特殊氣體管路暨高潔凈度管路

施工規(guī)范無塵室作業(yè)安全規(guī)范2.pipinginstallation管路架設(shè)彎管作業(yè)規(guī)范熔接規(guī)范測試規(guī)范工安規(guī)范監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)程序1.無塵室作業(yè)安全規(guī)范1-1.一般清潔區(qū)工作條件(廠務(wù)機(jī)房).進(jìn)入工作區(qū)前，鞋子必須清理干凈。.最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。.有規(guī)則的存放材料。.禁止于工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。.所有工作區(qū)必須有垃圾筒，收集廢料等東西。.材料人員進(jìn)出必須清潔一次。.所有人員及設(shè)備每周必須清潔一次。.產(chǎn)生污染的工作必須個(gè)隔離。(噴漆、磨砂輪機(jī)等)2.非常干凈區(qū)工作條件(潔凈室地下回風(fēng)區(qū)).必須換穿專用的鞋子或鞋套。.使用真空吸塵器清除臟東西。.有規(guī)則的存放材料。.禁止于工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。.所有使用過的材料、殘余剩料等必須每日清除。.所有工作區(qū)內(nèi)必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。.材料人員進(jìn)出必須管制。.所有人員及設(shè)備每周必須清潔一次。.產(chǎn)生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機(jī)等)。.進(jìn)出工作區(qū)內(nèi)的全部材料必須清理干凈，才可進(jìn)入。.所有工作區(qū)必須換穿干凈工作服。.工作區(qū)的管線設(shè)備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。1-3.絕對(duì)干凈區(qū)工作條件(潔凈室生產(chǎn)區(qū)).必須換穿無塵專用的鞋子或鞋套。.使用中央系統(tǒng)真空或特別過濾裝置的手提真空吸塵器清除作業(yè)時(shí)產(chǎn)生的金屬等粉.有規(guī)則的存放使用材料。.禁止于工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。.所有使用過的材料、殘余剩料等必須每日清除。.所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒，收集廢料東西。.材料人員進(jìn)出必須管制。.所有工作人員及業(yè)主人員每日必須清潔干凈。.產(chǎn)生污染的工作必須于進(jìn)入無塵室前完成。.進(jìn)入工作區(qū)內(nèi)的全部材料和工具必須用水清洗干凈，才可進(jìn)入。.除入無塵室應(yīng)換穿無塵依及尼龍手套外，余均應(yīng)穿著干凈之工作服。.禁止木質(zhì)或瓦愣紙材料所做的紙箱進(jìn)入無塵室。.禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。.含有油品的工具禁止攜入。1-4.清凈室施工安全規(guī)則.指定專人辦理安全事宜。.勿雇用童工。.工作區(qū)域內(nèi)禁止抽煙。.必須準(zhǔn)備安全眼鏡。.在清潔室須戴安全帽，特別是有震動(dòng)時(shí)。.任何時(shí)間內(nèi)，均不得堵塞通道及出入口。.在工作區(qū)域工作，必須保持干凈；如有產(chǎn)生垃圾，必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾袋于每日收工時(shí)攜出清凈室。.如有意外發(fā)生，須立刻告知監(jiān)工。.特殊危險(xiǎn)工作區(qū)，須有安全圍籬及警告標(biāo)志。.地板開口處，須有安全圍籬及警告標(biāo)志，以防止人員掉入。.須備有滅火器以防火災(zāi)。.滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用干粉滅火器。.工作架在超出地面2M以上時(shí)，須使用鷹架，人員須系安全帶(索)。.鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。.在超出地面2M以上時(shí)，工具須放置工具袋(箱)內(nèi)。.同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí)，須有良好之連系。.工作區(qū)域內(nèi)須有良好照明設(shè)備。.所有使用之電纜及電線，須有良好絕緣。.電纜及電線須連結(jié)良好，不可以電線直接插入插座。.保險(xiǎn)絲須確時(shí)使用，不可以鋼絲替代。.電纜及電線須正確使用，不可過載。.如已送電之電力供應(yīng)盤，須標(biāo)示警告標(biāo)志『高壓危險(xiǎn)』。.所有圓柱型物品須直立，并以鏈條或繩索固定。.切勿于地板面滾動(dòng)圓柱型物品。.如須移動(dòng)圓柱型物品，須使用特殊格架舉。.易燃物品如無人照料，不可置放于工作區(qū)域內(nèi)。.化學(xué)物品如有泄漏，必須馬上處理。.易燃物品須放置于有蓋容器內(nèi)。.任何閥、開關(guān)插座、電源插座，不可隨意開、關(guān)、拔除(機(jī)臺(tái)管線).任何配管配線、材料，非經(jīng)過監(jiān)工人員同意，不可擅自任意更改。Pipinginstallation管路架設(shè)在無塵室或簡易潔凈室執(zhí)行高潔凈度配管工作時(shí)，必須遵循下列的規(guī)定。2-1.現(xiàn)場工作規(guī)定?攜入材料必須置于特定的貯藏間，在工地現(xiàn)場或在材料間要提供暫時(shí)性的簡易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時(shí)，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑料封套打開直到現(xiàn)埸要使用時(shí)方可打開，并且不要將材料直接放在地上。?切管切管時(shí)，使用的自動(dòng)切割機(jī)或手動(dòng)切管器必須是專門為半導(dǎo)體廠工作所設(shè)計(jì)的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當(dāng)使用自動(dòng)切割機(jī)時(shí)，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時(shí)的碎屑進(jìn)入管內(nèi)。?倒角原則上，在使用倒角機(jī)(TUBESIZE用)或銼刀(PIPESIZE用)時(shí)，小心地移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松馳或管子彎曲等狀況發(fā)生時(shí)，這種管路是不合規(guī)定，必須重新切割及配置。當(dāng)?shù)菇菚r(shí)，在管的另一端必須用高潔凈度的氮?dú)鉀_吹(氮?dú)庖?jīng)0.02um的過濾器過濾)。?N2沖吹將管內(nèi)的微粒沖吹出來。?工作后的清潔檢視切割機(jī)的潔凈度，保持機(jī)具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的碎屑?xì)堄?，按照下列的方法清潔之?/p>

用GN2沖吹使用的N2必須經(jīng)-80°C或更低的露點(diǎn)，經(jīng)0.02um的過濾器干燥。?預(yù)制工作（在簡易潔凈室cleanbooth）在現(xiàn)場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區(qū)必須在有潔凈氣的地方，在工作時(shí)維持風(fēng)扇正常運(yùn)轉(zhuǎn)，于早、中、晚用02查看器檢查02的濃度。?點(diǎn)焊點(diǎn)焊使用TIG焊接，點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定。（CAJ0N的焊機(jī)必需保證管子確實(shí)牢固，從完成的觀點(diǎn)來看，最好不要使用手動(dòng)的TIG焊接，因此點(diǎn)焊被省略）。3/4”至U15A到80A：3?4點(diǎn)。沖吹氣體（Backsealgas）使用氬氣，露點(diǎn)-80C或更低，氧含量在O.lppm以下，微粒（0.1um以上）含量為零。沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路，使用（Backsealjig）如圖（一）所示Backseajig(Backsealgas)(Backsealgas)圖（一）（參考用）?架設(shè)程序（圖二）將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥氬氣沖吹（預(yù)先沖吹1分鐘以上）點(diǎn)焊氬氣沖吹焊接（自動(dòng)焊接）氬氣沖吹風(fēng)（收尾沖吹1分鐘以上）GArGArGArGAr圖（二）?裝封（在Cleanbooth內(nèi)進(jìn)行）完成焊接之后，在管內(nèi)充滿Ar氣，而且用無塵的塑料紙?jiān)谀┒税鼉蓪?。如果末端的閥已經(jīng)連接好了，把閥也用塑料紙裹起來。2.現(xiàn)場施工?預(yù)制管件連結(jié)連結(jié)在Cleanbooth裝封好的管件?現(xiàn)場焊接現(xiàn)埸焊接的人員必須有受過高潔凈度配管技術(shù)檢定通過。

(i)(ii)焊接工作(iii)gatGAr(iv)GAr(i)(ii)焊接工作(iii)gatGAr(iv)GAr原封至現(xiàn)埸。先拆卸一端封套，并連接Backsealgas。拆卸要焊接端封套，并沖吹干凈。連接后將一端之Backsealgas拆掉使成出氣端，并開始焊接。?管路維持條件即使焊接結(jié)束，也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi)。無論如何也要想辦法把管內(nèi)的空氣及微粒弄出來，如果無法繼續(xù)沖吹。?焊機(jī)電源供給電源的電壓的變動(dòng)，對(duì)于管路焊接的質(zhì)量影響甚巨。使用自動(dòng)焊接機(jī)的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動(dòng)AC100V±10%,AC200V±10%,在焊接進(jìn)行時(shí)電壓警報(bào)器一直監(jiān)視著電壓，如果電壓超過可容許的范圍時(shí)，警報(bào)器就會(huì)發(fā)出聲音。2-3.其他注意事項(xiàng)下述的工作是在架設(shè)高潔凈度的管路時(shí)必需要執(zhí)行的。?控制氬氣沖吹?用壓力計(jì)或液位計(jì)察看尚余有多少氬氣?？戳髁坑?jì)的刻度檢查沖吹氣體的容量。?使用采樣品閥從鋼瓶或氣體來源收集氬氣，測量氬氣純度確定露點(diǎn)是在-80°C以下，殘余氧氣低于O.lppm，微粒含量為0（0.1um以上的微粒）。?在工作處測量架設(shè)管路末端的氬氣純度，確定露點(diǎn)在-70C以下殘余氧氣低于2ppm，測量地點(diǎn)必須在監(jiān)工及焊接都同意的地方。前4項(xiàng)規(guī)定的工作前在每天開始工作由監(jiān)工或工作人員執(zhí)行以控制質(zhì)量符合要求。若氣體容量未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)，通知監(jiān)工，暫停工作，但是沖吹必須持續(xù)進(jìn)行，或使用預(yù)留的LN2，當(dāng)要使用預(yù)留LN2時(shí)，必定要做分析供給氣體純度的工作。?簡易潔凈室（Cleanbooth）的潔凈度的控制在Cleanbooth內(nèi)測量焊接處的微粒數(shù)量（0.1um以上）不能超過100個(gè)/c.f,class10000是用作貯藏用，class1000是組裝用。在正常使用中測量微粒的工作一天至少進(jìn)行1次。?潔凈衣物的管制在Cleanbooth內(nèi)使用的潔凈衣、潔凈鞋、潔凈手套及其他設(shè)備必需在使用前檢查其潔凈度。使用的潔凈衣物等，必需一個(gè)星期清洗一次，不論有否弄臟。?潔凈室依據(jù)潔凈室人員管制規(guī)定的管制細(xì)則，所有的工作人員皆需致力于工作在一個(gè)高潔凈空氣環(huán)境中。?焊接狀況的檢查（由個(gè)人或監(jiān)工）當(dāng)自動(dòng)焊接機(jī)的工作條件改變時(shí)，必須確定焊接數(shù)據(jù)與工作條件一致。?鎢棒的保養(yǎng)及管制?要時(shí)時(shí)注意鎢棒是否變形。?磨鎢棒的工作必須是由監(jiān)工認(rèn)可之專業(yè)人員使用特定的設(shè)備來執(zhí)行。?樣品制作及焊接條件的檢查（焊接者或監(jiān)工）每日早上在上工前要制作數(shù)個(gè)同樣大小的樣品。監(jiān)工切開樣品，檢查管內(nèi)部焊接情況，用目視確定焊接的地方?jīng)]有不規(guī)則的孔、裂縫、氣孔或沒有完全焊透等缺點(diǎn)存在。若有焊接缺陷發(fā)現(xiàn)時(shí)，檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹氣體純度、質(zhì)量及沖吹的方法，直到結(jié)果令人滿意，方可進(jìn)行配管工作。樣品及焊接數(shù)據(jù)必須同時(shí)保存。2-4.要求?機(jī)器攜入及架設(shè)從側(cè)邊帶入機(jī)器要在事先申請(qǐng)同意路線，并且使用的拖車放在特定的地方。?在水泥地板上使用鐵錨類之固定機(jī)器。經(jīng)縱、橫的方向確定無誤后，固定機(jī)器。機(jī)器必須在地板的防塵油漆涂上之前裝上。?管路標(biāo)記至少每5M要有標(biāo)簽貼在管路上，標(biāo)明氣體名稱流向?開/關(guān)顯示除了球閥外，所有的閥都要有開/關(guān)的標(biāo)示。n繪気氣不燃丿弋體o恥八氟環(huán)丁烷不燃?xì)怏wSF6 X氟化硫 不燃?xì)怏w]i%F2/Ki/N@臨齡j&珮髯性膵蝕性％萍IBC33=^4tffl~W性腐餌性氣襪Ar埶T不燃?xì)怏w4%H2/N2 4%氫/氮不燃?xì)赓癱r>An繪気氣不燃丿弋體o恥八氟環(huán)丁烷不燃?xì)怏wSF6 X氟化硫 不燃?xì)怏w]i%F2/Ki/N@臨齡j&珮髯性膵蝕性％萍IBC33=^4tffl~W性腐餌性氣襪Ar埶T不燃?xì)怏w4%H2/N2 4%氫/氮不燃?xì)赓癱r>A居縮空氣助增弋悴20%SiH4/lle 烷7鼠腸燃性氣休彎管作業(yè)規(guī)范3-1.說明本項(xiàng)說明GasSystem作成時(shí)，如何使用手工具PIPEBENDER來進(jìn)行彎曲作業(yè)。主要對(duì)象SUS316BA管，外徑1/4”(6.35?)使用工具R1N0.394LEVER型TUBEBENDER。2.配管圖看法與管長之決定配管圖尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之長之謂。丿通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多，茲以下圖表示之。至中心點(diǎn)之長度約+3mm(1/4”0D)(則3.15mm 3mm)約+5mm(3/8”O(jiān)D)使用TUBEBENDER來加以彎曲之中心點(diǎn)大約彎曲15R與直角彎曲比較，配管全長變短，亦即圖面上所配尺寸相加長度比實(shí)際配管長度長。

180度彎曲（R彎曲）每一彎曲，其SETBACK為14.6mm其計(jì)算如下:管長=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269mm[1/4”O(jiān)D]又3/8”時(shí)R彎曲SetBack為23.6mm依上圖原理可得(50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9mm [3/8”O(jiān)D]0?75度范圍角度彎苗，其SetBack為0例如:其管長=(50+53.94+40)-6.4=137.5其長度差即所謂SetBack，在1/4”O(jiān)D配管，每一彎曲可短小6.4mm(6.35mm)下面有1/4”、3/8”各種埸合之SetBack之表。彎曲次數(shù)SetBack1/4”3/8”1/8”16.4mm10.5mm6.0mm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.048例: 必要管長=(50+70+80)-12.7=187.33mm2次彎曲SetBack因此準(zhǔn)備187.3mm長度配管就可進(jìn)入作業(yè)。3.配管切割配管切割使用TubeCutter(PipeCutter)工具RIDGIDNO.105，配管開始切割時(shí)，必須前后旋轉(zhuǎn)3~4次半周，使配管軸部方向不致造成直角，溝才開始進(jìn)行。配管之切斷處，事先用紅筆做記號(hào)。切割深度一次切割過深會(huì)使切口未能成立真圓，慢慢進(jìn)行，而把手旋轉(zhuǎn)角度保持約30度就可。切割完畢，管內(nèi)面產(chǎn)生突屑會(huì)致使內(nèi)徑縮小，須用銃面Cutter清除。最后用銑面Cutter將突屑、粉屑清除。3-4.配管彎曲作業(yè)應(yīng)注意之原則配管開始彎曲作業(yè)應(yīng)注意原則?比較圖面上兩端、由短方面先開始彎曲，將較短尺寸配管上作記號(hào)、此部份應(yīng)放在Bender左側(cè)Set之。時(shí)時(shí)檢查Bender之狀態(tài)是否會(huì)造成管子受傷或變形。?兩端一方彎曲180度（R彎曲）時(shí)，必須從180度彎曲方向作業(yè)。這個(gè)時(shí)候R彎曲尺寸在配管上做記號(hào)，而將此處置在Bender左側(cè)予以Set之。3-5.尺寸固定（劃線器劃線方法）從配管量尺寸用普通量尺就可，再用紅鉛筆作記號(hào)。已施于彎曲一次的配管，則使用T型特別量尺，由配管中心劃線。實(shí)施90度以內(nèi)彎曲后再做第二次彎曲劃尺寸，依下列方法實(shí)行。3-6.熔接部份注意事項(xiàng)使用ArgonArc分岐部份，使用專用冶具，并使用Bord板開孔。開孔后配管內(nèi)部產(chǎn)生突起屑，粉屑用Reamer工具清除。施行多數(shù)彎曲作業(yè)其中有熔接分岐時(shí)，彎曲作業(yè)中途須要有開孔或清除粉屑的作業(yè)，因?yàn)榈鹊綇澢鳂I(yè)完成后已經(jīng)沒有方法通進(jìn)開孔或清除粉屑作業(yè)之工具。熔接規(guī)范4-1.電源使用Tester確認(rèn)電壓使用220V的場合要確認(rèn)結(jié)線。使用110V電源時(shí)，為保護(hù)配線，要使用附有漏電Breaker之插座。接地線要用熔接機(jī)單獨(dú)使用者。4-2.氬氣a、 Argongas純度達(dá)99.999以上才予使用。b、 原則上使用液化ArgonGas。c、 熔接時(shí)氧化膜無法去除時(shí)要檢查Gas及輸氣管路。3.鎢Tungstena、 研磨時(shí)不能偏頗。b、 產(chǎn)生熔接聯(lián)珠或蛇行是鎢研偏所致，要重磨。研磨時(shí)使用研磨專用機(jī)c、 Taper角度請(qǐng)參考下記圖面。熔接產(chǎn)生Gap時(shí)，用GapGauge來修正。4-4.同心圓之確認(rèn)確認(rèn)pipe規(guī)格及材料，然后參考Data表設(shè)定之。Set直管接住熔接機(jī)頭用Vis調(diào)整。Set短管用同心圓打圓圈確認(rèn)之。不是同心圓時(shí)，先考慮是否熔接機(jī)頭之焊接頭有歪曲就要更換Head。4-5.熔接條件確認(rèn)使用BackSealedGas，Purge30分程度，清除之流量為5l/min。使用Date表確認(rèn)ArcGasSealedGas流量，并記入Data表。6.Test熔接使用對(duì)焊熔接物做樣品熔接，制作CutSample。熔接面聯(lián)結(jié)、熔接程度、氧化膜產(chǎn)生程度都須確認(rèn)。確認(rèn)后，無問題才正式進(jìn)行熔接。為防止表面氧化用噴槍ArGas。熔接作業(yè)重要事項(xiàng)防止中心點(diǎn)偏移：鎢與熔接面位置。鎢之研磨角度未出來。熔接聯(lián)珠不均：切割面90度未出來。切割面有突起物。鎢的消秏。防止熔化不足：盡可能觀察熔接時(shí)之熔接內(nèi)面。防止過熔低陷：利用控制內(nèi)壓之專用治具。防止膨脹熔接作業(yè)前，再確認(rèn)熔接條件。熔接技術(shù)者，熔接完了后，確認(rèn)熔接部份。氧化膜除去作業(yè)基準(zhǔn)a、 氧化膜除去，使用StainlessBrushScotchBrush。b、 使用StainBright除去作業(yè)后，充分用純水洗凈。c、 水洗后，用氮?dú)馇宄儆肐PA洗凈。d、 進(jìn)行除去作業(yè)時(shí)，配管末端用盲Cap套住。e、 除去作業(yè)完成后，其外部用氮?dú)馇宄龎m埃。f、 收尾工程，配管內(nèi)部用氮?dú)馇宄?。清除用氮?dú)?，通過0.05um以上，具有除去性能之Ceramic或StainlessFilter，并在8kg/cm2的氮?dú)鈮毫ο聦⒐軆?nèi)清除。5.測試規(guī)范今依據(jù)各項(xiàng)執(zhí)行順序可分為七大部份:第一部份外觀之檢驗(yàn)。第二部份為管路的氣密試驗(yàn)。第三部份為管路流程的檢查。第四部份為HE測試。*第五部份為微粒子測試、PARTICLE。第六部份為露點(diǎn)測試。第七部份含氧量測試。5-1.外觀檢驗(yàn):半導(dǎo)體于管線組裝成后,須做管路之外觀檢驗(yàn),其檢驗(yàn)項(xiàng)目為:?所有管線是否依設(shè)計(jì)排列施工,并予標(biāo)示氣體種類。?所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料。管線之焊接是否有角度不正、傾斜、歪曲。管線是否有污物殘留。管線是否有凹陷、龜裂等不良缺陷。2.管路氣密試驗(yàn):在氣密試驗(yàn)中,所采用測試方法均是采用通入高于各管路正常使用壓力的1.1倍氣體或1.5倍水的壓力于管路中,再觀察已安裝好之壓力計(jì),判斷其是否有漏氣現(xiàn)象。但有些的管路受限于二段式的壓力調(diào)節(jié)計(jì),需另安裝壓力計(jì),并由管路末端處灌壓方式。當(dāng)氣密試驗(yàn)中,任一管路有了漏氣現(xiàn)象。就必須進(jìn)行查漏步驟。一般而言,在管路的查漏均均是采用snoop對(duì)漏氣管路所有接點(diǎn)作泡沬測試(foamingtesting),其可偵測漏氣率約為1*10-4atmcc/sec。但是有一點(diǎn)必須注意是當(dāng)壓力計(jì)上有明顯變化時(shí)其漏氣已達(dá)1*10-4atmcc/sec的標(biāo)準(zhǔn)以上,故使用snoop查漏是相當(dāng)可靠。當(dāng)然能有更精密儀器測是最好的方式；但是精密測漏儀器使用較為不便,若對(duì)寬廣空間當(dāng)然沒有問題，但對(duì)狹窄及較高地點(diǎn)便不能安裝,所以目前為止查漏必須有系統(tǒng)規(guī)劃執(zhí)行,否再有精密儀器也找不出漏氣處,就以GN2管路查漏為例,就可證明確實(shí)是如此。5-3.壓力及氣密之檢驗(yàn)方法.使用0.01um過濾器過濾的氮?dú)饣驈S內(nèi)PN2系統(tǒng)做壓力測試。.壓力測試時(shí)所需壓力大小及加壓時(shí)間,設(shè)計(jì)值如附表所示。測試項(xiàng)目規(guī)定氣體測試壓力測試時(shí)間氣體測試N210kg/cm2(或依業(yè)主規(guī)定)30分鐘3)..管路充入規(guī)定的壓力氣體后,檢查所有被聯(lián)接和焊接的部份,并用試漏液做探漏,維持管內(nèi)充有壓力并做記錄。.記錄任何被發(fā)現(xiàn)的異常點(diǎn)。.記錄使用中的壓力表讀得有關(guān)數(shù)據(jù)。.從完成壓力測試開始做氣密測試,設(shè)計(jì)值、時(shí)間如附表測試項(xiàng)目規(guī)定氣體測試壓力測試時(shí)間氣體測試N28kg/cm2(或依業(yè)主規(guī)定)24小時(shí).做次測試時(shí),首先計(jì)值充入管線中以10分鐘或更久些,然后才開始做記錄,以避免產(chǎn)生誤差。.做氣密記錄測試時(shí),必須使用讀出型壓力計(jì)做數(shù)據(jù)記錄。在規(guī)定的壓力和規(guī)定的保持時(shí)間后,管在線的壓力沒有顯示下降,亦即從試壓開始測試的壓力和完成測試時(shí)的室溫亦不同時(shí),無論如,必須使下列式子做溫度系數(shù)的校正,來決定測試完成時(shí),壓力表所獲得之?dāng)?shù)值能保持在開始時(shí)所記錄的98%以上,則此測試值被認(rèn)可為通過測試。最后壓力值二 測完壓力/測完溫度 *100?98%始測壓力/始測溫度.未接受試壓部份,如安全閥、控制閥、壓力計(jì)等,均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。氣密試驗(yàn)的壓力以不超過該組件的最大許可操作壓為限。5-4.氣體管路流程檢查此項(xiàng)目之測試依下列步驟為之:a、 將所有氣體管路的末端閥打開。b、 列出(各種特殊氣體管路應(yīng)到遠(yuǎn)的末端閥的歸納表)關(guān)閉所試特殊氣體管路的末端閥。c、 由所欲測特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力,并觀察五分鐘，視壓力計(jì)是否有下降現(xiàn)象。d、 若壓力計(jì)無下降,即代表管路無錯(cuò)接現(xiàn)象。若無下降現(xiàn)象打開欲測特氣體管路末端閥,判斷壓力計(jì)是否會(huì)下降至零,若降至零代表壓力計(jì)無問題。5.測漏檢驗(yàn)a、 特殊氣體配管,管做完上述測試后將管路抽真空,以HE氣做測漏率的測試。b、 本公司使用為BALZERHLT160HELIUMLEAKDETECTOR設(shè)備。c、 本公司設(shè)備測漏率可達(dá)到-1*10-11atm.cc/sec。d、 測試標(biāo)準(zhǔn)1*10-8MABRL/S<2*10-9atm.cc/secInboard或業(yè)主規(guī)定。e、 本公司有支持設(shè)備相同機(jī)型的提供廠商—漢疆股份有限公司。操作說明及注意事項(xiàng)a、 在開機(jī)前,應(yīng)先平穩(wěn)放置不得傾斜。b、 開機(jī)后,不得隨意移動(dòng)。c、 關(guān)機(jī)后,必須聽到VENT氣聲或3-5分鐘后,方可移動(dòng)或重新啟動(dòng)。d、 在開機(jī)前,須確定電壓是否正確(110V/220V)e、 電壓頻率選擇于60HZ。f、 本機(jī)系屬于精密電子儀器,故必須使用有接地的插頭。5-6.微氧分析測試程序測試程序注意事項(xiàng)使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過純化器濾過氮?dú)饣蛲燃兌戎畾怏w。微氧分析儀開機(jī)后,必須熱機(jī)20分鐘才可銜接管路測試。將測試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源。將測試管路盤面上,所有閥件全部打開。使用設(shè)計(jì)壓力之氣源來Purge所要測試之管路。此Purge程序需維持30分鐘以上。氣體于接上設(shè)備前必須將銜接測試管路Purge5分鐘。經(jīng)過Purge的銜接測試管路,銜接上微氧分析儀后,打開微氧分析儀后,打開微氧分析儀電源進(jìn)行測試。測試時(shí)依微氧分析儀測試數(shù)值的狀況,同時(shí)進(jìn)行測試與Purge直到測試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值(50PPB)以下，才合格。需測試姞果記錄于微氧分析測試記錄表,以作日后追溯與識(shí)別用的。5-7.水份分析測試程序注意事項(xiàng)選用氣體清凈管路YES選用氣體清凈管路YES使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經(jīng)過純化器濾過氮?dú)饣蛲燃兌戎畾怏w。將測試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源,將測試管路或盤面所有,所有閥件全部打開。使用設(shè)計(jì)壓力氣源來Purge測試之盤面管路。此Purge程序需維持30分鐘以上。氣體管路于銜接水份分析儀SENSOR前，必須將銜接測試管路Purge5分鐘,讓銜接測試管路內(nèi)之水份隨Purge氣體流出。并聯(lián)氣體管路之出氣口至水份分析儀SENSOR樣品取樣進(jìn)氣口。（注意:氣體管路之出氣口銜接水份分析儀SENSOR時(shí),Purge氣體必須在流通的狀況下，且水份分析儀必須在開機(jī)的狀況下）測試時(shí)依水份分析儀測試數(shù)值的狀況，同時(shí)進(jìn)行測試與Purge直到水份分析儀測試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值（10PPB）以下。結(jié)束 a.需將測試結(jié)果記錄于水份分析測試記錄表 丿 上,以作日后追溯與識(shí)別用。6.工安規(guī)范般守則a、 請(qǐng)于施工前五天向工安部申請(qǐng)施工許可。b、 不可將逃指示燈及緊急照明燈取下使用。c、 工作中不可穿拖鞋、高跟鞋及赤腳。d、 遇停電時(shí)，不得亂跑或喧嚷，應(yīng)先立于原地不動(dòng)；再依規(guī)定方法離開現(xiàn)埸e、 地上濺有油漬應(yīng)立即除去。f、 電器開關(guān)、消防設(shè)施附近不可擺放物品。g、 攀爬過程中禁止踐踏管線以免管線破裂。h、 工作時(shí)要配戴個(gè)人必須之安全防護(hù)具，并選擇最安全之工作方法。i、 各項(xiàng)作業(yè)應(yīng)依循標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序，不可擅自更改作業(yè)程序。j、 對(duì)于施工環(huán)境認(rèn)知不足或工作執(zhí)行有困難、疑問時(shí)應(yīng)先請(qǐng)示工程監(jiān)督單位k、 施工許可/動(dòng)火許可單應(yīng)留置工作現(xiàn)場隨時(shí)備查。l、 進(jìn)入廠區(qū)工作應(yīng)配戴工作證m、 進(jìn)入無塵室內(nèi)應(yīng)依工程監(jiān)督單位穿戴潔凈服，在FAB一樓應(yīng)穿鞋套。1.吊裝作業(yè)注意事項(xiàng)a、 工作區(qū)域應(yīng)標(biāo)示禁止人員通過，并有專人在現(xiàn)場指揮作業(yè)。b、 吊掛作業(yè)人員應(yīng)具法定合格執(zhí)照。c、 作業(yè)前應(yīng)對(duì)吊索、吊煉、吊環(huán)、吊鉤等進(jìn)行檢查，確定正常方可開始作業(yè)。d、 起吊物不得越過人員上方。e、 起吊物不可超過負(fù)載。f、 吊鉤應(yīng)盡量移掛于起重物重心之上。g、 不可以單索吊等不穩(wěn)定方法起吊。h、 起吊長形物或不安定物料時(shí)，應(yīng)使用導(dǎo)引索，并以安全的方法操作。2.高空作業(yè)注意事項(xiàng)a、 高處作業(yè)應(yīng)使用安全帶、安全索、安全鞋、安全帽及其它必需之安全防護(hù)具b、 高處作業(yè)應(yīng)防止工具、材料落下傷人。c、 不可將兩架梯連接當(dāng)長梯使用。d、 上下梯子應(yīng)面向梯子，以雙手扶梯。e、 梯子應(yīng)避免置于入口，否則門應(yīng)加鎖。f、 金屬梯不可靠近電氣設(shè)施以防止漏電。g、 使用架空板、鷹架及梯子應(yīng)先檢查確定安全后方可使用。h、 遇有大雨等惡劣天候應(yīng)停止工作。i、 施工區(qū)域應(yīng)作標(biāo)示，并注意地面行人安全。6-3.動(dòng)火作業(yè)注意事項(xiàng)a、 需于施工前三天向工安部申請(qǐng)動(dòng)火許可。b、 應(yīng)于施工現(xiàn)場備妥滅火器方可正式動(dòng)火。c、 搬運(yùn)電焊機(jī)應(yīng)切斷電源。d、 在高處電焊時(shí)應(yīng)設(shè)置防制他人從下方通過。e、 不得在易燃易爆物附進(jìn)近從事電焊作業(yè)。f、 在潮濕地點(diǎn)從事電焊作業(yè)時(shí)，應(yīng)穿著絕緣良好之安全鞋。g、 應(yīng)穿著防護(hù)衣、手套及護(hù)目鏡。h、 搬運(yùn)氣體鋼瓶應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，并用鐵鏈條系牢，嚴(yán)禁棄置地面i、 按照正常程操作，防止回火現(xiàn)象。j、 所有動(dòng)火作須已具廠商動(dòng)火作業(yè)令核可后始可施工。k、 電焊機(jī)應(yīng)接地，但不得搭接在機(jī)械設(shè)備、欄桿或鐵梯上。l、 嚴(yán)禁在高壓氣體容器上打火。m、 電焊作業(yè)應(yīng)遠(yuǎn)離高壓設(shè)備。7.監(jiān)工人員工地監(jiān)工準(zhǔn)則監(jiān)工人員主要