《防靜電管理標(biāo)準(zhǔn)》1.目的為了標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)過(guò)程中的ESD控制要求，作為各部門(mén)實(shí)施和維護(hù)ESD的依據(jù)，特制定本程序。2.范圍適用于本公司靜電敏感器件(材料、半成品及成品)的生產(chǎn)組裝、檢驗(yàn)測(cè)試、處置存儲(chǔ)及包裝運(yùn)輸?shù)雀鳝h(huán)節(jié)。3.定義3.1ESD：英文electrostaticdischarge〔靜電放電〕縮寫(xiě)。靜電是指暫時(shí)停留在物體某處的電荷。當(dāng)具有不同靜電電位的物體，由于直接接觸或靜電感應(yīng)引起的物體間靜電電荷的轉(zhuǎn)移叫靜電放電。3.2靜電接地：將帶靜電物體或有可能產(chǎn)生靜電的物體〔非絕緣體〕通過(guò)導(dǎo)體與大地構(gòu)成電氣回路的接地叫做靜電接地。3.3直接靜電接地：通過(guò)金屬導(dǎo)體構(gòu)成的靜電接地系統(tǒng)。3.4間接靜電接地：通過(guò)含有非金屬導(dǎo)體、防靜電材料或其制品使物體靜電接地的系統(tǒng)。3.5外表電阻：它代表每平方面積電介質(zhì)外表對(duì)正方形的相對(duì)二邊間外表泄漏電流所產(chǎn)生的電阻。單位是歐姆。外表電阻的大小除決定于電介質(zhì)的結(jié)構(gòu)和組成外，還與電壓、溫度、材料的外表狀況、處理?xiàng)l件和環(huán)境濕度有關(guān)。環(huán)境濕度對(duì)電介質(zhì)外表電阻的影響極大。外表電阻愈大，絕緣性能愈好。3.6接地電阻：從一條導(dǎo)電路徑上任意點(diǎn)到接地電極之間的電阻總和。3.7對(duì)地電阻：放置在被測(cè)試物體外表上的一個(gè)電極和地之間測(cè)量所得的歐姆電阻值。3.8導(dǎo)靜電材料：外表電阻小于1*10的4次方歐姆的材料。3.9靜電耗散材料：外表電阻≥1*10的4次方歐姆且＜1*10的11次方歐姆的材料。3.10EPA：靜電防護(hù)區(qū)，材料和設(shè)備的靜電電壓受到控制的工作環(huán)境。為保障靜電敏感器件〔SSD〕免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設(shè)備建立和裝備起來(lái)的區(qū)域，通常有明顯的防靜電警示標(biāo)志。進(jìn)入防靜電工作區(qū)域的人員，必須嚴(yán)格遵循防靜電作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。又名靜電放電控制區(qū)ECA〔ESDcontrolledarea〕。3.11EBP:接地連接點(diǎn)。3.12ESDS：英文electrostaticdischargesensitivity〔靜電放電敏感度〕縮寫(xiě),導(dǎo)致元器件失效的靜電放電等級(jí)。4.權(quán)責(zé)4.1工程部：負(fù)責(zé)所有EPA區(qū)域和外部地線系統(tǒng)的規(guī)劃、實(shí)施、維護(hù)，主導(dǎo)對(duì)ESD相關(guān)問(wèn)題的分析改良，對(duì)ESD治工具的驗(yàn)收，及ESD相關(guān)培訓(xùn)工作。4.2研發(fā)部：負(fù)責(zé)產(chǎn)品防靜電要求的設(shè)計(jì)與防靜電標(biāo)準(zhǔn)的提供，負(fù)責(zé)防靜電包裝、儲(chǔ)存及運(yùn)輸?shù)脑O(shè)計(jì)。4.3生產(chǎn)部：按ESD相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)操作，按工程部的組織下安排人員配合防靜電措施的安裝。4.4品質(zhì)部：對(duì)ESD材料的驗(yàn)收工作，EPA區(qū)域內(nèi)定期及不定期的靜電防護(hù)過(guò)程監(jiān)控檢測(cè)、預(yù)警、強(qiáng)制執(zhí)行。4.5體系辦：對(duì)本程序的實(shí)施進(jìn)行監(jiān)督管理。4.6供給鏈：負(fù)責(zé)按ESD的相關(guān)要求確保ESD敏感材料在包裝，運(yùn)輸、拆分過(guò)程中ESD防護(hù)有效5.內(nèi)容5.1個(gè)人平安：5.1.1使用接地?cái)嗦菲骷捌渌桨泊胧?，預(yù)防人員觸電；5.1.2公司范圍內(nèi)應(yīng)進(jìn)行不定期的電氣平安演習(xí)；5.1.3遵循設(shè)備、機(jī)臺(tái)正確接地，并按照標(biāo)準(zhǔn)定期對(duì)設(shè)備、機(jī)臺(tái)接地情況進(jìn)行巡查。5.2防靜電工作區(qū)技術(shù)要求：5.2.1環(huán)境條件：溫度、濕度管控按照《無(wú)塵車(chē)間管理標(biāo)準(zhǔn)》執(zhí)行。5.2.2標(biāo)識(shí)要求：5.2.2.1EPA專(zhuān)用標(biāo)記：在EPA車(chē)間及工作場(chǎng)所各入口處明顯位置懸掛如圖1示的EPA標(biāo)識(shí)牌，標(biāo)識(shí)牌采用黃底黑色。5.2.2.2接地線顏色定義：綠色接地線為人體接地時(shí)使用，一般位于工作臺(tái)下。黃色接地線為機(jī)臺(tái)、電源接地時(shí)使用。兩種接地線為專(zhuān)用，不能錯(cuò)用、混用。5.2.2.3防靜電接地電極標(biāo)記：防靜電接地電極處須張貼標(biāo)識(shí)〔如：圖2〕，標(biāo)識(shí)符號(hào)的尺寸大小應(yīng)在普通照明條件下用肉眼能夠清楚識(shí)別，標(biāo)記顏色采用黃底黑色。5.2.2.4接地點(diǎn)標(biāo)識(shí)：EPA內(nèi)設(shè)置的公共接地點(diǎn)須進(jìn)行接地連接點(diǎn)符號(hào)標(biāo)記〔如：圖3〕，標(biāo)識(shí)符號(hào)的尺寸大小應(yīng)在普通照明條件下用肉眼能夠清楚識(shí)別，標(biāo)記顏色采用黃底黑色。5.2.2.5離子風(fēng)扇、工作臺(tái)、流水線、周轉(zhuǎn)盤(pán)、貨架、運(yùn)輸車(chē)、工作椅等設(shè)施經(jīng)測(cè)試合格后，應(yīng)張貼相應(yīng)標(biāo)識(shí)〔按如以下圖示中10.0的要求〕，標(biāo)識(shí)應(yīng)置于明顯不易受到磨損的地方，沒(méi)有張貼標(biāo)識(shí)的，視為未經(jīng)過(guò)防靜電認(rèn)證，不允許使用。5.2.2.6靜電防護(hù)器材應(yīng)張貼如圖4標(biāo)識(shí)，用于與非防靜電器材進(jìn)行區(qū)分。5.2.3接地要求：5.2.3.1EPA內(nèi)所有的金屬導(dǎo)體、儀器設(shè)備、防靜電裝備、人員必須進(jìn)行接地。5.2.3.2防靜電接地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，人體防靜電接地應(yīng)采用獨(dú)立接地線；人體防靜電接地線不能直接與機(jī)器外殼相連，假設(shè)使用機(jī)器外殼固定的，必須保證人體接地線與機(jī)器外殼絕緣。5.2.3.3在使用防靜電裝備用品涉及到操作人員平安時(shí)，防靜電接地應(yīng)采用間接靜電接地方式〔接地線串聯(lián)1MΩ的電阻〕，其對(duì)地電阻可采用外接電阻，材料或用品內(nèi)固有電阻或它們的組合構(gòu)成串聯(lián)1MΩ的電阻時(shí)，電阻應(yīng)接近該裝備。5.2.3.4防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度和可靠性。5.2.3.5各接地線出現(xiàn)斷線或者干線與支線之間的連接應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進(jìn)行連接，連接處不可出現(xiàn)松動(dòng)。5.2.3.6接地線應(yīng)保持連續(xù)的通路，在其通路上不得通過(guò)油漆、涂蠟或陽(yáng)極氧化鋁等非導(dǎo)電的區(qū)域，不得使用導(dǎo)電工作臺(tái)等作為接地線用。5.2.3.7接地線或接地臺(tái)面需采用并聯(lián)參加方式參加總地線或EBP，且采用單一接入，不可串聯(lián)，不可形成環(huán)路。5.2.4防靜電臺(tái)墊接地要求：5.2.4.1從防靜電臺(tái)墊正面下安裝接頭〔可以用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點(diǎn)代替〕，使其穿過(guò)臺(tái)墊，與接地線進(jìn)行機(jī)械連接。5.2.4.2防靜電臺(tái)墊鋪設(shè)在金屬工作臺(tái)〔貨架〕中也應(yīng)按以上要求進(jìn)行接地。5.2.4.3臺(tái)墊覆蓋工作臺(tái)面時(shí)，臺(tái)墊尺寸不少于臺(tái)面的大小，臺(tái)墊每3米距離內(nèi)必須保持一個(gè)接地點(diǎn)。5.2.4.4臺(tái)墊必須保持連續(xù)性，如中間出現(xiàn)斷層應(yīng)使用導(dǎo)線將臺(tái)墊導(dǎo)通。5.2.5接地電阻要求：5.2.5.1防靜電接地系統(tǒng)接地電阻測(cè)試應(yīng)小于25Ω，接地電壓小于10V〔AC〕。5.2.5.2電源接地系統(tǒng)接地電阻測(cè)試應(yīng)小于1Ω，接地電壓小于10V〔AC〕。5.2.6接地線中間斷線維護(hù)：5.2.6.1電源接地線中間斷線維護(hù)：從電源接地電極至各生產(chǎn)用電設(shè)備不能出現(xiàn)斷線，電阻應(yīng)小于10Ω。5.2.6.2防靜電接地線中間斷線維護(hù)：從人體防靜電接地電極至各生產(chǎn)線未端的防靜電接地線間不能出現(xiàn)斷線，電阻應(yīng)小于10Ω。5.2.7EPA內(nèi)各設(shè)施的靜電性能技術(shù)要求：5.2.7.1工作臺(tái)：工作臺(tái)面必須為靜電耗散材料并采用軟接地，臺(tái)面不得使用金屬板制作，不得將防靜電地板作為工作臺(tái)的接地連接線。5.2.7.2靜電手環(huán)：必須內(nèi)藏有1MΩ限流電阻的有線手環(huán)，不得使用無(wú)線手環(huán)；佩帶時(shí)靜電手環(huán)的金屬片必須完全接觸到肌膚，靜電手環(huán)與接地點(diǎn)連接良好，采用鱷魚(yú)夾進(jìn)行接地的應(yīng)采用鱷魚(yú)齒夾住接地線進(jìn)行接地，不得夾在桌面或桌邊的金屬體上。5.2.7.3流水線傳送帶：傳送帶應(yīng)為靜電耗散材料，與接地的傳送帶金屬輪軸緊密接觸。5.2.7.4地板：地板應(yīng)使用靜電耗散材料制作，并設(shè)置接地網(wǎng)絡(luò)并良好接地。5.2.7.5貨架：臺(tái)面必須為導(dǎo)電或靜電耗散材料，并通過(guò)支架與防靜電地板良好接觸或接地線與地連接，貨架每層均須接地。5.2.7.6運(yùn)輸小車(chē)：臺(tái)面必須為導(dǎo)電或靜電耗散材料，并通過(guò)導(dǎo)電輪或鐵鏈與防靜電地板良好接觸，小車(chē)每層均必須與導(dǎo)電輪導(dǎo)通，必須保持至少2個(gè)輪子為導(dǎo)電輪，且保持導(dǎo)電輪子干凈。5.2.7.7周轉(zhuǎn)盤(pán)、盒等容器：靜電敏感器件必須采用防靜電周轉(zhuǎn)容器進(jìn)行周轉(zhuǎn)，不允許使用金屬和普通塑料容器，包括容器里面的隔板等也必須采用靜電耗散材料。存放靜電敏感產(chǎn)品的容器應(yīng)放置于已經(jīng)進(jìn)行靜電防護(hù)處理的工作臺(tái)、小車(chē)或貨架上。5.2.7.8工作椅：工作支架或腳輪等用靜電耗散或?qū)щ姴牧现谱?，座椅外表用靜電耗散或?qū)щ姴牧现谱鞑⑴c腳輪構(gòu)成電氣連接。5.2.7.9焊接設(shè)備〔烙鐵等〕：EPA內(nèi)使用焊接設(shè)備必須接地措施，焊接設(shè)備的焊頭與接地系統(tǒng)的連接阻抗應(yīng)不大于2Ω，漏電電壓少于20mV〔AC〕，漏電電流少于10毫安AC〕。5.2.7.10工作服：工作服各部位應(yīng)存在電氣連續(xù)性，并定期進(jìn)行清洗。5.2.7.11防靜電鞋：穿著防靜電鞋時(shí)，鞋底應(yīng)與防靜電地板接觸的情況下進(jìn)行作業(yè)，特別是實(shí)施靜電手環(huán)有困難的崗位，利用防靜電鞋作為人體導(dǎo)靜電的唯一措施時(shí)，作業(yè)時(shí)必須保證雙腳與防靜電地板良好接觸；另外鞋底臟容易導(dǎo)致導(dǎo)電性低下，在EPA入口處應(yīng)鋪設(shè)粘塵墊，進(jìn)入時(shí)在粘塵墊上踩踏2~3下，以清潔鞋底的臟污。5.2.7.12離子風(fēng)扇：靜電去除器的選擇應(yīng)該能消除任何一種極性的電荷，測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：風(fēng)速調(diào)至最大，電壓從1000v下降到100v的消散時(shí)間不超過(guò)3.5s，剩余電壓小于±35v。5.2.7.13設(shè)備、儀器：生產(chǎn)設(shè)備接觸靜電敏感器件部位應(yīng)采用靜電耗散材料、導(dǎo)電材料或其具有摩擦電壓小的材料〔摩擦電壓＜100V〕，并保證這些部位具有可靠的接地通路、與靜電敏感產(chǎn)品接觸的導(dǎo)電體部位漏電壓＜2v〔AC〕。5.2.7.14防靜電劑：EPA內(nèi)使用的絕緣物品無(wú)法按要求進(jìn)行存放時(shí)，必須對(duì)其外表進(jìn)行加涂防靜電劑，經(jīng)防靜電劑處理的外表如經(jīng)常摩擦的必須每周檢測(cè)一次，通常不摩擦的每月檢測(cè)一次，并進(jìn)行如圖5的標(biāo)識(shí)。5.2.7.15夾具:EPA所使用的各種夾具應(yīng)使用電木等抗靜電材料〔摩擦電壓＜100V〕，如夾具使用非電木材料應(yīng)測(cè)試防靜電性能〔摩擦電壓＜100V〕，測(cè)試結(jié)果記錄于附表25.并張貼圖4標(biāo)識(shí)，對(duì)特殊情況不可防止使用非防靜電材料的必須使用離子中和或定期涂防靜電劑等措施。5.2.7.16工具：EPA所使用的各種工具應(yīng)具有防靜電性能，使用AC電源的工具必須具有硬接地措施接入電氣保護(hù)地，使用電池、氣開(kāi)工具接地電阻應(yīng)＜1.0×109Ω，工具在使用的過(guò)程中應(yīng)不易產(chǎn)生靜電，外表電阻為≤1.0×109Ω，用于接觸靜電敏感器件的部位應(yīng)防止使用導(dǎo)體或絕緣材料，如：不銹鋼鑷子等。5.2.7.16手套、指套：在EPA內(nèi)使用的手套、手指套，應(yīng)具有防靜電性能，手套，手指套使用時(shí)出現(xiàn)臟污、破損應(yīng)及時(shí)進(jìn)行更換。防靜電指標(biāo)必須符合表一要求EPA防靜電要求一覽表(表一)序號(hào)工程名稱(chēng)檢測(cè)工程單位技術(shù)指標(biāo)要求序號(hào)工程名稱(chēng)檢測(cè)工程單位技術(shù)指標(biāo)要求1進(jìn)入EPA人體對(duì)地電阻人體綜合電阻Ω1.0×105~1.0×1092各類(lèi)工作臺(tái)面(墊)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×105~1.0×1093各類(lèi)地面(墊)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×105~1.0×109對(duì)地電阻Ω＜1.0×10?對(duì)地電阻Ω＜1.0×10?摩擦電壓V＜1005無(wú)塵鞋對(duì)地電阻Ω＜1.0×1094無(wú)塵服〔帽〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω＜1.0×10117靜電手環(huán)手環(huán)連接線兩端電阻Ω0.8×106~1.2×106摩擦電壓V＜100手環(huán)內(nèi)外表電阻Ω＜1×1056手套/手指套穿戴狀態(tài)下電阻Ω1.0×105~1.0×109手環(huán)外外表電阻Ω＞1×1078生產(chǎn)設(shè)備接地漏電電壓〔AC〕V＜29流水線傳送帶點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×105~1.0×109接地電阻Ω＜1對(duì)地電阻Ω＜1.0×10910離子風(fēng)機(jī)〔棒〕消除時(shí)間

±1000v至±100vS≤3.5摩擦電壓V＜100殘留電壓V＜±3511工作椅點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×105~1.0×10912貨架點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×105~1.0×109對(duì)地電阻Ω＜1.0×109對(duì)地電阻Ω＜1.0×10?摩擦電壓V＜100摩擦電壓V＜10013運(yùn)輸小車(chē)對(duì)地電阻Ω＜1.0×109剩余電壓V＜±60摩擦電壓V＜10014導(dǎo)電性材料〔包裝材料周轉(zhuǎn)容器〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω＜1.0×10415耗散性材料

〔包裝材料周轉(zhuǎn)容器〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×104~1.0×1010摩擦電壓V＜100摩擦電壓V＜10016防靜電生產(chǎn)輔助工具〔吸筆、鑷子〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω＜1.0×10917吸塑

〔片材〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×104~1.0×1011摩擦電壓V＜100漏電電壓V＜2〔AC〕18防靜電劑、蠟

(施工后〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻Ω1.0×105~1.0×10919防靜電接地系統(tǒng)對(duì)地電阻Ω＜2520電源接地系統(tǒng)對(duì)地電阻Ω＜1對(duì)地電壓〔AC〕V＜10對(duì)地電壓〔AC〕V＜105.3EPA維護(hù)與檢查。5.3.1來(lái)料測(cè)試5.3.2各EPA技術(shù)性能與管理檢查工程序號(hào)測(cè)試工程標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)頻率檢查方式記錄表單測(cè)試單位檢測(cè)儀器1離子風(fēng)機(jī)使用情況依記錄表要求1次/班目視防靜電工程日常目視檢查表各使用單位負(fù)責(zé)人N/A2靜電手環(huán)使用情況依記錄表要求1次/班3防靜電測(cè)試標(biāo)識(shí)情況依記錄表要求1次/日4接地線接地情況依記錄表要求1次/日5電烙鐵焊頭接地電阻和漏電電壓接地電阻＜2Ω

漏電電壓〔AC〕＜20mV

漏電電流〔AC〕＜10mV1次/周測(cè)量電烙鐵防靜電測(cè)試記錄表萬(wàn)用表/搖表6防靜電手環(huán)佩戴時(shí)系統(tǒng)電阻通過(guò)靜電手環(huán)測(cè)試儀測(cè)試1次/班測(cè)量防靜電手環(huán)測(cè)試記錄表各使用單位負(fù)責(zé)人靜電手環(huán)測(cè)試儀7人體綜合電阻測(cè)量通過(guò)人體綜合電阻測(cè)試儀測(cè)試1次/周測(cè)量人體綜合電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部人體綜合電阻測(cè)試儀8防靜電手環(huán)接地線電阻測(cè)試手環(huán)連接線二端電阻：

0.8×106~1.2×106Ω

手環(huán)內(nèi)外表電阻＜1×105

手環(huán)外外表電阻＞1×1071次/月測(cè)量防靜電手環(huán)接地線電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部萬(wàn)用表9離子靜電消除器靜電消除能力〔包括離子風(fēng)槍〕消除時(shí)間±1000v至±100v：

≤3.5S

殘留電壓：＜±35V1次/月測(cè)量

〔全測(cè)〕靜電消除器的中和能力測(cè)試記錄表品質(zhì)部，設(shè)備內(nèi)部的由工程部測(cè)試靜電消除器中和能力測(cè)試儀10工作臺(tái)面對(duì)地電阻、外表電阻和摩擦電壓點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕工作臺(tái)面防靜電測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀

靜電電壓測(cè)試儀11流水線傳送帶對(duì)地電阻、外表電阻和摩擦電阻點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕流水線傳送帶對(duì)地電阻和外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀

靜電電壓測(cè)試儀12防靜電工具點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻外表電阻：＜1.0×109Ω摩擦電壓＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕治工具摩擦電壓&外表(點(diǎn)對(duì)點(diǎn))電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部外表電阻測(cè)試儀13防靜電地板對(duì)地電阻、外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω1次/3個(gè)月測(cè)量

〔抽測(cè)〕地板的對(duì)地電阻和外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀14周轉(zhuǎn)容器外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×103~1.0×109Ω1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕周轉(zhuǎn)容器外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部外表電阻測(cè)試儀15貨架對(duì)地電阻、外表電阻和摩擦電壓點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕貨架對(duì)地電阻和外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀

靜電電壓測(cè)試儀16運(yùn)輸小車(chē)對(duì)地電阻對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕運(yùn)輸小車(chē)對(duì)地電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀

靜電電壓測(cè)試儀17防靜電工作椅對(duì)地電阻和外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×105~1.0×109Ω

對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕工作椅對(duì)地電阻和外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀

靜電電壓測(cè)試儀18防靜電大褂、凈服外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：＜1.0×1011Ω

摩擦電壓：＜100V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔抽測(cè)〕凈服/防靜電大褂外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀19防靜電鞋、凈服鞋體積電阻對(duì)地電阻：＜1.0×109Ω1次/3個(gè)月測(cè)量

〔抽測(cè)〕凈服鞋/防靜電鞋體積電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部重錘式外表電阻測(cè)試儀20防靜電手套/手指套穿戴狀態(tài)下電阻點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：

1.0×103~1.0×109Ω1次/月測(cè)量

〔抽測(cè)〕防靜電手套、手指套穿戴狀態(tài)下電阻測(cè)試記錄表品質(zhì)部外表電阻測(cè)試儀21生產(chǎn)設(shè)備、測(cè)試治具接地電阻：＜1Ω

漏電電壓〔AC〕：＜2V1次/3個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕生產(chǎn)設(shè)備、測(cè)試治具接地電阻及漏電電壓測(cè)試記錄表品質(zhì)部萬(wàn)用表22電源接地系統(tǒng)接地電阻，接地電壓對(duì)地電阻：＜1Ω

對(duì)地電壓〔AC〕：＜10V1次/6個(gè)月測(cè)量防靜電接地系統(tǒng)、電源接地系統(tǒng)接地電阻、接地電壓測(cè)試記錄表工程部萬(wàn)用表23防靜電接地系統(tǒng)接地電阻、接地電壓對(duì)地電阻：＜25Ω

對(duì)地電壓〔AC〕：＜10V1次/3個(gè)月測(cè)量工程部萬(wàn)用表24接地線中間斷線保護(hù)〔保護(hù)防靜電接地及電源接地〕點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：＜10Ω1次/6個(gè)月測(cè)量

〔全測(cè)〕接地線中間斷線測(cè)量記錄表工程部萬(wàn)用表5.3.3倉(cāng)庫(kù)測(cè)試工程序號(hào)測(cè)試工程頻率檢查方式測(cè)試單位記錄方法1貨架防靜電性能1次/6個(gè)月測(cè)量〔全撿〕品質(zhì)部貨架對(duì)地電阻和外表〔點(diǎn)對(duì)點(diǎn)〕電阻測(cè)試記錄表2運(yùn)輸小車(chē)防靜電性能1次/6個(gè)月測(cè)量〔全撿〕運(yùn)輸小車(chē)對(duì)地電阻測(cè)試記錄表注：1、5.3測(cè)試工程必須用紙張表格作原始記錄，并由體系專(zhuān)員保存原始記錄三年；2、測(cè)試NG的，按5.5要求進(jìn)行處理。OK投入使用提交測(cè)試結(jié)果給跟進(jìn)人部門(mén)防靜電負(fù)責(zé)人測(cè)試認(rèn)證新投入ESD防護(hù)器材NG5.4新投ESD防護(hù)器材認(rèn)證流程。OK投入使用提交測(cè)試結(jié)果給跟進(jìn)人部門(mén)防靜電負(fù)責(zé)人測(cè)試認(rèn)證新投入ESD防護(hù)器材NG測(cè)試結(jié)果測(cè)試結(jié)果反應(yīng)給跟進(jìn)人5.4.1新布置的生產(chǎn)線或工位應(yīng)通知部門(mén)防靜電負(fù)責(zé)人進(jìn)行測(cè)試認(rèn)證，只有認(rèn)證合格后，方可投入使用。5.4.2新投入使用的防靜電工具、材料、靜電去除器、運(yùn)輸小車(chē)、周轉(zhuǎn)容器、工作椅等應(yīng)通知部門(mén)防靜電負(fù)責(zé)人進(jìn)行測(cè)試認(rèn)證，只有認(rèn)證合格后，方可投入使用。5.4.3防靜電負(fù)責(zé)人測(cè)試后，將測(cè)試結(jié)果記錄于附表21〔記錄由體系專(zhuān)員保存三年〕，測(cè)試合格的貼上相關(guān)標(biāo)識(shí)，后續(xù)按要求進(jìn)行定期檢測(cè)。5.5各工程測(cè)使用的儀器及測(cè)試NG的處理方法。序號(hào)測(cè)試工程測(cè)試NG的處理方法1防靜電手環(huán)佩戴時(shí)系統(tǒng)電阻檢測(cè)手環(huán)與人體、測(cè)試儀器是否良好接觸，重新測(cè)試，再次NG更換手環(huán)，直至測(cè)試OK2防靜電手環(huán)接地線電阻更換新的防靜電手環(huán)3防靜電工作服外表電阻檢測(cè)不達(dá)標(biāo)的應(yīng)立即停止使用、更換新的〔出現(xiàn)破孔或?qū)щ娋€斷裂時(shí)及時(shí)更換〕4人體綜合電阻將鞋底清潔干凈重新測(cè)試，更換工作鞋重新測(cè)試，直至測(cè)試OK5電烙鐵接地電阻、漏電電壓將焊頭清潔干凈重新測(cè)試，再次NG，更換焊頭仍不能達(dá)標(biāo)通知設(shè)備部檢修接地線、電烙鐵，直至測(cè)試OK才能繼續(xù)使用。6手套、手指套電阻手套、手指套測(cè)試不達(dá)標(biāo)，及時(shí)反應(yīng)給采購(gòu)處理，測(cè)試其它批次，達(dá)標(biāo)的才允許使用。7離子靜電消除器靜電消除能力對(duì)離子靜電消除器進(jìn)行清潔后重新測(cè)試，再次NG通知工程部維修，直至OK才能繼續(xù)使用。8臺(tái)面將臺(tái)面擦拭干凈重新測(cè)試，再次NG，更換臺(tái)墊，直至測(cè)試OK才能繼續(xù)使用。9對(duì)地電阻檢查接地線，出現(xiàn)斷線通知工程部重新接地；使用防靜電輪的，將輪子清潔干凈重新測(cè)試，再次NG更換防靜電輪子；采用支架與地板導(dǎo)通接地的，檢查接觸的良好，直到測(cè)試OK后，才能繼續(xù)使用。10工具、周轉(zhuǎn)容器防靜電性能立即更換防靜電工具、周轉(zhuǎn)容器11設(shè)備、儀器漏電電壓通知工程部進(jìn)行接地，接地后重新測(cè)試，直至測(cè)試OK才能繼續(xù)使用12系統(tǒng)接地電阻相關(guān)部門(mén)停產(chǎn)，工程部維修，重測(cè)OK才能繼續(xù)生產(chǎn)。13接地線中間斷線測(cè)試停產(chǎn)，工程部維修該處接地線路，直至OK；注：測(cè)試NG后要貼NG標(biāo)識(shí)，并在標(biāo)識(shí)上注明NG工程，待處理并測(cè)試合格后，貼相應(yīng)合格標(biāo)貼。5.6包裝要求5.6.1進(jìn)入EPA的靜電敏感器件必須進(jìn)行防靜電包裝，即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的產(chǎn)品在送往修復(fù)或進(jìn)行失效原因分析之前，同樣需與正常品一樣實(shí)行防靜電包裝，并且包裝與拆包裝操作必須在EPA內(nèi)進(jìn)行。5.6.2所用靜電電荷的發(fā)生源，例如未經(jīng)處理的塑料薄膜、泡沫塑料、合成纖維、膠粘帶都禁止作為直接或間接包裝材料使用，不準(zhǔn)帶入EPA內(nèi)。5.6.3產(chǎn)品所采用的包裝由研發(fā)定義并編入BOM中。5.7進(jìn)入EPA人員靜電防護(hù)凡進(jìn)入EPA人員必須穿防靜電工作服、防靜電工作鞋、工作服外嚴(yán)禁攜帶除工卡、筆外的金屬物品、塑料物品、不得將個(gè)人物品〔如：個(gè)人衣物、各種塑料等〕帶入EPA，穿脫工作服裝應(yīng)在EPA外或指定地方進(jìn)行不得在EPA穿脫工作服，著裝工作服服裝時(shí)防靜電服拉鏈必須拉滿〔紐扣式的扣上所有紐扣〕，將頭發(fā)盤(pán)起，不能把非防靜電工作服的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電服衣領(lǐng)，防靜電服袖口不得挽起、手表、首飾等飾品不得露出防靜電服外，頭發(fā)不得外露。在EPA內(nèi)應(yīng)保持防靜電鞋與防靜電地板或地墊妥善接觸以泄漏人體電荷。凡與SSD接觸人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員，參觀人員等，需佩戴防靜電手環(huán)，并應(yīng)保持與人體，接地系統(tǒng)接觸可靠。必要時(shí)，應(yīng)佩戴防靜電手套或手指套進(jìn)行操作。在EPA內(nèi)的人員不準(zhǔn)進(jìn)行與工作無(wú)關(guān)的肢體活動(dòng)。5.8靜電敏感器件的處置，存貯和轉(zhuǎn)移5.8.1靜電敏感器件在檢測(cè)、轉(zhuǎn)移、存貯過(guò)程中不能隨便更換原防靜電包裝，如需更換時(shí)，要使用防靜電包裝，不得任意使用塑料袋，普通塑料盒等容器。5.8.2拆開(kāi)防靜電包裝拿取靜電敏感產(chǎn)品時(shí)人員必須采取靜電防護(hù)措施，一切操作必須要EPA內(nèi)進(jìn)行。5.8.3轉(zhuǎn)移靜電敏感產(chǎn)品時(shí)應(yīng)使用防靜電運(yùn)輸工具。5.8.4靜電敏感產(chǎn)品轉(zhuǎn)移、存貯時(shí)必須使用防靜電容器，不允許使用金屬和普通塑料容器，并放置于符合防靜電要求的運(yùn)輸小車(chē)、貨架或工作臺(tái)等。5.8.5靜電敏感產(chǎn)品轉(zhuǎn)移、存貯中要遠(yuǎn)離強(qiáng)靜電、強(qiáng)電磁場(chǎng)或放射場(chǎng)的位置。5.9絕緣體〔靜電源〕控制5.9.1為了減少靜電對(duì)靜電敏感產(chǎn)品的破壞，所有不必要的易產(chǎn)生靜電的材料〔如：普通塑料、橡膠、合成纖維等〕和個(gè)人物品不允許帶入EPA內(nèi)。5.9.2在操作、儲(chǔ)存靜電敏感產(chǎn)品的位置附近擱置有直流高壓設(shè)備〔CRT顯示器、電源燈〕，應(yīng)采用靜電防護(hù)措施。5.9.3在EPA內(nèi)，儀器設(shè)備、工裝夾具均應(yīng)采取防靜電措施，確認(rèn)不會(huì)對(duì)靜電敏感產(chǎn)品造成損害前方可使用。5.9.4對(duì)于接觸靜電每個(gè)產(chǎn)品的材料，靜電電壓不得超過(guò)該EPA允許范圍，如超過(guò)必須采取措施進(jìn)行控制，應(yīng)采用以下措施的其中一個(gè)a、將2000v以上電壓的絕緣體遠(yuǎn)離高靜電敏感產(chǎn)品至少30cm，將100v以上電壓的絕緣體遠(yuǎn)離高靜電敏感產(chǎn)品至少2.5cm；b、將絕緣體置于靜電消除器的有效范圍內(nèi)將電荷中和；c、在絕緣體外表進(jìn)行防靜電劑處理。5.9.5不具備防靜電功能的必備工具、用具，應(yīng)放在防靜電工作臺(tái)面上，并置于靜電消除的作用范圍內(nèi)或采用防靜電劑進(jìn)處理。5.9.6EPA內(nèi)非防靜材料須進(jìn)行測(cè)試評(píng)估其平安性，并對(duì)非防靜電材料進(jìn)行登記并建立附表23建立清單管理。5.9.7各EPA敏感期間須建立靜電敏感器件清單〔表24〕，以使相關(guān)人員清楚該器件為靜電敏感器件，以便采用靜電防護(hù)措施。5.10孤立導(dǎo)體控制在ESD管控體系里，如果一個(gè)與ESDS物品接觸的導(dǎo)體材料不能有效與接地或等電位連接系統(tǒng)連接時(shí)，則需保證該導(dǎo)體和ESDS物品之間的電位差小于35伏。這一點(diǎn)可通過(guò)用非接觸式靜電壓儀，或高阻抗的接觸式靜電壓儀，分別對(duì)ESDS物品和導(dǎo)體進(jìn)行測(cè)量來(lái)完成。5.11操作標(biāo)準(zhǔn)5.11.1靜電防護(hù)操作的根本原則；a、所有ESDS產(chǎn)品及其他的操作都必須在ESD防護(hù)工作臺(tái)上進(jìn)行；b、進(jìn)入防靜電工作區(qū)的所有