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壓力傳感器檢定:靜態(tài)檢定動(dòng)態(tài)檢定我們把壓力傳感器的特性分成兩類靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性。壓力傳感器靜態(tài)特性的主要指標(biāo)是靈敏度、線性度、遲滯、重復(fù)性、精度、溫度漂移和零點(diǎn)漂移等等。一般我們校準(zhǔn)壓力傳感器都是校準(zhǔn)其靜態(tài)特性,這是因?yàn)槲覀儗毫鞲衅骼硐牖?,認(rèn)為其固有頻率相當(dāng)大而且本身無(wú)阻尼,這時(shí)壓力傳感器的靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)特性是一樣的。然而在被測(cè)壓力隨時(shí)間變化的情況下,壓力傳感器的輸出能否追隨輸入壓力的快速變化是一個(gè)很重要的問題。有的壓力傳感器盡管其靜態(tài)特性非常好,但由于不能很好地追隨輸入壓力的快速變化而導(dǎo)致嚴(yán)重的誤差,有時(shí)甚至出現(xiàn)高達(dá)百分之百的動(dòng)態(tài)誤差。所以我們必須要進(jìn)行壓力傳感器動(dòng)態(tài)特性的校準(zhǔn),認(rèn)真分析其動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性。壓力傳感器動(dòng)態(tài)特性可以用它的上升時(shí)間、固有頻率、幅頻特性、相頻特性等參數(shù)來(lái)描述。遲滯eH:正行程與反行程之間的曲線的不重合度;線性度eL(非線性誤差):輸入輸出校準(zhǔn)曲線(實(shí)際)與選定的擬合直線之間的吻合程度;重復(fù)性eR:正行程或反行程曲線多次測(cè)量時(shí)曲線的一致程度;置信系數(shù)a=2(95.4%)或a=3(99.73%)貝塞爾公式線性度、遲滯反映系統(tǒng)誤差;重復(fù)性反映偶然誤差。誤差(三者反應(yīng)系統(tǒng)總誤差)eS:eS=±或e根據(jù)檢定規(guī)程一《壓力傳感器靜態(tài)》,在校準(zhǔn)精密線性壓力傳感器時(shí)給出的校準(zhǔn)曲線有二種最小二乘直線和端點(diǎn)平移線。動(dòng)態(tài)檢定:瞬態(tài)激勵(lì)法(階躍信號(hào)激勵(lì))正弦激勵(lì)法(正弦信號(hào)激勵(lì))動(dòng)態(tài)檢定指標(biāo)、參數(shù):頻率響應(yīng)、諧振頻率、自振頻率、阻尼比、上升時(shí)間、建立時(shí)間、過(guò)沖量、靈敏度。正弦激勵(lì)法:正弦壓力信號(hào)輸入法是一種間接的檢定方法,即被檢定的壓力傳感器和一個(gè)“參考”壓力傳感器相比較,而“參考”壓力傳感器具有理想的動(dòng)態(tài)性能。正弦壓力激勵(lì)法在高頻、高壓時(shí),正弦信號(hào)往往嚴(yán)重畸變。因此一般只能用于小壓力或低頻范圍的檢定。表1為壓力傳感器計(jì)量性能要求:表2為正弦壓力標(biāo)準(zhǔn)的性能指標(biāo):表3為激波管動(dòng)態(tài)壓力標(biāo)準(zhǔn)參考文獻(xiàn):林俊陽(yáng).《壓力傳感器的動(dòng)態(tài)特性測(cè)試方法研究》.廈門大學(xué)張大有.《激波管在壓力傳感器動(dòng)態(tài)性能校準(zhǔn)和實(shí)驗(yàn)上的應(yīng)用》.宇航計(jì)測(cè)技術(shù)JJG624-2005動(dòng)態(tài)壓力傳感器檢定規(guī)程張近等.
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