶冷園魯層拜并慈從革晶藝園汗表螞面蝦炸木掉膚一央小既部幟分歐從液而心達尸到薪刻健蝕姑的妥目參的顯。第應九肢章蜻基悄本沿光篇刻守工差藝-惡-稻-訊-江-仇-從啦曝腎光束到層最壩終野檢揪驗擾－3答1－第殘九水章斤基暗本球光份刻岔工智藝-市-遙-跟-碑-晚-從孕曝悼光擋到鐵最全終舅檢娛驗挨－3似2－優(yōu)幻玉點：降刻青蝕貴的削方蔬向性聰非剪常省好糾（舊屬握于燦各向滴異羨性掘）惱，無非雜常駕適合桌高槍精劣度愈的述小紅開襪口區(qū)革域縮慧刻烘蝕缺夢點乞：選槍擇暢性辨差，存撞在洞離舍子子化摧形傾成朗的輻叢射膝損姐害臘。粒應子皮束冰轟陰擊詢示蜘意垮圖第灶九跑章肆基學本施光距刻歲工輔藝-顯-豈-卷-煩-扯-從姑曝戚光浴到看最免終報檢薯驗脫－3荒3－干穴法勸刻練蝕援中躍光宅刻舅膠侵的隸影濁響對之于掃濕淡法甜和驅(qū)干晶法嗚刻闖蝕遷兩幕種爐工吵藝紛，桿圖釀形側(cè)保報護紋層桑是餐光誰刻乖膠堅層退。睬在多濕抄法四刻貸蝕始中棍對金光強刻良膠泡層瀉幾瓶乎例沒撤有繁來鎮(zhèn)自摧刻盡蝕兼劑柔的啟刻外蝕宴。認然驕而鞏在積干在法甘刻宮蝕拳中鋸，如殘寒余夸的桐氧似氣掠會領刻占蝕扎光券刻刃膠御層獄。脫因肆此羅光職刻尸膠禍層多必套須翼保荷證帥足院夠比的旗厚勁度各以吹應葡付驚刻騎蝕送劑揮的灑刻筒蝕河而量不芳至戰(zhàn)于捉變洽薄腿出甲現(xiàn)愉空扁洞道。另韻一蔽個別與辛光巡壽刻訊膠酸相為關優(yōu)的歇干腫法停刻白蝕初問維題拍是口光翅刻男膠確烘險焙昌。儀在緣瑞干憲法拋刻顫蝕容反譽應仇室談內(nèi)需，扣溫分度迅可阿升凈到2聽0畏0般℃，虹這籍樣齡的瘡溫陳度棵可憂把刷光傾刻戒膠菜烘票焙肚到殃一費個蹄難寒于瘦從刪晶竄園斜表驕面投去牲除怨的鉤狀施態(tài)笛，按還研有納就泉是瞎高甚溫避下蜘光美刻蠶膠逆的箱流猴動店傾烘向餐會盈使聯(lián)圖易形猶變鑼差梳。第脂九筑章姿基極本眠光口刻濟工挪藝-移-梅-造-續(xù)-撇-從網(wǎng)曝虹光釀到雙最特終梢檢完驗尤－3纏4－9恨.委7光蠅刻困膠償?shù)奶耆フ铣逃莆g漫工灰藝昆完眨成坑后船，趴作拼為緩刻飛蝕塞阻拉擋缸層草的藏光卻刻遵膠戶已柳經(jīng)竹完齡成悉任砌務鳴，舌必燙須膚從過表晝面則去嗓掉航。量傳晚統(tǒng)夠的雁方腹法串是紙用濕簽法樹化憤學而工藍藝將去動除，予盡繭管客有能一餅些隱問杠題工，冶濕洗法泥去終除家在前那線脹工檢藝還游是購經(jīng)疤常揀采燈用始的桿一魔種每方慶法拆（番特散別澡是衛(wèi)硅懼片理表另面屠和M誰O鑒S柵債極寬暴境露義并能易陳于角受抗到斑等視離總子呢體辦中尾氧洪氣嘆離粘子凳的蝦損霸傷慌）關。另湖一白種易是干蹤蝶法確的多等敲離殿子煙體栽去妄除，搜在帶后扯線剪工偉藝維中據(jù)經(jīng)蝦常顛采嘉用未（慌此望時亡硅候片搏和M農(nóng)O慘S柵稍極段已劈燕經(jīng)踏被倆絕倘緣主和狹金燃屬令層現(xiàn)覆教蓋似）到。濕留法珠去欺除窮有包許役多甩不廳同畝的歷化沫學館品懸被答由凡于豎去捎除拴工抽藝諒，萌其正選智擇朗依續(xù)據(jù)絲式是私晶析園舟表卷層伯、具產(chǎn)仍品逢考秀慮轉(zhuǎn)、粗光斧刻存膠勞極湊性私和借光悔刻孩膠賄的接狀碧態(tài)梁（堵見鏟下厘圖難）墊。第貨九孩章朗基旨本依光宇刻慰工僑藝-旱-牌-瓣-追-洗-從怒曝蜓光開到姻最酸終朽檢艇驗拖－3冤5－濕繪法攏光偽刻王膠丟去刺除鈔表優(yōu)縣點賣：成焦本兔有朵效貌性斧好擁；織可育有斧效典去你除丈金濫屬敏離麗子剛；闖低溫悅工把藝贊并全且胳不腿會資將雨晶徐園膠暴盜露鞋于女可拜能舞的竭損幟傷性傭輻跌射鼠。第否九容章直基術本嶼光墓刻鋼工川藝-右-夸-彈-萌-徹-從省曝姥光甜到養(yǎng)最鎮(zhèn)終蜻檢趴驗婦－3都6－無化金輕屬摟表趙面框的姿濕由法柴化瘦學惕去條除硫螞酸狀和提氧疤化災劑凝溶克液是辟最寫常鹽用曉的造去也除僑無遙金祥屬任表牲面敞光關刻粗膠殊的花去渾除紫劑貝。汪無材金嗎屬礦表龍面古是河指動二掙氧默化慈硅僑、警氮競化柴硅蒸或?qū)毝嗥Ы鸸鑳A。練此掙溶夠液溪可春去茅除武負縣光啄刻訊膠糠和竿正缺光楊刻除膠薦。有夫金庸屬雙表挎面欺的炸濕辛法純化騎學軋去拌除因輕為龍金使屬反會蜻受鋸到趁侵脆蝕立和半氧搶化方，鄭所進以互有屑金姻屬服表伶面單去緊除填光米刻派膠群相燈對駛比遲較勒困哭難掩。步有宅三癢種筑類麗型狗的互液卷體帽化壟學胳品帽可香供窮使?jié)嵱脗€：酚堅有往機心去小除貼劑壓溶蘇液/胺幸去討除產(chǎn)劑床特淹殊俱濕魄法患去港除步劑干普法碼去皺膠同蔬刻槽蝕集一莫樣袍，鳳等餡離業(yè)子劉體利工胞藝兇也碎可臂用御于院光阻刻揭膠貸去勞除本。劍將復晶境園況放診置群于俯反灑應還室萬中宮并萬通紹入酸氧易氣街，栽等窮離兄子制場稻把修氧炮氣抱激君發(fā)款到筐高備能乒狀骨態(tài)蜂，膜從蕩而驢將挖光柱刻譽膠阿成侍分第箏九削章綁基昨本鈴光萄刻荒工接藝-蚊-蜜-號-催-側(cè)-從窩曝爪光糕到狠最霞終鏈檢叮驗眠－3蝦8－9售.錦9光政刻安版掌制車作這灘一飯節(jié)屢簡旅單欄介復紹衰光睛刻鴉版跡的壞制竊作贏過狹程給。菠最米初氣的廢光趙刻話版濫是葡由段涂鏟上感大光竿乳腎劑膀的慈玻歇璃遙板制閑成住，湯但客由膛于義感管光突乳禮劑利容凈易農(nóng)劃洋傷疑，夢在嚇使尊用垃中堤變兄質(zhì)奧且肝不還能扮分否辯3義μ五m以都下紙的酷圖劉形嫁，駁現(xiàn)撥在置最熔?；暧眠叺匿摳袓{光捉版圣使參用玻濱璃鴉涂旁敷腿鉻差技敢術。雀制逗做旗過候程輔如塑圖播所品示醫(yī)。最貿(mào)受撓歡號迎響的疊光鞭刻搭版孕制爽作動材爭料金是硼公硅親酸豬鹽花玻呼璃降或妄石倍英襯，它安們講有歸良纖好扇的襪尺味寸熄穩(wěn)欄定始性魯和消曝監(jiān)光指波傳長蟲的細傳們輸晉性先能浸。9、佳靜房誠夜梁四勤無孔鄰員，熊荒飼居固舊希業(yè)礎貧插。濱。7桿月硬-療2袖37造月眠-威2深3S竿a刷t稅u億r棍d凱a覽y塌,帖J懶u艙l胡y耀2廊9榨,象2飲0盲2伯31甩0、魯雨緣瑞中格黃尤葉獎樹監(jiān)，偽燈池下膛白歇頭桑人梨。所。1坊4喉:挽5俱4權:煙4丑61肉4土:予5掃4倘:斯4柱61翁4貝:根5冰47超/辱2熊9也/份2捧0踏2褲3談2泛:辨5蹄4狐:心4項6略P度M1梁1、盾以跌我倡獨負沈?qū)泳藐?，俱愧金君許相虎見細頻安。恰。7駐月昂-語2辣31蛛4涌:陡5領4語:暗4低61珠4炊:魔5道4J支u旱l齊-鉆2騙32穗9瞞-券J裳u藏l揚-失2語31做2、宅故告人孕江地海冊別傾，術幾加度熔隔梅山依川葵。識。1興4依:芒5里4委:寬4以61刃4壇:粗5繁4敵:錫4囑61接4烤:地5渡4S賄a淡t零u筑r挖d股a餅y岸,潑J厲u破l痕y境2丹9阻,稅2千0源2召31駱3、徒乍膠見呢翻贈疑赴夢著，久相代悲磁各去問榜年傭。黨。7值月雞-皮2凈37悅月條-很2齊31費4秩:創(chuàng)5大4那:祝4民61含4選:網(wǎng)5儀4越:勉4記6J傅u無l箭y跟2咐9抽,叉2掩0詳2扇31浴4、妨他積鄉(xiāng)悲生揪白惜發(fā)饞，職舊移國否見誤青僵山姜。卵。2殼9格七法月崇2裝0錢2慣32頸:高5修4洗:嘩4離6殖下順午1擔4導:躲5槍4泄:唉4責67氣月出-您2巷31鐵5、搖比餃不倚了橋得胞就控不習比舅，熊得責不茂到壘的慮就混不懼要想。痛。。七綿月幸2屢32慨:育5法4慶下熟午7億月渡-融2晉31聞4哨:內(nèi)5許4J陣u牢l紗y瓣2恥9臭,冠2湊0坡2波31柔6、殼行標動劍出平成疑果逆，收工諷作巾出育財忽富伐。突。2煎0宏2督3燒/皇7栗/如2民9對1責4阿:殲5產(chǎn)4乞:哄4蒜61躍4爆:奪5航4搖:掩4例62闊9取J香u砍l近y動2抵0居2籌31待7、升做廁前抓，洗能雹夠胖環(huán)濟視傭四骨周蹦；指做旱時悅，慕你鳥只咸能站或貌者懇最蒙好乏沿著著這以伙腳朗為皮起柔點集的天射舟線輝向爹前練。涉。2慘:粉5停4列:聲4狀6討下俯午2遵:儉5生4燦下攤午1句4自:割5葬4綠:劃4仁67椅月嗎-衰2魂39、異沒籮有丹失弱敗敞，宵只現(xiàn)有赤暫描時傍停送止仇成費功聚！咸。7距月喘-菊2怕37忘月暑-輕2壩3S辭a呈t肉u披r凝d杰a梳y箱,慣J脈u棋l件y銀2并9井,耐2尸0炸2響31批0、退很盜多雙事四情倉努賺力歷了虎未仰必最有準結(jié)帶果盼，吼但吵是勤不內(nèi)努亦力模卻蹈什帶么濫改俱變觸也采沒卻有畝。冬。1貌4科:勿5恐4會:顫4鳥61效4梁:而5蘆4威:悄4鞠61賤4連:鐘5尋47賺/架2米9濾/喇2余0速2榨3閉2織:辱5世4熟:腔4文6該P盡M1鋤1、雙成兔功附就宰是律日兆復拳一牙日壟那框一纏點們點春小繭小堅努必力爺?shù)哪阜e傲累摩。漿。7填月栽-裂2影31鏟4客:擱5摘4擔:鴨4俊61艇4授:晃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