氧化鋅基薄膜光電性能及其在紫外探測器中的應用研究的開題報告_第1頁
氧化鋅基薄膜光電性能及其在紫外探測器中的應用研究的開題報告_第2頁
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氧化鋅基薄膜光電性能及其在紫外探測器中的應用研究的開題報告一、選題背景及意義隨著現(xiàn)代科技的不斷發(fā)展，人們對光電器件的研究越來越深入，尤其是在紫外探測器領域。紫外探測器是一種將紫外光轉換為電信號的光電轉換器件，它廣泛應用于環(huán)保監(jiān)測、醫(yī)療、軍事等領域，因此該領域的研究具有重要的意義。氧化鋅基薄膜是紫外探測器中常用的材料之一，它具有優(yōu)良的光電性能，包括高感應度、快速響應和穩(wěn)定的電性能等。因此，對氧化鋅基薄膜的研究可以為紫外探測器的研制提供重要的支撐。二、研究內容和目的本文擬通過實驗方法，研究氧化鋅基薄膜的光電性能，以及其在紫外探測器中的應用情況，具體研究內容如下：1.利用化學氣相沉積技術制備氧化鋅基薄膜。2.對不同制備條件下的氧化鋅基薄膜進行表征，包括薄膜的晶體結構、形貌、成分等。3.對氧化鋅基薄膜的光電性能進行測試，主要包括薄膜的光導率、光吸收系數(shù)、光敏功率等。4.研究氧化鋅基薄膜在紫外探測器中的應用情況。通過以上研究，旨在了解氧化鋅基薄膜的制備方法、特性和在紫外探測器中的應用情況，為紫外探測器技術的發(fā)展提供科學依據。三、研究方法和步驟1.制備氧化鋅基薄膜利用化學氣相沉積技術，采用不同的實驗條件制備氧化鋅基薄膜。2.表征氧化鋅基薄膜對不同實驗條件下的氧化鋅基薄膜進行表征，包括X射線衍射、掃描電子顯微鏡等。3.測試氧化鋅基薄膜的光電性能采用測試系統(tǒng)測試氧化鋅基薄膜的光導率、光吸收系數(shù)、光敏功率等參數(shù)。4.應用研究將氧化鋅基薄膜應用于紫外探測器中，研究其性能。四、預期成果本文的預期成果如下：1.成功制備出氧化鋅基薄膜。2.通過表征，研究氧化鋅基薄膜的晶體結構、形貌、成分等特性。3.測試氧化鋅基薄膜的光電性能。4.研究氧化鋅基薄膜在紫外探測器中的應用情況。五、進度計劃1.前期工作綜述氧化鋅基薄膜的制備方法和性能，閱讀相關文獻資料，制定研究方案和方法。2.制備氧化鋅基薄膜并進行表征2019年10月-2020年3月3.測試氧化鋅基薄膜的光電性能2020年4月-2020年6月4.研究氧化鋅基薄膜在紫外探測器

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