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第七章紅外攝像器件Thursday,January11,20242長波紅外

6-15μm長波常溫時靈敏度更好.給定溫度目的的信號程度更好.更少的大氣吸收.對于玻璃和塑料不透明,丈量它們的外表溫度很方便.陽光下反射更少.更高的信噪比.穿透煙、霧、塵和擾流.對于可將光背景干擾不敏感.Thursday,January11,20243熱像技術可以拓展到很多領域…分析技術熱像儀操作熱傳送運用檢測方案和報告IRT熱輻射什么是熱像技術?Thursday,January11,20244紅外圖例暗色意味著更冷,亮色意味著更熱.這幅熱圖高速我們什么信息?Thursday,January11,20245什么是熱像技術?FLIR–ITC給出的定義紅外熱像技術是一門利用非接觸式熱像設備獲取和分析熱信息的科學。Note:Thereexiststandardizeddefinitionsinsomecountries,andISOisalsoworkingonit.Thursday,January11,20246熱像圖像熱量溫度分析什么是熱像技術?Thursday,January11,20247熱量是不同溫度的系統(tǒng)間的熱量交換.因此,當沒有溫度差別時紅外圖像沒有任何對比,也不能夠進展分析!什么是熱像技術?Thursday,January11,20248大氣吸收我們以為大氣應該是透明的我們能看見可見光大氣對于可見光是透明的但是大氣對于一切波段并不是透明的.Thursday,January11,20249大氣窗口紅外經(jīng)過大氣的透射率取決于波長和大氣條件.紅外圖像的大氣窗口為:3-5微米–中波/MWIR(SWIR)8-13微米–長波/LWIRThursday,January11,2024107.1紅外的根本知識紅外光是電磁光譜中介于可見光的紅光和微波之間的波段.一切超越絕對零度的物體都在紅外波段輻射能量.紅外服從可見光的根本規(guī)律.人眼是看不見紅外光的.可見光和紅外光最大的不同是它們的波長不一樣.伽馬射線X射線紫外可見紅外無線電可見光0.4近紅外中紅外遠紅外超遠紅外0.7537.5-1515-1000微米一、紅外的發(fā)現(xiàn)和本質

紅外線的發(fā)現(xiàn)和本質

電磁波譜紅外輻射特性1.1800年英國天文學家赫謝耳(Herschel)在研討太陽七色光的熱效應時發(fā)現(xiàn)了一種奇特的景象:在紅光外側,確實存在一種人眼看不見的“熱線〞,后來稱為“紅外線〞,也稱“紅外輻射〞。2.紅外線存在于自然界的任何一個角落?,F(xiàn)實上,一切溫度高于絕對零度的有生命和無生命的物體時時辰刻都在不停地輻射紅外線。3.研討闡明,紅外線是從物質內(nèi)部發(fā)射出來的,物質的運動是產(chǎn)生紅外線的根源。由此可見,紅外輻射的物理本質是熱輻射。這種輻射的量主要由這個物體的溫度和資料本身的性質決議。特別是,熱輻射的強度及光譜成分取決于輻射體的溫度,也就是說,溫度這個物理量對熱輻射景象起著決議性的作用。二、紅外輻射特性紅外線是一種電磁輻射,具有與可見光類似的特性,服從反射和折射定律,也有干涉、衍射和偏振等景象;同時,它又具有粒子性,即它可以光量子的方式發(fā)射和吸收。此外,紅外線還有一些與可見光不一樣的獨有特性:(1)紅外線對人的眼睛不敏感,所以必需用對紅外線敏感的紅外探測器才干接納到;(2)紅外線的光量子能量比可見光的小,例如10μm波長的紅外光子的能量大約是可見光光子能量的1/20;(3)紅外線的熱效應比可見光要強得多;(4)紅外線更易被物質所吸收,但對于薄霧來說,長波紅外線更容易經(jīng)過。三、紅外探測技術的研討與開展

紅外探測的研討意義紅外探測器及技術的開展紅外探測器的開展紅外技術的開展以紅外物理學為根底研討和分析紅外輻射的產(chǎn)生、傳輸及探測過程中的特征和規(guī)律為目的探測、識別提供實際根底和實驗根據(jù)紅外探測器的開展溫度計熱電偶熱電堆測輻射熱計確立了紅外輻射的根本定律,紅外物理才作為一門獨立的學科分支本征型器件(例PbS探測器)摻雜非本征型器件三元化合物器件(例HgCdTe探測器)多元線列紅外探測器掃積型HgCdTe器件(SPRITE探測器紅外焦平面列陣技術紅外技術的開展19世紀:研討天文星體的紅外輻射,運用紅外光譜進展物質分析。20世紀:紅外技術首先遭到軍事部門的關注,由于它提供了在黑暗中察看、探測軍事目的本身輻射及進展嚴密通訊的能夠性。第一次世界大戰(zhàn)期間研制了一些實驗性紅外安裝,如信號閃爍器、搜索安裝等。第二次世界大戰(zhàn)前夕,德國:紅外顯像管;戰(zhàn)爭期間:德國,美國:紅外輻射源、窄帶濾光片、紅外探測器、紅外望遠鏡、測輻射熱計等。第二次世界大戰(zhàn)后:前蘇聯(lián)50年代以后,美國:響尾蛇導彈上的尋的器制導安裝和u—2間諜飛機上的紅外照相機代表著當時軍用紅外技術的程度。前視紅外安裝(FLIR)獲得了軍界的注重,并廣泛運用:機載前視紅外安裝能在1500m上空探測到人、小型車輛和隱蔽目的,在20000m高空能分辨出汽車,特別是能探測水下40m深處的潛艇。在海灣戰(zhàn)爭中,紅外技術,特別是熱成像技術在軍事上的作用和威力得到充分顯示。目前紅外技術作為一種高技術,它與激光技術并駕齊驅,在軍事上占有舉足輕重的位置。紅外成像、紅外偵查、紅外跟蹤、紅外制導、紅外預警、紅外對抗等在現(xiàn)代和未來戰(zhàn)爭中都是很重要的戰(zhàn)術和戰(zhàn)略手段。在70年代以后,軍事紅外技術又逐漸向民用部門轉化。紅外加熱和枯燥技術廣泛運用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學、交通等各個行業(yè)和部門。紅外測溫、紅外測濕、紅外理療、紅外檢測、紅外報警、紅外遙感、紅外防偽更是各行業(yè)爭相選用的先進技術。標志紅外技術最新成就的紅外熱成像技術,它與雷達、電視一同構成當代三大傳感系統(tǒng),尤其是焦平面列陣技術的采用,將使它開展成可與眼睛相媲美的凝視系統(tǒng)。四、紅外探測器的分類按波長分:近紅外:0.76~3μm中紅外:3~6μm遠紅外:8~15μm按任務溫度分:低溫探測器中溫探測器室溫探測器按用途和構造分:單元探測器多元探測器凝視列陣探測器按任務轉換機理分:熱敏探測器〔熱電效應〕熱釋電攝像管〔如TGS等〕熱探測器陣列熱釋電型非制冷焦平面陣列微測輻射熱計非制冷焦平面陣列〔Micro-Bolometer〕微測輻射熱電堆光子探測器〔光電效應〕光電導探測器〔PC效應〕光伏探測器〔PV效應〕肖特基勢壘探測器〔PtSi探測器〕量子阱探測器一、紅外探測器分類

熱探測器光子探測器熱探測器是利用入射紅外輻射引起敏感元件的溫度變化,進而使其有關物理參數(shù)或性能發(fā)生相應的變化。經(jīng)過丈量有關物理參數(shù)或性能的變化可確定探測器所吸收的紅外輻射。主要有熱電阻型、熱電偶型、熱釋電型和高萊氣動型等幾種型式。熱探測器的主要優(yōu)點是呼應波段寬,可以在室溫下任務,運用方便。熱探測器普通不需致冷〔超導除外〕而易于運用、維護,可靠性好;光譜呼應與波長無關,為無選擇性探測器;制備工藝相對簡易,本錢較低。但由于熱探測器呼應時間長,靈敏度低,普通只用于紅外幅射變化緩慢的場所。熱探測器性能限制的主要要素是熱絕緣的設計問題。光子探測器是利用某些半導體資料在紅外輻射的照射下,產(chǎn)生光子效應,使資料的電學性質發(fā)生變化。經(jīng)過丈量電學性質的變化,可以確定紅外輻射的強弱。按照光子探測器的任務原理,普通可分為外光電和內(nèi)光電探測器兩種。內(nèi)光電探測器又分為光電探測器、光電伏特探測器和光磁電探測器三種。光電探測器的主要特點是靈敏度高,呼應速度快,呼應頻率高。但必需在低溫下任務,而且探測波段較窄。1、光子探測器(1)光電子發(fā)射(外光電效應)器件利用光電子發(fā)射制成的器件稱為光電子發(fā)射器件。如光電管和光電倍增管。光電倍增管的靈敏度很高,時間常數(shù)較短(約幾個毫微秒),所以在激光通訊中常運用特制的光電倍增管。大部分光電子發(fā)射器件只對可見光起作用。(2)光電導探測器利用半導體的光電導效應制成的紅外探測器叫做光電導探測器(簡稱PC器件),目前,它是種類最多運用最廣的一類光子探測器。光電導探測器可分為單晶型和多晶薄膜型兩類。多晶薄膜型光電導探測器的種類較少,主要的有呼應于1~3μm波段的PbS、呼應于3~5μm波段的PbSe和PbTe(PbTe探測器,有單晶型和多晶薄膜型兩種)。(3)光伏探測器利用光伏效應制成的紅外探測器稱為光伏探測器(簡稱PV器件)。假設p-n結上加反向偏壓,那么結區(qū)吸收光子后反向電流會添加,它實踐上是光伏效應引起的,這就是光電二極管、光電三極管。(4)光磁電探測器利用光磁電效應制成的探測器稱為光磁電探測器(簡稱PEM器件)。目前制成的光磁電探測器有InSb、InAs和HgTe等。光磁電探測器實踐運用很少。光子探測器能否產(chǎn)生光子效應,決議于光子的能量。入射光子能量大于本征半導體的禁帶寬度Eg(或雜質半導體的雜質電離能ED或EA)就能激發(fā)出光生載流子。入射光子的最大波長(也就是探測器的長波限)與半導體的禁帶寬度Eg有如下關系:

各類光子型探測器光電子發(fā)射探測器:紅外光陰極等利用外光電效應任務的探測器。光電導探測器〔PC器件〕:利用光電導效應任務的探測器。光伏探測器〔PV器件〕:利用光伏效應任務的探測器。光磁電探測器:利用光磁電效應制成的紅外探測器。肖特基勢壘器件:光子牽引效應。量子阱器件:利用量子阱效應。2、熱探測器(1)熱敏電阻熱敏物質吸收紅外輻射后,溫度升高,阻值發(fā)生變化。阻值變化的大小與吸收的紅外輻射能量成正比。利用物質吸收紅外輻射后電阻發(fā)生變化而制成的紅外探測器叫做熱敏電阻。(2)熱電偶溫差電景象制成的感溫元件稱為溫差電偶(也稱熱電偶)。將假設干個熱電偶串聯(lián)在一同就成為熱電堆。在一樣的輻照下,熱電堆可提供比熱電偶大得多的溫差電動勢。因此,熱電堆比單個熱電偶運用更廣泛。(3)氣體探測器氣體在體積堅持一定的條件下吸收紅外輻射后會引起溫度升高、壓強增大。利用此原理制成的紅外探測器叫氣體(動)探測器。(4)熱釋電探測器有些晶體.如硫酸三甘肽(TGS)、鉭酸鋰(LiTaO3)和鈮酸鍶鋇(Sr1-xBaxNb2O6)等,當遭到紅外輻照時,溫度升高,在某一晶軸方向上能產(chǎn)生電壓。電壓大小與吸收的紅外輻射功率成正比。利用此原理制成的紅外探測器叫熱釋電探測器。熱探測器是一種對一切波長的輻射都具有一樣呼應的無選擇性探測器。但實踐上對某些波長的紅外輻射的呼應偏低,等能量光譜呼應曲線并不是一條程度直線,這主要是由于熱探測器資料對不同波長的紅外輻射的反射和吸收存在著差別。熱探測器的呼應速度決議于熱探測器的熱容量和散熱速度。減小熱容量,增大熱導,可以提高熱探測器的呼應速度,但呼應率也隨之降低。3.熱探測器與光子探測器的性能比較(1)熱探測器普通在室溫下任務,不需求致冷;多數(shù)光子探測器必需任務在低溫條件下才具有優(yōu)良的性能。任務于1~3μm波段的PbS探測器主要在室溫下任務,但適當降低任務溫度,性能會相應提高,在干冰溫度下任務性能最好。(2)熱探測器對各種波長的紅外輻射均有呼應,是無選擇性探測器;光子探測器只對短于或等于截止波長λc的紅外輻射才有呼應,是有選擇性的探測器。(3)熱探測器的呼應率比光子探測器的呼應率低1~2個數(shù)量級,呼應時間比光子探測器的長得多。五.紅外探測器的任務條件與性能目的評價紅外探測器的性能的目的稱為性能優(yōu)值,即其性能參數(shù)。因一個探測器的性能參數(shù)往往與其丈量方法和運用條件,幾何尺寸等物理性質相關故討論紅外探測器性能目的的同時,需闡明其任務條件。任務條件入射輻射的光譜分布:對探測器進展性能描畫時,必需闡明入射到探測器呼應平面的光譜分布及空間輻射功率。實驗室多采用500K黑體輻射源作信號源。探測器的幾何參數(shù):探測器面積〔標稱面積、有效面積〕,外形及接納入射輻射信號的立體角標稱面積:制造商提供的呼應面積,是實踐呼應面積的近似值。有效面積:假設s為呼應平面,R(x,y)為對應點的呼應度,那么有效面積定義為1、紅外探測器的任務條件探測器接納輻射信號的立體角:輻射信號入射方向上以入射角的余弦作為權重的立體角。標稱權重立體角:制造商提供的立體角。有效權重立體角:設θ,φ為軸線垂直于呼應平面的球坐標系的極角和方位角;R(x,y,θ,φ)為探測器呼應平面s上某點(x,y)對(θ,φ)方向入射輻射的呼應度,那么有效權重立體角為:--對于呼應度與方位角無關的圓形對稱探測器假設呼應元中心到探測器光闌的視場角為ω,其權重立體角交可簡化為:Ω=πsin(ω/2),假設為朗伯探測器,那么Ω=π。探測器的輸出信號:輸出信號電壓的振幅是施加在探測器的偏置電源b,輻射調(diào)制頻率f,波長λ及入射輻射功率Ps的函數(shù)。即:Vs=Vs(b,f,λ,Ps)探測器的任務溫度與背景:不致冷時指環(huán)境溫度,致冷時指致冷的標稱溫度。背景輻射:由探測器的視場和被背景照射的光譜范圍來描畫。探測器的阻抗:探測器兩端瞬時電壓V(t)對經(jīng)過探測器的瞬時電流i(t)的導數(shù),包括容抗和直流阻抗。多數(shù)探測器的阻抗與純電阻等效,100Ω以下為低阻器件,需與放大器做變壓器耦合,100Ω~1MΩ為中阻器件,最容易與放大器匹配;1MΩ以上為高阻器件,需高阻抗放大器輸入才干匹配。特殊任務條件:對于某些特殊器件,還有濕度、入射輻射功率、視場立體角、以及背景溫度等。2、紅外探測器的性能參數(shù)呼應度R:描畫入射到探測器上的單位輻射功率所產(chǎn)生的信號大小才干的性能參數(shù):紅外輻射垂直入射到探測器光敏元上,探測器輸出信號電壓均方根值Vs與入射輻射功率均方根值Ps之比。噪聲等效功率NEP:紅外輻射信號入射到探測器呼應平面上,假設產(chǎn)生的電輸出信號的均方根值正好等于探測器本身在單位帶寬內(nèi)的噪聲均方根值〔信噪比為1〕時,探測器外表所接納到的入射輻射功率均方根之為NEP。探測率D和歸一化探測率D*:D=1/NEP;因大多數(shù)紅外探測器的NEP與光敏面積的平方根成正比,還與放大器的帶寬Δf有關,因此NEP的數(shù)值很難比較兩個不同探測器的性能優(yōu)劣。而定義歸一化探測率D*實踐上是探測器單位面積、單位放大器帶寬,單位輻射功率所獲得的信噪比。普通D*與調(diào)制頻率f、輻射源與任務條件有關,單位為cmHz1/2/W。黑體源測得的D*稱為黑體探測率,用D*(T,f,1)表示,1表示單位帶寬,T多數(shù)情況下為500K。呼應時間〔或時間常數(shù)〕:指探測器將入射輻射轉變?yōu)殡娸敵龅某谠r間,是表示探測器任務速度的一個定量參數(shù)。還可以利用頻率呼應來描畫呼應時間,由于大多數(shù)探測器呼應度隨調(diào)制頻率的變化有如公式,其中R(0)為零頻下的呼應度,由此關系規(guī)定的呼應時間τ為呼應度下降到最大值的0.707時的角頻率(2πf)的倒數(shù)值。有些探測器有兩個呼應時間。其它目的呼應度與輻射強度之間的線性關系呼應度的均勻性與光學系統(tǒng)匹配時,接納面積與光學系統(tǒng)所成像的大小一樣與前置放大器連用時,探測器內(nèi)阻應與放大器的阻抗相匹配。R(f)隨f變化的關系曲線具有兩個呼應時間的頻率呼應7.2.光電導型紅外探測器光電導探測器的任務原理與性能分析SPRITE探測器SPRITE探測器的任務原理及構造SPRITE探測器的性能目的光電導探測器資料光電導率:假設半導體遭到外界作用,有非平衡載流子注入,就會附加電導率Δσ產(chǎn)生。當Δσ是由光照注入的非平衡載流子所產(chǎn)生時,稱之為光電導率。光照射產(chǎn)生的非平衡載流子稱為光生載流子。-能產(chǎn)生光電導效應的資料稱為光電導體。致冷器致冷器的作用是降低紅外探測器的噪聲,使其在低溫形狀任務。由致冷劑變相吸收熱量而致冷B.焦耳-湯姆遜效應致冷C.輻射熱交換致冷D.溫差電致冷A.變相致冷高壓氣體節(jié)流循環(huán)致冷高溫物體輻射能量降溫利用直流電經(jīng)過半導體電偶對的珀爾帖效應致冷7.2.1、光電導型紅外探測器-任務原理與性能分析光電導探測器的根本概念和根本方程光電導探測器的分類入射光強的衰減規(guī)律激發(fā)率和復合率光生載流子的根本方程本征光電導探測器的性能分析呼應度探測率呼應時間調(diào)制信號的影響光電導型紅外探測器-任務原理半導體的光激發(fā)過程(a)本征吸收;(b)非本征吸收;(c)自在載流子吸收光電導探測器按其根本激發(fā)過程可分為:本征光電導探測器:入射紅外輻射的光子能量大于半導體禁帶寬度,使電子從價帶激發(fā)到導帶而改動其光電導率。其優(yōu)點是任務溫度比非本征型高。雜質光電導探測器:入射輻射激發(fā)雜質能級上的電子或空穴而改動其電導率,其優(yōu)點是長波效應較好。自在載流子探測器:資料吸收光子后不引起載流子數(shù)量的變化,而是引起載流子遷移率的變化。這類器件常需求在極低溫度下任務,以降低能量向晶格轉移。入射光強的衰減規(guī)律:輻射進入探測器后,輻照度要逐漸衰減,假設資料的吸收比為α,那么在z到z+dz處,其輻照度衰減的量值可寫成dE,設探測器外表反射率為ρ,z=0時入射到外表處的照度為E0,那么有輻射度隨厚度的衰減公式由此可見,輻照度隨厚度添加而呈指數(shù)衰減。入射光強隨厚度變化激發(fā)率與復合率單位時間、單位體積內(nèi)吸收的光子能量:被吸收的光子數(shù):量子效率η:探測器吸收一個光子〔hυ>=Eg)所產(chǎn)生的電子-空穴對的數(shù)目體激發(fā)率Q:單位時間、單位體積內(nèi)所產(chǎn)生的電子-空穴對數(shù)在本征半導體資料中,通常η=1,假設探測器厚度為d,略去下外表的反射,平均體激發(fā)率為:當入射光強減小到初始值的1/e時,光經(jīng)過的間隔稱為光的有效透射深度,其值為1/α。普通的本征半導體吸收很強,InSb資料探測器的吸收系數(shù)α約為104/cm,即外表1μm就到達了有效透射深度,以后的入射光的影響可以忽略。故,在滿足e(-αd)<<1時,平均體激發(fā)率變?yōu)橥獗砦?。外表激發(fā)率Qs:單位時間、單位面積內(nèi)所產(chǎn)生的光生載流子數(shù)目。直接復合的復合率〔凈復合速率〕:假設γ為直接復合系數(shù),即各種能量的電子與空穴的平均值。Δp為光生載流子濃度,且Δp=Δn。間接復合的復合率:假設γe為電子俘獲系數(shù),γp為空穴俘獲系數(shù),Nt為俘獲中心總數(shù),n1,p1分別為熱平衡時電子與空穴的濃度。那么有間接復合的復合率表達式。光生載流子壽命:外表復合率:設外表復合速率為Sv所謂間接復合:非平衡載流子經(jīng)過雜質或缺陷中心也可以完成電子空穴對的復合,可以有效起復協(xié)作用的雜質或缺陷稱為復合中心,復合由兩步來完成:一是未被占據(jù)的中心從導帶俘獲一個電子;一是已被占據(jù)的中心從價帶俘獲一個空穴〔相當于一個電子由復合中心落入價帶〕。所謂直接復合:是能帶到能帶的復合,指點帶電子和價帶空穴的復合,即導帶電子躍遷到價帶的過程。半導體中,單位體積內(nèi)自在電子的添加率,應等于該處電子的激發(fā)率Q減去電子的復合率,再加上電子電流的散度。同理,對于空穴有:如略去圈套效應,以為光生載流子的壽命與本征半導體內(nèi)載流子壽命一樣,公式中的電流密度可以寫成在本征光電導情況,電中性條件可導出:D為雙極分散系數(shù),μ為雙極遷移率,整理可推知:由于是本征光電導情況,n=p,μ=0,故得到本征光電導光生載流子變化的根本方程。所謂根本方程:是反映非平衡載流子運動的重要方程。要思索光生電子和光生空穴的延續(xù)性。光電導探測器的幾何模型本征光電導探測器的呼應度R恒定入射的紅外輻射照射探測器時,穩(wěn)態(tài)下:在不思索濃度梯度和外表復合的前提下,可得:即光生載流子數(shù)目與平均體激發(fā)率、載流子壽命成正比。設探測器長寬厚:l,w,d。并在x方向加有正電場E,加之空穴與電子的變化數(shù)量相等。那么光生載流子密度為:光生電流電流為:假設無信號時電阻(暗電阻)為Rd,那么開路電壓:按定義可得探測器呼應度表達式呼應度與入射輻射光子能量的關系:在本征半導體中,暗電阻率可寫成與遷移率及無光照時空穴濃度p0相關的表達式:思索到背景對電導率及空穴濃度的影響,可將無信號照射時的電導率及空穴濃度分成熱激發(fā)對之的奉獻,及背景輻射對其的奉獻兩部分:呼應度又有更進一步的表達方式:即以為探測器內(nèi)部各處載流子濃度是均勻的,即體激發(fā)率是均勻的光電導型紅外探測器-性能分析本征光電導探測器的呼應度R分析呼應度與光生載流子壽命成正比:普通光電導的奉獻主要來自于一種載流子,因此假設參與另一種載流子圈套,就會使主要作用的載流子壽命增長,而提高呼應度。呼應度與載流子濃度成反比:經(jīng)過致冷環(huán)境,可以減小pT值,假設減小pb需求添加濾光片;呼應度與外界電場成正比,但實踐上E的添加會帶來焦耳熱使探測器溫升,故外加電場應有一個最正確值;在滿足αd>>1條件下,減少探測器厚度有利于提高呼應度;減少反射,鍍增透膜也是提高呼應度的好方法。本征光電導探測器的探測率D對本征光電導探測器,可以不思索1/f噪聲時,主要噪聲為熱噪聲和產(chǎn)生-復合(G-R)噪聲。熱噪聲產(chǎn)生的噪聲電壓常記為:其中Rd為探測器等效電阻,Δf為丈量儀器噪聲等效帶寬。產(chǎn)生復合噪聲產(chǎn)生的噪聲電壓常表示為。其中V0為外置偏壓,Ps為入射到探測器外表的輻射功率。按定義有Dv*更多時候,Dv*只受一種噪聲限制本征光電導探測器的呼應時間弱光入射時,上升情況:根據(jù)載流子濃度隨時間上升的微分方程,且t=0時,載流子濃度變化量為0,可解得:式中Δp0為穩(wěn)定值,故載流子隨時間按指數(shù)規(guī)律上升至穩(wěn)定值。顯然載流子壽命越長,曲線上升越慢。光生載流子數(shù)目隨時間上升到穩(wěn)定值的(1-1/e)時所需的時間為上升時間。下降情況:假設t=0時停頓光照,那么微分方程中的產(chǎn)生激發(fā)的載流子數(shù)量Q為0,解得又一個指數(shù)方程。顯然依然是載流子壽命越長,下降呼應越慢。光生載流子濃度Δp0由隨時間下降1/e時所需的時間為下降呼應時間。光電導探測器的馳豫景象(或滯后景象)t本征光電導探測器的調(diào)制信號的影響為順應高速運動目的的變化,有時對入射光要進展調(diào)制。當運用調(diào)制頻率為f的余弦波形來調(diào)制時,有輻射照度或體激發(fā)率的表達方式:光生載流子濃度變化Δp的根本方程為:假設記Δp=Δp1+Δp2,前者為與時間無關量,后者為與時間相關量,那么:思索調(diào)制的影響,僅需討論隨時間變化的部分,省去下標并用復數(shù)表示,可解得其中振幅和相位表達式為:載流子濃度變化量Δp可寫成:從而得到調(diào)制光入射時輸出信號電壓,及其均方根電壓表示的信號。顯然,f越高,信號越低。按呼應度定義可得呼應度與調(diào)制頻率的關系式:呼應度隨著f添加而減少,故對于載流子壽命一定的資料,應選擇適當?shù)恼{(diào)制頻率,以防呼應度損失過多。目的運動速度不同,應選擇不同的調(diào)制頻率。7.2.1SPRITE(SignalProcessingInTheE1ement)紅外探測器這種新型紅外探測器器件利用紅外圖像掃描速度等于光生載流子雙極漂移速度這一原理實現(xiàn)了在探測器內(nèi)進展信號延遲、疊加,從而簡化了信息處置電路。它可用于串掃或串并掃熱成像系統(tǒng),但與熱成像系統(tǒng)中運用的陣列器件不同。陣列器件是相互分立的單元,每個探測器要與前置放大器和延遲器相連,它接納目的輻射產(chǎn)生的輸出信號需經(jīng)放大、延遲和積分處置后再送到主放大器,最后在顯示器中顯示出供人眼察看的可見圖像。目前國內(nèi)外研制的SPRITE探測器,有任務溫度為77K、任務波段為8~14m和任務溫度為200K左右、任務波段為3~5m兩種。將它用于熱成像系統(tǒng)中,既完成探測輻射信號的功能,又完成信號的延遲、積分功能,大大簡化了信息處置電路,有利于探測器的密集封裝和整機體積的減少。Δp和Δn的漂移過程一、光電導型紅外探測器-SPRITE探測器原理任務原理及構造-掃出效應當紅外光照射到兩端加有固定電壓的N型半導體上,光生載流子將閱歷產(chǎn)生、復合、分散和漂移的過程,其濃度變化方式可寫成公式,其中D和μ為雙極分散系數(shù)和雙極遷移率。漂移是由于電場E作用下,且n與p不等呵斥的。假設n=p,μ=0,那么無漂移運動;假設n>>p,那么μ=μp,D=Dp,即Δp以p的速度運動。為堅持電中性,Δn和Δp沿同一方向運動,由于有非平衡載流子存在,電中性難以滿足,那么Δn和Δp不重合產(chǎn)生附加電場。它同E反向,使之消弱。在被消弱的電場區(qū),多子〔電子〕的漂移速度降低,而該區(qū)兩端電子速度不變,導致左端電子濃度降低,右端添加,相當Δn于向右漂移??傮w呈現(xiàn)出,當Δp前進時,Δn也跟著前進,用這種方法就可以實現(xiàn)Δp分布的自動掃描,這種效應稱為“掃出效應〞。SPRITE(SignalProcessinginTheElements)(Спрайт)探測器屬于光電導效應型探測器,但由于這種探測器利用了紅外圖像掃描速度與光生載流子雙極運動速度相等的原理,實現(xiàn)了在器件內(nèi)部進展信號探測、時間延遲和積分的三種功能,大大簡化了焦平面外的電子線路,從而使探測器尺寸、分量、本錢顯著下降,并提高了任務可靠性,根據(jù)其原理,也稱之為“掃積型探測器〞。是80年代英國人為高性能實時熱成像系統(tǒng)研制出的新型紅外探測器。由于掃出效應的存在,當光照射樣品時,光信號會自動轉移出去,從而可以實現(xiàn)光信號的積累和延遲疊加。實現(xiàn)SPRITE探測器信號積累和延遲的必要條件-紅外圖像掃描速度等于非平衡載流子的雙極運動漂移速度。雙極運動漂移速度與資料的少數(shù)載流子遷移率和外置偏壓大小有關,假設偏壓足夠大,非平衡少子將全部或大部分掃出,假設電場場強過小,非平衡少子漂移長度小于器件長度,那么光生少子將在體內(nèi)復合設一穩(wěn)定的紅外輻射入射到SPRITE探測器的x0處,假設忽略圈套效應及外表復合,并在強電場作用下忽略非平衡載流子的分散,那么沿探測器長度方向x處的光生載流子的穩(wěn)態(tài)方程可寫成:式中Lμ為空穴的牽引長度。Lμ假設大于樣品長度,那么在τ時間內(nèi)Δp將移出體外,反之,將只需部分Δp能移出體外,在SPRITE探測器中,Lμ=L為全部掃出條件,可推知此時SPRITE探測器兩端所加電壓為V0,為臨界掃出電壓。SPRITE探測器任務原理表示圖二、光電導型紅外探測器-SPRITE探測器原理與構造典型的SPRITE探測器的構造八條N型HgCdTe樣條構成,每條尺寸〔700×62.5)μm2,厚度10μm,樣條間距12.5μm。讀出區(qū)長度50μm,寬度35μm。每條大約等效于10~12個分立單元探測器。當掃描點進入讀出區(qū)時,Δp將調(diào)制讀出區(qū)電壓從而有信號輸出。SPRITE探測器的實踐構造設探測器截面為w×w,讀出長度l<w,長度為L>>l。外加電場為E。在足夠強的外電場作用下,光生載流子的穩(wěn)態(tài)方程不受非平衡載流子的分散影響。求解微分方程得到光點照射像元上,信號所產(chǎn)生的非平衡載流子濃度隨著掃描位置的變化關系。當掃描像元到達讀出區(qū)時,即x=L,有公式,其中t為光生載流子在器件中的渡越時間。進而求得光生載流子的光電流強度,和開路電壓。呼應度按定義可寫成:當反射損失很小,且αd>>1時,可簡化寫成:設N型光電導體,其摻雜濃度遠大于背景輻射產(chǎn)生的載流子濃度,非平衡載流子壽命遠大于雙極漂移時間,雙極漂移速度等于光點掃描速度,有穩(wěn)定的紅外輻射照射到探測器,且沿長度方向自左向右延續(xù)掃描。三、光電導型紅外探測器-SPRITE探測器的呼應度分析呼應度表達式,可討論提高呼應度的途徑:增大E會增大焦耳熱,從而增大熱噪聲電流,故增大E應該適當。增大載流子壽命,可以提高呼應度,故可經(jīng)過探測器外表鈍化技術來實現(xiàn)外表復合的影響降低到最低??刹捎弥评浼夹g,降低讀出區(qū)的熱激發(fā)載流子濃度,提高呼應度,減小外表反射損失,也是重要途徑。四.光電導型紅外探測器-SPRITE探測器的探測率D*D*Blip為面積為w*w單元的光電導探測器受背景限制的探測率。S為單位時間經(jīng)過讀出區(qū)的像素數(shù),像素大小為w*w,稱為像素速率,也可寫成F為積累因子。當F>1時,即積累的緣由,可以預期SPRITE探測器的探測率要比相應分立列陣背景限探測率大,性能好;由于積累時間大于快速串掃系統(tǒng)中單元器件的駐留時間,故可以察看到更大的輸出信號;由于信號與積累時間成正比,而噪聲與積累時間的平方根成正比,故信噪比與積累時間的平方根成正比,故增大積累時間,有利于提高S/N。D*與讀出長度無關,但過高的掃描速度會使呼應度下降,故可以減小讀出去寬度,增大l/w的比值,來減小非平衡載流子經(jīng)過讀出區(qū)的渡越時間。在SPRITE探測器中,S/N與積累時間τ成線性關系。五.光電導型紅外探測器-SPRITE探測器的分辨力影響SPRITE探測器分辨才干的三個主要要素:非平衡載流子的分散圖像掃描速度與光生載流子漂移速度的失配讀出區(qū)長度。此外,讀出區(qū)構造和背景輻射也會產(chǎn)生一定的影響。為減小分散的影響,常用的兩種技術:迴形構造器件,選擇偏壓場,使在像掃描方向載流子的平均速度等于像掃描速度。因此在該方向載流子的有效分散長度減小一個因子W/Y。W為器件總寬度,Y為器件實踐寬度。AnomorphicOptic:使像在掃描方向添加放大,探測長度和掃描速度也一樣比例添加,而載流子分散長度依然不變。迴形掃積型探測器六、光電導型紅外探測器-光電導探測器資料光電導紅外探測器對資料的要求:應滿足波長呼應的要求熱激發(fā)產(chǎn)生的G-R噪聲應遠小于背景輻射光子噪聲,即暗電流應小于背景電流熱噪聲電流應遠小于背景輻射光子噪聲電流高的線性吸收系數(shù)和量子效率常用的光電導紅外探測器:Hg1-xCdxTe〔MCT〕8~14μm,77KInSb3~5μm,77KPbS,PbSe 1~3.5μm,室溫非本征激發(fā)光電導資料,如摻雜Si,可在三個大氣窗口都有呼應探測器,因工藝簡單通用,易于制造大面積陣列,往往也要在77K下任務。幾種探測器的探測率與波長的關系七、光電導紅外探測器的任務方式:探測器與負載電阻串聯(lián),并銜接直流偏壓。低于低阻探測器,常取固定電流電路,這時串聯(lián)電阻比元件電阻大得多,探測器上的電壓變化作為檢測信號輸出。對于高阻探測器,采用固定電壓電路更好,以電路中電流的變化為輸出信號。光電導探測器任務電路表示圖7.7.紅外焦平面陣列探測器單片式紅外焦平面陣列混成式紅外焦平面陣列Z平面紅外焦平面由紅外探測器和具有掃描功能的信號讀出器組合而成的紅外焦平面陣列,是凝視型紅外熱成像系統(tǒng)的中心。紅外焦平面陣列包括光敏元件和信號處置兩個部分,可采用不同的光子探測器、信號電荷讀出器及多路傳輸。IR-CCD根本構造一.紅外焦平面陣列探測器-單片式單片式又稱整體式,可分為兩種情況CCD本身就對紅外敏感,故探測、轉移功能于一體。紅外探測器與CCD作在同一基底上,基底通常為Si,而探測器部分常用非本征資料,根本構造為金屬-絕緣物-半導體。典型情況分:本征窄帶半導體IR-CCD非本征半導體IR-CCD肖特基勢壘IR-CCD肖特基勢壘光電探測器-任務原理任務原理:金屬淀積在半導體外表而構成的具有單導游電,整流作用的金屬半導體接觸-肖特基勢壘隧道效應:隨著摻雜濃度提高,空間電荷區(qū)變窄,肖特基勢壘變薄,出現(xiàn)穿透幾率迅速升高,穿透構成的電流為隧道電流,該隧道電流會超越熱電子發(fā)射產(chǎn)生的電流。半導體中的費米能級高于金屬中的費米能級,兩者接觸后,為使費米能級到達平衡,在接觸面電子流向金屬,電子電荷分布在金屬層10-10m以內(nèi),半導體的外表層構成空間電荷區(qū)厚幾個μm。結果,半導體附近能帶彎曲,構成勢壘,勢壘阻撓金屬與半導體內(nèi)的電子交換,構成高阻層。正偏時,肖特基勢壘不變,金屬流向半導體的電子數(shù)不變,構成大正向電流。反偏時,流過勢壘的電子流主要為金屬向半導體方向,故電流很小,所以肖特基勢壘只能單導游電。肖特基勢壘光二極管構造流經(jīng)肖特基勢壘的電子流密度主要經(jīng)過四個過程半導體電子越過勢壘進入金屬-熱發(fā)射;電子由量子力學隧道穿過勢壘;-隧道電流;空間電荷區(qū)電子與空穴的復合;金屬向半導體的少數(shù)載流子〔空穴〕注入。對于理想的肖特基勢壘二極管,通常以1過程為主,并可忽略少數(shù)載流子的注入影響。正偏壓下肖特基勢壘的載流子輸運過程任務原理:輻射透過硅照在硅化物上產(chǎn)生熱空穴,這些空穴能越過勢壘進入到硅基底,從而在硅化物一邊的電極上積累負電荷,構成信號,由于鋁層的反射作用,硅化物對輻射的吸收加強,可使靈敏度提高一個數(shù)量級。改良的肖特基勢壘IR-CCD肖特基勢壘任務原理肖特基勢壘光電探測器-任務方式Eg>hυ>eφB,V<VB-擊穿電壓,金屬中的激發(fā)電子穿過肖特基勢壘,搜集于半導體;hυ>Eg,V<VB-入射輻射產(chǎn)生電子空穴對,P-I-N光電二極管方式hυ>Eg,V≈VB高反偏壓,雪崩光二極管任務方式。肖特基勢壘光二極管的幾種任務方式運用特點:可直接用Si集成電路工藝,制成FPA?;跓犭娮影l(fā)射的原理,其均勻性比普通的紅外探測器〔由于其載流子壽命、分散長度,合金組分不均勻〕FPA強100倍。典型資料:PtSi陣列,任務波段3~5μm二.紅外焦平面陣列探測器-混成式根本特點:把探測器和CCD移位存放器分開,CCD仍用普通硅制成,工藝相對成熟,而對幾個重要的紅外波段,都曾經(jīng)開展了性能優(yōu)良的本征紅外探測器。因此,將兩者耦合起來組成混合焦平面技術,能獲得高量子效率高性能的紅外FPA。前照構造:探測器在前面遭到照射,電信號就在這同一面上被抽出。-填充因子遭到一定影響。背照構造:要求鑲嵌探測器有薄的光敏層,在光敏層上吸收輻射,產(chǎn)生的光生載流子從反面分散到前面,被P-N結檢測到信號。-填充因子高,目前FPA大多基于這種構造?;旌匣ミB方式混合紅外焦平面(a)前照射構造(b)背照射構造三.紅外焦平面陣列探測器-Z平面技術根本特點:不同于單片式與混成式的二維FPA方式,所謂Z平面:是一塊立體的FPA,這是將信號讀出及處置功能的芯片〔包括低噪聲前放、濾波器和多路傳輸?shù)取巢捎茂B層的方式組裝起來,構成信號處置模塊,再把模塊與探測器和輸入/輸出線等銜接在一同。該技術可用于光導型、光伏型等各種探測器信號的讀出/處置。Z平面焦平面陣列原理表示圖7.3非制冷焦平面陣列探測器非制冷焦平面熱成像技術的特點特點由于沒有制冷系統(tǒng),故具有低本錢、低功耗、長壽命、小型化和可靠性等優(yōu)點,是當前熱成像技術開展和運用的熱點之一。非制冷焦平面探測器的類型熱電型非制冷焦平面陣列鈦酸鍶鋇(BaxSr1-xTiO3,BST):美國德克薩斯儀器公司(TI),80年代末至90年代初鈦酸鋯鉛(PbxZi1-xTiO3,PZT)和鈦酸鈧鉛(PST):英國GEC-馬可尼資料技術公司(GMMT),90年代初微測輻射熱計(Micro-Bolometer)非制冷焦平面陣列美國Honeywell公司電阻型VOx非制冷焦平面探測器(90年代初)法國Sofradir公司研制并批量消費多晶硅型非制冷焦平面;澳大利亞國防科技署采用非晶、微晶和多晶等研制勝利單片式非致冷焦平面;日本防衛(wèi)廳技術研討和開發(fā)研討所溫差電堆熱像傳感器。非致冷焦平面技術的運用熱釋電型非制冷焦平面陣列BST器件采用1英寸40腳DIP封裝,328245像元,像元尺寸48.548.5m2,包括探測器恒溫熱電致冷器、溫度傳感器及機械斬波器?,F(xiàn)已研制出640480元陣列,像元尺寸20~30m的焦平面陣列。系統(tǒng)分量約1.36kg,NETD<0.1K,視頻信號,可探測700m遠的人,性能雖只是致冷型熱像儀的1/3左右,但價錢只需1/10。TI公司建立非致冷傳感器消費線,96年100套/月,97年提高到1000套/月,上世紀末提高到5000套/月。美國Loral紅外成像系統(tǒng)公司研制熱釋電焦平面陣列192128,像元尺寸為3535m2,典型的NETD<0.1K(f/1)。熱釋電型非制冷焦平面陣列PZT非制冷焦平面90年已制成直徑為10m,間距為100m(現(xiàn)間距為40m)的100100像元探測器陣列,用于為國防研討局(DRA)/英國宇航公司的新一代輕型反裝甲武器NLAW4的輕型夜間瞄準具、Pyro2500Gecsentry手持熱像儀和美國Cairn公司消防頭盔熱像儀;93年GMMT收到英國國防部STAIRS方案A類安裝的武器瞄準具演示器合同,STAIRSA引薦新一族熱瞄具最終來取代英國TICM設備系列;94年DRA和GMMT研制出256128像元,節(jié)距為56m的探測器陣列(鈦酸鈧鉛PST),并在96年得到384288像元,節(jié)距為40m的探測器陣列,典型的NETD為0.1K,并可望到達0.05K。Honeywell公司開發(fā)的微測輻射熱計微測輻射熱計:以VOx,多晶硅或非晶硅等薄膜為熱敏資料,采用微機械加工技術(MEMS)把探測器做成微橋構造,探測器在IC-CMOS讀出電路襯底上做成懸空的微橋,使之構成良好的熱隔離探測器吸收紅外輻射,產(chǎn)生溫升,熱敏資料的電阻率發(fā)生變化,在外接電路的作用下輸出呼應信號。與熱釋電FPA相比:采用硅集成技術,本錢低,有好的線性呼應和高動態(tài)范圍,像元間絕緣性好,串音少,圖像明晰度高低1/f噪聲,高幀速,和潛在的高靈敏度〔實際上可達0.01K)。但偏置電路功耗大,噪聲帶寬寬。微測輻射熱計陣列Honeywell公司VOx非制冷焦平面采用5050m2像元,像元數(shù)320240(336240),電阻溫度系數(shù)TCR典型范圍為1.5~2.5%,NETD=0.04~0.06K,功耗約40mW。專利轉讓給Amber工程公司、波音北美公司、休斯圣巴巴拉研討中心SBRC、結合技術系統(tǒng)公司及洛克希德·馬丁公司。1996年Amber公司推出非致冷測輻射熱計熱像儀,任務波段8~14m,NETD=0.1K(f/1),分量1.9kg,體積9.510.725.4cm3,視頻輸出(30幀/秒),可與256256像元的InSb焦平面熱像儀圖像質量相媲美。1997年SBRC研制的非致冷測輻射熱計焦平面熱像儀;北美波音公司已成為氧化釩微測輻射熱計焦平面陣列的零售供應商,其陣列產(chǎn)品的型號為U3000,60Hz幀頻提供單通道的信號輸出。Honeywell公司開發(fā)的微測輻射熱計微測輻射熱計陣列法國Sofradir公司批量消費多晶硅型非制冷焦平面探測器是目前能夠進入中國市場的非制冷焦平面技術。其他非制冷焦平面探測器日本防衛(wèi)廳和日本電氣公司用N型和P型多晶硅作熱電資料制造出了128×128像元的熱電堆焦平面陣列熱電堆紅外焦平面陣列的像元構造非制冷焦平面熱成像技術的運用美國陸軍的便攜式發(fā)射后不論的“標槍〞反坦克武器;美國陸軍總結沙漠風暴閱歷后,提出布雷德利戰(zhàn)車(BFV)配備184套駕駛員視覺加強器DVE的改造方案,DVE還將用于HEMTT、PLS、FMTV等陸軍后勤車輛上;美國陸軍已研制勝利類似AN/PVS-5的頭盔夜視儀,分量約1.3kg,其中傳感器分量只需0.68kg;美軍夜視和電子傳感器已訂購30具改良型樣機;結合技術系統(tǒng)公司將非致冷紅外技術運用于軍事工程,如準確制導彈藥和子母彈系統(tǒng)、微輻射熱計與雷達傳感器組成的具有探測、捕獲和跟蹤功能的先進雙模尋的器、遠間隔警戒系統(tǒng)及目的單獨作戰(zhàn)武器方案的武器瞄準系統(tǒng),以為對于向21世紀步兵提供先進才干具有積極作用;非制冷焦平面熱成像技術的運用荷蘭皇家陸軍與SignaalUSFA公司和Delft傳感器公司簽署合同,研制輕型紅外察看夜視(LION)非致冷熱瞄具,96年中完成樣機,97年交付300套產(chǎn)品。LION采用GMMT的256128元的PST探測器陣列,任務波段8~13m,配105視場的3光學系統(tǒng),分量2kg,體積102024cm3,功耗7W,啟動時間<5s,平均缺點間隔時間MTBF>5000h,2m以外就聽不到噪聲。在良好能見度下,對規(guī)范坦克的探測、識別和認清的間隔分別為2240m/790m/400m,而在能見度較差時分別為1630m/705m/375m;TI公司“夜瞄具〞200系列攝像機是目前標價最低的非致冷熱像儀,外鄉(xiāng)價約8100美圓,主要為警用和汽車夜間駕駛儀;洛克希德·馬丁紅外成像系統(tǒng)公司LTC500攝像機用于醫(yī)學研討和醫(yī)療診斷;IRSolutions公司的IRSnapshot攝像機用于檢測和預防維修,可提供假彩色圖像顯示,NETD約0.2K。非制冷焦平面熱成像技術的運用美國ElectroPhysics公司95年研制了民用非制冷焦平面熱像儀PV320,采用BST320240陣列,光譜呼應2~14m,像元尺寸48.548.5m2,MRTD<0.2C(@22C),測溫范圍-18~523C,程度分辨力>300TVL,體積1411.411.4cm3,分量2.27kg,任務溫度-40C~54C,存貯溫度-40C~80C,輸出視頻信號RS-170(60HzB&W)。外形設計類似攝像頭,價錢較低,適宜于二次研討和開發(fā)。價錢<US$2萬元。EP公司與LifesightFireResearch公司開發(fā)了消防熱像儀LifesightPlus,體積26.71415.2cm3,分量2.7kg,功耗9W,視場角50,焦距18mm,全防水,帶有300m圖像發(fā)射功能,可供前線指揮員了解現(xiàn)場情況。97年美國緬因州南波特蘭市消防局對正在運用的消防熱像儀Iris,ISI,Argus和LifesightPlus進展了客觀的性能測評,LifesightPlus最正確,將成為該消防局今后的主選型號之一,價錢<US$2.5萬元;非制冷焦平面熱成像技術的運用瑞典Agema公司TV-570熱像儀采用微測輻射熱計焦平面探測器,外形類似“掌中寶〞,價錢約60萬。美國Inframetrics公司ThermacamUltraX95系列熱像儀采用微測輻射熱計焦平面,外形類似“掌中寶〞,價錢約65萬;上述公司目前均被美國FLIR公司收買。目前國內(nèi)市場得到主要是法國Sofradir公司消費的多晶硅型非制冷焦平面探測器。非制冷焦平面熱成像技術的開展趨勢歐美已構成幾個技術聯(lián)盟:英國DRA、美國紅外丈量公司的非制冷技術再投資聯(lián)盟(ULTRA)、洛拉爾紅外和成像系統(tǒng)公司的紅外非制冷傳感器聯(lián)盟(CIRUS)、TI公司的第三個團體以及日本的非制冷焦平面技術研討機構。美國的三個團體1995年以來不斷實施平行的技術再投資方案,與美國國防高級研討方案局堅持聯(lián)絡。目前非制冷紅外焦平面探測器在歐美外鄉(xiāng)隨批量有較大的價錢變動空間,最底已可達$1萬美圓以下,整機系統(tǒng)價錢可在$2萬美圓左右,但普遍以為隨著技術提高和大批量消費,將使性能提高而價錢大幅度地降低。目前兩種非制冷焦平面技術途徑都具有良好的開展前景:測輻射熱計陣列不需斬波和工藝條件等緣由,普通更看好其開展前景,但由于其需求偏置,存在功耗及發(fā)熱;DRA及TI對熱電非制冷焦平面技術的開展也充溢自信心,TI公司、美國陸軍及美國結合兩用方案辦公室共同投資2400萬美圓,用于降低軍用和民用非制冷熱像儀的本錢。自信心來自市場需求和器件性能的開展,除軍事運用外,非制冷紅外熱像儀在其它夜視、消防、工藝控制、質量控制、機器人、搜索與救援、邊境巡查、車輛防撞、警戒和醫(yī)療診斷等領域有良好的市場潛力。如美國每年對消防頭盔的需求就有10萬具以上;目前在未來型車輛上安裝紅外熱像儀作為夜/霧察看和/或要挾報警系統(tǒng)已成為多方面實施的步驟。

非制冷焦平面探測器掀起了紅外技術的一場革命,在目前非制冷技術開展初期要預測其未來的商業(yè)運用,能夠好像20年前電氣工程師預測微處置器的未來一樣。7.3量子阱紅外探測器量子阱紅外探測器是隨著分子束外延技術及量子阱超晶格資料的開展,利用GaAs/GaAlAs量子阱子帶間紅外光電效應來制備的高靈敏紅外探測器。它具有InSb,HgCdTe同樣的性能,可到達大面積均勻性好,且與目前的GaAs工藝兼容。經(jīng)過改動量子阱寬度和勢壘高度對帶隙寬度進展人工剪裁,從而可方便地獲得可獲得6~20μm的呼應,經(jīng)過添加在GaAs勢阱層內(nèi)添加InGaAs資料,短波長可擴展到3μm。1~2μm的呼應波長經(jīng)過改善量子阱能帶參量可以實現(xiàn)大范圍調(diào)理?!?~20μm)均可任務。當資料正偏時,電壓增大,光電信號減少;零時,光電信號較大;反偏時,電壓增大,光電信號增大量很少,到達飽和。故,量子阱探測器具有明顯的整流特性。能帶與摻雜分布的不對稱性,使得整個N型區(qū)有類似于P-N結的特性,故有向長波延伸的條件。圖1為GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測器子帶吸收的能帶表示圖,量子阱導帶內(nèi)基態(tài)電子(或空穴)對紅外輻射作用下,向高能帶躍遷,并在外電場作用下作定向運動,從而構成與入射光強成正比的光電流。常見的三種量子阱探測器任務原理束縛態(tài)-束縛態(tài)躍遷的量子阱探測器:量子阱中的兩個子能帶均為束縛態(tài),在紅外輻射的作用下,電子從基態(tài)被激發(fā)到第一激發(fā)態(tài),出于受激態(tài)的電子在外偏壓電場的作用下,穿過薄的勢壘頂部發(fā)生隧道穿透,并以熱電子方式輸運,構成光電流。束縛態(tài)-自在態(tài)的量子阱紅外探測器:當勢阱寬度進一步減小時,子能級的束縛態(tài)會在勢阱中上升,構成高于勢壘的自在態(tài)〔或延續(xù)態(tài)〕,在紅外輻射作用下,使電子直接從勢阱進入自在態(tài),在外加偏壓作用下細絮凝過程光電流。多量子阱探測器:分別表示為兩種躍遷方式的多個量子阱探測器模型。量子阱探測器根本模型(a)束縛態(tài)至束縛態(tài)之間的躍遷;(b)束縛態(tài)至自在態(tài)之間的躍遷;(c)多個量子阱躍遷模型在更密的隔離資料層中的每一層里,n=1能級逐次升高。經(jīng)過施加一定偏壓,可使得這一設計的特殊資料層一切的n=1的能級陳列成不斷線。如今,這一資料層成為經(jīng)過電子隧道電流的能量濾波器,隧道電流由具有待定能量正的電子構成,并存在與這一能級輸出電流中??勺兛臻g超品格能量濾波器(VSSEF)(a)器件分層圖;(b)量子阱寬度對能級的影響;(c)調(diào)整偏置電壓后的能級圖固體光電倍增器可變空間超晶格能量濾波器(VSSEF)光電倍增管的部分。決議倍增效應的關鍵是每一個VSSEF級中構成的單一能量的電子電流,該能量可被控制,以在下一級中激發(fā)整數(shù)數(shù)目的電子。這里有幾個超越雪崩光電二極管的優(yōu)點。一個VSSEF固態(tài)光電倍增器的增益級量子阱FPA的開展現(xiàn)狀量子阱探測器的優(yōu)勢:均勻性和熱穩(wěn)定性好,具有功率低、生長和鈍化工藝成熟,便于加工適于制造長波光伏和大規(guī)模FPA探測器。其資料和工藝易于與信號讀出電路耦合,量子阱探測器將是兆級像素、多色制冷FPA探測器的有力競爭者,但要到達適用化,還須很多實際和工藝問題需求探求和處理。量子阱探測器的缺乏:暗電流大,量子效率不高(低于30%),難以獲得很高的光電靈敏度。需求強有力的低溫控制,在制冷方式的選擇上遭到限制。1990年B.FLevine第一個運用GaAs/AlGaAs量子阱資料制備了峰值波長8.31μm.目前中等規(guī)模的320×240(包含256×256,384×288)和全電視制式的640×512(包含640×480)的單色和雙色焦平面器件在美國和德、法等歐洲部分先進國家都已產(chǎn)品化。以美國NASA/ARL結合研制的大面陣1024×1024焦平面,NASA/JPL研制的640×512四色焦平面,代表了當前的最高研討程度。圖10-49量子阱紅外探測器的整體構造:1-介質反射層;2-量子阱;3-銦接觸層;4-硅讀出電路hυPHYSICALCHARACTERISTICSTripodmounting1/4Size220mmxmmx130mmWeight3.2kgINTERFACERemotecontrolinterfaceRS-2327.4紅外成像技術的運用

一:紅外成像的醫(yī)學運用1933年,哥本哈根大學國家醫(yī)院的哈克塞森首先把紅外攝影技術用于皮膚病學的研討,以后人們就把這一方法廣泛地運用于醫(yī)學實際。醫(yī)學紅外攝影技術主要思索三個方面:皮膚和皮下組織對紅外光的反射、散射和透射特性能穿透機體紅外光源的光譜分布能記錄紅外光的膠片和感光板的光譜呼應一、皮膚病學紅外攝影首先用于醫(yī)學方面的是檢查皮膚疾病,它可以提供淺表痂皮下面愈合過程和皮下靜脈情況。附錄:紅外成像的醫(yī)學運用二、靜脈攝影結合常規(guī)的攝影技術,紅外攝影方法可以顯示出靜脈曲張的特征性異常表現(xiàn)。它表現(xiàn)為在正常小腿上能見到比較細直的分枝,構成多邊形的網(wǎng)狀構造。在靜脈曲張病例中,常見到蜿蜒彎曲的分枝增粗成靜脈小島,它在紅外照片中清楚地顯示出來,而用普通攝影或肉限是看不出來的。三、血液循環(huán)的研討利用紅外照片來記錄乳房和腹部淺表靜脈的圖形和大小變化,可以研討血液運轉情況。比如,初產(chǎn)婦和多產(chǎn)婦在妊娠時,紅外照片上的血流情況是不一樣的。附錄:紅外成像的醫(yī)學運用由于血液中各種成分對紅外光的吸收作用不同,可作臨床疾病的更深化研討。比如硝基苯胺中電會引起小腿血管郁滯,紅外照片可以清楚地顯示出來;腎上腺素對正常人和高血壓病人有影響,可以從指甲的紅外照片上反映出來;此外,紅外照片還可探求結核菌素和其它皮膚實驗的反響。四、透照技術采用黑白和彩色紅外透照技術檢查兒童頭顱疾病,不僅毫無苦楚,而且比腦室造影檢查平安。其中,彩色紅外透照方法特別有價值,由于它可以同時把可見光和紅外光的透射部分記錄下來,而且,在照片上顯示出重要的顏色差別。用這種方法可以將腦積水與更為嚴重的腦內(nèi)積水加以監(jiān)別。附錄:紅外成像的醫(yī)學運用五、肝病理學紅外攝影對肝硬化的診斷有很大協(xié)助,它可以把肝硬化與肝癌等區(qū)別出來。早期的肝硬化,沒有明顯的側支循環(huán),而晚期的肝病中有非常明晰的分枝靜脈圖像,成為肝硬化病癥的特征。六、腫瘤的研討運用黑白和彩色紅外攝影技術經(jīng)??梢园l(fā)現(xiàn)腫瘤。生長在體表上或接近體表的早期惡性腫瘤,其周圍會有血管增多或異常條紋,表示了腫瘤血液的供應有不同程

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