人人文庫(kù)專用

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

Codefordesignofpurewatersystemof

electronicindustry

GB50685-2011

主編部門(mén)：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門(mén)：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

施行日期：2012年5月1日

人人文庫(kù)專用

中國(guó)計(jì)劃出版社

2012北京

書(shū)

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50685-2011

☆

中國(guó)計(jì)劃出版社出版

（地址：北京市西城區(qū)木樨地北里甲11號(hào)國(guó)宏大廈C座4層）

（郵政編碼：100038電話：6390643363906381）

新華書(shū)店北京發(fā)行所發(fā)行

人人文庫(kù)專用北京世知印務(wù)有限公司印刷

850×1168毫米1/322.5印張63千字

2012年2月第1版2012年2月第1次印刷

印數(shù)1—6000冊(cè)

☆

統(tǒng)一書(shū)號(hào)：1580177·724

定價(jià)：15.00元

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

第1028號(hào)

關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為

GB50685—2011，自2012年5月1日起實(shí)施。其中，第6.1.8、

6.1.9、6.1.10、6.3.3、6.3.4、6.4.7條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格

執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)

行。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

二〇一一年五月十二日

人人文庫(kù)專用

前言

本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)

范制訂、修訂計(jì)劃（第二批）〉的通知》（建標(biāo)函〔2005〕124號(hào)）的要

求，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司會(huì)

同中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)研究院、上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司

和北京北方佳云凈水設(shè)備有限公司共同編制完成。

本規(guī)范在編制過(guò)程中，編制組認(rèn)真貫徹國(guó)家基本建設(shè)方針和

有關(guān)環(huán)保、節(jié)水要求，在認(rèn)真、全面調(diào)查我國(guó)電子工業(yè)純水系統(tǒng)的

設(shè)計(jì)和使用現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，廣泛征求國(guó)內(nèi)各設(shè)計(jì)院、工程公司、生

產(chǎn)廠商和使用單位的意見(jiàn)，參考相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分8章和2個(gè)附錄。主要內(nèi)容包括：總則，術(shù)語(yǔ)，純

水制備工藝，純水輸送和分配，純水回收和節(jié)水，純水站房，藥品貯

存，計(jì)量和輸送，控制及儀表等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解

釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)

研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行

本規(guī)范過(guò)程中，請(qǐng)各單位結(jié)合技術(shù)進(jìn)步和具體的工程實(shí)踐，認(rèn)真總

結(jié)積累經(jīng)驗(yàn)，人人文庫(kù)專用如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見(jiàn)和建議寄送信

息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司（地址：四川

省成都市新華大道雙林路251號(hào)；郵政編碼：610021；傳真：028-

84333172），以便今后修訂時(shí)參考。

本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份

有限公司

·1·

參編單位：中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院

上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司

北京北方佳云凈水設(shè)備有限公司

主要起草人：肖勁戈路振福樊勖昌王凌旭薛長(zhǎng)立

杜寶強(qiáng)路健崔淑潔龍明全馬禮飛

黃漢新周小莉裴志華李希云

主要審查人：周可可林耀澤毛煜林羅昌貴楊琦

蕭百宏李春鞠唐世權(quán)王春

人人文庫(kù)專用

·2·

目次

1總則…………………（1）

2術(shù)語(yǔ)…………………（2）

3純水制備工藝……………（4）

3.1一般規(guī)定………………（4）

3.2預(yù)處理…………………（5）

3.3脫鹽及深度處理…………（8）

3.4精處理…………………（11）

3.5特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施………………（11）

3.6水箱、水泵………………（12）

4純水輸送和分配…………（13）

4.1一般規(guī)定………………（13）

4.2管道設(shè)計(jì)………………（14）

5純水回收和節(jié)水…………（16）

5.1一般規(guī)定………………（16）

5.2純水回收………………（16）

5.3節(jié)水措施………………（17）

6純水站房…………………（18）

6.1一般規(guī)定人人文庫(kù)專用………………（18）

6.2設(shè)備布置………………（19）

6.3管道布置………………（20）

6.4土建……………………（21）

6.5電氣……………………（22）

6.6采暖通風(fēng)………………（22）

6.7給水排水和消防…………（23）

·1·

7藥品貯存、計(jì)量和輸送……（24）

7.1一般規(guī)定………………（24）

7.2酸、堿及鹽………………（24）

8控制及儀表………………（26）

8.1一般規(guī)定………………（26）

8.2純水系統(tǒng)監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)選型……………（26）

8.3現(xiàn)場(chǎng)控制系統(tǒng)及集中監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)………（27）

8.4儀表設(shè)置………………（28）

附錄A水質(zhì)全分析報(bào)告……（29）

附錄B離子交換器設(shè)計(jì)參數(shù)………………（30）

本規(guī)范用詞說(shuō)明………………（34）

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………（35）

附：條文說(shuō)明…………………（37）

人人文庫(kù)專用

·2·

Contents

1Generalprovisions………（1）

2Terms……………………（2）

3Purewaterpreparationprocess…………（4）

3.1Generalrequirement……（4）

3.2Pretreatment……………（5）

3.3Desaltinganddeeptreatment……………（8）

3.4Finetreatment（Polishing）………………（11）

3.5Technicalmeasuresforspecialwaterqualityindex………（11）

3.6Watertankandwaterpump……………（12）

4Purewatersupplyanddistribution……（13）

4.1Generalrequirement……（13）

4.2Pipingdesign……………（14）

5Purewaterreclaimandwatersaving…（16）

5.1Generalrequirement……（16）

5.2Purewaterreclaim………（16）

5.3Watersavingmeasure……（17）

6Purewaterplant…………（18）

6.1General人人文庫(kù)專用requirement……（18）

6.2Equipmentlayout………（19）

6.3Pipinglayout……………（20）

6.4Construction……………（21）

6.5Electrical………………（22）

6.6Heatingandventilation…………………（22）

6.7Watersupplyanddrainage，firefighting…（23）

·3·

7Chemicalstorage，meteringandtransfer………………（24）

7.1Generalrequirement……（24）

7.2Acid，alkalineandsalt…………………（24）

8Controlandinstrumentation……………（26）

8.1Generalrequirement……（26）

8.2Designandselectionofmonitoringsystemforpure

waterplant……………（26）

8.3Designofsitecontrolsystemandcentralmonitoring

system…………………（27）

8.4Instrumentsetup………（28）

AppendixAWaterqualityfullanalysisreport…………（29）

AppendixBIonexchangerdesignparameters…………（30）

Explanationofwordinginthiscode………（34）

Listofquotedstandards……（35）

Addition：Explanationofprovisions………（37）

人人文庫(kù)專用

·4·

1總則

1.0.1為確保電子工業(yè)純水系統(tǒng)出水滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要

求，確保電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)做到技術(shù)先進(jìn)、安全適用、經(jīng)濟(jì)

合理、操作方便，制定本規(guī)范。

1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)純水系統(tǒng)的工

程設(shè)計(jì)。

1.0.3電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)貫徹執(zhí)行國(guó)家的技術(shù)經(jīng)濟(jì)政策，

合理選擇水源，節(jié)約能源，節(jié)約用水，節(jié)約用地，保護(hù)環(huán)境，安全衛(wèi)

生，提高經(jīng)濟(jì)效益。

1.0.4電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)主體工程建設(shè)規(guī)劃、生產(chǎn)特

點(diǎn)等綜合確定，并應(yīng)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，擇優(yōu)確定設(shè)計(jì)方案。當(dāng)主體

工程為分期建設(shè)時(shí)，純水系統(tǒng)應(yīng)按最終容量（規(guī)模）統(tǒng)一規(guī)劃、合理

布局、分期實(shí)施。

1.0.5電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修、

檢（監(jiān)）測(cè)和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。

1.0.6電子工業(yè)純水系統(tǒng)的改建、擴(kuò)建設(shè)計(jì)，應(yīng)合理利用、改造原

有設(shè)施。

1.0.7純水回收和節(jié)水設(shè)施宜與純水制備系統(tǒng)統(tǒng)籌規(guī)劃，并宜同

時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)人人文庫(kù)專用施工、同時(shí)投運(yùn)。

1.0.8純水系統(tǒng)排放的廢水，應(yīng)達(dá)到國(guó)家和地方排放標(biāo)準(zhǔn)后再排

放。

1.0.9電子工業(yè)純水系統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)

符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

·1·

2術(shù)語(yǔ)

2.0.1電子工業(yè)純水purewaterforelectronicindustry

電子工業(yè)生產(chǎn)所需的純化水的通稱，根據(jù)生產(chǎn)需要的水質(zhì)去

除生產(chǎn)所不希望保留的各種離子以及其他雜質(zhì)的水。

2.0.2電子工業(yè)純水系統(tǒng)purewatersystemforelectronic

industry

制取和配送用于電子工業(yè)生產(chǎn)純水的系統(tǒng)，通常包括純水制

備、純水的輸送和分配、純水的回收和處理的系統(tǒng)。

2.0.3軟化水softwater

除掉部分或全部鈣、鎂離子等后的水。

2.0.4淤塞指數(shù)（SDI）siltdensityindex

保證反滲透正常運(yùn)行的進(jìn)水水質(zhì)重要指標(biāo)，它通過(guò)被測(cè)水樣

對(duì)0.45μm濾膜的淤塞程度間接表征造成反滲透膜面堵塞的水中

微量懸浮物、膠體的含量，又稱污染指數(shù)FI。

2.0.5電阻率resistivity

度量水溶液阻止電流通過(guò)的能力，等于在一定溫度下，一對(duì)截面積

為1cm2的電極在1cm距離間的電阻值，其單位為Ω·cm或MΩ·cm。

2.0.6電導(dǎo)率conductivity

度量水溶液導(dǎo)電的能力，等于電阻率的倒數(shù)，其單位為μs/cm

或s/cm。人人文庫(kù)專用

2.0.7總有機(jī)碳（TOC）totalorganiccarbon

水中溶解性和懸浮性有機(jī)物中碳的總量，反映水中有機(jī)物含

量的指標(biāo)。

2.0.8微濾（MF）microfiltration

通常指在外壓作用下，利用篩網(wǎng)狀過(guò)濾介質(zhì)膜的“篩分”作用

進(jìn)行分離的膜分離技術(shù)。

·2·

2.0.9超濾（UF）ultrafiltration

通常指在外壓作用下，利用非對(duì)稱性膜去除水中亞微米懸浮

物的膜分離技術(shù)。超濾能截留分子量范圍為幾百至幾百萬(wàn)的溶質(zhì)

和微粒，多為大分子有機(jī)物和膠體。

2.0.10反滲透（RO）reverseosmosis

在外加壓力作用下，利用一種半透性薄膜使水分子和其他一

些物質(zhì)選擇性透過(guò)，從而將絕大部分懸浮物和絕大部分溶解固形

物（鹽）截留去除的膜分離技術(shù)。

2.0.11電脫鹽（EDI）electrodeionization

一種利用裝填陽(yáng)、陰混合離子交換樹(shù)脂或離子交換無(wú)紡布，在

直流電場(chǎng)作用下連續(xù)去除水中離子而不需要專門(mén)再生的除鹽裝置

的統(tǒng)稱。

2.0.12紫外線殺菌UVsterilization

通過(guò)波長(zhǎng)254nm的紫外線照射殺滅水中的活菌為紫外線殺

菌裝置。

2.0.13紫外線除有機(jī)碳UV-TOCRemoval

通過(guò)波長(zhǎng)185nm的紫外線照射分解純水中的微量TOC為紫

外線除TOC裝置。

2.0.14膜脫氣裝置（MDG）membranedegasifier

利用膜分離技術(shù)降低水中揮發(fā)性溶解物質(zhì)的裝置，在電子工

業(yè)純水系統(tǒng)中主要是脫除純水中的溶解氧。

2.0.15供水環(huán)路distributionloop

為保證電人人文庫(kù)專用子工業(yè)最終使用點(diǎn)的純水水質(zhì)和水壓而采用的有附

加循環(huán)水量的不間斷供水方式，最終使用點(diǎn)用水取自從終端過(guò)濾

器到純水水箱之間的閉合供水環(huán)路。供水環(huán)路一般由純水精處理

系統(tǒng)和供、回水管路共同組成。

2.0.16背壓調(diào)節(jié)閥組backpressureregulationunit

設(shè)于純水回水管路末端，通過(guò)調(diào)節(jié)閥通徑大小的變化來(lái)維持、

調(diào)節(jié)純水供回水管路壓力的調(diào)節(jié)閥組。

·3·

3純水制備工藝

3.1一般規(guī)定

3.1.1電子工業(yè)純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，合理確

定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模和供水水質(zhì)。

3.1.2電子工業(yè)純水系統(tǒng)制水流程和設(shè)備的選擇應(yīng)根據(jù)對(duì)純水

水質(zhì)的要求、原水水質(zhì)以及運(yùn)行管理水平，并結(jié)合處理效果、原水

的利用率、節(jié)能、環(huán)保等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

3.1.3電子工業(yè)純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)最終產(chǎn)品水水質(zhì)要求選擇簡(jiǎn)捷、

有效的處理流程和可靠的處理設(shè)備。

3.1.4純水站的產(chǎn)水量應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品水量加系統(tǒng)自用水量確定。

3.1.5電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)前應(yīng)取得全部可利用水源的水質(zhì)

全分析資料，并應(yīng)選擇有代表性的水質(zhì)分析資料作為設(shè)計(jì)依據(jù)。

水質(zhì)全分析報(bào)告格式應(yīng)符合本規(guī)范附錄A的要求。水質(zhì)資料的

獲取應(yīng)符合下列要求：

1水源為地表水時(shí)宜取得全年逐月水質(zhì)資料。

2水源為地下水時(shí)宜取得全年每季的水質(zhì)資料。

3當(dāng)無(wú)法得到逐月或逐季資料時(shí)，應(yīng)掌握水質(zhì)隨季節(jié)的變化

規(guī)律。

3.1.6對(duì)可能人人文庫(kù)專用受到海水倒灌或其他因素影響的水源，應(yīng)掌握由此

而引起的水質(zhì)變化情況。對(duì)于來(lái)自生產(chǎn)過(guò)程中的回用水，應(yīng)掌握

其來(lái)源與組成。

3.1.7電子工業(yè)純水制備系統(tǒng)應(yīng)由預(yù)處理、脫鹽及深度處理和精

處理組成，各階段達(dá)到的目標(biāo)應(yīng)符合下列要求：

1預(yù)處理階段水質(zhì)應(yīng)滿足脫鹽裝置進(jìn)水水質(zhì)的要求。

2脫鹽及深度處理階段產(chǎn)水水質(zhì)應(yīng)接近最終產(chǎn)水水質(zhì)要求。

·4·

3精處理階段應(yīng)保證不間斷地滿足最終產(chǎn)水水質(zhì)、水量和水

壓等要求。

3.1.8系統(tǒng)設(shè)計(jì)中每個(gè)水處理裝置的出水水質(zhì)應(yīng)滿足后續(xù)處理

裝置的進(jìn)水水質(zhì)要求，水處理裝置的進(jìn)水水質(zhì)應(yīng)根據(jù)制水設(shè)備的

要求確定。水質(zhì)要求較高或有多項(xiàng)水質(zhì)指標(biāo)時(shí)尚應(yīng)符合最終水質(zhì)

的要求。

3.2預(yù)處理

3.2.1預(yù)處理系統(tǒng)需要達(dá)到的水質(zhì)指標(biāo)應(yīng)根據(jù)所選脫鹽裝置的

進(jìn)水水質(zhì)要求確定，缺乏資料時(shí)可按表3.2.1選擇。脫鹽處理單

元采用反滲透工藝時(shí)，預(yù)處理系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水質(zhì)特點(diǎn)采取有效防止結(jié)

垢等化學(xué)污染，以及防止生物、有機(jī)物及鐵錳金屬離子等污染的措施。

表3.2.1離子交換、電滲析、反滲透及電除鹽裝置進(jìn)水水質(zhì)要求

項(xiàng)目離子交換電滲析反滲透電除鹽

SDI—＜5＜5—

對(duì)流再生＜2

濁度＜1.0＜1—

順流再生＜5

水溫（℃）5～40※15～405～355～40

pH——2～115～9

※2

CODMn（mg/L）＜2＜3＜3＜0.5（TOC計(jì)）

游離氯（mg/L）（以Cl2表示）＜0.1＜0.3＜0.10.05

含鐵量（mg/L）（以Fe表示）＜0.3＜0.3＜0.05＜0.01

含錳量（mg/L）（以Mn表示）—＜0.1—（兩項(xiàng)合計(jì)）

總硬度（mg/L）（人人文庫(kù)專用以CaCO3表示）———＜1

總含鹽量（mg/L）———＜10～25

二氧化硅（mg/L）———＜0.5

注：1強(qiáng)堿Ⅱ型樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂的進(jìn)水水溫不應(yīng)大于35℃。

2指對(duì)凝膠型強(qiáng)堿陰離子交換樹(shù)脂的要求。

3.2.2原水濁度較高時(shí)宜采用凝聚澄清過(guò)濾工藝，設(shè)計(jì)參數(shù)可按

現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《室外給水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50013的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行；原

·5·

水采用含低密度、疏水性懸浮物較高的地面水水源時(shí)，宜加設(shè)氣浮

分離工藝；原水采用城市自來(lái)水時(shí)，宜采用微絮凝過(guò)濾、微濾或超

濾等處理工藝。純水系統(tǒng)預(yù)處理設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：

1過(guò)濾器的設(shè)計(jì)產(chǎn)水量應(yīng)包括后續(xù)處理裝置要求的供水量

及過(guò)濾器的自耗水量。過(guò)濾器臺(tái)數(shù)不宜少于2臺(tái)。

2過(guò)濾器的過(guò)濾周期應(yīng)根據(jù)進(jìn)出口水質(zhì)、濾料截污能力等因

素確定。每臺(tái)設(shè)備每晝夜反洗次數(shù)宜為1次～2次。

3絮凝劑的選用和加藥量的確定應(yīng)根據(jù)進(jìn)水濁度、水溫、pH

值及堿度等因素的影響，以及相似水質(zhì)的工程運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)或試驗(yàn)資

料，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

4絮凝劑投加點(diǎn)宜設(shè)置于原水加壓泵吸入段或在進(jìn)入過(guò)濾

器前設(shè)置靜態(tài)混合器。

5微絮凝聚過(guò)濾的過(guò)濾器的設(shè)計(jì)參數(shù)可根據(jù)表3.2.2-1的

要求選用，過(guò)濾器采用氣水反洗時(shí)設(shè)計(jì)參數(shù)可根據(jù)表3.2.2-2的

要求選用。

6采用微濾、超濾除濁時(shí)，應(yīng)采取完善的自動(dòng)反洗和化學(xué)清

洗措施。微濾、超濾前宜設(shè)置預(yù)過(guò)濾器，其過(guò)濾精度可根據(jù)所選用

的微濾和超濾產(chǎn)品的進(jìn)水水質(zhì)要求確定。

7微濾、超濾和活性炭過(guò)濾并用時(shí)，活性炭過(guò)濾應(yīng)置于微濾、

超濾之后。

表3.2.2-1微絮凝聚過(guò)濾器的設(shè)計(jì)參數(shù)

濾料反洗

濾速

序號(hào)過(guò)濾器類別

人人文庫(kù)專用粒徑不均勻系數(shù)床高（m/h）強(qiáng)度歷時(shí)

2

（mm）（K80）（m）（L/s·m）（min）

dmin=0.35

1級(jí)配石英砂＜2.00.7～0.8≤6.514～156～8

dmax=0.5

dmin=0.8

無(wú)煙煤＜1.50.4

雙層dmax=1.2

27～915～167～8

濾料dmin=0.4

石英砂＜1.50.4

dmax=0.8

dmin=0.9

3均質(zhì)石英砂1.3～1.61.1～1.27.5～8.514～156～8

dmax=1.2

·6·

表3.2.2-2氣水反洗過(guò)濾器設(shè)計(jì)參數(shù)

先氣沖洗氣水同時(shí)沖洗后水沖洗

序號(hào)過(guò)濾器類別強(qiáng)度歷時(shí)氣強(qiáng)度水強(qiáng)度歷時(shí)強(qiáng)度歷時(shí)

（L/s·m2）（min）（L/s·m2）（L/s·m2）（min）（L/s·m2）（min）

1級(jí)配石英砂12～183～112～183～44～37～97～5

2雙層濾料15～203～1———6.5～106～5

3均質(zhì)石英砂13～172～113～173～44～34～88～5

3.2.3原水中鐵錳含量不能滿足后續(xù)裝置進(jìn)水要求時(shí)，應(yīng)采取除

鐵錳措施，設(shè)計(jì)參數(shù)可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《室外給水設(shè)計(jì)規(guī)范》

GB50013的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

3.2.4活性炭過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)進(jìn)水水質(zhì)、處理要求和活性炭的種類

進(jìn)行設(shè)計(jì)?；钚蕴窟^(guò)濾器的設(shè)計(jì)參數(shù)可按表3.2.4的要求確定。

活性炭過(guò)濾器用于去除游離余氯時(shí)，可取較高濾速；去除有機(jī)物

時(shí)，可取較低濾速。

表3.2.4活性炭過(guò)濾器設(shè)計(jì)參數(shù)

濾料粒徑濾層高度濾速反洗強(qiáng)度反洗歷時(shí)

項(xiàng)目

（mm）（mm）（m/h）（m/h）（min）

參數(shù)0.8～1.2900～20008～1620～245～15

3.2.5防止反滲透膜結(jié)垢的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：

1采用投加阻垢劑防止反滲透設(shè)備結(jié)垢時(shí)，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)

和藥劑的技術(shù)說(shuō)明選擇藥劑品種和投加量。

2采用鈉離子交換軟化或復(fù)床式離子交換降低原水的硬度

和堿度時(shí)，離人人文庫(kù)專用子交換器的設(shè)計(jì)參數(shù)可按本規(guī)范附錄B的要求選

用。

3采用調(diào)節(jié)pH值降低碳酸鹽硬度時(shí)，宜采用鹽酸。

3.2.6采用藥劑氧化法降低有機(jī)物和抑制微生物時(shí)，其加氯量應(yīng)

根據(jù)原水中的有機(jī)物含量計(jì)算。對(duì)經(jīng)過(guò)混凝沉淀及過(guò)濾處理后的

原水或清凈的地下水，加氯量可采用0.5mg/L～1.0mg/L。

3.2.7原水經(jīng)氧化處理或原水余氯含量超過(guò)后續(xù)處理裝置的進(jìn)

·7·

水要求時(shí)，應(yīng)采用活性炭吸附或投加還原劑等方法進(jìn)行脫氯處理。

3.2.8當(dāng)冬季原水水溫較低時(shí)進(jìn)入反滲透裝置前是否提高水溫，

應(yīng)根據(jù)制水量、產(chǎn)品水的水溫要求、熱源供應(yīng)及加熱成本等因素綜

合比較確定。當(dāng)選擇換熱設(shè)備時(shí)，宜采用板式換熱器。其設(shè)置位

置應(yīng)根據(jù)預(yù)處理各單元裝置對(duì)水溫的要求確定。

3.3脫鹽及深度處理

3.3.1脫鹽系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)處理水量、進(jìn)出水質(zhì)的要求，經(jīng)技

術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。當(dāng)產(chǎn)品水對(duì)微粒、TOC等水質(zhì)指標(biāo)有要求時(shí)，

宜選反滲透處理工藝。

3.3.2反滲透裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

1反滲透裝置不宜少于2套，每套反滲透裝置的保安過(guò)濾

器、反滲透給水泵宜獨(dú)立設(shè)置。

2反滲透裝置前應(yīng)設(shè)置過(guò)濾精度不小于5μm的保安過(guò)濾

器，并應(yīng)設(shè)置清洗設(shè)施。

3反滲透裝置應(yīng)有流量、壓力、溫度等控制措施。反滲透高

壓泵進(jìn)口應(yīng)設(shè)置低壓保護(hù)開(kāi)關(guān)，出口應(yīng)設(shè)置止回閥和高壓保護(hù)開(kāi)

關(guān)。反滲透裝置宜采用高壓泵變頻啟動(dòng)或在高壓水泵出口設(shè)置電

動(dòng)慢開(kāi)閥門(mén)等穩(wěn)壓裝置。當(dāng)幾臺(tái)反滲透裝置出水并聯(lián)連接時(shí)，每

臺(tái)裝置出水管上應(yīng)設(shè)置止回閥。反滲透裝置出口背壓應(yīng)符合所選

用膜件的設(shè)計(jì)要求。

4反滲透裝置宜按連續(xù)運(yùn)行設(shè)計(jì)，停運(yùn)時(shí)應(yīng)采取沖洗保護(hù)措

施。人人文庫(kù)專用

5反滲透裝置在線化學(xué)清洗應(yīng)能逐段單獨(dú)進(jìn)行。在線清洗

裝置宜設(shè)加熱裝置。

6保安過(guò)濾器、反滲透高壓泵宜選用不銹鋼材質(zhì)。

7采用兩級(jí)反滲透時(shí)，進(jìn)入第二級(jí)反滲透之前宜作pH調(diào)

節(jié)。

3.3.3離子交換裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

·8·

1當(dāng)水質(zhì)較穩(wěn)定、出水量不大時(shí)，初級(jí)處理系統(tǒng)中陽(yáng)、陰離子

交換器應(yīng)采用單元制串聯(lián)系統(tǒng)，且陰離子交換器的樹(shù)脂裝填量應(yīng)

為計(jì)算值加10％～15％的裕量。

2當(dāng)進(jìn)水水質(zhì)變化較大、出水量大時(shí)，初級(jí)處理系統(tǒng)中陽(yáng)、陰

離子交換器宜采用母管并聯(lián)制系統(tǒng)，每臺(tái)離子交換器進(jìn)出口應(yīng)設(shè)

置手動(dòng)隔離閥。

3離子交換除鹽系統(tǒng)中順流再生固定床、逆流再生固定床、

浮動(dòng)床、雙層床和滿室床的選用，應(yīng)根據(jù)處理水量、進(jìn)水水質(zhì)條件

和出水水質(zhì)要求進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。浮動(dòng)床宜用于制水量

大、連續(xù)運(yùn)行的系統(tǒng)。

4使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿離子交換樹(shù)脂的初級(jí)復(fù)床除鹽有關(guān)床型適

用進(jìn)出水水質(zhì)，可按表3.3.3的要求確定。采用弱型樹(shù)脂與強(qiáng)型

樹(shù)脂串聯(lián)工藝或用雙層床組成復(fù)床時(shí)，系統(tǒng)進(jìn)水水質(zhì)條件可放寬，

具體適用的進(jìn)水水質(zhì)條件應(yīng)通過(guò)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

5弱酸、弱堿離子交換樹(shù)脂的使用應(yīng)根據(jù)進(jìn)水水質(zhì)條件合理

選擇。當(dāng)碳酸鹽硬度較高、碳酸鹽硬度與總陽(yáng)離子之比大于0.5

時(shí)，宜采用弱酸陽(yáng)離子交換樹(shù)脂；當(dāng)強(qiáng)酸陰離子含量大于2mmol/L、

強(qiáng)酸陰離子與弱酸陰離子之比大于2或有機(jī)物含量高時(shí)，宜采用

弱堿陰離子交換樹(shù)脂。在強(qiáng)、弱型離子交換樹(shù)脂層高合適時(shí)，可選

用雙層床或雙室離子交換器。

6離子交換樹(shù)脂的工藝性能數(shù)據(jù)應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)工況條件，按樹(shù)

脂生產(chǎn)廠家提供的產(chǎn)品性能參數(shù)或類似設(shè)計(jì)工況條件下的實(shí)際運(yùn)

行資料確定。人人文庫(kù)專用必要時(shí)也可通過(guò)模擬試驗(yàn)確定。

7離子交換裝置的設(shè)計(jì)參數(shù)可按本規(guī)范附錄B的要求設(shè)

計(jì)。

8陽(yáng)、陰離子交換器工作周期宜按每晝夜再生1次～2次設(shè)

計(jì)。

9采用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿離子交換樹(shù)脂的固定床交換器，交換器的

再生方式應(yīng)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。當(dāng)進(jìn)水總含鹽量大于150mg/L、

·9·

總陽(yáng)離子含量大于100mg/L（CaCO3）、強(qiáng)酸陰離子含量大于

100mg/L（CaCO3）時(shí)，宜采用逆流再生方式。

10離子交換器的交換樹(shù)脂層高，應(yīng)通過(guò)計(jì)算確定，樹(shù)脂層高

度不宜低于1.0m?；旌想x子交換器的陽(yáng)、陰樹(shù)脂比例宜為1∶2。

11無(wú)石英砂墊層的離子交換器出口應(yīng)設(shè)置樹(shù)脂捕捉器。

12采用雙室床、浮動(dòng)床或滿室床離子交換器時(shí)，應(yīng)分別設(shè)置

陽(yáng)、陰離子交換樹(shù)脂清洗罐。

表3.3.3初級(jí)復(fù)床離子交換器進(jìn)出水水質(zhì)

進(jìn)水水質(zhì)出水水質(zhì)

設(shè)備名稱含鹽量總陽(yáng)離子強(qiáng)酸陰離子電導(dǎo)率

（mg/L）［mg/L（CaCO3）］［mg/L（CaCO3）］（μS/cm）

順流再生固定床＜150≤100≤50≤10

逆流再生固定床＜500≤350≤200＜5

浮動(dòng)床300～500100～20050～125＜5

3.3.4二氧化碳器或真空除氣器的填料層高度，應(yīng)根據(jù)填料品種

和尺寸，進(jìn)、出水二氧化碳含量，水溫以及所選定淋灑密度下的實(shí)

際解析系數(shù)等因素經(jīng)計(jì)算確定。

3.3.5電脫鹽裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

1電脫鹽裝置的進(jìn)水水質(zhì)要求應(yīng)根據(jù)設(shè)備要求確定，缺乏資

料時(shí)，可按本規(guī)范表3.2.1的要求確定。

2電脫鹽裝置不宜少于2套，其濃水宜回收至反滲透系統(tǒng)進(jìn)

水。

3.3.6深度人人文庫(kù)專用脫鹽的混合床離子交換器，宜采用氮?dú)饣旌想x子交換

樹(shù)脂。

3.3.7脫氧膜設(shè)備和純水儲(chǔ)罐氣封氮?dú)獾募兌?，不?yīng)低于

99.999％。

3.3.8紫外線滅菌器后應(yīng)安裝滅活細(xì)菌過(guò)濾器，過(guò)濾精度不宜低

于0.45μm。TOCUV后應(yīng)設(shè)置混床離子交換器或拋光混床離子

交換器。

·10·

3.4精處理

3.4.1最終純水水質(zhì)要求較高時(shí)，精處理系統(tǒng)應(yīng)與車間供水管道

構(gòu)成循環(huán)供水系統(tǒng)。

3.4.2系統(tǒng)設(shè)備的設(shè)計(jì)流量應(yīng)按產(chǎn)水量與循環(huán)附加流量之和計(jì)

算。

3.4.3精處理混合床應(yīng)符合下列要求：

1應(yīng)采用非再生式離子交換樹(shù)脂。

2離子交換樹(shù)脂應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求選擇。

3離子交換器濾速宜為40m/h～60m/h。

3.4.4最終用水有不同水溫要求時(shí)，應(yīng)在精混床后分別換熱供

水，熱純水回水應(yīng)進(jìn)行降溫處理。

3.4.5精處理系統(tǒng)的最終出水管上應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求設(shè)置相應(yīng)的

在線水質(zhì)監(jiān)測(cè)儀表。未配置在線水質(zhì)監(jiān)測(cè)儀表時(shí)，應(yīng)備有采樣口。

3.5特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施

3.5.1純水水質(zhì)對(duì)微粒、總有機(jī)碳、細(xì)菌、溶解氧、二氧化硅及硼

等特殊指標(biāo)有要求時(shí)，系統(tǒng)的各個(gè)處理單元的設(shè)置中除應(yīng)滿足后

續(xù)設(shè)備的進(jìn)水水質(zhì)要求外，還應(yīng)滿足對(duì)特殊指標(biāo)的處理要求。

3.5.2純水水質(zhì)對(duì)TOC有要求時(shí)，應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求采用下列措

施：

1在初級(jí)處理系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)置反滲透裝置。

2要求人人文庫(kù)專用TOC小于20μg/L～50μg/L時(shí)，應(yīng)設(shè)置紫外線除有

機(jī)物裝置。

3應(yīng)采用低TOC析出的離子交換樹(shù)脂、管道、閥門(mén)及設(shè)備

材料。

3.5.3純水水質(zhì)含有溶解氧指標(biāo)時(shí)，系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)置脫氧裝置，其

后所設(shè)的水箱均應(yīng)采取氮封措施。脫氧裝置宜采用膜脫氣，并應(yīng)

根據(jù)水質(zhì)要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定采用一處脫氣處理或多處脫氣

·11·

處理。

3.5.4最終微粒粒徑要求不小于0.1μm時(shí)，應(yīng)在精處理階段設(shè)

置微孔過(guò)濾，要求小于0.1μm時(shí)，宜設(shè)置超濾。

3.5.5產(chǎn)品水水質(zhì)指標(biāo)有二氧化硅含量要求時(shí)，系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)采取

凝聚過(guò)濾、活性炭吸附、微濾、超濾、反滲透、電脫鹽、離子交換等除

硅措施。系統(tǒng)中的強(qiáng)堿陰離子交換器和混合床宜按出水硅含量控

制交換終點(diǎn)，陰離子交換樹(shù)脂再生堿液宜加熱，加熱溫度可為

35℃～50℃。

3.6水箱、水泵

3.6.1純水制備系統(tǒng)的水箱材質(zhì)選擇應(yīng)滿足所貯存水的水質(zhì)要

求。水箱容積宜按下列要求確定：

1原水箱、中繼水箱容積宜滿足連續(xù)運(yùn)行的最大一臺(tái)水泵

2h～3h出力要求，同時(shí)應(yīng)滿足單臺(tái)設(shè)備反洗或清洗一次的用水量

要求。

2除鹽水箱、軟化水箱總?cè)莘e應(yīng)滿足使用點(diǎn)的用水量要求。

水箱總?cè)莘e宜大于1h的耗水量要求，同時(shí)應(yīng)滿足工藝系統(tǒng)需要的

最大一次自用水量的要求。

3除二氧化碳裝置的水箱有效容積，單元串聯(lián)系統(tǒng)宜為本單

元設(shè)備出力的5min貯水量，且不宜小于2m3；并聯(lián)系統(tǒng)宜為并聯(lián)

設(shè)備總出力的15min～30min貯水量，水量大時(shí)可設(shè)多臺(tái)水箱及

除碳器。

3.6.2純水人人文庫(kù)專用制造系統(tǒng)過(guò)程中水的電阻率較高、防止二氧化碳溶入

水中或有溶解氧要求時(shí)，水箱宜設(shè)置氮封保護(hù)。設(shè)置氮封保護(hù)的

水箱溢流口應(yīng)采取隔絕空氣的措施。

3.6.3氮封裝置的供氣量應(yīng)大于或等于對(duì)應(yīng)水泵組的最大輸水

量。氮封壓力值可取0.0005MPa～0.001MPa（表壓）。

3.6.4純水供水泵宜采用變頻水泵。純水使用點(diǎn)壓力要求較高

或輸配管路較長(zhǎng)時(shí)，宜加設(shè)中繼泵。

·12·

4純水輸送和分配

4.1一般規(guī)定

4.1.1電子工業(yè)純水的輸配管路形式應(yīng)根據(jù)供水水量、純水水

質(zhì)、用水設(shè)備布置，以及使用點(diǎn)水壓穩(wěn)定性要求，結(jié)合技術(shù)經(jīng)濟(jì)比

較選擇同程式輸配系統(tǒng)、異程式輸配系統(tǒng)或單管循環(huán)等輸配水方

式，并宜符合下列要求：

1對(duì)于小型純水輸配系統(tǒng)，當(dāng)輸水主管管徑小于DN50且不

超過(guò)15個(gè)用水點(diǎn)，對(duì)純水水質(zhì)要求不高或用水設(shè)備自身無(wú)回水要

求時(shí)，宜采用單管循環(huán)輸配系統(tǒng)。

2對(duì)于大、中型純水輸配系統(tǒng)，水質(zhì)要求較高但用水點(diǎn)對(duì)供

水水壓穩(wěn)定性要求不嚴(yán)格，或用水點(diǎn)數(shù)不多且便于手動(dòng)調(diào)節(jié)時(shí)，宜

采用異程式輸配系統(tǒng)。

3對(duì)于大、中型純水輸配系統(tǒng)，水質(zhì)要求高且用水點(diǎn)對(duì)供水

水壓穩(wěn)定性要求嚴(yán)格，或用水點(diǎn)數(shù)多且不便于手動(dòng)調(diào)節(jié)時(shí)，宜采用

同程式輸配系統(tǒng)。

4.1.2管道、閥門(mén)、附件的選用應(yīng)與純水水質(zhì)相匹配，并應(yīng)滿足純

水系統(tǒng)的使用條件，同時(shí)應(yīng)與純水系統(tǒng)的使用溫度、消毒方式等相