ICS29045

CCSH.83

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43662—2024

藍(lán)寶石圖形化襯底片

Patternedsapphiresubstrate

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T43662—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位廣東中圖半導(dǎo)體科技股份有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司

:、、

華燦光電浙江有限公司黃山博藍(lán)特半導(dǎo)體科技有限公司北京大學(xué)東莞光電研究院云南藍(lán)晶科技

()、、、

有限公司南京理工宇龍新材料科技股份有限公司通遼精工藍(lán)寶石有限公司蘇州恒嘉晶體材料有限

、、、

公司

。

本文件主要起草人張能賀東江張小瓊李素青肖桂明王子榮朱廣敏康凱劉建哲丁曉民

:、、、、、、、、、、

王新強(qiáng)何永杰戴生伢閆殿軍徐永亮

、、、、。

Ⅰ

GB/T43662—2024

藍(lán)寶石圖形化襯底片

1范圍

本文件規(guī)定了藍(lán)寶石圖形化襯底片以下簡(jiǎn)稱襯底的技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包

(“”)、、、、

裝運(yùn)輸貯存隨行文件和訂貨單內(nèi)容

、、、。

本文件適用于藍(lán)寶石圖形化襯底片的研發(fā)生產(chǎn)測(cè)試檢驗(yàn)及性能質(zhì)量的評(píng)價(jià)

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣

GB/T2828.1—20121:(AQL)

計(jì)劃

砷化鎵外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法

GB/T8758

硅片直徑測(cè)量方法

GB/T14140

半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

GB/T14264

納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

GB/T20307

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.1—20211:

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

圖形化襯底patternedsubstrate

通過(guò)光刻或壓印圖形掩膜工藝再經(jīng)等離子體刻蝕技術(shù)制成的表面具有一系列類圓錐體的周期性

,,

陣列排布的微納米圖形結(jié)構(gòu)的襯底

。

注圖形化襯底用于提升氮化鎵發(fā)光二極管的光電性能

:。

32

.

圖形排布patternarrangement

襯底表面圖形按最密堆積原則進(jìn)行位置及方向上的陣列分布排布如圖所示排布如圖所示

。0°1